JP5445133B2 - 磁気ランダムアクセスメモリ、その書き込み方法、及び磁気抵抗効果素子 - Google Patents
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Description
図1A、図1B及び図1Cは、それぞれ本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の構造を模式的に示す斜視図、平面図及び断面図である。ただし、図1Cは、図1BにおけるA−O−B断面図である。本発明に係る磁気抵抗効果素子80は、第1強磁性層10と、第1強磁性層10に隣接して設けられる絶縁層20と、絶縁層20に隣接して第1強磁性層10とは反対側に設けられる第2強磁性層30を具備する。また第1強磁性層10には第3強磁性層15と電極層115が隣接して設けられることが好ましい。ただし、第3強磁性層15については省略することも可能である。また、第3強磁性層15が設けられる場合、第3強磁性層15と第1強磁性層10は磁気的に接していればよい。絶縁層20は、第1強磁性体層10と第2強磁性体層30とに挟まれており、これら第1強磁性体層10、絶縁層20、及び第2強磁性体層30で磁気トンネル接合(MTJ)が形成されている。
次に、本発明に係る磁気抵抗効果素子80への情報の書き込み方法について説明する。図2は、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子への情報の書込み方法を説明する概念図である。本発明に係る磁気抵抗効果素子80では磁壁を移動させることにより情報の書込みを行う。磁壁を移動させる手段としては、第1強磁性層10に電流を通じたときに生ずる電流誘起磁壁移動現象を利用する。図2に示されるように、第1磁化固定領域11aの磁化は+z方向、第2磁化固定領域11bの磁化は−z方向に固定されている。情報“0”が記憶されている状態(以下、“0”状態といい、左側の図で示される)においては磁化自由領域12の磁化は+z方向を向いているものとする。一方、情報“1”が記憶されている状態(以下、“1”状態といい、右側の図で示される)においては磁化自由領域12の磁化は−z方向を向いているものとする。
また、本発明に係る磁気抵抗効果素子80では情報のオーバーライト、すなわち“0”状態からの“0”書き込み、及び“1”状態からの“1”書き込みも可能である。例えば図2での左側の図の“0”状態において、“0”書き込みである第1磁化固定領域11aと磁化自由領域12の間で電流を通ずる。このときこの経路には磁壁は存在しないため、磁壁の移動は起こらず、情報は書き換わらない。従って、“0”状態がそのまま保存されたことになる。“1”状態からの“1”書き込みも同様にして可能である。
次に、本発明に係る磁気抵抗効果素子80からの情報の読出し方法について説明する。図3は、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子からの情報の読出し方法を説明する概念図である。これまでに述べたように、本発明では磁化自由領域12の磁化方向で情報を記憶し、また磁化自由領域12は絶縁層20を介して第2強磁性層30に接続される。本発明に係る磁気抵抗効果素子80では情報の読み出しに磁気抵抗効果を利用する。
情報“1”の書き込みでは磁化自由領域12から第2磁化固定領域11bに電流を流す。そのため、第1ワード線103aは“Low”に、第2ワード線103bは“High”に、第1ビット線104は“High”に、グラウンド線102は“Ground”に、設定される。このとき、第1MOSトランジスタ100aは“OFF”になり、第2MOSトランジスタ100bは“ON”になる。そのため、第1ビット線104から磁化自由領域12、第2磁化固定領域11b、第2MOSトランジスタ100bを経由して、グラウンド線102へと電流が流れる。これはデータ“1”の書き込み時の電流方向に相当する。
情報“0”の書き込みでは磁化自由領域12から第1磁化固定領域11aに電流を流す。そのため、第1ワード線103aは“High”に、第2ワード線103bは“Low”に、第1ビット線104は“High”に、グラウンド線102は“Ground”に、設定される。このとき、第1MOSトランジスタ100aは“ON”になり、第2MOSトランジスタ100bは“OFF”になる。そのため、第1ビット線104から磁化自由領域12、第1磁化固定領域11a、第1MOSトランジスタ100aを経由して、グラウンド線102へと電流が流れる。これはデータ“0”の書き込み時の電流方向に相当する。
