JP5444340B2 - 不揮発性メモリにおける読み出しディスターブの低減 - Google Patents

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Description

本発明は、不揮発性メモリに関する。
半導体メモリは、様々な電子デバイスで使われることが一般的になってきている。例えば、不揮発性半導体メモリは、携帯電話、デジタルカメラ、パーソナルデジタルアシスタント、モバイルコンピュータ、非モバイルコンピュータ、及び他の装置に使用されている。電気的消去・再書込み可能型読取専用メモリ(EEPROM)とフラッシュメモリは、最も普及している不揮発性半導体メモリである。フラッシュメモリに関しては、ある種のEEPROMもそうであるが、通常のフル装備のEEPROMとは異なり、全メモリアレイまたは一部分のメモリの内容を、1ステップで消去することができる。
通常のEEPROMとフラッシュメモリは、半導体基板内のチャネル領域上に配置されており、そのチャネル領域から絶縁されているフローティングゲートを有している。フローティングゲートは、ソース領域とドレイン領域の間に配置されている。フローティングゲートの上に、そのフローティングゲートから絶縁されている制御ゲートが設けられている。このように形成されているトランジスタの閾値電圧(VTH)は、フローティングゲート上に保持されている電荷量によって制御される。即ち、トランジスタをオンしてそのソースとドレインの間の導通可能にするために必要な制御ゲートへの印加電圧の最小量は、そのフローティングゲート上の電荷量レベルにより制御される。
ある種のEEPROMとフラッシュメモリデバイスは、2つの範囲の電荷量を蓄えるために使われるフローティングゲートを備えており、それゆえ、その記憶素子は、2つの状態、即ち、消去状態とプログラムされた状態の間でプログラム/消去が行われることができる。そのようなフラッシュメモリデバイスは、各記憶素子が1ビットデータを記憶することができるので、バイナリフラッシュメモリデバイスと呼ばれる。
マルチステート(マルチレベルとも呼ばれる)フラッシュメモリデバイスは、複数の区別された許可された/有効なプログラム済閾値電圧範囲を特定することによって実現される。夫々の区別された閾値電圧範囲は、メモリデバイス内で符号化される一組のデータビットに対する予め決められた値に対応する。例えば、各記憶素子は、4個の区別された閾値電圧範囲に対応する4個の区別された電荷バンドの中の一つの状態に置かれることによって、2ビットのデータを記憶することができる。
通常、プログラム動作において制御ゲートに印加されるプログラム電圧VPGMは、時間の経過に伴って大きさが増大する一連のパルスとして印加される。一つのアプローチとしては、パルスの大きさは、連続するパルスの1つ毎に、例えば0.2−0.4Vの既定のステップサイズずつ増加する。VPGMは、フラッシュメモリ素子の制御ゲートに印加される。プログラムパルスの間の期間に検証動作が実行される。即ち、並列にプログラムされている素子グループの各素子のプログラムレベルは、連続するパルスとパルスの間に読み出され、素子がプログラムされている検証レベルと等しいか或いはそれ以上であるか否かが判定される。マルチステートフラッシュメモリ素子のアレイでは、素子の状態毎に検証ステップが実行され、データに対応する検証レベルにその素子が達したか否かが判定される。例えば、4つの状態のいずれかにデータを記憶可能なマルチステート記憶素子では、3つの比較点での検証動作が必要とされる。
さらに、EEPROM、或いは、NANDフラッシュメモリデバイスのようなフラッシュメモリデバイスのNANDストリングをプログラミングする場合、通常、制御ゲートにVPGMが印加されるとともにビットラインが接地され、それによって、セル、或いはメモリ素子、即ち、記憶素子のチャネルからフローティングゲートへ電子が注入される。フローティングゲートに電子が蓄積されると、フローティングゲートが負に帯電し、メモリ素子の閾値電圧が上昇し、メモリ素子がプログラムされた状態となる。そのようなプログラミングに関するさらなる情報は、「Source Side Self Boosting Technique For Non−Volatile Memory」と題した米国特許第6,859,397号、及び、「Detecting Over Programmed Memory」と題した2005年6月12日発行の米国特許第6,917,542号に開示されている。両者の文献の内容は、その全体を参照することにより本明細書に組み込まれる。
しかしながら、読み出しディスターブは未だに解決できない問題の1つである。読み出しディスターブとは、記憶素子の状態が、別の記憶素子を読み出す間に意図せず変化してしまうことである。さらに、厚さの薄いトンネル酸化物を使用する比較的新しいデバイスおよび多くのプログラム/消去サイクルを経たデバイスでは問題が悪化する。
本発明は、不揮発性記憶システムにおける読み出しディスターブを低減する方法を提供することによって、上記および他の問題に対処する。
一実施形態では、不揮発性記憶装置を動作させる方法は、1組の不揮発性記憶素子の中の少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子からのデータの読み出しを要求する読み出しコマンドを受信するステップを含み、少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子は1組のワードラインの中の選択されたワードラインに接続されている。方法は、さらに、読み出しコマンドに応じて、1組のワードラインの中の別のワードラインを選択するステップと、別のワードラインに接続されている不揮発性記憶素子に対して検出動作を実施するステップと、検出動作に基づいて少なくとも1つの比較レベルを決定するステップを含む。方法は、さらに、少なくとも1つの読み出し比較レベルを用いて少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を読み出すステップを含む。
別の実施形態では、不揮発性記憶装置を動作させる方法は、1組の不揮発性記憶素子の中の少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子からのデータの読み出しを要求する読み出しコマンドを受信するステップを含み、少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子は1組のワードラインの中の選択されたワードラインに接続されている。方法は、さらに、読み出しコマンドに応じて、1組のワードラインの中の別のワードラインを選定するステップと、別のワードラインに接続されている不揮発性記憶素子からデータを検出するステップと、エラー訂正処理を実行するステップと、エラー訂正処理に基づいて基準を決定するステップを含む。基準が閾値未満である場合は、方法は、さらに、別のワードラインに接続されている不揮発性記憶素子から検出されるデータに基づいて決定される少なくとも1つの読み出し比較レベルを用いて少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を読み出すステップを含む。基準が閾値を超える場合は、方法は、さらに、1組の不揮発性記憶素子のデータの完全性を調査するステップおよび/または1組の不揮発性記憶素子におけるデータに関してリフレッシュ動作を実施するステップを含む。
別の実施形態では、不揮発性記憶装置を動作させる方法は、1組の不揮発性記憶素子の中の少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子からのデータの読み出しを要求する読み出しコマンドを受信するステップを含み、1組の不揮発性記憶素子がデータを複数のデータ状態に記憶し、少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子が1組のワードラインの中の選択されたワードラインに接続されている。方法は、さらに、読み出しコマンドに応じて、1組のワードラインの中の別のワードラインを選択するステップと、複数のデータ状態の中のデータ状態の第1のペアの隣接する状態を互いに区別するために別のワードラインに接続されている不揮発性記憶素子に対して検出動作を実施するステップと、検出動作に基づいて、データ状態の第1のペアの隣接するデータ状態間の第1の読み出し比較レベル決定するステップとを含む。方法は、さらに、データ状態の第2のペアの隣接する状態を互いに区別する検出動作を実施せずに、第1の読み出し比較レベルに基づいて、複数のデータ状態の中のデータ状態の第2のペアの隣接するデータ状態間の第2の読み出し比較レベル決定するステップと、少なくとも第2の読み出し比較レベルを用いて少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を読み出すステップを含む。
別の実施形態では、不揮発性記憶装置を動作させる方法は、1組の不揮発性記憶素子からのデータの読み出しを要求する読み出しコマンドを受け取るステップを含み、1組の不揮発性記憶素子はデータを複数のデータ状態に記憶する。方法は、さらに、読み出しコマンドに応じて、複数のデータ状態の中のデータ状態の第1のペアの隣接する状態を互いに区別するために検出動作を実施するステップと、検出動作に基づいて、データ状態の第1のペアの隣接するデータ状態間の第1の読み出し比較レベルを決定するステップを含む。方法は、さらに、データ状態の第2のペアの隣接する状態を互いに区別する検出動作を実施せずに、第1の読み出し比較レベルに基づいて、複数のデータ状態の中のデータ状態の第2のペアの隣接するデータ状態間の第2の読み出し比較レベルを決定するステップと、少なくとも第2の読み出し比較レベルを用いて少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を読み出すステップを含む。
別の実施形態では、不揮発性記憶システムは、少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を含む1組の不揮発性記憶素子を含む。システムは、さらに、選択されたワードラインを含む1組の不揮発性記憶素子に接続されている1組のワードラインを含み、少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子は選択されたワードラインに接続されている。システムは、さらに、1組のワードラインと通信する少なくとも1つの制御部を含む。少なくとも1つの制御部は、(a)選択されたワードラインに接続されている少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子からのデータの読み出しを要求する読み出しコマンドを受信し、(b)読み出しコマンドに応じて、1組のワードラインの中の別のワードラインを選定し、別のワードラインに接続されている不揮発性記憶素子に対して検出動作を実施し、検出動作に基づいて少なくとも1つの読み出し比較レベルを決定し、(c)少なくとも1つの読み出し比較レベルを用いて少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を読み出す。
本明細書に記載される方法を実施するための対応する方法、システム、およびコンピュータ可読記憶デバイスまたはプロセッサ可読記憶デバイスが提供されてもよい。
NANDストリングの平面図である。 図1のNANDストリングの等価回路図である。 NANDフラッシュ記憶素子のアレイのブロック図である。 基板に形成されたNANDストリングの断面図である。 1組の不揮発性記憶素子の初期閾値電圧分布を対応する検証電圧および読み出し電圧とともに示す図である。 読み出しディスターブを受ける1組の不揮発性記憶素子の閾値電圧分布を示す図である。 図5bの閾値電圧分布の測定と対応する読み出し電圧の設定とを示す図である。 1組のワードラインにおける選択されたワードラインを示す図である。 別のワードラインに基づいて選択されたワードラインを読み出すための読み出し比較レベルを設定する処理を示す図である。 別のワードラインおよびエラー訂正基準に基づいて選択されたワードラインを読み出すための読み出し比較レベルを設定する処理を示す図である。 第1の読み出し比較レベルから追加の読み出し比較レベルを決定することによって選択されたワードラインを読み出すための読み出し比較レベルを設定する処理を示す図である。 第1の読み出し比較レベルから追加の読み出し比較レベルを決定することによって選択されたワードラインを読み出すための読み出し比較レベルを設定する処理のさらなる詳細を示す図である。 NANDフラッシュ記憶素子のアレイのブロック図である。 シングル行/列デコーダと読み出し/書き込み回路を使った不揮発性記憶システムのブロック図である。 デュアル行/列デコーダと読み出し/書き込み回路を使った不揮発性記憶システムのブロック図である。 検出ブロックの一実施形態のブロック図である。 全ビットラインメモリアーキテクチャまたは奇数偶数メモリアーキテクチャのためのブロックへのメモリアレイの編成の一例を示す図である。 閾値電圧分布の組の一例および1パスプログラミングを示す図である。 閾値電圧分布の組の一例および2パスプログラミングを示す図である。 種々の閾値電圧分布と、不揮発性メモリをプログラミングする処理を説明する図である。 種々の閾値電圧分布と、不揮発性メモリをプログラミングする処理を説明する図である。 種々の閾値電圧分布と、不揮発性メモリをプログラミングする処理を説明する図である。 不揮発性メモリをプログラミングする処理の一実施形態を説明する図である。 プログラミング中に不揮発性記憶素子の制御ゲートに印加されるパルス列の一例を示す図である。
