JP5353802B2 - 半導体発光素子の製造方法およびランプ、電子機器、機械装置 - Google Patents
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Description
〔1〕 第一有機金属化学気相成長装置において、基板上に第一n型半導体層を積層する第一工程と、第二有機金属化学気相成長装置において前記第一n型半導体層上に、前記第一n型半導体層の再成長層と、第二n型半導体層と、障壁層およびGa1−xInxN(0<x<0.2)なる組成の井戸層からなる発光層と、Al1−yGayN(0.1<y<0.5)なる組成のpクラッド層およびpコンタクト層からなるp型半導体層と、を順次積層する第二工程とを具備し、前記第二工程において前記再成長層を基板温度700℃〜1200℃で形成し、前記pクラッド層を基板温度800℃〜1200℃で形成することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
〔2〕 前記pコンタクト層を基板温度800℃〜1200℃で形成することを特徴とする〔1〕に記載の半導体発光素子の製造方法。
〔3〕 前記再成長層を5μm以下の膜厚で形成することを特徴とする〔1〕または〔2〕に記載の半導体発光素子の製造方法。
〔4〕 第一有機金属化学気相成長装置において、基板上に第一n型半導体層を積層する第一工程と、第二有機金属化学気相成長装置において前記第一n型半導体層上に、前記第一n型半導体層の再成長層と、第二n型半導体層と、障壁層およびGa1−xInxN(0<x<0.2)なる組成の井戸層からなる発光層と、Al1−yGayN(0.1<y<0.5)なる組成のpクラッド層およびpコンタクト層からなるp型半導体層と、を順次積層する第二工程とを具備し、発光波長が360〜420nmの範囲であることを特徴とするIII族窒化物半導体発光素子の製造方法。
〔5〕 基板上に、n型半導体層、発光層及びp型半導体層が順次積層されてなり、前記n型半導体層、発光層及びp型半導体層がそれぞれIII族窒化物半導体から構成されてなる半導体発光素子において、前記n型半導体層を構成するnコンタクト層又はnクラッド層が、複数の有機金属化学気相成長装置で成長され、前記発光層は、障壁層およびGa1−yInyN(0<y<0.20)なる組成の井戸層が交互に複数積層された多重量子井戸構造からなることを特徴とする半導体発光素子。
〔6〕 前記発光層からの発光光の発光波長が360〜420nmの範囲であることを特徴とする〔5〕に記載の半導体発光素子。
〔7〕 〔1〕乃至〔4〕のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法を用いて製造された半導体発光素子又は〔5〕又は〔6〕に記載の半導体発光素子を備えることを特徴とするランプ。
〔8〕 〔7〕に記載のランプが組み込まれていることを特徴とする電子機器。
〔9〕 〔8〕に記載の電子機器が組み込まれていることを特徴とする機械装置。
また、発光層の結晶性が高まることにより、Pクラッド層を高温で形成しても、発光層からの過剰なインジウムの昇華を防ぐことができるとともに、凹凸やピット(孔)の発生を防ぐことが可能となる。また、高温で形成することにより、高い結晶性のPクラッド層やPコンタクト層を形成することが可能となる。更に、一台の有機金属化学気相装置によって連続成長させる場合と比較して、Pクラッド層の成長温度範囲が、広くなる効果も見出した。
このように、高い結晶性の発光層、Pクラッド層およびPコンタクト層を形成することができるため、半導体発光素子の発光出力の向上、動作電圧の低減を実現することが可能となる。また、半導体層の凹凸やピットの発生が防がれるため、半導体発光素子の不良が防がれるとともに、高い信頼性を得ることが可能となる。
図1に示す本実施形態の半導体発光素子1は、基板11と、基板11上に積層された積層半導体層20と、積層半導体層20の上面に積層された透光性電極15と、透光性電極15上に積層されたp型ボンディングパッド電極16と、積層半導体層20の露出面20a上に積層されたn型電極17と、から概略構成されている。
また、p型半導体層14の上面には、透光性電極15およびp型ボンディングパッド電極16が積層されている。これら、透光性電極15およびp型ボンディングパッド電極16によって、p型電極18が構成されている。
