JP4945721B2 - 磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ装置 - Google Patents
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Description
図20は、磁壁の移動のメカニズムを示す概念的斜視図であり、上図は単一磁壁が形成された磁性体ワイヤ81に電流Iを流した場合の状態を示す図であり、磁性体ワイヤ81のX方向に左側から電流Iを流すと電子の運動量が単一磁壁82に作用して単一磁壁82の磁気モーメントがZ方向に角度φ0
だけ捩じれて立ち上がって移動することになる。
FMT∝I
で表される。
Δx∝Is Δt
となるので、この比例関係から
dX/dt=Is
を仮定することができる。
ここで、スピンが作用する力FSTは、変位量Xの時間についての二次微分になるので、
FST∝d2X/dt2∝dIs/dt
で表される。
なお、図における符号5,6は、磁性体ワイヤ1に電流3を流すための電極である。
図1参照
(1)上記課題を解決するために、本発明は、磁気抵抗効果素子において、単一磁壁2を束縛する磁壁ポテンシャル7を形成する磁性体ワイヤ1、磁性体ワイヤ1に単一磁壁2を導入する磁界を発生させる磁界印加手段、磁壁ポテンシャル7により決定される共鳴振動周波数成分を含む電流3を印加する駆動電流印加手段を少なくとも備えたことを特徴とする。
また、この様な磁性体ループに拘束外部磁界4を印加することによって、共鳴振動周波数を任意に変動させることができる。
或いは、ピン止め領域は、第1の磁性体層に形成された形状欠陥領域、例えば、第1の磁性体層の長さ方向に沿って形成された幅細領域又は第1の磁性体層の長さ方向に沿って形成された肉薄領域からなる形状欠陥領域でも良い。
また、第2の磁性体層の非磁性中間層と反対側に反強磁性層を設けても良い。
図2参照
図2は、本発明の実施例1の単一磁壁共鳴素子の平面図であり、表面を酸化した単結晶のシリコン基板11上に電子ビームリソグラフィーを用いて形成したレジストパターン(図示を省略)をリフトオフ用パターンとして利用して軟強磁性体であるNi81Fe19を厚さが、例えば、45nmになるようにスパッタリング成膜したのち、レジストパターンを除去することによって、幅が、例えば、70nmで半径rが50μmの半円弧状の磁性体ループ12を形成する。
このCu接地電極15,16は、一対のCu電極13,14に高周波電流が寄生容量を介して導通するのを防止するためとインピーダンス整合を取るために設けるものである。
図3は、単一磁壁の導入方法の説明図であり、磁性体ループ12にY方向から例えば、10kOeの導入磁界Hini を印加すると磁性体ループ12中の磁化は導入磁界Hini
方向に整列する。
なお、この単一磁壁17のx方向の長さは、磁力顕微鏡(MFM)による磁化分布の観察から、磁性体ループ12の幅と同程度の幅、即ち、〜70nm程度であることを確認した。
図4は、単一磁壁の消去方法の説明図であり、磁性体ループ12にX方向から例えば、10kOeの消去磁界Heli を印加すると磁性体ループ12中の磁化は導入磁界Heli
方向に整列する。
図5は、単一磁壁のポテンシャルエネルギーの説明図であり、上図に示すように、磁性体ループ12のY方向に拘束外部磁界Hを印加すると、磁性体ループ12の底部の磁壁ポテンシャルエネルギーを0とすると、半円弧状の磁性体ループ12の両端部の磁壁ポテンシャルエネルギーは−QM
Hy となる。
但し、ここで、QM は磁壁の固有磁荷であり、磁性体ループ12を構成する磁性体の飽和磁気モーメントをMs 、磁性体ループ12の断面積をSとすると、QM
は、 QM =2Ms S
で表される。
で共鳴振動すると考えられ、その値の2乗は、
fe 2 =QM H/(4π2 mr)
で表されることになる。
F(f)=FTM+FST