本発明は、不揮発性記憶システムにおいて読み出しディスターブを低減する方法を提供する。
本発明を実現するのに適したメモリシステムの一例は、NANDフラッシュメモリ構造を利用するものであり、2つの選択ゲートの間に直列に接続された複数のトランジスタを含んでいる。直列に接続されたトランジスタと選択ゲートは、NANDストリングと呼ばれる。図1は、1つのNANDストリングを示す平面図である。図2は、その等価回路である。図1と図2に示すNANDストリングは、第1選択ゲート120と第2選択ゲート122の間に挟まれており、直列に接続されている4つのトランジスタ100、102、104及び106を有する。選択ゲート120は、NANDストリングのビットライン126への接続を切り換える。選択ゲート122は、NANDストリングのソースライン128への接続を切り換える。選択ゲート120は、制御ゲート120CGに適切な電圧を加えることによって制御される。選択ゲート122は、制御ゲート122CGに適切な電圧を加えることによって制御される。トランジスタ100、102、104、及び106の夫々は、制御ゲートとフローティングゲートを有している。トランジスタ100は、制御ゲート100CGとフローティングゲート100FGを備えている。トランジスタ102は、制御ゲート102CGとフローティングゲート102FGを備えている。トランジスタ104は、制御ゲート104CGとフローティングゲート104FGを備えている。トランジスタ106は、制御ゲート106CGとフローティングゲート106FGを備えている。制御ゲート100CGはワードラインWL3に接続されており、制御ゲート102CGはワードラインWL2に接続されており、制御ゲート104CGはワードラインWL1に接続されており、制御ゲート106CGはワードラインWL0に接続されている。または、これらの制御ゲートは、ワードラインの一部である。一実施形態では、トランジスタ100、102、104、及び、106の夫々は記憶素子であり、メモリセルと呼ばれる。他の実施形態では、記憶素子は、複数のトランジスタを含むことがあり、図1や図2に示すものとは異なる場合がある。選択ゲート120は、選択ラインSGD(ドレイン選択ゲート)に接続されている。選択ゲート122は、選択ラインSGS(ソース選択ゲート)に接続されている。
図3は、3個のNANDストリングを示す回路図である。NAND構造を使用するフラッシュメモリシステムの典型的なアーキテクチャは、いくつかのNANDストリングを含む。例えば、3個のNANDストリング、320、340及び360が、さらに多くのNANDストリングを有するメモリアレイ内に示されている。各NANDストリングは、2個の選択ゲートと4つの記憶素子を有している。簡単化のために4個の記憶素子が描かれているが、最近のNANDストリングは、例えば最高32個又は64個の記憶素子を有する場合がある。
例えば、NANDストリング320は選択ゲート322と327、及び、記憶素子323〜326を有し、NANDストリング340は選択ゲート342と347、及び、記憶素子343〜346を有し、NANDストリング360は選択ゲート362と367、及び、記憶素子363〜366を有する。各NANDストリングは、その選択ゲート(例えば、選択ゲート327、347、又は367)によってソースラインに接続されている。選択ラインSGSは、ソース側選択ゲートを制御するために使用される。種々のNANDストリング320、340、及び360は、選択ゲート322、342、362等の選択トランジスタによって各ビットライン321、341、及び、361に接続されている。これらの選択トランジスタは、ドレイン選択ラインSGDによって制御される。他の実施形態では、選択ラインは必ずしもNANDストリング間で共通とされている必要はない。すなわち、異なるNANDストリングには異なる選択ラインを接続できる。ワードラインWL3は、記憶素子323、343、及び、363の制御ゲートに接続されている。ワードラインWL2は、記憶素子324、344、及び、364の制御ゲートに接続されている。ワードラインWL1は、記憶素子325、345、及び、365の制御ゲートに接続されている。ワードラインWL0は、記憶素子326、346、及び、366の制御ゲートに接続されている。つまり、各ビットラインと各NANDストリングは記憶素子のアレイ又はセットの列を含む。ワードライン(WL3、WL2、WL1及びWL0)は、アレイ又はセットの行を含む。各ワードラインは、行に沿って各記憶素子の制御ゲートを接続している。また、制御ゲートはワードライン自体によって提供されてよい。例えば、ワードラインWL2は、記憶素子324、344、及び、364に制御ゲートを提供する。実際には、1つのワードラインに数千の記憶素子がある場合がある。
各記憶素子はデータを記憶できる。例えば、1ビットのデジタルデータを記憶するときは、記憶素子の可能な閾値電圧(VTH)の範囲は、論理データ「1」と「0」を割り当てられる2つの範囲に分割される。NANDタイプのフラッシュメモリの一例では、VTHは、記憶素子が消去された後に負となり、論理「1」として定義される。プログラム動作後のVTHは正であり、論理「0」として定義される。VTHが負であり、読み出しが試行されると、記憶素子がオンして論理「1」が記憶されていることが示される。VTHが正であり、読み出し動作が試行されると、記憶素子はオンにならず、論理「0」が記憶されていることが示される。また、記憶素子は、例えば複数ビットのデジタルデータ等の複数のレベルの情報を記憶することもできる。この場合には、VTHの値の範囲はデータレベルの数に分割される。例えば、4つのレベルの情報が記憶される場合には、データ値「11」、「10」、「01」、及び、「00」に割り当てられる4つのVTH範囲がある。NANDタイプのメモリの一例では、消去動作後のVTHは負となり、「11」として定義される。正のVTH値は「10」、「01」及び「00」の状態に使用される。記憶素子に書き込まれるデータと、素子の閾値電圧範囲との特定な関係は、記憶素子のために採用されるデータ符号化方式に依存する。例えば、両出願の全体を参照することにより本明細書に組み込まれる米国特許第6,222,762号及び第7,237,074号が、マルチステートフラッシュ記憶素子のための多様なデータ符号化方式を説明している。
NANDタイプのフラッシュメモリ及びその動作の関連性のある例は、それぞれが参照することにより本明細書に組み込まれる米国特許第5,386,422号、第5,570,315号、第5,774,397号、第6,046,935号、第6,456,528号、及び、第6,522,580号に示されている。
フラッシュ記憶素子をプログラミングするときには、プログラム電圧が記憶素子の制御ゲートに印加されるとともに、記憶素子に接続されているビットラインが接地される。チャネルからの電子がフローティングゲートに注入される。電子がフローティングゲートに蓄積すると、フローティングゲートは負に帯電し、記憶素子のVTHが上昇する。プログラミング中の記憶素子の制御ゲートにプログラム電圧を印加するために、プログラム電圧が適切なワードラインに印加される。上述したように、各NANDストリング中の1つの記憶素子が同じワードラインを共有している。例えば、図3の記憶素子324をプログラミングするときには、プログラム電圧は記憶素子344と364の制御ゲートにも印加される。
しかしながら、プログラムディスターブは、他のNANDストリングのプログラミング中に禁止されているNANDストリングで、また、場合によっては、プログラミング中のNANDストリング自体で発生する可能性がある。プログラムディスターブは、選択されない不揮発性記憶素子の閾値電圧が、他の不揮発性記憶素子のプログラミングが原因でシフトされることで発生する。プログラムディスターブは、まだプログラムされていない消去済みの記憶素子だけでなく、過去にプログラムされた記憶素子でも発生する可能性がある。様々なプログラムディスターブメカニズムは、NANDフラッシュメモリなどの不揮発性記憶デバイスの利用可能な動作ウィンドウを制限する可能性がある。
たとえば、NANDストリング320が禁止されており(たとえば、これが現在プログラム中の記憶素子を含まない非選択のNANDストリングである)、かつ、NANDストリング340がプログラムされている(たとえば、これが現在プログラム中の記憶素子を含む選択されたNANDストリングである)場合、プログラムディスターブはNANDストリング320で発生する可能性がある。たとえば、パス電圧VPASSが低い場合、禁止されたNANDストリングのチャネルは十分にブーストされず、非選択のNANDストリングの選択されたワードラインが意図せずにプログラムされる場合がある。別のあり得る状況では、ブースト電圧がゲート誘導ドレインリーク(GIDL)などのリークメカニズムによって低下して同じ問題が生じる可能性がある。後でプログラムされる隣接記憶素子との容量結合による電荷蓄積素子のVTHのシフトなど、他の効果もプログラムディスターブの一因となりうる。
図4は、基板上に形成されたNANDストリングの断面図を示す。図は簡略化されており、縮尺は正確ではない。NANDストリング400は、ソース側選択ゲート406と、ドレイン側選択ゲート424と、基板490上に形成される8個の記憶素子408、410、412、414、416、418、420及び422を有する。複数のソース/ドレイン領域(その一例はソース/ドレイン領域430である)が、各記憶素子と選択ゲート406及び424の両側に形成されている。一つのアプローチでは、基板490は、3重ウェル技術を採用しており、p型基板領域496の中にnウェル領域494が形成されており、その中にpウェル領域492が形成されている。NANDストリングとその不揮発性記憶素子は、少なくとも部分的には、pウェル領域上に形成されている。ビットライン426にVBLの電位が印加されるとともに、ソース供給ライン404にVSOURCEの電位が印加される。ボディバイアス電圧のような電圧が、端子402を介してpウェル領域492に印加され、及び/または、端子403を介してnウェル領域494に印加される。
プログラム動作の間に、記憶素子414に接続された選択されたワードライン(この例ではWL3である)に制御ゲート電圧VPGMが印加される。さらに、記憶素子の制御ゲートは、ワードラインの一部である場合があることに留意されたい。例えば、WL0、WL1、WL2、WL3、WL4、WL5、WL6、及びWL7は、それぞれ、記憶素子408、410、412、414、416、418、420、及び422の制御ゲートを通じて延設されていてもよい。他の可能なブースト方式では、NANDストリング400に接続された残りのワードラインに読み出しパス電圧VREADが印加される。選択ゲート406と424には夫々、VSGSとVSGDが印加される。
図5a〜5cは、読み出しディスターブがどのようにして1組の不揮発性記憶素子の閾値電圧分布を変えるか、および、この問題に対処する処理に関係している。図5aは、1組の不揮発性記憶素子の初期の閾値電圧分布を、対応する検証および読み出し電圧とともに示す図である。たとえば、初期の閾値電圧分布は、1組の記憶素子がプログラムされた直後に適用される。この例では、8個のデータ状態が用いられる。一般に、2個以上のデータ状態が用いられる。
プログラミングが完了したと見なされるために記憶素子がプログラミングをしていなければならない最低閾値電圧を規定するために、プログラミング中に検証レベルVV1〜VV7が用いられる。程度は様々であるが記憶素子が検証レベルを越えて、各状態に対して有限の閾値分布が生じる。