以下、それぞれの構成について詳細に説明する。
基板11としては、例えば、サファイア、SiC、シリコン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化ジルコニウム、酸化マンガン亜鉛鉄、酸化マグネシウムアルミニウム、ホウ化ジルコニウム、酸化ガリウム、酸化インジウム、酸化リチウムガリウム、酸化リチウムアルミニウム、酸化ネオジウムガリウム、酸化ランタンストロンチウムアルミニウムタンタル、酸化ストロンチウムチタン、酸化チタン、酸化ハフニウム、酸化タングステン、酸化モリブデン等からなる基板を用いることができる。上記基板の中でも、特に、c面を主面とするサファイア基板を用いることが好ましい。
バッファ層21は、設けられていなくてもよいが、基板11と下地層22との格子定数の違いを緩和して、基板11の(0001)C面上にC軸配向した単結晶層の形成を容易にするために、設けられていることが好ましい。バッファ層21の上に単結晶の下地層22を積層すると、より一層結晶性の良い下地層22が積層できる。
バッファ層21は、例えば、多結晶のAlxGa1−xN(0≦x≦1)からなる厚さ0.01〜0.5μmのものとすることができる。バッファ層21の膜厚が0.01μm未満であると、バッファ層21により基板11と下地層22との格子定数の違い緩和する効果が十分に得られない場合がある。また、バッファ層21の膜厚が0.5μmを超えると、バッファ層21としての機能には変化が無いのにも関わらず、バッファ層21の成膜処理時間が長くなり、生産性が低下する。
下地層22としては、AlxGayInzN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)が挙げられるが、AlxGa1−xN(0≦x<1)を用いると結晶性の良い下地層22を形成できるため好ましい。
下地層22の膜厚は0.1μm以上であることが好ましく、より好ましくは0.5μm以上であり、1μm以上が最も好ましい。この膜厚以上にした方が結晶性の良好なAlxGa1−xN層が得られやすい。また、下地層22の膜厚は10μm以下が好ましい。
下地層22の結晶性を良くするために、下地層22には不純物をドーピングしない方が望ましい。しかし、p型あるいはn型の導電性が必要な場合には、下地層22にアクセプター不純物あるいはドナー不純物を添加することができる。
<n型半導体層12>
n型半導体層12はさらに、nコンタクト層12a(第一n型半導体層12cおよび再成長層12d)と、nクラッド層12b(第二n型半導体層)とから構成されている。以下、それぞれの構成についてその詳細を説明する。
nコンタクト層12aは、n型電極17を設けるための層であり、後述する第一工程において形成された第一n型半導体層12cと、後述する第二工程において形成された、第一n型半導体層12cの再成長層12dとから構成されている。なお、これら第一n型半導体層12cと再成長層12dは、同一の材料からなることが好ましい。また、本実施形態においては、図1に示すように、n型電極17を設けるための露出面20aが、第一n型半導体層12cに形成されている。この露出面20aの形成箇所は第一n型半導体層12cに限られず、再成長層12dに形成されていてもよい。
本実施形態においては、結晶性の高い再成長層12dが設けられていることにより、nクラッド層12bおよび発光層13の結晶性は、より一層良好なものとなる。そのため、発光層13の凹凸やピット(孔)の発生が防がれる。
nクラッド層12bは、nコンタクト層12aと発光層13との間に設けられている。nクラッド層12bは、発光層13へのキャリアの注入とキャリアの閉じ込めを行なう層であり、再成長層12dと発光層13との結晶格子の不整合を緩和する発光層13のバッファ層としても機能するものである。nクラッド層12bはAlGaN、GaN、GaInNなどで形成することが可能であるが、Alを含んだAlGaNで形成することが好ましい。なお、本明細書中では、各元素の組成比を省略してAlGaN、GaN、GaInNと記述する場合がある。nクラッド層12bをGaInNで形成する場合には、発光層13のGaInNのバンドギャップよりも大きくすることが望ましいことは言うまでもない。