となり、
FTM=enSIRDW(1−iαhf/K)
FST=−i〔h2 /(2πeKλ)〕・fIS
で近似されることになる。
但し、eは素電荷、nは伝導電子密度、Sは磁性体ループの断面積、Iは駆動電流、RDWは磁壁による電気抵抗、iは虚数、αはスピンの摩擦による減衰係数、Kは形状異方性エネルギー定数、hはプランク定数、fは駆動電流の周波数、λは単一磁壁の長さ、Is
は駆動電流のスピンカレントである。
ΔR(f)=〔1/(8π2 mτI2 )〕×f2|F(f)|2
/〔(f2 −fe 2 )2 +(f/2πτ)2〕
で表されることになる。
但し、τは、
τ=h/(2πKα)
である。
図6は、ΔR(f)の周波数依存性の説明図であり、上図はMomentun Transferによる抵抗増加成分ΔRMTの周波数依存性であり、下図はSpin Transferによる抵抗増加成分ΔRsTの周波数依存性であり、周波数依存性が全く異なっている。
なお、ここでは、1/τ=20MHzとした場合の依存性を示している。
ここで、高周波電流Iの振幅は100μAとした。
この測定に当たっては、一対のCu電極13,14間のインピーダンスZを予め測定し、Zの実数部を抵抗R(=ReZ)として、高周波電流Iの振幅が100μAとなるように電圧を印加する。
図7は測定した抵抗Rの周波数依存性の説明図であり、上図は磁性体ループに単一磁壁が形成されている場合の抵抗を示し、下図は単一磁壁が存在しない場合の抵抗を示しており、この差を取ることによってΔR(f)が得られることになる。
の近傍で磁壁の移動が著しく大きくなり、電流の持つエネルギーが磁壁の運動に消費されるため、交流抵抗が増大することを示している。
図8は、この様な駆動電流の下で拘束外部磁界Hを0〔Oe〕〜150〔Oe〕の範囲で掃引した場合のΔR(f)の周波数依存性の説明図であり、拘束外部磁界Hが大きくなるに連れて共鳴周波数fe
が大きくなることが理解される。
図9は、共鳴周波数fe の拘束外部磁界H依存性の説明図であり、ここでは、縦軸を共鳴周波数fe の二乗とすることによって、fe
2 がHにほぼ比例していることが確認された。
このことは、上述の
fe 2 =QM H/(4π2 mr)
と矛盾しない結果である。
m=(6.55±0.06)×10-23 〔kg〕
の値が得られた。
m=h2 N/(4π2 Kλ2 )
にλ=70nmの数値を代入して得られるm〜1×10-22 kgと矛盾しない結果である。
なお、ここで、Nは、単一磁壁内のスピン数、即ち、スピンを持った原子数で、強磁性体においては全原子数となる。
図10は、上述の測定結果のうちのH=100〔Oe〕の条件下において測定したΔRを適当にピックアップしてプロットした図であり、このプロット図をスムーシングして上述の図6と対比すると、従来の予想に反して抵抗の変化ΔRにはMomentum Transferによる抵抗増加成分ΔRMTが大きく寄与し、Spin Transferによる抵抗増加成分ΔRSTの寄与が殆どないことが判明した。
図11は、単一磁壁を形成した磁性体ループの抵抗RwithDWの拘束外部磁界H依存性を高周波電流の各周波数について示したもので、3MHzのように周波数が低い場合には、拘束外部磁界Hを大きくしていくことによって、抵抗RwithDWを高抵抗から低抵抗へ移動することができる。
なお、今回の実験条件では、図8から明らかなように0〔Oe〕〜150〔Oe〕の範囲内では25MHz以上の高周波領域に共鳴周波数が存在しない。
図12は本発明の実施例2のMRAMの概略的要部断面図であり、まず、n型シリコン基板21の所定領域にp型ウエル領域22を形成するとともに、n型シリコン基板21を選択酸化することによって素子分離酸化膜23を形成したのち、素子形成領域にゲート絶縁膜24を介して読み出し用のセンス線25となるWSiからなるゲート電極を形成し、このゲート電極をマスクとしてAs等のイオンを注入することによってn-