さらに、データ状態の数が増加してデータ状態が互いに近づくにつれて、読み出し基準電圧とも呼ばれる正確な読み出し比較レベルを提供することが一層重要となる。この実施例では、読み出し処理において8つのデータ状態を区別するために読み出し比較レベルVR1〜VR7が使用される。たとえば、VR1が記憶素子の制御ゲートに印加されて記憶素子が導通状態になると、VR1は記憶素子の閾値電圧(VTH)よりも大きいと結論付けられる。同様に、記憶素子が非導通であれば、VR1は記憶素子の閾値電圧(VTH)よりも低いと結論付けられる。したがって、記憶素子が読み出し比較レベルの各々に対して導通するか否かを判定することによって、記憶素子のデータ状態を判別できる。換言すれば、記憶素子のデータ状態は、記憶素子が導通しない場合の最高読み出し比較レベルと記憶素子が導通する場合の最低読み出し比較レベルとの間の状態である。また、読み出し処理は、ワードラインに接続されている複数の記憶素子のデータ状態を同時に特定することができる。
なお、対応する読み出し比較電圧(たとえば、VR1〜VR7)は、電圧グループ間、すなわち、典型的には前の分布の少し上の値である。たとえば、VR1は状態0と状態1の間、すなわち、状態0の分布の少し上の値であり、VR2は状態1と状態2の間、すなわち、状態1の分布の少し上の値であり、以下同様である。読み出しディスターブおよびデータ保持損失による閾値電圧の分布の拡大が起きる。この効果は、典型的に、高い状態ほど大きい。結果として、図に示されるように、高い状態の状態間ほど間隔が大きくなることが好ましい。
前述のように、読み出しディスターブは、閾値電圧分布に著しい変化をもたらす可能性がある。読み出しディスターブは、記憶素子からの電荷損失によって正の閾値電圧を低下させ、記憶素子の電荷利得によって負の閾値電圧を上昇させる傾向がある。一部のデバイスでは、消去状態が負の閾値電圧を有し、場合によってはこれに隣接するいくつかの状態も負の閾値電圧を有する。たとえば、16状態のデバイスでは、状態0〜4が負の閾値電圧を有し、状態5〜15が正の閾値電圧を有している場合がある。一方、他のデバイスでは、すべての状態が正の閾値電圧を有している場合がある。
図5bは、読み出しディスターブを受けた1組の不揮発性記憶素子の閾値電圧分布を示す図である。図示される読み出し基準電圧VR1〜VR7は、図5aと同じである。ここで、各状態に対する閾値電圧分布は、読み出しディスターブによって、図5aに示される分布に比べて幅が広くなり、かつ、下側にシフトしている。さらに、高いデータ状態ほど、読み出しディスターブが大きくなり、シフトが大きくなる。なお、隣接するデータ状態の分布は場合によって重なる可能性もある。ここで、この例では、読み出し電圧が低い閾値電圧分布に重なるので、図5aの読み出し電圧が図5bで表わされるデータ状態を読み出すために使用される場合には、読み出しエラーが生じる可能性のあることが分かる。
さらに、読み出しディスターブは以下のような様々な要因に影響される可能性がある。その要因とは、プログラミング/消去サイクルの数(サイクルの数が増えて記憶素子に繰り返しストレスが加えられると読み出しディスターブが大きくなる)、データが書き込まれる時刻と読み出される時刻との間の温度変化(高温でより多くのディスターブが生じる)、ブロック内の記憶素子の相対位置(ブロック内の端のワードラインは、隣接するワードラインが1本であり、そのワードラインからしか影響を受けないので、ディスターブが少なくなる)、メモリデバイス内の電源のレベル(データが書き込まれる時刻と読み出される時刻の間にレベルが変わる可能性があり、記憶素子に印加される電圧が高くなると読み出しディスターブが大きくなる)、プログラム電圧レベル(プログラムレベルが高くなると、ストレスが大きくなり読み出しディスターブが大きくなる)、消去電圧レベル(消去レベルが高くなると、ストレスが大きくなり読み出しディスターブが大きくなる)、プログラム、読み出し、または消去電圧が印加される期間(期間が長くなると、ストレスが大きくなり読み出しディスターブが大きくなる)などである。
図5cは、図5bの閾値電圧分布の測定と対応する読み出し電圧の設定とを示す図である。
実際の閾値分布を測定する処理は、複数の独立した読み出しまたは検出動作でメモリデバイスを読み出すステップを有する。読み出し動作の数は、分布測定に必要な分解能に基づく。たとえば、メモリデバイスが1つの記憶素子で3ビットを表わす8つの状態を使用し、1状態当たり10点の分解能が要求される場合には、読み出し動作は79個の電圧閾値レベルの各々に対して実施される。図5cでは、各ドットが読み出し点を表わしており、実線は図5bと同じである。閾値電圧がビンで指定される範囲にある記憶素子の数を各ビンの高さで示すヒストグラムを提供することができる。最も適切な読み出しレベルは、たとえば、隣接する状態間の最小値として決定することができる。最小値の範囲が存在するときは、2つのデータ状態間の最も適切な読み出しレベルは、2つの状態の低い方の分布のすぐ上の値である可能性がある。ここで、読み出しレベルV’R1〜V’R7は、図5bのVR1〜VR7レベルに対して最適レベルにシフトされている。一般に、前述のように、最大データ保持シフトをさらに可能にするためには、読み出しレベルを前のレベルにできる限り近づけることが望ましい。読み出しレベルV’R1〜V’R7を使用すると、図5bの読み出しレベルが使用される場合に起きる実質的な読み出しエラーが回避される。
読み出しディスターブは、NANDフラッシュメモリチップなどの不揮発性記憶装置における主要な信頼性の問題である。読み出しディスターブは、記憶素子が読み出し動作中に電圧を加えられてストレスを受けるときに生じる。電圧の振幅が大きく、印加期間が長くなると、より大きいストレスが生じる。電圧が印加される回数も要因であり、印加回数の増加はストレスの増加につながる。電圧の振幅に関しては、(VRと呼ばれる印加制御ゲート読み出し電圧を用いて)ブロック内の選択されたワードラインが読み出されるとき、同じブロック内の選択されていないワードラインは、NANDストリング内の選択されていない記憶素子をバイパスするために高い電圧(読み出しパス電圧またはVREADと呼ばれる)に駆動される。さらに、読み出しパス電圧は、2Vなどのマージンだけ最高のVR(たとえば、8つのデータ状態があるときはVR7)を超えるように定められており、選択されていないワードライン上の選択されていない記憶素子をオーバードライブすることになる。さらに、1つの記憶素子に対して4ビットの技術(たとえば、16のデータ状態を有する)における実効的な読み出しパス電圧は、記憶素子メモリ当たり2進値(2つのデータ状態)および2ビット(データ状態に対して)の実効的な読み出しパス電圧よりもはるかに高くなる可能性がある。それゆえ、将来のデバイスは、データ状態を増加させる方向に向かうので、読み出しディスターブ問題は一層重要になる。
8状態(記憶素子当たり3ビット)デバイスに対する電圧振幅に関しては、(8×4)−1=31の読み出し比較動作が考えられる。さらに、100,000回の読み出し動作が所望の耐用期間中に行われると仮定する。100,000回の読み出し動作とゼロソフトビット(たとえば、15の異なる読み出しレベルでの順次読み出し)の場合、ブロックの開放期間は、100,000×31×(各VREADに対する開放期間)である。さらに、1本のワードライン上ですべての記憶素子を読み出すのに要する時間は、1ストローブ検出を使用するかそれとも2ストローブ検出を使用するかに依存する。2ストローブ検出の場合の全開放時間は、1ストローブ検出の場合の全開放時間のほぼ2倍になる。このことから、印加される読み出しパス電圧の振幅および期間に基づいて記憶素子は重大なストレスに曝されることが分かる。
読み出し中止は、何度も読み出されたブロックのデータを書き直すために使用することができる。読み出し中止の一実施例は、すべての読み出しを基にブロックが書き直される僅かな機会をもたらす。僅かな機会は、乱数発生器を使用して作り出される。乱数発生器の使用は、実際の読み出し回数を計数し続けることよりも容易である。しかしながら、このアプローチは資源集約的であり記憶素子の実態を考慮しない。別の可能なアプローチでは、記憶素子がエラー訂正符号(ECC)を用いて符号化されるデータを記憶し、データがエラーとなる度合いを判定するための読み出し中にECC復号エンジンがモニターされる。たとえば、ECC復号エンジンが収束するのに必要な時間、あるいは収束するのに必要な反復回数をモニターすることができる。これらの基準が閾値を超えると、書き直しが指示される。
特に、強力なECC(SECC)が使用されるときには、ECCがデータを訂正できる条件からECCが動作しないのに必要な条件を分離するシャープなカットオフポイントはそれほど存在しない。強力なECCは、たとえば、5〜8%の最大ビットエラーを訂正することができる。これは、SECCを使用すると、実質的に訂正ミスの可能性がないからである。ECCページの欠陥ビットの数があまりに多くなると、SECCアルゴリズムが収束しなくなる。しかし、この状態に至る前に収束が減速する。所要時間、または、SECCの収束を実現するために必要な反復回数は、早期警戒フラグとして働く可能性がある。SECCの収束に時間がかかり過ぎるか、または、ECCページの欠陥ビット数が所定値を超えると、制御部は、ブロックを書き直す必要があるかどうかを判定するために、データまたは分布マージンの読み出し調査を開始することができる。
発生する問題の1つは、時として、ユーザが特定ブロック内の1本のワードライン上の大量のデータを繰り返して読み出すことがあることである。ブロック内の選択されていないワードラインのみが読み出しディスターブに曝されるので、こうした状況では、対象の選択された1本のワードラインを読み出しても残りのブロックのデータをリフレッシュする必要性に関して適切な時期にフラグを立てることができない。また、留意すべきは、摩耗レベルが採用されるとき、ブロックのデータを書き直すとデータが他の物理ブロックに移動することである。それゆえ、場合によっては、特定ワードラインの1つまたは複数の記憶素子が繰り返し読み出されるので、1つまたは複数の選択された記憶素子自体はプログラムディスターブを避けられるが、他のワードラインの記憶素子が読み出しディスターブに曝されるディスターブ。特定のワードラインの選択された記憶素子は、一般に要求されるデータが特定ワードラインに記憶されるときなど、様々な状況において繰り返し読み出される。
結果として、ECC復号エンジンは、特定のワードラインの選択された記憶素子からのデータを復号化するときに問題を示さないかもしれない。しかしながら、別のワードラインの(多くの読み出しディスターブを受けている)記憶素子ディスターブが引き続いて読み出されるときに、ECC復号エンジンは、収束が遅く時間がかかるなどの重大な問題を示すかもしれず、あるいは収束すらしないかもしれない。基本的に、これは、発見される問題を訂正するには遅すぎるのかもしれない。それゆえ、ECC復号エンジンの性能低下の進行をモニターして、リフレッシュを実施しあるいは他の是正措置を取る時期に関して適切な判断を下す機能が損なわれる。
読み出しレベルは、図5cに関連して先に説明したように、特定のワードラインの記憶素子のような1組の記憶素子の現在の閾値電圧分布に基づいて決定することができる。これは、動的検出点収集(DSPA)の一形態であり、定期的に実施可能であり、たとえば、ブロック内の全ての読み出しに対して、または、ブロック内の全てのn>1読み出しに対して実施可能であり、あるいは、例外的に、たとえば、ECC復号エンジン基準を超えて収束が困難であることが示されたときに実施することができる。読み出し比較レベルをベースラインレベルからどの程度ずらすべきかを判定するために、動的検出点収集は、1ソフトビット、2ソフトビット、またはそれ以上のソフトビットを用いて1ページまたは複数ページを読み出す(すなわち、8状態の記憶素子に対して7つの読み出しレベルよりも高い分解能で読み出す)ステップを含むことがある。電荷利得/損失は、動的検出点収集によって対処することができるメカニズムの1つである。
図6は、1組のワードラインの中における選択されたワードラインを示す図である。1組のワードライン600は、この例では、8本のワードラインWL0〜WL7を有する。選択されたワードライン615は、たとえばホスト読み出しコマンドに基づいて、読み出し対象として選択されたワードラインである。このワードラインは、関連するデータを記憶する記憶素子を有する。残りのワードラインは、選択されたワードライン615のソース側にある1組の選択されていないワードライン620と、選択されたワードライン615のドレイン側にある1組の選択されていないワードライン610とを含む。選定されたワードライン605は、無作為に選定されるか、さもなければ、更新され最適化された読み出し電圧を得るために選択されたワードライン615を読み出すより前に読み出されるように選定された選択されていないワードラインである。