発光層13の構造としては、単一量子井戸構造あるいは多重量子井戸構造等が挙げられる。図1に示すような多重量子井戸構造の井戸層としては、青色発光を呈する構成とする場合には、通常、Ga1−yInyN(0.2<y<0.4)なる組成のIII族窒化物半導体が用いられるが、本発明のような近紫外光を呈する井戸層13bの場合には、Ga1−xInxN(0<x<0.2)等、インジウムの組成の低いものが用いられる。
また、多重量子井戸構造における積層数は3層から10層であることが好ましく、4層から7層であることがさらに好ましい。また、障壁層13aは、n型半導体層12側及びp型半導体層14側に配されるように積層することが好ましい。
障壁層13aの膜厚は、2nm以上30nm未満の範囲であることが好ましい。障壁層13aの膜厚がこの範囲内であることにより、発光効率やエージング特性の低下および駆動電圧の上昇を防ぐことができる。一方、障壁層13aの膜厚が2nm未満であると、障壁層13a上面の平坦化を阻害し、発光効率の低下やエージング特性の低下を引き起こす。また、障壁層13aの膜厚が厚すぎると、駆動電圧の上昇や発光の低下を引き起こす。このため、障壁層13aの膜厚は20nm以下であることがより好ましい。
また、障壁層13aは、GaNやInGaNのほか、井戸層13bとのバンドギャップエネルギー差を確保するためにAlを添加したAlGaNやAlGaInNで形成することができる。中でも、バンドギャップが大きいGaNまたはAlGaNが好適である。
井戸層13bの膜厚としては、量子効果の得られる程度の膜厚、例えば1〜10nmとすることができ、発光出力の点からは、2〜6nmとすることがより好ましい。井戸層13bの膜厚が上記範囲であると、より高い発光出力が得られる。
また、本発明のような多重量子井戸構造の発光層13の場合は、井戸層13bは上記Ga1−xInxN(0<x<0.2)からなることが好ましい。
また、井戸層13bには、不純物をドープすることができる。ドーパントとしては、発光強度を増進するものであるSi、Geを用いることが好ましい。ドープ濃度は1×1016cm−3〜1×1017cm−3程度が好適である。ドープ濃度が上記範囲である場合、より発光強度の強いものとなる。
p型半導体層14は、通常、pクラッド層14aおよびpコンタクト層14bから構成される。また、pコンタクト層14bがpクラッド層14aを兼ねた単層構造であってもよい。
pクラッド層14aは、発光層13へのキャリアの閉じ込めとキャリアの注入を行なう層である。pクラッド層14aとしては、発光層13のバンドギャップエネルギーより大きくなる組成であり、発光層13へのキャリアの閉じ込めができるものであれば特に限定されないが、Al1−yGayN(0.1<y<0.5)からなるものであることが好ましい。pクラッド層14aが、このようなAlGaNからなるものである場合、発光層13へのキャリアの閉じ込めの点で好ましい。
pコンタクト層14bは、正極を設けるための層である。pコンタクト層14bは、AlxGa1−xN(0≦x≦0.4)からなるものであることが、良好な結晶性の維持およびpオーミック電極との良好なオーミック接触の点で好ましい。また、pコンタクト層14bがp型不純物(ドーパント)を1×1018〜1×1021/cm3を5×1019〜5×1020/cm3の濃度で含有しているものである場合、良好なオーミック接触の維持、クラック発生の防止、良好な結晶性の維持の点で好ましい。p型不純物としては、特に限定されないが、例えばMgを用いることが好ましい。pコンタクト層14bの膜厚は、特に限定されないが、10〜500nmであることが好ましく、50〜200nmであることがより好ましい。pコンタクト層14bの膜厚がこの範囲であると、発光出力の点で好ましい。
n型電極17は、ボンディングパットを兼ねており、積層半導体層20のn型半導体層12に接するように形成されている。このため、n型電極17を形成する際には、少なくともp半導体層14および発光層13の一部を除去してn型半導体層12を露出させ、n型半導体層12の露出面20a上にボンディングパッドを兼ねるn型電極17を形成する。n型電極17としては、各種組成や構造が周知であり、これら周知の組成や構造を何ら制限無く用いることができ、この技術分野でよく知られた慣用の手段で設けることができる。
透光性電極15は、p型半導体層14の上に積層されるものであり、p型半導体層14との接触抵抗が小さいものであることが好ましい。また、透光性電極15は、発光層13からの光を効率良く半導体発光素子1の外部に取り出すために、光透過性に優れたものであることが好ましい。また、透光性電極15は、p型半導体層14の全面に渡って均一に電流を拡散させるために、優れた導電性を有していることが好ましい。