型LDD(Lightly Doped Drain)領域26を形成する。
型ドレイン領域28及びn+ 型ソース領域29を形成し、次いで、TEOS(Tetra−Ethyl−Ortho−Silicate)−NSG膜からなる厚い第1層間絶縁膜30を形成したのち、n+
型ドレイン領域28及びn+ 型ソース領域29に達するコンタクトホールを形成し、このコンタクトホールをTi/TiNを介してWで埋め込むことによってWプラグ31,32を形成する。
O3 (或いは、MgO)/CoFe積層構造の磁気記憶部40を形成する。
なお、磁気記憶部40のサイズは磁壁の移動に高周波電流の共鳴振動現象の効果が現れる範囲であれば良く、このような効果はサイズが小さいほど顕著になるため小さいほど良いが、リソグラフィー工程等の加工工程の限界に依存するが、幅10〜500nm、長さ、50nm〜5000nm、例えば、50nm×500nmとする。
次いで、全面に、TiN/Al/TiN構造の多層導電層を堆積させたのち、書込み用のワード線38と直交する方向に延在するようにパターニングしてビット線47を形成することによって、MRAMの基本構造が完成する。
図13は、上述のMRAMの等価回路図であり、ワード線38とビット線47との交点に磁気記憶部40が配置された構成となり、ビット線47の端部にはセンスアンプ48が接続された構造となる。
図14は、磁気メモリセルの概念的構成図であり、磁気記憶部40の上部のCoFe層45がビット線47に接続され、下部のNi81Fe19層41の一端がアクセストランジスタ49を構成するn+
型ドレイン領域28に接続された構成となり、他端がワード線38に接続された構成となる。
図15は、書込時の磁気メモリセルの概念的構成図であり、磁気記憶部40への書込みは、センス線25へのVselectを印加してしてアクセストランジスタ49をオンにした状態で、ワード線38の電位をアクセストランジスタ49のソース領域に接続する接地線からワード線38へ直流電流に高周波電流を重畳させた書込電流が流れるように設定する。
図16は、読出時の磁気メモリセルの概念的構成図であり、磁気記憶部40からの読み出しは、センス線25にVselectを印加してアクセストランジスタ49をオンにした状態で、ビット線47にVreadを印加し、ビット線47に流れる電流をセンスアンプ49で測定することによって、センス線25とビット線47との間が高抵抗状態であることを検出する。
また、書き込み用のワード線38は、下部電極37と同じ工程で形成するために、積層構造が従来の磁界書込型MRAMに比べて一層分簡素化することが可能になる。
図17は本発明の実施例3のMRAMを構成する磁気記憶部の概略的斜視図であり、データ書込層となるNi81Fe19層41の二箇所に幅細部51,52を形成し、この幅細部51,52を単一磁壁50のピン止め部としたものである。
図18は本発明の実施例4のMRAMを構成する磁気記憶部の概略的斜視図であり、データ書込層となるNi81Fe19層41の二箇所に肉薄部53,54を形成し、この肉薄部53,54を単一磁壁50のピン止め部としたものである。
例えば、図12の第3層間絶縁膜39上に薄い絶縁膜を形成したのち、肉厚部を形成する領域をエッチングしたのち、レジストパターンをそのままリフトオフ用マスクとしてNi81Fe19層を形成し、次いで、レジストパターンを除去したのち、Ni81Fe19層、トンネル絶縁層44及びCoFe層45を成膜後の選択エッチング或いはリフトオフパターン形状によって形成すれば良い。
図19は本発明の実施例5のMRAMを構成する磁気記憶部の概略的斜視図であり、磁気記憶部55の磁化固定層となるCoFe層45上にCoFe層45の磁化方向を固定するPdPtMnからなる反強磁性層56を設けたものである。