一態様では、選択されたワードラインを読み出す読み出しコマンドが受信されたときに、無作為に選定された選択されていないワードラインで動的検出点収集が実施される。一つのアプローチでは、どの選択されていないワードラインが選定されてもよい。別のアプローチでは、1つまたは複数の選択されていないワードラインを除いて、任意の選択されていないワードラインが選定される。たとえば、ブロックにおける最初および最後の数本のワードラインと選択されたワードラインに隣接するワードラインは、他のワードラインよりも多い、または、少ない読み出しディスターブを受ける可能性があるので、除外されてもよい。
たとえば、WL0〜WL63と表される64本のワードラインがあり、選択されたワードラインがWW5である場合を想定しよう。WL0およびWL61は最終ワードラインとして除外され、WL4およびWL6はこれらがWL5に隣接するので除外されるものと仮定すると、DSPAの特徴評価に適した所定のワードラインの組は、たとえば、WL1〜WL3およびWL7〜WL60であるかもしれない。さらに、ホスト(または制御部)がWL5を繰り返し読み出さなければならない状況を考えてみよう。この場合、一つの可能なアプローチでは、WL5を読み出すために発行されるあらゆるコマンドが、別のワードラインを最初に読み出すことになる。この別のワードラインがDSPAのために読み出される間に、WL5はVREADに曝されることによって読み出しディスターブに曝される。その後、WL5が引き続いて読み出されると、モニターされるWL5に対するECC復号エンジン基準はブロックのより代表的なものになる。それゆえ、ブロック内の読み出しディスターブ問題の正確な早期警戒が得られ、したがって、制御部は、読み出しディスターブ問題がECC復号エンジンを無効にするほど大きくなる前にブロックをリフレッシュするか、あるいは、別のブロックに書き直すなどの訂正処置を実施することができる。このアプローチは、必要なときにのみ読み出し中止を可能にする。
図7は、別のワードラインに基づいて選択されたワードラインを読み出すための読み出し比較レベルを設定する処理を示す図である。処理は、ステップ700において読み出しコマンドを受信する。たとえば、メモリデバイスの制御部が、読み出しコマンドを外部のホスト制御部から受け取る。また、制御部は、ホスト制御部に関係なく内部で使用するデータの読み出しコマンドを発行することが可能である。ステップ705では、読み出しコマンドに基づいて選択されたワードラインを識別する。典型的には、ワードラインは、読み出しコマンド内のコードワードによって識別される。ステップ710では、別のワードラインを選定する。たとえば、これは、別のワードラインを無作為に選定することを含む。一つの可能なアプローチでは、選択されたワードラインに隣接するワードラインあるいはブロックの終わりのワードラインなど、特定のワードラインが除外される。このようなワードラインは、特にドレイン側の選択されたワードラインに隣接するワードラインにおいて、比較的重度の読み出しディスターブを受ける場合がある。このようなワードラインを避けることによって、ブロック全体のより代表的なる程度の読み出しディスターブを有するワードラインが選定される。
しかしながら、ステップ710における別の可能なアプローチは、選択されたワードラインに対してドレイン側で隣接するワードラインなど、隣接するワードラインを選定することである。これは、一般に、プログラミングがブロックのソース側からドレイン側に進行するときに、プログラムされていないかあるいは一部しかプログラムされていないワードラインである。これは、ブロック全体の中で最悪の読み出しディスターブを受けているワードラインを選択することを含む。選択されたワードラインが最終のドレイン側のワードラインである場合には、ソース側で隣接するワードラインが選定されてもよい。
ステップ715では、これらの記憶素子の閾値電圧分布を得るために、前記別のワードラインの記憶素子に対して検出動作を実施する。たとえば、これは、図5cにおいてドットで表わされる点の各々によって表わされるような複数の異なるレベルのワードライン電圧で一連の検出動作を実施することを含む。ステップ720では、閾値電圧分布における凹み部分を識別し、ステップ725では、凹み部分に基づいて読み出し比較レベルを決定する。たとえば、図5cにおける最適化された読み出し比較レベルV’R1〜V’R7を参照されたい。
これらの最適化された読み出し比較レベルが決定されると、ステップ730で最適化された読み出し比較レベルを用いて選択されたワードラインの不揮発性記憶素子に対して読み出し動作が実施される。ステップ735では、メモリデバイス内のバッファからの読み出しデータをホスト制御部に転送することなどして、結果が報告される。読み出し処理はステップ740で終了する。
WL0〜WL63と表される64本のワードラインを備える例を考えてみよう。ユーザがブロックのWL5のページの読み出しを要求する場合には、WL5が選択されたワードラインである。この場合、まず、DSPA動作は、DSPAの特徴評価に適した所定のワードラインの組の中から無作為にあるいは、別の方法で選定された別のワードラインに対して実施される。前記別のワードラインの選定には乱数発生器が使用されてもよい。あるいは、前記別のワードラインは、選択されたワードラインから所与のワードライン数だけずらされたワードラインを選定することによって、たとえば、WL5が選択されたワードラインであるときWL15を選定し、WL35が選択されたワードラインであるときWL45を選定することなどによって作為的に選定することができ、この場合、ずれは+10ワードラインである。選択されたワードラインがドレイン側に近いときには、反対方向に、たとえば、−10ワードランのずれによって、あるいは、計数が最初の望ましいソース側ワードラインで続くモジュロ計算によって、前記別のワードラインが選定されてもよく、たとえば、WL60が選択されたワードラインであるときWL8を選定してもよい。この場合、最終ワードラインWL0およびWL63は除外される。
別の例のアプローチでは、選択されたワードラインから前記別のワードラインまでのずれは、各読み出し動作に対して、たとえば、+10ワードラインだけ変更される。それゆえ、WL5が最初に読み出されるときにはWL15を選定し、つぎに、WL5が再び読み出されるときにはWL25を選定し、以下同様に選定する。さらに別の例のアプローチでは、ワードラインのサブセットが無作為または作為的に選定され、サブセット内の特定ワードラインが無作為または作為的に選定される。たとえば、選択されたワードラインがWL5の場合には、ワードラインのサブセットは、WL7〜WL15(隣接するワードラインWL6を除く)、WL16〜25、WL26〜35、WL36〜45、WL46〜55、WL56〜62、および、WL1〜WL3(最終ワードラインWL63およびWL0と隣接するワードラインWL4を除く)のように定義されてもよい。一つのアプローチでは、WL5が最初に読み出されるときに、WL7〜15は選定されたサブセットとして選定されて、WL6〜WL15の1つが前記別のワードラインとして無作為に選定され、WL5が2回目に読み出されるときには、WL16〜25が選定されたサブセットとして選定されて、WL16〜25の1つが前記別のワードラインとして無作為に選定され、以下同様である。
選択されたワードラインが読み出されるたびに、あるいは、それより少ない頻度で、最適な読み出し電圧または他の電圧を得るために、前記別のワードラインを選定して解析することができる。たとえば、別のワードラインを選定して新たな電圧を得るかどうかの判断を無作為または作為的に行なうことができ、したがって、この判断は、選択されたワードラインが読み出される回数に対して、平均的なまたは一定の間隔で周期的に行われる。あるいは、たとえば、選択されたワードラインが4回読み出された後、さらに、選択されたワードラインが8回読み出されるなど、一定でないインクリメントを採用することができる。
新たな電圧を得るかどうかの判断は、1本のワードラインが他のワードラインを読み出すことなく複数回読み出されるときに開始することができる。特定のワードラインが読み出された回数を追跡しないことが望まれる場合には、新たな電圧を任意のワードラインが読み出されるたびに得ることができる。ブロック内の任意のワードラインが読み出された回数を追跡する場合には、判断は、任意のワードラインのあらゆるn>1の読み出し後に行なうことができる。ブロック内の任意のワードラインが読み出された回数を追跡しない場合には、判断は、無作為に、たとえば、特定の読み出しが別のワードラインを選定して新たな電圧を得ることにつながるかどうかを判定するために乱数発生器を用いて行なうことができる。読み出し動作がブロック全体のすべてあるいは大部分に関与する場合には、すべての記憶素子が同様の読み出しディスターブを受けることになるので、ワードラインを選定して新たな電圧を得る必要はないかもしれない。様々な他のアプローチも可能である。制御は、適切なデータを維持して所望の方式を実施することができる。
図8は、選択されたワードラインを読み出す読み出し比較レベルを、別のワードラインとエラー訂正基準に基づいて設定する処理を示す図である。ステップ800、805、および810は、図7のステップ700、705、および710にそれぞれ対応する。ステップ815では、別のワードラインの記憶素子の閾値電圧分布を得るために、ECC復号などの、別のワードラインの記憶素子に対する検出動作を実施する。ステップ820では、ECC復号処理に基づいて基準を決定する。たとえば、基準は、収束までの時間および/または反復回数を示すことがある。判断ステップ825において、基準が閾値(この閾値は、試験および/または理論計算に基づいて設定できる)より低ければ、ECC復号処理は順調に進んでいる。この場合、処理は、ステップ835、840、845、850、および855に進み、これらのステップは図7のステップ720、725、730、735、および740にそれぞれ対応する。判断ステップ825において、基準が閾値未満でなければ、ECC復号処理は順調に進んでおらず、ステップ830において、データの完全性についてさらに調査が実施され、および/または、データのリフレッシュ動作が実施される。さらなる調査は、たとえば、不正復号を有しているかどうかを判定するために1本または複数本の付加的ワードラインの付加的読み出し試験を含んでいてもよい。リフレッシュ動作は、たとえば、データを第1のブロックから第2のブロックにコピーすること、第1のブロックを消去すること、および、データを第1のブロックにコピーバックすることを含んでいてもよい。
ステップ810で、選択されたワードラインに対してドレイン側で隣接するワードラインなど、最悪の読み出しディスターブを伴うワードラインが選定されたときには、エラー基準は無作為選択が行なわれる場合よりもステップ825における閾値を超える可能性が高い。
図9は、第1の読み出し比較レベルから追加の読み出し比較レベルを決定することによって、選択されたワードラインを読み出す読み出し比較レベルを設定する処理を示す図である。図5cに示されるように、DSPAの一部としてすべてのデータ状態で閾値電圧分布を決定することは、多数の検出動作を必要とし、したがって、処理集約的である。代替的なアプローチは、すべてのデータ状態よりも少ないデータ状態において閾値電圧分布を決定すること、および、その結果を基に他のデータ状態を推定することを含む。たとえば、得られる閾値電圧分布は、2つの隣接するデータ状態を区別するに足る電圧範囲に制限することができ、最適な読み出し比較レベルをこの結果から決定することができる。続いて、1つまたは複数の他のデータ状態に対する最適な読み出し比較レベルを、式に基づいて決定することができる。この式では、ベースラインレベルに対する所定のデータ状態の読み出し比較レベルのオフセットを他のデータ状態のオフセットに変換することができ、他のデータ状態の最適な読み出し比較レベルは既知のベースラインレベルおよびそれぞれのオフセットから得ることができる。一つの可能なアプローチでは、このオフセットは測定されたオフセットに等しく設定されるか、あるいは測定されたオフセットの何分の一かに設定される。ベースライン読み出しレベルは、読み出しディスターブがないときの試験および/または理論解析から最適であると分かる所定レベルとすることができる。
