JP6769569B2 - 磁壁移動型磁気記録素子 - Google Patents
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Description
「第1実施形態」
図1は、第1実施形態に係る磁壁移動型磁気記録素子100を模式的に示した断面図である。磁壁移動型磁気記録素子100は、記録部60と制御部75とを備えている。記録部60は、第1強磁性層10と磁気記録層20と非磁性層30とを備える。記録部60は、データを書き込み、読み出しするための部分である。制御部75は、基体80と中間体(平坦化層)70を有している。制御部75は、記録部60の磁壁21の動きを制御する凹凸構造を形成するために設けられた部分である。制御部75は、間接的に記録部60の磁壁21を制御するが、制御部75が能動的に磁壁21の動きを制御するわけではない。図1に示す磁壁移動型磁気記録素子100は、第1強磁性層10の積層方向から見て、第1強磁性層10を挟む位置に、第1電極41と第2電極42とを備えている。
<第1強磁性層>
第1強磁性層10は、強磁性体を含む。例えば、第1強磁性層10は、複数の層で構成されている。第1強磁性層10を構成する強磁性材料としては、例えば、Cr、Mn、Co、Fe及びNiからなる群から選択される金属、これらの金属を1種以上含む合金、これらの金属とB、C、及びNの少なくとも1種以上の元素とが含まれる合金等を用いることができる。具体的には、Co−Fe、Co−Fe−B、Ni−Fe、CoHo2、SmFe12等が挙げられる。
磁気記録層20は、第1強磁性層10に面する。ここで「面する」とは、他の層と対向していることを意味し、間に他の層を挟む場合も含む。磁気記録層20は、第1強磁性層10と非磁性層30を挟む。磁気記録層20は、第1強磁性層10の一方の側(図1では下側)に積層されている。磁気記録層20は、積層方向Lと交差する第1の方向(図1ではx方向)に延びる。磁気記録層20は、例えば、z方向からの平面視で、x方向に長軸を有し、y方向に短軸を有する長方形である。
非磁性層30は、第1強磁性層10と磁気記録層20との間に挟まれている。非磁性層30には、公知の材料を用いることができる。例えば、非磁性層30が絶縁体からなる場合(トンネルバリア層である場合)、その材料としては、Al2O3、SiO2、MgO、及び、MgAl2O4等を用いることができる。また、これらの他にも、非磁性層30として、Al、Si、Mgの一部が、Zn、Be等に置換された材料等も用いることができる。これらの中でも、MgOやMgAl2O4はコヒーレントトンネルが実現できる材料であるため、スピンを効率よく注入することができる。非磁性層30が金属からなる場合、その材料としては、Cu、Au、Ag等を用いることができる。さらに、非磁性層30が半導体からなる場合、その材料としては、Si、Ge、CuInSe2、CuGaSe2、Cu(In,Ga)Se2等を用いることができる。
第1電極41と第2電極42とは、z方向から見て第1強磁性層10をx方向に挟む位置に配設されている。第1電極41、第2電極42は、Cu、Al、Au等の導電材料でもよい。また第1電極41は、磁化がx方向に配向した強磁性体であり、第2電極42は、磁化が−x方向に配向した強磁性体であってもよい。第1電極41又は第2電極42を通過する際に、電流はスピン偏極する。スピン偏極した電流が磁気記録層20に注入されることで、磁気記録層20の第1の磁区22と第2の磁区23との比率が変化する。
<中間体(平坦化層)>
中間体70は、基体80と磁気記録層20との間に位置する。中間体70は、磁気記録層20の第2面20Bの凹凸構造24を埋め、平坦化している。磁気記録層20を基準に見た場合、中間体70は平坦化層と捉えることができる。
基体80は、例えば、基板と、基板の中間体70側の一面に積層された下地層とを有する。基板は、例えば、シリコン等の半導体基板である。基体80は、下地層を有さず、基板のみからなってもよい。
<下地層>
下地層は、例えば、Fe、Cu、Ni、Co、Si、SiO2、Al2O3、MgO等である。中間体70の第1面70Aの凹凸は、下地層との関係で形成される。例えば、下地層により中間体70の結晶成長が粒状になり、中間体70の第1面70Aに凹凸が形成される。また例えば、下地層と中間体70との表面エネルギーの違いを利用して、中間体70の第1面70Aに凹凸が形成される。
図8は、第2実施形態に係る磁壁移動型磁気記録素子の断面模式図である。図8に示す磁壁移動型磁気記録素子101は、中間体70が基板80に近い位置から、トラップ補強部材90と、トラップ補強部材90を被覆する絶縁層91とからなる点において、図1に示す磁壁移動型磁気記録素子100と異なる。磁壁移動型磁気記録素子100と同様の構成については、同様の符号を付し、説明を省く。