第1の方法においては、第1ワード線103a、第2ワード線103bは“Low”に、第2ビット線101は“High”に、第1ビット線104は“Ground”に設定される。このとき第1、及び第2MOSトランジスタ100a、100bは“OFF”となり、電流は第2ビット線101からMTJ(第2強磁性体層30、絶縁層20、及び、第1強磁性体層10の磁化自由領域12)を貫通し、第1ビット線104へと流れる。これによってMTJの抵抗を読み出すことができ、磁気抵抗効果素子80のデータの読み出しが可能となる。この場合、第1ビット線104と第2ビット線の交点のセルの情報が読み出され、すなわちクロスポイント読み出しとなる。
第2の方法においては、まず、第1ワード線103aを“High”に、第2ワード線103bを“Low”に設定し、第1MOSトランジスタ100aを“ON”に、第2MOSトランジスタ100bを“OFF”にする。またグラウンド線102は“Ground”に設定し、第2ビット線101は“High”に設定する。さらに第1ビット線104を適切な電位に設定する。このとき、読み出し電流は第2ビット線101からMTJを貫通し、第1ビット線104に流れることなく、第1MOSトランジスタ100aを経由してグラウンド線102へと流れる。これによってもMTJの抵抗値を読み出すことができる。この第2の方法は、第1の方法で用いられているクロスポイントでの読み出しとは異なり、トランジスタによって一つのセルが選択されるため、高速での読み出しが可能となる。なお、使用するトランジスタは、第2MOSトランジスタ100bであっても良い。
本発明の第1の効果として書き込み電流の低減がもたらされる。これは情報の書き込みの際に磁壁移動が起こる層が垂直方向に磁気異方性を有することに起因する。スピントランスファートルクを考慮に入れたLLG方程式を用いたマイクロマグネティクス計算から、垂直磁気異方性を有する材料で形成される磁壁は面内磁気異方性を有する材料で形成される磁壁に比べると、電流で駆動する場合に必要となる電流密度は十分小さく、一方磁界で駆動する場合に必要となる磁界は十分大きくなることがわかった。
左辺を磁化の時間変化(∂m/∂t)としたとき、右辺は[1]磁界によるトルクを表す項、[2]ダンピング項、[3]断熱スピントルク項、[4]非断熱スピントルク項により構成される。そして、マイクロマグネティクス計算から、垂直磁気異方性を有する材料で形成される磁壁は1×108[A/cm2]程度の電流密度においても[3]の断熱スピントルク項により駆動される一方、面内磁気異方性を有する材料で形成される磁壁は1×108[A/cm2]程度の電流密度では[4]の非断熱スピントルク項がなければ磁壁は駆動されないことがわかった。ここで、[3]の断熱スピントルク項による磁壁駆動の場合、過度に大きくないピニングのときには、ピニング磁界に依存せずに磁壁はピンサイトからデピンできることが知られている。従って、[3]の断熱スピントルク項での磁壁駆動が不可能な面内磁気異方性を有する材料に比べて、[3]の断熱スピントルク項での磁壁駆動が可能な垂直磁気異方性を有する材料は、強い磁壁のピニングと低電流密度による磁壁駆動を両立させ易いことがわかる。すなわち垂直磁気異方性を有する材料を用いることにより、熱安定性として十分な値を保った上で書き込みに要する電流を低減することが可能であることがわかる。
ここでは各層の材料について例示する。なお、ここで示される材料は全て例であり、実際には前述のような磁化状態が実現できればいかなる材料を用いても構わない。
次に、第1磁化固定領域11a、第2磁化固定領域11bの磁化の初期化方法について説明する。第1磁化固定領域11a、第2磁化固定領域11bの磁化の初期化方法については様々な方法を用いることができる。図6乃至13は、磁気抵抗効果素子80の構成例、及びその初期化方法を示している。ただし、本発明はそれらに限定されるものではなく、ここで記述される以外の構成及び初期化方法を用いて第1磁化固定領域11a、第2磁化固定領域11bの磁化を反平行方向に初期化しても良い。
図6は、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第1の構成例を示す図である。第1の構成例では、第1強磁性層10のうちの第1の磁化固定部11aに隣接して第1の第3強磁性層15aが設けられ、第2の磁化固定部11bに隣接して第2の第3強磁性層15bが設けられる。第1の第3強磁性層15a、第2の第3強磁性層15bはいずれも膜面垂直方向の磁気異方性成分を有する材料により構成される。また第1の第3強磁性層15aと第2の第3強磁性層15bには膜面垂直方向の保磁力に差が設けられる。第1の第3強磁性層15aと第2の第3強磁性層15bの間に保磁力の差が設けられるとき、膜面垂直方向に2段階の磁界を印加することによって初期化が可能となる。