たとえば、8つのデータ状態および7つの読み出しレベルVR1〜VR7があるものと仮定する。また、図5a〜5cを参照されたい。V’R7を決定するのに十分である閾値電圧分布が実施される。V’R7が決定されると、オフセットΔ7=VR1−VR'7を決定することができる。この後、他の読み出しレベルに対するオフセットをΔ7の関数、たとえば、Δ1=f1(Δ7)、Δ2=f2(Δ7)、Δ3=f3(Δ7)Δ4=f4(Δ7)、Δ5=f5(Δ7)、Δ6=f6(Δ7)として決定することができる。一般に、状態iでは、Δi=fi(Δ7)、およびV’Ri=VRi+Δiであり、ここで、VRiはベースライン読み出しレベルである。例として、Δ7は0.5Vであってもよく、式はオフセットが下位の読み出しレベルで小さくなる試験および/または理論解析を示していてもよく、このことから、たとえば、Δ1=0.4×Δ7=0.20V、Δ2=0.5×Δ7=0.25V、Δ3=0.6×Δ7=0.30V、Δ4=0.7×Δ7=0.35V、Δ5=0.8×Δ7=0.40V、およびΔ6=0.9×Δ7=0.45Vと決定できる。この場合、状態1〜6に対する最適読み出し比較レベルがV’R1=VR1−0.20V、V’R2=VR2−0.25V、V’R3=VR3−0.30V、V’R4=VR4−0.35V、V’R5=VR5−0.40V、およびV’R6=VR6−0.45Vとして計算される。なお、ここでは、オフセットが負であると仮定しており、これはベースライン読み出しレベルが正の場合である。ベースライン読み出しレベルが負であれば、オフセットは正になる。
したがって、第1の読み出し比較電圧を決定するために2つの最高位のプログラムされた状態(たとえば、状態6および7)を含む電圧範囲を読み出すことができる。第1の読み出し比較電圧が決定されると、他の状態に対するオフセットと対応する最適な読み出し比較電圧が決定される。
なお、読み出しディスターブは閾値電圧とともに大きくなるので、最高位の状態は結果を基に他のデータ状態を正確に推定できる大きい信号対雑音比を備えていてもよい。メモリデバイスの具体的な技術のデバイスレベルの特徴評価に基づいて、最高位の状態に対するオフセットが分かると、すべての状態に対するオフセットを決定することができる。また、1つよりも多いが全部よりも少ないデータ状態に対するずれを得ることも可能であり、これらの結果を利用して他のデータ状態をより正確に推定することも可能である。また、最高位から2番目の状態も好結果をもたらす可能性がある。
最後の2つの状態の分布間の凹み部分は高い精度で特定される必要があるので、電圧領域を細かい分解能でスキャンするべきである。たとえば、400mVの範囲をスキャンする25mVのスキャンステップサイズは16個の読み出しをもたらし、これは任意のページ(16のデータ状態を仮定)で実施される一般的な15個の読み出し(ソフトビットなし)に近い数である。これによって、選択されたワードラインが受けるVREADの曝露が、少なくとも、選択されたワードラインの定期的な読み出しの間に残りのブロックが受けるVREADの曝露と同等であることが確実になる。選択されていないワードラインの多くは、選択されたワードラインの2倍の時間VREADに曝されるということが言える。このことを考慮して、書き直しを開始する基準をさらに厳しくすることができる。
図9を参照すると、ステップ900では、データを読み出すコマンドを受信する。ステップ905では、読み出しコマンドから選択されたワードラインを識別する。つぎに、選択されていないワードラインを含む1つの経路と選択されたワードラインを含む1つの経路からなる2つの経路のうちの一方を辿ることができる。1つの経路では、ステップ910で別のワードラインが選定される。ステップ915では、別のワードラインの記憶素子に対して検出動作を実施して、第1の対となる隣接するデータ状態における隣接するデータ状態を区別するのに十分な閾値電圧分布を得る。第2の経路では、ステップ920はステップ915と同じであるが、選択されたワードラインを含む。いずれの場合でも、ステップ925では、閾値電圧分布における凹み部分を識別し、ステップ930では、凹み部分に基づいて第1の読み出し比較レベルを決定する。たとえば、これは図5cにおけるV’R7である。
ステップ935において、第1の読み出し比較レベルとオプションとしての他の要因とに基づいて、前述のような式を用いて他の読み出し比較レベルを決定する。他の要因は、たとえば、プログラム/消去サイクルの数、1組のワードライン内における選択されたワードラインの位置、温度依存性、および、電源レベル依存性(ボックス940)を含むことができる。たとえば、試験および/または理論計算は、特定のメモリデバイスに関して、上記変数のいずれかが最適な読み出しレベルに影響を及ぼすことを示すかもしれない。さらに、1組の変数の元で最適である最適読み出し比較レベルは、別の1組の変数が存在するときに調整することができる。たとえば、各データ状態のオフセットが、プログラム/消去サイクルの数に基づいて変更されてもよい。一例として、高位の状態のオフセットは低位の状態のオフセットよりも増加が大きいかもしれない。1つの状態のオフセットを別の状態のオフセットに関係付ける式は、適宜調整することができる。
同様に、1つのワードラインに対して決定された所定の状態に関する最適な読み出しレベルが、ワードライン位置に基づいて別のワードラインに対して調整されるべきであると判断されてもよい。ワードラインは、比較的類似したレベルの読み出しディスターブを受けるワードラインのサブセット、たとえば、ソース側ワードライン、中間ワードライン、およびドレイン側ワードラインにグループ化されてもよい。
温度依存性に関して、記憶素子の閾値電圧は、−2mV/℃ずつ低下する。また、より多くのディスターブが高温で発生する。それゆえ、最適な読み出し比較レベルが決定されるときに温度があるベースラインレベルよりも高い場合には、この事実は、温度が異なるときに後で使用されるときに最適な読み出し比較レベルが適切に調整されるよう明らかにされるべきである。温度依存性回路は温度の指示を与えることができる。温度依存性基準信号を与える様々な方法が知られている。一つの可能アプローチでは、バンドギャップ回路が使用される。たとえば、参照によって本明細書に組み込まれる「Voltage Generation Circuitry Having Temperature Compensation」と題する米国特許第6,801,454号明細書には、温度係数に基づいて不揮発性メモリに読み出し電圧を出力する電圧発生回路が記載されている。この回路では、温度非依存性部分と温度が上昇するにつれて増加する温度依存性部分とを含むバンドギャップ電流が使用される。
電源レベル依存性に関して、電源レベルは補償付きの場合でも変化する可能性があり、その結果として、検出中に使用される電圧は変化する可能性がある。このような変化は、適切な回路を用いて追跡し、最適な読み出し比較レベルが得られるよう適切に調整することができる。
ステップ945では決定された読み出し比較レベルを用いて選択されたワードラインの記憶素子に対して読み出し動作を実施し、ステップ950では結果を報告し、処理はステップ955で終了する。図10は、第1の読み出し比較レベルから追加の読み出し比較レベルを決定することによって選択されたワードラインを読み出す読み出し比較レベルを設定する処理のさらなる詳細を示す図である。ステップ1000では、8つの状態(図5a〜5c参照)があるときに、2つの最高位の隣接するデータ状態(たとえば、状態6と状態7)を区別するのに十分な閾値電圧分布を得るために記憶素子(選択されたワードライン又は別のワードラインの)に対して検出動作を実施する。複数のデータ状態が下位の範囲から上位の範囲まで延びており、隣接するデータ状態6および7は上位の範囲にある。
ステップ1005では閾値電圧分布における凹み部分を特定し、ステップ1010では凹み部分に基づいて第1の読み出し比較レベル(たとえば、V’R7)を設定する。ステップ1015では、第1の読み出し比較レベルと関連するベースライン読み出しレベルとの差(たとえば、V’R7−VR7)に基づいて第1のシフト(たとえば、Δ7)を決定する。ステップ1020では、第1のシフトとオプションとしての他の要因とに基づいて、式に基づいて他の読み出し比較レベルが決定される。各ベースライン読み出し比較レベルは、各比較レベルに対する追加の検出動作を実施することなく、関連する閾値電圧シフトによって新たな最適化された比較レベルに修正される。したがって、最適化された比較レベルは、下位の状態の領域にあるデータ状態に対して、たとえば、状態0および1に対してV’R1、状態1および2に対してV’R2、などのように決定される。他の要因として、たとえば、プログラム/消去サイクルの数、1組のワードライン内における選択されたワードラインの位置、温度依存性、および、電源レベル依存性を挙げることができる(ボックス1025)。ステップ1030では、決定された読み出し比較レベルを用いて選択されたワードラインの記憶素子に対して読み出し動作を実施し、ステップ1035では結果を報告し、処理はステップ1045で終了する。
図11は、図1および2に示したようなNAND記憶素子のアレイ1100の一例を示している。各列に沿って、ビットライン1106は、NANDストリング1150のドレイン選択ゲートのドレイン端子1126に接続されている。NANDストリングの各行に沿って、ソースライン1104は、NANDストリングのソース選択ゲートのすべてのソース端子1128を接続している。メモリシステムの一部としてのNANDアーキテクチャアレイ及びその動作の一例は、米国特許第5,570,315号、第5,774,397号、及び第6,046,935号に記載されている。
記憶素子のアレイは、記憶素子の多数のブロックに分割される。フラッシュEEPROMシステムでは一般的なように、ブロックは消去の単位である。つまり、各ブロックは、共に消去される最小数の記憶素子を有する。各ブロックは、一般に複数のページに分割される。ページはプログラミングの単位である。一実施形態では、個々のページはセグメントに分割され、セグメントは基本プログラミング動作として一度に書き込まれる最小数の記憶素子を有する。一般に、記憶素子の1行に1ページ以上のデータを記憶する。1ページは1つ以上のセクタを記憶できる。1つのセクタは、ユーザデータとオーバヘッドデータを有する。オーバヘッドデータは一般に、そのセクタのユーザデータから計算されたエラー訂正符号(ECC)を有する。制御部(後述)の一部は、データがアレイ内に書き込まれるときにECCを計算し、さらにデータがアレイから読み出されるときにそれをチェックする。また、ECC及び/又は他のオーバヘッドデータは、それらが関連するユーザデータ以外の異なるページもしくは異なるブロックにも記憶される。
ユーザデータのセクタは一般に512バイトであり、磁気ディスクドライブ内のセクタのサイズに対応する。オーバヘッドデータは一般に、追加の16〜20バイトである。多数のページがブロックを構成し、それは8ページから、例えば最大32、64,128またはそれ以上のページのいずれであってもよい。いくつかの実施形態では、NANDストリングの列はブロックを含む。
一実施形態では、ソースラインとビットラインをフローティングさせた状態で、p−ウェルを十分な期間に亘って消去電圧(例えば20V)に上昇し、選択されたブロックのワードラインを接地させることによって、メモリ記憶素子は消去される。容量結合のために、選択されていないワードライン、ビットライン、選択されたライン、及び、c−ソースも消去電圧のかなりの部分まで引き上げられる。従って、強力な電界が選択された記憶素子のトンネル酸化物層に印加され、ファウラ−ノルドハイムトンネルメカニズムによってフローティングゲートの電子が基板側に放出され、選択された記憶素子のデータが消去される。電子がフローティングゲートからp−ウェル領域に移されるのにしたがって、選択された記憶素子の閾値電圧は低下する。消去はメモリアレイ全体、別々のブロック、又は、他の記憶素子の単位で実行できる。
図12は、単一の行/列デコーダ及び読み出し/書き込み回路を使用する不揮発性メモリシステムのブロック図である。図は、本発明の一実施形態に従って記憶素子のページを同時に読み取り、プログラミングするための読み出し/書き込み回路を有するメモリ素子1296を示している。メモリ装置1296は、1つ以上のメモリダイ1298を有する。メモリダイ1298は、2次元のアレイの記憶素子1100、制御回路1210、及び、読み出し/書き込み回路1265を有する。いくつかの実施形態では、記憶素子のアレイは3次元である。メモリアレイ1100は行デコーダ1230を介してワードラインによって、及び、列デコーダ1260を介してビットラインによってアドレスできる。読み出し/書き込み回路1265は複数の検出ブロック1200を有しており、1ページの記憶素子を並列に読み出し又はプログラミングすることができる。一般に、制御部1250は、1つ以上のメモリダイ1298のように同じメモリ装置1296(例えば、取り外し可能なストレージカード)内に含まれる。コマンド及びデータは、ライン1220を介してホストと制御部1250の間、及び、ライン1218を介して制御部と1つ以上のメモリダイ1298の間で送られる。