p型ボンディングパッド電極16はボンディングパットを兼ねており、透光性電極15の上に積層されている。p型ボンディングパッド電極16としては、各種組成や構造が周知であり、これら周知の組成や構造を何ら制限無く用いることができ、この技術分野でよく知られた慣用の手段で設けることができる。
図示しない保護膜層は、必要に応じて透光性電極15の上面および側面と、n型半導体層12の露出面20a、発光層13およびp型半導体層14の側面、n型電極17およびp型ボンディングパッド電極16の側面や周辺部を覆うよう形成される。保護膜層を形成することにより、半導体発光素子1の内部への水分等の浸入を防止でき、半導体発光素子1の劣化を抑制することができる。
保護膜層としては、絶縁性を有し、300〜550nmの範囲の波長において80%以上の透過率を有する材料を用いることが好ましく、例えば、酸化シリコン(SiO2)、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化ニオブ(Nb2O5)、酸化タンタル(Ta2O5)、窒化シリコン(Si3N4)、窒化アルミニウム(AlN)等を用いることができる。このうちSiO2、Al2O3は、CVD成膜で緻密な膜が容易に作製でき、より好ましい。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などは実際と同じであるとは限らない。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
はじめに、サファイア等からなる基板11を用意する。
次に、基板11を第一MOCVD装置(第一有機金属化学気相成長装置)の成長室内に設置し、MOCVD法によって、基板11上に、バッファ層21と、下地層22を順次積層する。また、バッファ層21をスパッタ法によって形成して、その後基板11を第一MOCVD装置の成長室内に移して下地層22を形成してもよい。
次いで下地層22上に、nコンタクト層12aの一部を構成する第一n型半導体層12cを積層する。このとき、第一n型半導体層12cの膜厚は0.5〜5μmとすることが好ましく、2μm〜4μmとすることが特に好ましい。上記範囲内で形成することにより、半導体の結晶性を良好に維持できるためである。
また、第一n型半導体層12cを成長させる原料としては、トリメチルガリウム(TMG)などのIII族金属の有機金属原料とアンモニア(NH3)などの窒素原料とを用いる。MOCVD装置の成長室内の圧力は15〜80kPaとすることが好ましく、15〜60kPaとすることがより好ましい。キャリアガスは水素ガスのみであってもよいし、水素ガスと窒素ガスとの混合ガスであってもよい。
第二工程はさらに、第一n型半導体層12c上に第一n型半導体層12cの再成長層12dを形成する工程と、nクラッド層12b(第二n型半導体層)を形成する工程と、発光層13を形成する工程と、p型半導体層14を形成する工程と、から構成されている。以下、それぞれの工程について詳細を説明する。
まず、第一n型半導体層12cまでの各層の形成された基板11を第二有機金属化学気相成長装置(第二MOCVD装置)の成長室内に設置する。次いで、MOCVD法によって第一n型半導体層12c上に、nコンタクト層12aの再成長層12dを形成する。
なお、第一n型半導体層12cの表面が汚染されたままである場合、逆方向電流(IR)が十分に低くならなかったり、静電気放電(ESD)耐圧が不足したりする恐れがあり、半導体発光素子1の信頼性が低下する。
次いで、再成長層12d上にnクラッド層12bを形成する。
まず始めに、膜厚10nm以下のIII族窒化物半導体からなるn側第一層と、n側第一層と組成が異なる、III族窒化物半導体からなる膜厚10nm以下のn側第二層とを交互に10ペア数(20層)〜40ペア数(80層)繰返し積層する。
次いで、多重量子井戸構造の発光層13を形成する。まず、障壁層13aと井戸層13bとを交互に繰返し積層する。このとき、障壁層13aは、n型半導体層12側及びp型半導体層14側に配されるように積層することが好ましい。このとき、井戸層13bおよび障壁層13aの組成や膜厚は、所定の発光波長になるように適宜設定することができる。
本実施形態においては、結晶性の良好な再成長層12dが形成されているため、結晶性の高い発光層13を形成することができる。