そのうちの第1の方法においては、第1の第3強磁性層15aと第2の第3強磁性層15bが異なる材料により構成される。ここで膜面垂直方向への保磁力の異なる材料を用いることによって、第1の第3強磁性層15aと第2の第3強磁性層15bの間に保磁力差を設けることができる。なお、保磁力の異なる材料は、構成元素や組成を変えることによって実現することもできるし、結晶構造や欠陥等の構造、組織的な要因によって実現することもできる。
図7A、図7B及び図7Cは、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第2の構成例を示す斜視図、平面図及び断面図である。ただし、図7Bはxy平面図であり、図7Cは図7BにおけるA−O−B断面図である。第2の構成例では、第1強磁性層10のうちの第1の磁化固定部11aに隣接して第1の第3強磁性層15aが設けられ、第2の磁化固定部11bに隣接して第2の第3強磁性層15bが設けられる。第1の第3強磁性層15a、第2の第3強磁性層15bはいずれも膜面長手方向の磁気異方性成分を有する材料により構成される。また、第1強磁性体層10、絶縁層20、及び第2強磁性体層30で磁気トンネル接合(MTJ)が形成されている。
図9A、図9B及び図9Cは、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第3の構成例を示す斜視図、平面図及び断面図である。ただし、図9Bはxy平面図であり、図9Cは図9BにおけるA−O−B断面図である。第3の構成例では、第1強磁性層10のうちの第1の磁化固定部11aに隣接して第1の第3強磁性層15aが設けられ、第2の磁化固定部11bに隣接して第2の第3強磁性層15bが設けられる。第1の第3強磁性層15a、第2の第3強磁性層15bはいずれも膜面垂直方向の磁気異方性成分を有する材料により構成される。また、第1強磁性体層10、絶縁層20、及び第2強磁性体層30で磁気トンネル接合(MTJ)が形成されている。
図11A及び図11Bは、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第4の構成例を示す平面図及び斜視図である。図11Cは、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第4の構成例の別の例を示す斜視図である。ただし、図11Aはxy平面図である。第4の構成例では、第1強磁性層10のうちの第1の磁化固定部11aと第2の磁化固定部11bのいずれか一方に隣接して第3強磁性層15が設けられる図11Aでは、例として第1の磁化固定部11aに隣接して設けられている。第3強磁性層15の材料は、膜面垂直方向の磁気異方性を有する材料により構成されてもよいし、膜面長手方向の磁気異方性を有する材料により構成されてもよい。
図12A及び図12Bは、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第5の構成例を示す斜視図及び平面図である。図12Bはxy平面図を示している。第5の構成例においては、第3強磁性層15は省略される。この場合も以下のようにしてxy面内での適切な磁界を印加することによって、第1強磁性層10の初期化が可能である。
図14A〜図14C、図15A〜図15C、図16A〜図16Dは、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第1の変形例の構造を模式的に示す平面図である。これらの図に示される第1の変形例は、第1強磁性層10のxy平面形状に関する。
図17A、図17B、図18、図19A〜図19Cは、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第2の変形例の構造を模式的に示す平面図である。第2の変形例は第3強磁性層15のサイズ、数、及び第1強磁性層10との位置関係に関する。なお、これらの図では図6、図7A〜図7C、図9A〜図9Cを用いて説明されたように、第3強磁性層15が第1磁化固定領域11a、及び第2磁化固定領域11bに隣接して二つ以上設けられる場合について示している。しかし、本変形例は他の形態、例えば第3強磁性層15が第1磁化固定領域11a、第2磁化固定領域11bのいずれか一方に隣接する場合などにも適用できる。
図20A、図20Bは、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第3の変形例の構造を模式的に示す断面図である。第3の変形例は第1強磁性層10、第3強磁性層15の断面形状に関する。なお、図20A、図20Bでは第1強磁性層10に隣接して第3強磁性層15が設けられる例について示している。しかし、前述のように第3強磁性層15が省略された場合についても、本変形例は適用できる。