制御回路1210は、読み出し/書き込み回路1265と協調して、メモリアレイ1100上でメモリ動作を実行する。制御回路1210は、ステートマシン1212、オンチップアドレスデコーダ部1214、及び、電力制御モジュール1216を有している。ステートマシン1212は、メモリ動作のチップレベル制御を提供する。オンチップアドレスデコーダ1214は、ホスト又はメモリ制御部によって用いられるとともに、デコーダ1230及び1260によって用いられるハードウェアアドレスの間のアドレスインタフェースを提供する。電力制御モジュール1216は、メモリ動作中、ワードライン及びビットラインに供給される電力及び電圧を制御する。
いくつかの実施形態では、図12の構成要素のいくつかを結合することができる。多様な設計では、記憶素子アレイ1100以外の構成要素の1つまたは複数を(単独でまたは組み合わせて)1つの管理回路と見なすことができる。例えば、一つ以上の管理回路は、制御回路1210、ステートマシン1212、デコーダ1214/1260、電力制御1216、検出ブロック1200、読み出し/書き込み回路1265、制御部1250等の内の1つ、または組み合わせを有してよい。
図13は、二重行/列デコーダ及び読み出し/書き込み回路を使用する不揮発性メモリシステムのブロック図である。ここでは、図12に図示されるメモリ素子1296の別の配列が示される。多様な周辺回路によるメモリアレイ1100に対するアクセスは、アレイの両側で対称式に実現され、その結果各側のアクセスラインと回路網の密度は半分に低減される。従って、行デコーダは行デコーダ1230Aと1230Bに分割され、列デコーダは列デコーダ1260Aと1260Bに分割されている。同様に、読み出し/書き込み回路は、アレイ1100の底部からビットラインに接続する読み出し/書き込み回路1265Aと、アレイ1100の上部からビットラインに接続する読み出し/書き込み回路1265Bに分割されている。この方法により、読み出し/書き込みモジュールの密度は実質的に二分の一に低減される。図13の装置は、図12の装置で上述したような制御部を有することもできる。
図14は、検出ブロックの一実施形態を示すブロック図である。個々の検出ブロック1200は、検出モジュール1280と呼ばれるコア部と共通部1290とに分割される。一実施形態では、各ビットラインの別個の検出モジュール1280と、複数の検出モジュール1280の集合の1つの共通部1290があってもよい。一例では、検出ブロックは、1つの共通部1290と8つの検出モジュール1280を有することができる。グループ内の各検出モジュールは、データバス1272を介して関連する共通部と通信できる。さらなる詳細としては、米国特許出願公開第2006/0140007号、「Non−Volatile Memory & Method with Shared Processing for an Aggregate on Sense Amplifiers」、公開日2006年6月29日を参照する。その全体は参照することにより本明細書に組み込まれる。
検出モジュール1280は検出回路1270を有しており、検出回路1270は接続されたビットライン内の伝導電流が所定の閾値レベルより高いか低いかを判定する。検出モジュール1280はさらにビットラインラッチ1282を有しており、ビットラインラッチ1282は接続されたビットライン上の電圧条件を設定するために用いられる。例えば、ビットラインラッチ1282内にラッチされる所定の状態によって、接続されたビットラインはプログラム禁止を指定する状態(例えば、Vdd)に設定される
共通部1290は、プロセッサ1292、1セットのデータラッチ1294、及び1セットのデータラッチ1294とデータバス1220の間を接続するI/Oインタフェース1296を有する。プロセッサ1292は計算を実行する。例えば、その機能の1つは、検出された記憶素子内に記憶されているデータを判定し、判定したデータを1セットのデータラッチ内に記憶することである。1セットのデータラッチ1294は、読み出し動作中に、プロセッサ1292によって判定されたデータビットを記憶するために用いられる。それは、プログラム動作中に、データバス1220から取り込まれたデータビットを記憶するためにも用いられる。取り込まれたデータビットは、メモリ内にプログラムされる予定の書き込みデータを表す。I/Oインタフェース1296は、データラッチ1294とデータバス1220の間のインタフェースを提供する。
読み出し又は検出中には、システムの動作はステートマシン1212の制御下にあり、ステートマシン1212はアドレスされた記憶素子への異なる制御ゲート電圧の供給を制御する。メモリによってサポートされた様々なメモリ状態に対応する様々な既定制御ゲート電圧のステップを進む際に、検出モジュール1280はこれらの電圧の1つに移動し、バス1272を介して検出モジュール1280からプロセッサ1292に出力が提供される。その時点で、プロセッサ1292は、検出モジュールの移動イベントと、ステートマシンから入力ライン1293を介して印加された制御ゲート電圧についての情報を考慮することによって得られたメモリ状態を特定する。それから、メモリ状態に対するバイナリ符号化を計算し、得られたデータビットをデータラッチ1294に記憶する。コア部の別の実施形態では、ビットラインラッチ1282は、検出モジュール1280の出力をラッチするラッチ、及び、上記のようなビットラインラッチの両方の機能を兼ねる。
当然のことながら、いくつかの実施形態では複数のプロセッサ1292を有することができる。一実施形態では、各プロセッサ1292は出力ライン(図示せず)を有し、各出力ラインは共にワイヤードOR接続される。いくつかの実施形態では、出力ラインは、ワイヤードORラインに接続する前に反転される。ワイヤードORを受け取るステートマシンはプログラムされる全てのビットがいつ所望のレベルに到達するかを決定できる。したがって、この構成はプログラミング処理がいつ完了するかについてのプログラム検証処理中の迅速な決定を可能にする。例えば、各ビットがその所望のレベルに到達すると、そのビット用の論理0がワイヤードORラインに送られる(又はデータ1を反転させる)。全てのビットがデータ0を出力する(又はデータ1を反転させる)と、ステートマシンはプログラミング処理を終了することを認識する。各プロセッサが8つの検出モジュールと通信するので、ステートマシンはワイヤードORラインを8回読み出す必要があるか、あるいは関連するビットラインの結果を蓄積するために論理がプロセッサ1292に追加され、ステートマシンがワイヤードORラインを一度だけ読み出せば良いようにする。同様に、論理レベルを正しく選ぶことにより、グローバルステートマシンは、第1のビットがいつその状態を変更し、これに応じてアルゴリズムを変更するのかを検知できる。
プログラム又は検証中に、プログラムされるデータはデータバス1220から1組のデータラッチ1294内に記憶される。ステートマシンの制御下の書き込み動作は、アドレス指定される記憶素子の制御ゲートに印加される一連のプログラム電圧パルスを有する。各プログラムパルスに続いてリードバック(検証)が実行され、記憶素子が所望のメモリ状態にプログラムされたかどうかが判定される。プロセッサ1292は、所望のメモリ状態に対するリードバックメモリ状態を監視する。その2つが一致する場合、プロセッサ1292はビットラインラッチ1282を設定し、プログラム禁止を指定する状態にビットラインを設定する。これにより、プログラムパルスがその制御ゲートに印加されたとしても、ビットラインに接続された記憶素子がさらにプログラムされないようにする。他の実施形態では、プロセッサが最初にビットラインラッチ1282をロードし、検出回路が検証処理中に禁止値にそれを設定する。
データラッチスタック1294は、検出モジュールに対応するデータラッチのスタックを有する。一実施形態では、検出モジュール1280毎に3つのデータラッチが存在する。いくつかの実施形態では、(必須ではないが)データラッチはシフトレジスタとして実装され、内部に記憶されたパラレルデータをデータバス1220のシリアルデータに変換したり、その逆を行ったりする。好適な実施形態では、m個の記憶素子の読み出し/書き込みブロックに対応する全てのデータラッチを共にリンクさせてブロックシフトレジスタを形成し、シリアル転送によってデータのブロックを入力または出力できるようにする。特に、r個の読み出し/書き込みモジュールのバンクを調整し、その組のデータラッチが読み出し/書き込みブロックの全体のシフトレジスタの一部であっても、その組のデータラッチのそれぞれが順にデータバスの内外にデータをシフトできるようにする。
不揮発性記憶装置の多様な実施形態の構造及び/または動作についての追加情報は、(1)米国特許第7,196,931号、2007年3月27日発行、「Non−olatile Memory And Method With Reduced Source Line Bias Errors」、(2)米国特許第7,023,736号、2006年4月4日発行、「Non−Volatile Memory And Method with Improved Sensing」、(3)米国特許第7,046,568号、2006年5月16日発行、「Memory Sensing Circuit And Method For Low Voltage Operation」、(4)米国特許第7,196,928、2007年3月27日発行、「Compensating for Coupling During Read Operations of Non−Volatile Memory」、及び、(5)米国特許第7,327,619号、2008年2月5日発行、「Reference Sense Amplifier For Non−Volatile Memory」に記載されている。以上に示した特許文書の5つの全ては、その全体を参照することにより本明細書に組み込まれる。
図15は、全ビットラインメモリアーキテクチャのために、又は、奇数−偶数メモリアーキテクチャのために、メモリアレイをブロックに編成する例を示す。メモリアレイ1500の例示的な構造が説明される。一例として、1,024個のブロックに分割されるNANDフラッシュEEPROMが説明されている。各ブロックに記憶されるデータは同時に消去できる。一実施形態では、ブロックは、同時に消去される記憶素子の最小単位である。この例では、各ブロックに、ビットラインBL0、BL1、・・・BL8511に対応する8,512の列が存在する。全ビットライン(ABL)アーキテクチャ(アーキテクチャ1510)と呼ばれる一実施形態では、ブロックの全ビットラインは、読み出し動作及びプログラミング動作中に同時に選択される。共通のワードラインに沿っており、任意のビットラインに接続される記憶素子は、同時にプログラミングされる。
上記の例では、4つの記憶素子が直列に接続されることでNANDストリングが形成されている。各NANDストリングに4つの記憶素子が含まれるように示されているが、4つより多くてもよく、4つより少なくてもよい(例えば、16個、32個、64個または他の数)。NANDストリングの1つの端子が(選択ゲートドレインラインSGDに接続されている)ドレイン選択ゲートを介して対応するビットラインに接続されており、別の端子が(選択ゲートソースラインSGSに接続されている)ソース選択ゲートを介してc−ソースに接続されている。
奇数−偶数アーキテクチャ(アーキテクチャ1500)と呼ばれる他の実施形態では、ビットラインは偶数ビットライン(BLe)と奇数ビットライン(BLo)に分割される。奇数−偶数アーキテクチャでは、共通ワードラインに沿っており、奇数ビットラインに接続されている記憶素子群は同時にプログラミングされ、共通ワードラインに沿っており、偶数ビットラインに接続されている記憶素子群は別のタイミングで同時にプログラミングされる。この例では、各ブロック内に8,512の列があり、これらの列は偶数列と奇数列に分けられる。この例では、4つの記憶素子が直列に接続されてNANDストリングを構成するものとして示されている。4つの記憶素子が各NANDストリングに含まれるように示されているが、4つより多い、または、4つより少ない記憶素子が使用されてもよい。