図11、12は、第3実施形態に係る磁壁移動型磁気記録素子の断面模式図である。図11、12に示す磁壁移動型磁気記録素子102、103は、磁気記録層の凹凸構造24において、一部の凹部または凸部(第2の形状の凸部又は凹部)が、他の凹部または凸部(第1の形状の凸部又は凹部)と異なった形状を有する点で、図1に示す磁壁移動型磁気記録素子101と異なる。第1の形状が凸部の場合、第2の形状は凸部であり、第1の形状が凹部の場合、第2の形状は凹部である。第1実施形態に係る磁壁移動型磁気記録素子と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省く。以下、第1の形状が凸部25であり、第2の形状が凸部24aである場合を例に説明する。
図13は、第4実施形態に係る磁壁移動型磁気記録素子の断面模式図である。図13に示す磁壁移動型磁気記録素子104は、磁気記録層20と非磁性層30との間に、磁気記録層20の磁化状態を反映する第2強磁性層50を備える点が、図1に示す磁壁移動型磁気記録素子100と異なる。第1実施形態に係る磁壁移動型磁気記録素子100と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省く。なお、第4実施形態に係る磁壁移動型磁気記録素子の構成は、第1〜第3の実施形態のいずれの素子に対しても適用することができる。
図14は、第2実施形態に対し、「記録部60を複数有する構成」を加えた第5実施形態に係る、磁壁移動型磁気記録素子105の平面模式図である。図14に示す磁壁移動型磁気記録素子105は、記録部60を複数有する点が、図8に示す磁壁移動型磁気記録素子101と異なる。第2実施形態に係る磁壁移動型磁気記録素子100と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省く。なお、第5実施形態に係る磁壁移動型磁気記録素子105の構成は、他の実施形態のいずれの素子に対しても適用することができる。
図16は、第6実施形態に係る磁気記録アレイ200の平面図である。図16に示す磁気記録アレイ200は、磁壁移動型磁気記録素子の記録部60が3×3のマトリックス配置をしている。図16は、磁気記録アレイの一例であり、記録部60の種類、数及び配置は任意である。また、制御部は、全ての記録部60に渡って存在するように設けてもよいし、記録部60毎に設けてもよい。
20 磁気記録層
20A、70A、28A 第1面
20B、70B 第2面
21 磁壁
22 第1の磁区
23 第2の磁区
24、74 凹凸構造
24a、74a 凸部
24b、74b 凹部
25 第1凸部
26 第2凸部
28、29 磁性体
30 非磁性層
41 第1電極
42 第2電極
50 第2強磁性層
60 記録部
70 中間体(平坦化層)
75 制御部
80 基体
81 基板
82 下地層
90 トラップ補強部材
91 絶縁層
100〜105、100A、101A、105A 磁壁移動型磁気記録素子
200 磁気記録アレイ
Claims (15)
- 強磁性体を含む第1強磁性層と、
前記第1強磁性層に面する非磁性層と、
前記非磁性層の前記第1強磁性層と反対側の面に面し、第1の方向に延びる磁気記録層と、
前記磁気記録層の前記非磁性層に面する第1面と反対側の第2面に面する基体と、
前記基体と前記磁気記録層との間に位置する中間体と、を備え、
前記磁気記録層は、前記第2面に、凹凸構造を有し、
前記中間体は、非磁性のトラップ補強部材であり、
前記トラップ補強部材は、前記基体の一面に点在する、または、前記磁気記録層の前記第2面側に凹凸を有する層であることを特徴とする磁壁移動型磁気記録素子。 - 強磁性体を含む第1強磁性層と、
前記第1強磁性層に面する非磁性層と、
前記非磁性層の前記第1強磁性層と反対側の面に面し、第1の方向に延びる磁気記録層と、
前記磁気記録層の前記非磁性層に面する第1面と反対側の第2面に面する基体と、
前記基体と前記磁気記録層との間に位置する中間体と、を備え、
前記磁気記録層は、前記第2面に、凹凸構造を有し、
前記中間体は、前記基体に近い位置から、トラップ補強部材と、前記トラップ補強部材を被覆する絶縁層と、を有し、
前記トラップ補強部材は、前記基体の一面に点在する、または、前記磁気記録層の前記第2面側に凹凸を有する層であることを特徴とする磁壁移動型磁気記録素子。 - 前記第1面は、前記第2面より算術平均粗さが小さい、請求項1又は2に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 前記凹凸構造は、前記第1強磁性層、前記非磁性層及び前記磁気記録層の積層方向からの平面視で、前記凹凸構造をなす凸部の頂点位置が不規則である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 前記第1強磁性層、前記非磁性層及び前記磁気記録層からなる記録部を複数有し、