図21〜図23は、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第4の変形例の構造を模式的に示す断面図、及び斜視図である。第4の変形例は第1強磁性層10に対する第3強磁性層15、電極層115、第2強磁性層30の相対的な位置関係に関する。図1A、図1Cでは、第3強磁性層15、電極層115は第1強磁性層10に対して下側(−z方向)に設けられ、一方第2強磁性層30は第1強磁性層10に対して上側(+z方向)に設けられる例が示されている。しかし、本発明において、第1強磁性層10に対する第3強磁性層15、電極層115、第2強磁性層30の相対的な位置関係はその例に限定されるものではない。すなわち、電極層115は第1強磁性層10に隣接して設けられ、第2強磁性層30の少なくとも一部は絶縁層20を介して第1強磁性層10の磁化自由領域12の少なくとも一部に接続して設けられ、第3強磁性層15の少なくとも一部は第1強磁性層10の第1、または第2磁化固定領域11a、11bの少なくとも一部に磁気的に接続して設けられていればよく、当該相対的な位置関係に限定されない。
図24、図25A、図25B、図26A、図26Bは、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第5の変形例での書き込み電流の経路を模式的に示す断面図及び斜視図である。本発明に係る磁気抵抗効果素子80では、第1磁化固定領域11aと磁化自由領域12との間、又は第2磁化固定領域11bと磁化自由領域12との間に書き込み電流を通じることにより書き込みを行う。この書き込み電流はどのような経路で供給され、どのような経路へと流れていっても構わない。
図27は、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第6の変形例での書き込み方法を模式的に示す断面図である。本発明に係る磁気抵抗効果素子80の書き込み方法としては、第1磁化固定領域11aと磁化自由領域12との間、または第2磁化固定領域11bと磁化自由領域12との間で電流を通ずることによって、第1磁化固定領域11aと磁化自由領域12との境界、または第2磁化固定領域11bと磁化自由領域12との境界に形成される磁壁(DW)を移動させることで行う。しかし、このとき磁壁(DW)は磁化自由領域12では第2強磁性層30とxy平面においてオーバーラップする領域を超えさえすればよい。従って、図2に示されるように、書き込みにおいては磁壁を磁化自由領域12の端部から完全に抜ききってもよいが、図27での右側の図に示されるように抜ききらずに、残してもよい。なお、図27では磁壁は磁化自由領域12と電極層115の境界付近で止まる例について示されているが、磁壁が止まる位置は、第2強磁性層30とオーバーラップする領域を超えさえすればどこであっても構わない。
図28A〜図28Cは、本発明の実施例に係る磁気抵抗効果素子の第7の変形例の構造を模式的に示す平面図である。本発明に係る第1強磁性層10の形状が任意であることは第1の変形例で説明されるとおりであるが、第7の変形例においてはこの任意性がさらに拡張される。すなわち、第1の変形例においては第1強磁性層10が“三叉路”状に形成されるものとしている。しかし、本発明においては第1磁化固定領域11aと第2磁化固定領域11bはともに磁化自由領域12の一部に接続されればよく、その位置関係は任意である。従って、図28A、図28Bに示されるように、“三叉路”を形成することなく本発明を実施することも可能である。さらに、図28Cに示されるように、第1強磁性層10と同じレイヤーに電極層115を設け、第1、及び第2磁化固定領域11a、11bから磁化自由領域12を通り、電極層115へと繋がる経路で書き込み電流を通ずることで書き込みを行ってもよい。
Claims (14)
- 第1強磁性層と、
前記第1強磁性層に隣接して設けられる絶縁層と、
前記絶縁層に隣接して前記第1強磁性層とは反対側に設けられる第2強磁性層とを具備し、
前記第1強磁性層は、
反転可能な磁化を有し、前記第2強磁性層とオーバーラップする磁化自由領域と、
第1固定磁化を有し、前記磁化自由領域の一部に接続される第1磁化固定領域と、
第2固定磁化を有し、前記磁化自由領域の前記一部に接続される第2磁化固定領域とを備え、
前記第1強磁性層は膜面垂直方向への磁気異方性を有し、
前記第1固定磁化と前記第2固定磁化は、膜面垂直方向で、互いに反平行に固定され、
前記第1磁化固定領域と前記磁化自由領域との間、又は、前記第2磁化固定領域と前記磁化自由領域との間で電流を流して磁壁を移動させることで、前記第1強磁性層にデータを記録する
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項1に記載の磁気ランダムアクセスメモリにおいて、
前記磁化自由領域、前記第1磁化固定領域、及び前記第2磁化固定領域は、三叉路を形成する