読み出し動作及びプログラミング動作の1つの構成の間に、4,256個の記憶素子が同時に選択される。選択された記憶素子は、同じワードラインと同じ種類のビットライン(例えば、偶数又は奇数)を有する。従って、1論理ページを形成する532バイトのデータを同時に読み出し、あるいは、プログラミングすることが可能であり、1ブロックのメモリが少なくとも8論理ページ(それぞれ奇数ページと偶数ページがある4ワードライン)を記憶できる。マルチステート記憶素子の場合、各記憶素子が2ビットのデータを記憶し、これらの2ビットのそれぞれが別のページに記憶されると、1ブロックは16の論理ページを記憶する。他のサイズのブロック及びページを使用することも可能である。
ABLアーキテクチャ又は奇数−偶数アーキテクチャの何れかの場合は、p−ウェルを消去電圧(例えば20V)に上昇させ、選択されたブロックのワードラインを接地することによって、記憶素子を消去できる。ソースライン及びビットラインはフローティングされる。消去は、メモリアレイ全体、別々のブロック、又はメモリ素子の一部である記憶素子の別の単位で実行できる。電子は、記憶素子のフローティングゲートからp−ウェル領域に移され、記憶素子のVTHが負となる。
読み出し動作及び検証動作では、選択ゲート(SGDとSGS)が2.5〜4.5Vの範囲の電圧に接続され、選択されていないワードライン(例えば、WL2が選択されたワードラインであるときにWL0、WL1、及び、WL3)は読み出しパス電圧VREAD(通常、4.5〜6Vの範囲の電圧)に上昇されてトランジスタをパスゲートとして動作させる。選択されたワードラインWL2は所定の電圧に接続され、その電圧のレベルは、関係する記憶素子のVTHがこのようなレベルを超えているのか、あるいは、下回っているのかを決定するために、読み出し動作及び検証動作ごとに指定される。例えば、2レベルの記憶素子のための読み出し動作では、選択されたワードラインWL2が接地されて、VTHが0Vより高いか否かが検出される。2レベル記憶素子の検証動作では、選択されたワードラインWL2が例えば0.8Vに接続されて、VTHが少なくとも0.8Vに到達したか否かが検証される。ソース及びp−ウェルは0Vとされる。偶数ビットライン(BLe)であると仮定される選択されたビットラインは、例えば0.7Vのレベルに事前充電される。VTHがワードライン上の読み出しレベル又は検証レベルより高い場合は、対象の記憶素子と関連するビットライン(BLe)の電位レベルは、非導電性記憶素子のために高いレベルに維持される。他方、VTHが読み出しレベル又は検証レベルより低い場合は、導電性記憶素子がビットラインを放電するために、対象のビットライン(BLe)の電位レベルは、例えば0.5V未満等の低いレベルに減少する。これによって、記憶素子の状態が、ビットラインに接続される電圧比較検出アンプによって検出される。
前述される消去動作、読み出し動作、及び、検証動作は、従来の既知の技法に従って実行される。従って、説明されている詳細の多くは、当業者によって変えられることがある。従来既知の他の消去技法、読み出し技法、及び検証技法も使用できる。
図16は、閾値電圧分布のセットを例示する。記憶素子アレイの例示のVTH分布は、各記憶素子が2ビットのデータを記憶するケースに対して提供されている。第1の閾値電圧分布Eは、消去された記憶素子に対して提供される。プログラミングされた記憶素子の3つの閾値電圧分布、A、B及びCも示されている。一実施形態では、E分布の閾値電圧は負であり、A分布、B分布及びC分布の閾値電圧は正である。
それぞれの閾値電圧範囲は、データビットのセットの所定値に対応する。記憶素子にプログラミングされたデータと記憶素子の閾値電圧レベルの特殊な関係は、記憶素子のために採用されるデータ符号化方式に依存する。例えば、両方ともその全体を参照することにより本明細書に組み込まれる、2007年6月26日に発行された米国特許第6,222,762号及び米国特許第7,237,074号は、マルチ状態フラッシュメモリ素子の多様なデータ符号化方式を説明する。一実施形態では、フローティングゲートの閾値電圧が誤ってその近傍の物理状態にシフトした場合に1ビットだけが影響を受けるように、データ値がグレーコード割り当てを使用して閾値電圧範囲に割り当てられる。一例は、閾値電圧範囲E(状態E)に「11」を、閾値電圧範囲A(状態A)に「10」を、閾値電圧範囲B(状態B)に「00」を、及び閾値電圧範囲C(状態C)に「01」を割り当てる。しかしながら、他の実施形態では、グレーコードは使用されない。4つの状態が示されているが、本発明は、4つの状態より多い又は少ない構造を含む他のマルチステート構造に使用することもできる。
読み出し参照電圧Vra、Vrb、及び、Vrcは、記憶素子からデータを読み出すために印加される。既定の記憶素子の閾値電圧がVra、Vrb及びVrcを上回っているのか、あるいは下回っているのかをテストすることによって、システムは、記憶素子の状態、即ち、プログラム状態を判定することができる。
さらに、3つの検証参照電圧Vva、Vvb、及び、Vvcが提供される。記憶素子を状態Aにプログラミングするときに、システムは、それらの記憶素子がVva以上の閾値電圧を有するかどうかをテストする。記憶素子を状態Bにプログラミングするときに、システムは、記憶素子がVvb以上の閾値電圧を有するかどうかをテストする。記憶素子を状態Cにプログラミングするときに、システムは、記憶素子がVvc以上の閾値電圧を有するかどうかをテストする。
フルシーケンスプログラミングとして知られている一実施形態においては、記憶素子は、消去状態Eからプログラミンされた状態A、B又はCの何れかに直接的にプログラミングされる。例えば、まず、プログラミングされる記憶素子の集合中の全ての記憶素子が消去状態Eとなるように、集合が消去される。次に、図20の制御ゲート電圧シーケンスで示されるような一連のプログラムパルスが、記憶素子を状態A、B又はCに直接的にプログラミングするために使用される。いくつかの記憶素子は状態Eから状態Aにプログラムされ、他の記憶素子は状態Eから状態Bに、及び/又は、状態Eから状態Cにプログラミングされる。選択されたワードラインWLn上で状態Eから状態Cにプログラミングするときには、WLnにあるフローティングゲートの電荷量の変化が、状態Eを状態Aにあるいは状態Eを状態Bにプログラミングするときの電荷の変化に比較して極めて大きいため、WLn−1にある隣のフローティングゲートへの寄生結合の量は最大に達する。状態Eから状態Bにプログラミングするときは、隣のフローティングゲートへの結合の量は少なくなる。状態Eから状態Aにプログラミングするときは、結合の量はさらに少なくなる。
図17は、2つの異なるページ(下位ページと上位ページ)に対してデータを記憶するマルチステート記憶素子にプログラムする2パス技術の一例を示している。状態E(11)、状態A(10)、状態B(00)及び状態C(01)の4つの状態が示されている。状態Eの場合、両方のページが「1」を記憶する。状態Aの場合、下位ページが「0」を記憶し、上位ページが「1」を記憶する。状態Bの場合、両方のページが「0」を記憶する。状態Cの場合、下位ページが「1」を記憶し、上位ページが「0」を記憶する。なお、各状態に対して特定のビットパターンが割り当てられているが、異なるビットパターンを割り当てることも可能である。
第1プログラミングパスでは、記憶素子の閾値電圧レベルは下位の論理ページにプログラムされるビットに従って設定される。そのビットが論理「1」であれば、以前に消去された結果として適切な状態にあるので閾値電圧は変更されない。しかし、プログラムされるビットが論理「0」であれば、矢印1100で示すように、記憶素子の閾値レベルは状態Aになるように増大される。これによって、第1プログラミングパスを終了する。
第2プログラミングパスでは、記憶素子の閾値電圧レベルは上位論理ページ内にプログラムされるビットに従って設定される。上位論理ページビットが論理「1」を記憶する場合、記憶素子は下位ページビットのプログラミングに依存する状態E又はAの一方であり、どちらも上位ページビットは「1」を保持するのでプログラミングは生じない。上位ページビットが論理「0」である場合、閾値電圧はシフトされる。第1パスによって記憶素子が消去状態Eに留まっていれば第2段階で記憶素子をプログラムし、矢印1720で示すたように閾値電圧が状態C内になるように増大させる。第1プログラミングパスの結果として記憶素子が状態A内にプログラムされれば、記憶素子はさらに第2パスでプログラムされ、矢印1710で示すように閾値電圧が状態B内になるように増大させる。第2パスの結果は、下位ページ用のデータを変更することなく、上位ページの論理「0」を記憶するように指定した状態に記憶素子をプログラムすることである。図16および17の両方において、隣接するワードライン上でフローティングゲートへの結合量は最終状態に依存する。
一実施形態では、全ページを充填するのに十分なデータを書き込まれた場合、システムは全シーケンス書き込みを実行するように設定される。十分ではないデータが全ページに書き込まれた場合、プログラミング処理は受け取ったデータを用いて下位ページプログラミングを実行できる。次のデータを受け取ったときは、システムは上位ページをプログラミングする。さらに別の実施形態では、システムは下位ページをプログラムするモードで書き込みを開始し、ワードラインの記憶素子の全体(又は大部分)を充填するために次の十分なデータを受け取った場合、全シーケンスプログラミングモードに変換する。このような実施形態のさらなる詳細は、米国特許第7,120,051号、「Pipelined Programming of Non−Volatile Memories Using Early Data」、発行日2006年10月10日に開示されている。その全体は参照することによって本明細書に組み込まれる。
図18a〜cは、前のページの隣の記憶素子に書き込んだ後で、特定のページに対してその特定の記憶素子を書き込むことによって、その特定の記憶素子に対するフローティングゲート間結合の影響を低減する不揮発性メモリをプログラムする別の方法を開示している。実施形態の一例では、不揮発性記憶素子は、4つのデータ状態を用いて記憶素子毎に2ビットのデータを記憶する。例えば、状態Eが消去状態であり、状態A、B及びCがプログラムされた状態であると仮定する。状態Eはデータ11を記憶している。状態Aはデータ01を記憶している。状態Bはデータ10を記憶している。状態Cはデータ00を記憶している。両方のビットは隣接する状態A及びBの間で変化するので、これは非グレイ符号化の一例である。データの物理的データ状態への他の符号化を用いることもできる。各記憶素子は2ページ分のデータを記憶する。参照のために、これらのページのデータは上位ページ及び下位ページと呼ばれるが、他のラベルを与えることもできる。状態Aを参照すると、上位ページはビット0を記憶し、下位ページはビット1を記憶している。状態Bを参照すると、上位ページはビット1を記憶し、下位ページはビット0を記憶している。状態Cを参照すると、両方のページがビットデータ0を記憶している。
プログラミング処理は、2つのステップの処理である。第1ステップでは、下位ページをプログラムする。下位ページがデータ1のままである場合、記憶素子状態は状態Eに留まる。データが0にプログラムされる場合、記憶素子の閾値電圧は上昇し、記憶素子は状態B’にプログラムされる。従って、図18aは、状態Eから状態B’への記憶素子のプログラミングを示している。状態B’は中間状態Bであり、従って、検証点はVvb’として示され、Vvbより低い。
一実施形態では、状態Eから状態B’に記憶素子をプログラムした後、NANDストリング内の隣接記憶素子(WLn+1)をその下位ページに対してプログラムする。例えば、図2を見直すと、記憶素子106の下位ページをプログラムした後に、記憶素子104の下位ページをプログラムする。記憶素子104をプログラムした後に、記憶素子104が状態Eから状態B’に上昇した閾値電圧を有していれば、フローティングゲート間結合の影響は記憶素子106の見かけの閾値電圧を上昇させる。これは、図18bの閾値電圧分布1850に示したように状態B’の閾値電圧分布を拡大する影響を有する。閾値電圧分布のこの見かけの拡大は、上位ページをプログラムする際に修正される。
図18cは、上位ページをプログラムする工程を示している。記憶素子が消去状態Eであって上位ページが1に留まる場合、記憶素子は状態Eに留まる。記憶素子が状態Eであり、その上位ページデータが0にプログラムされる場合、記憶素子の閾値電圧は上昇し、記憶素子は状態Aになる。記憶素子が中間の閾値電圧分布1850であって上位ページデータが1に留まる場合、記憶素子は最終状態Bにプログラムされる。記憶素子が中間の閾値電圧分布1850であって上位ページデータがデータ0になる場合、記憶素子の閾値電圧は上昇し、記憶素子は状態Cになる。隣接記憶素子の上位ページプログラミングだけが所定の記憶素子の見かけの閾値電圧に影響を与えるので、図18a〜cで示した工程はフローティングゲート間結合影響を低減する。別の状態符号化の一例は、上位ページデータが1であるとき分布1850から状態Cに移動することであり、上位ページデータが0であるとき状態Bに移動することである。