前記複数の記録部は、前記第1の方向と交差する第2の方向に並び、
前記トラップ補強部材は、前記複数の記録部に亘って、同一面内に広がる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。 - 前記第1強磁性層、前記非磁性層及び前記磁気記録層からなる記録部を複数有し、
前記トラップ補強部材又は前記トラップ補強部材における凸部は、前記複数の記録部に亘って、前記第1の方向と交差する第2の方向に延在する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。 - 前記凹凸構造は、前記第1の方向に、周期性を有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 強磁性体を含む第1強磁性層と、
前記第1強磁性層に面する非磁性層と、
前記非磁性層の前記第1強磁性層と反対側の面に面し、第1の方向に延びる磁気記録層とを備え、
前記磁気記録層は、前記非磁性層に面する第1面と反対側の第2面に、凹凸構造を有し、
前記凹凸構造は、第1形状の凹部又は凸部と、前記第1形状より体積が大きい第2形状の凹部又は凸部と、を有し、
前記第2形状の凹部または凸部は、前記第1強磁性層、前記非磁性層及び前記磁気記録層の積層方向からの平面視において、前記第1強磁性層の端面と重なる位置にあることを特徴とする磁壁移動型磁気記録素子。 - 前記第2形状の凹部または凸部は、前記第1形状の凹部または凸部より前記第1の方向に大きい、請求項9に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 前記第2形状の凹部または凸部は、前記第1形状の凹部または凸部より前記積層方向に大きい、請求項9又10に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 前記磁気記録層と前記非磁性層との間に、前記磁気記録層の磁化状態を反映する第2強磁性層を備える、請求項1〜11のいずれか一項に記載の磁壁移動型磁気記録素子。
- 強磁性体を含む第1強磁性層と、
前記第1強磁性層の一方の側に積層され、積層方向と交差する第1の方向に延在し、磁壁を有し、前記第1強磁性層と反対側に、前記磁壁をトラップする凹凸構造を有する磁気記録層と、
前記第1強磁性層と前記磁気記録層との間に挟まれた非磁性層と、を備える記録部と、 前記磁気記録層の前記第1強磁性層と反対側に積層され、前記磁気記録層の凹凸構造を平坦化する平坦化層と、前記磁気記録層の前記非磁性層に面する第1面と反対側の第2面に面する基体と、を有する制御部と、を備え、
前記平坦化層は、非磁性のトラップ補強部材であり、
前記トラップ補強部材は、前記基体の一面に点在する、または、前記磁気記録層の前記第2面側に凹凸を有する層であることを特徴とする磁壁移動型磁気記録素子。 - 強磁性体を含む第1強磁性層と、
前記第1強磁性層の一方の側に積層され、積層方向と交差する第1の方向に延在し、磁壁を有し、前記第1強磁性層と反対側に、前記磁壁をトラップする凹凸構造を有する磁気記録層と、
前記第1強磁性層と前記磁気記録層との間に挟まれた非磁性層と、を備える記録部と、 前記磁気記録層の前記第1強磁性層と反対側に積層され、前記磁気記録層の凹凸構造を平坦化する平坦化層と、前記磁気記録層の前記非磁性層に面する第1面と反対側の第2面に面する基体と、を有する制御部と、を備え、
前記平坦化層は、前記基体に近い位置から、トラップ補強部材と、前記トラップ補強部材を被覆する絶縁層と、を有し、
前記トラップ補強部材は、前記基体の一面に点在する、または、前記磁気記録層の前記第2面側に凹凸を有する層であることを特徴とする磁壁移動型磁気記録素子。 - 強磁性体を含む第1強磁性層と、
前記第1強磁性層の一方の側に積層され、積層方向と交差する第1の方向に延在し、磁壁を有し、前記第1強磁性層と反対側に、前記磁壁をトラップする凹凸構造を有する磁気記録層と、
前記第1強磁性層と前記磁気記録層との間に挟まれた非磁性層と、を備える記録部と、 前記磁気記録層の前記第1強磁性層と反対側に積層され、前記磁気記録層の凹凸構造を平坦化する平坦化層を有する制御部と、を備え、
前記凹凸構造は、第1形状の凹部又は凸部と、前記第1形状より体積が大きい第2形状の凹部又は凸部と、を有し、
前記第2形状の凹部または凸部は、前記積層方向からの平面視において、前記第1強磁性層の端面と重なる位置にあることを特徴とする磁壁移動型磁気記録素子。
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