例えば、上記の実施例1においては、電流誘導磁壁移動を正確に測定し、単一磁壁の質量を正確に導出するために、磁性体ループを半円弧状にしているが、この現象が正確に把握できた以上、形状は正確な半円弧状である必要はなく、放物線状等の他の二次曲線状でも良く、その場合には、測定用サンプルを用いて共鳴振動周波数を測定し、測定した共鳴振動周波数成分を含む高周波電流を印加すれば良い。
O3 膜の代わりにCu等の非磁性導電体層を用いてCPP構造のスピンバルブ膜で構成しても良いものである。
Claims (14)
- 単一磁壁を束縛する磁壁ポテンシャルを形成する磁性体ワイヤ、前記磁性体ワイヤに単一磁壁を導入する磁界を発生させる磁界印加手段、前記磁壁ポテンシャルにより決定される共鳴振動周波数成分を含む電流を印加する駆動電流印加手段を少なくとも備えたことを特徴とする磁気抵抗効果素子。
- 上記駆動電流印加手段から印加される共鳴振動周波数成分を含む電流が、共鳴振動周波数成分を含む高周波電流であることを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果素子。
- 上記磁性体ワイヤが円弧状の磁性体ループよりなるとともに、上記単一磁壁を拘束する拘束外部磁界を印加する拘束外部磁界印加手段を備え、上記磁壁ポテンシャルが前記磁性体ループの形状と前記拘束外部磁界に依存することを特徴とする請求項1または2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 上記磁壁ポテンシャルが、上記磁性体ワイヤに局所的に形成された磁性劣化領域或いは形状欠陥領域のいずれかにより形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 半導体基板上に、二箇所のピン止め領域を設けた第1の磁性体層と磁化方向が固定された第2の磁性体層とが非磁性中間層を介して積層された磁気抵抗記憶素子を少なくとも備え、前記第1の磁性体層の一端側に第1の配線層を接続するとともに前記第1の磁性体層の他端側に第2の配線層を接続し、且つ、前記第2の磁性体層に第3の配線層を接続し、前記第1の配線と第2の配線との間に前記ピン止め領域近傍の磁壁ポテンシャルにより決定される共鳴振動周波数成分を含む電流を流して前記第1の磁性体層のピン止め領域に拘束された単一磁壁を移動させて情報を書き込むとともに、前記第1の配線と第3の配線との間に電圧を印加して前記第1の配線と第3の配線との間に流れる電流を検出することによって情報の読出を行うことを特徴とする磁気メモリ装置。
- 上記共鳴振動周波数成分を含む電流が、共鳴振動周波数成分を含む高周波電流であることを特徴とする請求項5記載の磁気メモリ装置。
- 上記ピン止め領域は、上記第1の磁性体層に形成された磁性劣化領域からなることを特徴とする請求項5または6に記載の磁気メモリ装置。
- 上記磁性劣化領域が、イオン注入領域からなることを特徴とする請求項7記載の磁気メモリ装置。
- 上記ピン止め領域は、上記第1の磁性体層に形成された形状欠陥領域からなることを特徴とする請求項5または6に記載の磁気メモリ装置。
- 上記形状欠陥領域が、上記第1の磁性体層の長手方向の側面に設けた凹部からなることを特徴とする請求項9に記載の磁気メモリ装置。
- 上記形状欠陥領域が、上記第1の磁性体層の長手方向に直交する方向に設けた肉薄領域からなることを特徴とする請求項9に記載の磁気メモリ装置。
- 上記非磁性中間層が、トンネル絶縁膜からなることを特徴とする請求項5乃至11のいずれか1項に記載の磁気メモリ装置。
- 上記非磁性中間層が、非磁性導電膜からなることを特徴とする請求項5乃至11のいずれか1項に記載の磁気メモリ装置。
- 上記第2の磁性体層の上記非磁性中間層と反対側に反強磁性層を設けたことを特徴とする請求項5乃至13のいずれか1項に記載の磁気メモリ装置。
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