JP5435189B2 - 電子スイッチ - Google Patents
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Ie=qAΔNDn/Ln
であらわされる。このときのqは素電荷、AはIGBTの動作領域の面積、Dnはp型半導体層1の電子の拡散係数、Lnはp型半導体層1の電子の拡散長を表す。また、ホール電流Ihは
Ih=qAΔNDp/Lp
であらわされる。このときDpはn型半導体層4のホールの拡散係数、Lnはn型半導体層4のホールの拡散長を表す。IGBTの全電流Iは
I=qAΔN{Dn/Ln+Dp/Lp}
であらわされる。さらにLpとLnは次の式で表される。
Lp=(Dpτp)1/2
Ln=(Dnτn)1/2
ここでτpとτnは、それぞれn型半導体層4のホールのライフタイム、p型半導体層1の電子のライフタイムである。すなわち、コレクタに近いp型半導体層1あるいはn型半導体層4のキャリアのライフタイムが小さくなれば、Iを一定としたときにΔN、すなわちi層に蓄積される電荷密度を抑制することができる。
3…p型半導体層、4…n型半導体層、
5…ゲート絶縁層、6…エミッタ電極層、
7…コレクタ電極層、8…エミッタ電極、
9…ゲート電極層、10…コレクタ電極、
11…ゲート電極、
12…ライフタイムを抑制されたp型半導体層、
13…ON動作時の電子の流れ、
14…ON動作時のホールの流れ
Claims (1)
- p型の半導体基板あるいは膜があり、これをA膜とし、この上に、n型あるいはi型の半導体膜を形成し、これをB膜とし、この上にp型の半導体領域を形成し、これをC領域とし、C領域上の一部にn型半導体領域を形成し、これをD領域として、C領域とD領域に接するように絶縁体層を形成し、絶縁体層上に導電膜を形成し、この導電膜をゲート電極とする。またA膜に導電膜を接触させて、これをコレクタ電極とする。またD領域に導電膜を接触させてこれをエミッタ電極とする。エミッタ電極とゲート電極間の電位差を変動させることで、コレクタ電極とエミッタ電極間のインピーダンスを変化することを特徴とし、A膜とB膜の接合面から距離として10nm以上の距離のA膜の領域の一部の少数キャリアのライフタイムをB層に対して、100分の1以下に設定し、あるいは50ns以下とし、D領域の少数キャリアのライフタイムをB膜に対して抑制したことを特徴とした電子スイッチにおいて、ライフタイムを抑制するために、半導体層に転位などの欠陥を導入することを特徴とし、転位の密度は10 5 /cm 2 以上とし、転位を導入する領域をGeを含有させたSiとし、Geを含有させたSi領域のGe濃度を4%とし、その厚みを0.1μm以上とし、それ以外の半導体領域をSiとすることを特徴とした電子スイッチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007294913A JP5435189B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 電子スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007294913A JP5435189B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 電子スイッチ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009099920A JP2009099920A (ja) | 2009-05-07 |
JP5435189B2 true JP5435189B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=40702601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007294913A Expired - Fee Related JP5435189B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 電子スイッチ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5435189B2 (ja) |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2617497B2 (ja) * | 1987-12-18 | 1997-06-04 | 松下電工株式会社 | 半導体装置 |
JPH0671078B2 (ja) * | 1988-04-23 | 1994-09-07 | 松下電工株式会社 | 半導体装置 |
JPH0783121B2 (ja) * | 1988-09-02 | 1995-09-06 | 三菱電機株式会社 | 電界効果型半導体装置 |
JP2752184B2 (ja) * | 1989-09-11 | 1998-05-18 | 株式会社東芝 | 電力用半導体装置 |
JPH03171777A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-07-25 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2963204B2 (ja) * | 1990-12-12 | 1999-10-18 | 三菱電機株式会社 | 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタの製造方法 |
JPH04269874A (ja) * | 1991-02-26 | 1992-09-25 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPH04313242A (ja) * | 1991-04-10 | 1992-11-05 | Sony Corp | 薄膜半導体装置の製造方法 |
JP3348517B2 (ja) * | 1994-06-07 | 2002-11-20 | ソニー株式会社 | 薄膜電界効果トランジスタの製造方法 |
JPH0982955A (ja) * | 1995-09-14 | 1997-03-28 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製法 |
JPH1074959A (ja) * | 1996-07-03 | 1998-03-17 | Toshiba Corp | 電力用半導体素子 |
JP2001024194A (ja) * | 1999-05-06 | 2001-01-26 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP3695249B2 (ja) * | 1999-09-30 | 2005-09-14 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置及びそれを用いた電力変換装置 |
TW477012B (en) * | 2000-12-16 | 2002-02-21 | Conjune Technologies Corp | Method for controlling the switching speed of insulated gate bipolar transistor (IGBT), and the insulated gate bipolar transistor (IGBT) device and the manufacturing method thereof |
JP3975844B2 (ja) * | 2002-07-04 | 2007-09-12 | 株式会社豊田中央研究所 | Igbtとその製造方法 |
JP2007258363A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Denso Corp | 半導体装置 |
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2007
- 2007-10-18 JP JP2007294913A patent/JP5435189B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009099920A (ja) | 2009-05-07 |
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A521 | Written amendment |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121227 |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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