図18a〜cは4つのデータ状態と2つのページデータに対する一例を提供するが、開示された概念は4つの状態より多い、又は少ない状態、及び2つのページとは異なるページを備えた他の実施形態に適用することもできる。
図19は、不揮発性メモリをプログラミングする方法の一実施形態を示すフローチャートである。一実施形態では、記憶素子はプログラミングの前に(ブロック単位または他の単位で)消去される。ステップ1900では、「データロード」コマンドが制御部によって発行され、入力が制御回路1210によって受信される。ステップ1905では、ページアドレスを指定するアドレスデータが制御部またはホストからデコーダ1214に入力される。ステップ1910では、アドレス指定されたページのプログラムデータの1ページが、プログラミング用のデータバッファに入力される。そのデータは、ラッチの適切なセットにラッチされる。ステップ1915では、「プログラム」コマンドが、制御部によって状態マシン1212に発行される。
「プログラム」コマンドによってトリガされることで、ステップ1910でラッチされたデータは、適切な選択されたワードラインに印加される図20のパルス列2000のステップ状のプログラムパルスを用いてステートマシン1212によって制御される選択された記憶素子にプログラミングされる。ステップ1920では、プログラム電圧VPGMが開始パルス(例えば、12Vまたは他の値)に初期化され、ステートマシン1212によって維持されるプログラムカウンタ(PC)がゼロに初期化される。ステップ1925では、既に述べたように、選択されていないビットラインのチャネルが事前充電される。ステップ1930では、第1のVPGMパルスが選択されたワードラインに印加され、選択されたワードラインに接続されている記憶素子のプログラミングが開始される。論理「0」が、対応する記憶素子がプログラミングされなければならないことを示す特定のデータラッチに記憶されている場合には、対応するビットラインが接地される。他方、論理「1」が、対応する記憶素子が現在のデータ状態に留まる必要があることを示す特定のラッチに記憶されている場合には、対応するビットラインが1.5〜3Vに接続され、プログラミングが禁止される。
ステップ1935では、選択された記憶素子の状態が検証される。選択された記憶素子の対象の閾値電圧が適切なレベルに到達したことが検出されると、対応するデータラッチに記憶されるデータが論理「1」に変更される。閾値電圧が適切なレベルに到達していないことが検出されると、対応するデータラッチに記憶されるデータは変更されない。このように、対応するデータラッチに論理「1」が記憶されているビットラインは、プログラミングされる必要がない。データラッチの全てが論理「1」を記憶しているとき、ステートマシンは(前述されたワイヤードOR型機構を介して)全ての選択された記憶素子がプログラミングされたことを認識する。ステップ1940では、データラッチの全てが論理「1」を記憶しているか否かがチェックされる。データラッチの全てが論理「1」を記憶している場合、全ての選択された記憶素子がプログラミングされて検証されたため、プログラミング処理は完了し、成功となる。ステップ1945で「パス(合格)」のステータスが報告される。いくつかの実施形態では、プログラミング処理は全ての選択された記憶素子がプログラムされたと検証されたわけではない場合でも、完了し、成功となる。このような場合は、十分にプログラムされていない記憶素子によって、その後の読出し処理中にエラーが生じ得る。しかしながら、このようなエラーはECCで修正され得る。
ステップ1940で、データラッチの全てが論理「1」を記憶しているわけではないと判定されると、プログラミング処理は続行する。いくつかの実施形態では、データラッチの全てが論理「1」を記憶しているわけではない場合でも、プログラム処理がストップする場合がある。ステップ1950では、プログラムカウンタPCが、プログラム制限値PCmaxに対してチェックされる。プログラム制限値の一例は20である。ただし、他の数も使用できる。プログラムカウンタPCがPCmax未満ではない場合、プログラム処理は失敗となり、「失敗」のステータスがステップ1955で報告される。プログラムカウンタPCがPCmax未満である場合には、VPGMがステップサイズだけ増加され、ステップ1960でプログラムカウンタPCは増分される。次にプロセスはステップ1930に戻り、次のVPGMパルスが印加される。
図20は、プログラミング中に不揮発性記憶素子の制御ゲートに印加されるパルス列の例を示す。パルス列2000は一連のプログラムパルス2005、2010、2015、2020、2025、2030、2035、2040、2045、2050・・・を含んでおり、これらはプログラミング対象として選択されたワードラインに印加される。一実施形態では、プログラミングパルスは、12Vで開始し、最大20〜25Vに達するまでプログラミングパルスごとに、例えば0.5Vずつ増加する電圧VPGMを有する。プログラムパルス間には検証パルス(例えば、3つの検証パルス)がある。いくつかの実施形態では、データが、例えば状態A、B及びCにプログラミングされている状態ごとに検証パルスが存在する。他の実施形態では、さらに多くまたはさらに少ない検証パルスが存在する。各セットの検証パルスは、例えば、Vva、Vvb、及び、Vvc(図17)、又は、Vvb’(図18a)の振幅を有し得る。
本発明の前記の詳細な説明は図解及び説明のために提示されたものである。本発明は、網羅的となる、あるいは本発明を開示されている正確な形式に制限することを意図していない。前記教示を鑑みて多くの変型及び変更が可能である。説明された実施形態は、本発明及びその実際的な応用を最もよく説明し、それにより当業者が多様な実施形態において、及び意図されている特定の使用に適するように多様な変型を用いて本発明を最もよく活用できるようにするために選択された。本発明の範囲がここに添付される請求項により定められることが意図される。

Claims (12)

  1. 不揮発性記憶装置を動作させる方法であって、
    1組の不揮発性記憶素子(1500、1510)の中にあり、1組のワードライン(600)の中の選択されたワードライン(WL3)に接続されている少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子からのデータの読み出しを要求する読み出しコマンド(700)を受信するステップと、
    前記読み出しコマンドに応じて、前記1組のワードラインの中の別のワードライン(WL5)を選定するステップ(710)と、
    前記別のワードラインに接続されている不揮発性記憶素子に対して検出動作を実施するステップ(715)と、
    前記検出動作に基づいて、少なくとも1つの読み出し比較レベルを決定するステップ(725)と、
    前記少なくとも1つの読み出し比較レベルを用いて前記少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を読み出すステップ(730)、
    を備えており、
    前記検出動作は、閾値電圧分布を取得し、
    前記少なくとも1つの読み出し比較レベルは、前記閾値電圧分布の中の凹み部分を特定することによって決定される、
    方法。
  2. 前記別のワードラインを前記1組のワードラインから無作為に選定するステップをさらに備える請求項に記載の方法。
  3. 前記1組のワードラインの中の少なくとも1つの指定されたワードライン(WL4)を除外して、前記別のワードラインを前記1組のワードラインから無作為に選定するステップをさらに備える請求項に記載の方法。
  4. 前記別のワードラインが、前記選択されたワードラインに隣接しない請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
  5. 前記検出動作に基づいて、前記別のワードラインに接続されている前記不揮発性記憶素子に対して複数の読み出し比較レベルを決定するステップと、
    前記複数の読み出し比較レベルを用いて前記少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を読み出すステップ、
    をさらに備える請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
  6. 前記少なくとも1つの読み出し比較レベルは、データ状態の第1のペアの隣接する状態を互いに区別する第1の読み出し比較レベル(930)を備え、
    前記方法が、
    前記第1の読み出し比較レベルに基づいて、かつ、データ状態の第2のペアの隣接する状態を互いに区別する検出動作を実施せずに、データ状態の前記第2のペアの隣接する状態を互いに区別する第2の読み出し比較レベル(935)を決定するステップをさらに備える、
    請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
  7. 不揮発性記憶システムであって、
    少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を含む1組の不揮発性記憶素子(1500、1510)と、
    前記少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子が接続されている選択されたワードライン(WL3)を含んでおり、前記1組の不揮発性記憶素子に接続されている1組のワードライン(600)と、
    前記1組のワードラインと通信する少なくとも1つの制御回路(1210、1250)、
    を有しており、
    前記少なくとも1つの制御回路が、
    (a)前記選択されたワードラインに接続されている前記少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子からのデータの読み出しを要求する読み出しコマンドを受信し(700)、
    (b)前記読み出しコマンドに応じて、前記1組のワードラインの中の別のワードライン(WL5)を選定し(710)、前記別のワードラインに接続されている不揮発性記憶素子に対して検出動作を実施し(715)、前記検出動作に基づいて少なくとも1つの読み出し比較レベルを決定し(725)、
    (c)前記少なくとも1つの読み出し比較レベルを用いて前記少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を読み出(730)、
    前記検出動作は、閾値電圧分布を取得し、
    前記少なくとも1つの読み出し比較レベルは前記閾値電圧分布の中の凹み部分を特定することによって決定される、
    不揮発性記憶システム。
  8. 前記少なくとも1つの制御回路が、前記1組のワードラインの中の少なくとも1つの指定されたワードライン(WL4)を除外して、前記別のワードラインを前記1組のワードラインから無作為に選択する、請求項に記載の不揮発性記憶システム。
  9. 前記少なくとも1つの制御回路が、前記別のワードラインを前記1組のワードラインから無作為に選択する、請求項に記載の不揮発性記憶システム。
  10. 前記別のワードラインが、前記選択されたワードラインに隣接しない、請求項7または8に記載の不揮発性記憶システム。
  11. 前記少なくとも1つの制御回路が、
    前記検出動作に基づいて、前記別のワードラインに接続されている前記不揮発性記憶素子に対して複数の読み出し比較レベルを決定し、
    前記複数の読み出し比較レベルを用いて、前記少なくとも1つの選択された不揮発性記憶素子を読み出す、
    請求項10のいずれか一項に記載の不揮発性記憶システム。
  12. 前記少なくとも1つの読み出し比較レベルは、データ状態の第1のペアの隣接する状態を互いに区別する第1の読み出し比較レベル(930)を備え、
    前記少なくとも1つの制御回路が、
    前記第1の読み出し比較レベルに基づいて、かつ、データ状態の第2のペアの隣接する状態を互いに区別する検出動作を実施せずに、データ状態の前記第2のペアの隣接する状態を互いに区別する第2の読み出し比較レベル(935)を決定する、
    請求項11のいずれか一項に記載の不揮発性記憶システム。
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