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項1又は2に記載の磁気ランダムアクセスメモリにおいて、
前記第1磁化固定領域及び前記第2磁化固定領域のうちの少なくとも一部に隣接して設けられた第3強磁性層を更に具備する
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項3に記載の磁気ランダムアクセスメモリにおいて、
前記第3強磁性層が膜面垂直方向への磁気異方性を有する材料により構成される
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項3に記載の磁気ランダムアクセスメモリにおいて、
前記第3強磁性層が膜面長手方向への磁気異方性を有する材料により構成される
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の磁気ランダムアクセスメモリにおいて、
前記磁化自由領域が、前記第1磁化固定領域及び前記第2磁化固定領域との接続部とは反対側の端部に向かって幅が狭くなる
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の磁気ランダムアクセスメモリにおいて、
前記第1強磁性層にノッチが設けられる
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の磁気ランダムアクセスメモリにおいて、
前記第1強磁性層は、断面形状の変調が設けられている
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 磁気ランダムアクセスメモリのデータの書き込み方法であって、
ここで、前記磁気ランダムアクセスメモリは、
第1強磁性層と、
前記第1強磁性層に隣接して設けられる絶縁層と、
前記絶縁層に隣接して前記第1強磁性層とは反対側に設けられる第2強磁性層とを具備し、
前記第1強磁性層は、
反転可能な磁化を有し、前記第2強磁性層とオーバーラップする磁化自由領域と、
第1固定磁化を有し、前記磁化自由領域の一部に接続される第1磁化固定領域と、
第2固定磁化を有し、前記磁化自由領域の前記一部に接続される第2磁化固定領域とを備え、
前記第1強磁性層は膜面垂直方向への磁気異方性を有し、
前記第1固定磁化と前記第2固定磁化は、膜面垂直方向で、互いに反平行に固定され、
前記第1磁化固定領域と前記磁化自由領域との間、又は、前記第2磁化固定領域と前記磁化自由領域との間で電流を流して磁壁を移動させることで、前記第1強磁性層にデータを記録し、
前記磁気ランダムアクセスメモリのデータの書き込み方法は、
(A)第1データを書き込む場合、第1書き込み電流を、前記磁化自由領域から前記第1磁化固定領域に流すステップと、
(B)第2データを書き込む場合、第2書き込み電流を、前記磁化自由領域から前記第2磁化固定領域に流すステップと
を具備する
磁気ランダムアクセスメモリのデータの書き込み方法。 - 第1強磁性層と、
前記第1強磁性層に隣接して設けられる絶縁層と、
前記絶縁層に隣接して前記第1強磁性層とは反対側に設けられる第2強磁性層とを具備し、
前記第1強磁性層は、
反転可能な磁化を有し、前記第2強磁性層とオーバーラップする磁化自由領域と、
第1固定磁化を有し、前記磁化自由領域の一部に接続される第1磁化固定領域と、
第2固定磁化を有し、前記磁化自由領域の前記一部に接続される第2磁化固定領域とを備え、
前記第1強磁性層は膜面垂直方向への磁気異方性を有し、
前記第1固定磁化と前記第2固定磁化は、膜面垂直方向で、互いに反平行に固定され、
前記第1磁化固定領域と前記磁化自由領域との間、又は、前記第2磁化固定領域と前記磁化自由領域との間で電流を流して磁壁を移動させることで、前記第1強磁性層にデータを記録し、
前記第1磁化固定領域及び前記第2磁化固定領域のうちの少なくとも一部に隣接して設けられた第3強磁性層を更に具備し、
前記第3強磁性層が膜面長手方向への磁気異方性を有する材料により構成される
磁気抵抗効果素子。 - 請求項10に記載の磁気抵抗効果素子において、
前記磁化自由領域、前記第1磁化固定領域、及び前記第2磁化固定領域は、三叉路を形成する
磁気抵抗効果素子。 - 請求項10又は11に記載の磁気抵抗効果素子において、
前記磁化自由領域が、前記第1磁化固定領域及び前記第2磁化固定領域との接続部とは反対側の端部に向かって幅が狭くなる
磁気抵抗効果素子。 - 請求項10又は11に記載の磁気抵抗効果素子において、
前記第1強磁性層にノッチが設けられる
磁気抵抗効果素子。 - 請求項10又は11に記載の磁気抵抗効果素子において、
前記第1強磁性層は、断面形状の変調が設けられている
磁気抵抗効果素子。
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