なお、このとき、キャリアガスとしては窒素ガスを用いることができる。
p型半導体層14の形成は、pクラッド層14aと、pコンタクト層14bとを順次積層すればよい。なお、pクラッド層14aを、超格子構造を含む層とする場合には、膜厚10nm以下のIII族窒化物半導体からなるp側第一層と、p側第一層と組成が異なる膜厚10nm以下のIII族窒化物半導体からなるp側第二層とを交互に繰返し積層すればよい。
本実施形態においては、結晶性の高い発光層13が形成されているため、従来の製造方法よりも高い温度でpコンタクト層14bを成長させても、発光層13の凹凸やピット(孔)の発生を防ぐことができる。そのため、pコンタクト層14bを従来の製造方法よりも高い温度で成長させることができ、結晶性の良好なpコンタクト層14bを形成することができる。
以上のようにして、図2に示す積層半導体層20が製造される。
続いて、例えばフォトリソグラフィーの手法によりパターニングを行い、所定の領域の積層半導体層20の一部をエッチングする。これによりnコンタクト層12aの第一n型半導体層12cの一部を露出させ、nコンタクト層12aの露出面20aが形成される。次いで、その露出面20a上にn型電極17を形成する。
その後、透光性電極15の上にp型ボンディングパッド電極16を形成する。
以上のようにして、図1に示す半導体発光素子1が製造される。
以上により、逆方向電流(IR)が十分に低く、発光出力(Po)の高い半導体発光素子1を形成することができる。また、半導体発光素子1の不良を防ぐことができるため、高い信頼性を得ることが可能となる。
本実施形態のランプは、本発明の半導体発光素子1を備えるものであり、上記の半導体発光素子1と蛍光体とを組み合わせてなるものである。本実施形態のランプは、当業者周知の手段によって当業者周知の構成とすることができる。例えば、本実施形態のランプにおいては、半導体発光素子1と蛍光体と組み合わせることによって発光色を変える技術を何ら制限されることなく採用できる。
(実施例1)
以下に示す方法により、図1に示す半導体発光素子1を製造した。
実施例1の半導体発光素子1では、サファイアからなる基板11上に、AlNからなるバッファ層21、厚さ5μmのアンドープGaNからなる下地層22、厚さ3μmのSiドープn型GaNからなる第一n型半導体層12cと、膜厚1μmのn型GaNからなる再成長層12dとからなる厚さ3μmのnコンタクト層12a、GaInNからなる厚さ2nmのn側第一層と、GaNからなる厚さ2nmのn側第二層とからなる薄膜層を20層(ペア数)繰り返し成長させてなる厚さ80nmのnクラッド層12b、厚さ6nmのSiドープGaN障壁層13aおよび厚さ3nmのGa0.97In0.03Nからなる井戸層13bを6回積層し、最後に障壁層13aを設けた多重量子井戸構造の厚さ60nmの発光層13、厚さ17.5nmのMgドープ単層Al0.07Ga0.93Nからなるpクラッド層14a、厚さ165nmのMgドープp型GaNからなるpコンタクト層14bと、を順に積層した。
第一n型半導体層12cは、トリメチルガリウム(TMG)のIII族金属の有機金属原料とアンモニア(NH3)などの窒素原料を用いて下地層22の上に成長させた。また、n型ドーピングにはモノシラン(SiH4)を用いた。
トリメチルガリウムの供給を停止し、第一n型半導体層12cの成長を終了させた後、6分で基板11の温度を750℃まで下げた(冷却速度54℃/分)。各ガスの供給量を徐々に変化させ、6分後にアンモニアと水素の供給量をゼロに、窒素の供給量を90slmにした。また、成長室内の圧力を33kPaに上昇させた。
室温から500℃まで昇温する間は、窒素ガス95kPaの雰囲気とし、500℃から900℃まで昇温する間は、窒素ガスとアンモニアの混合雰囲気とした。950℃で10分間のサーマルクリーニングを実施した後、1100℃まで昇温し成長室内の圧力を40kPaに下げた。その後キャリアガスを水素に切り替えアンモニアを供給した。温度が安定したらトリメチルガリウムとモノシランを供給し、再成長層12dを成長させた。
これにより、膜厚1μmの再成長層12dが形成された。
pクラッド層14aは、炉内へTMG(トリメチルガリウム)とTMA(トリメチルアルミニウム)を供給することにより、アンドープのAl0.07Ga0.93Nからなる層を2.5nmの膜厚で成膜した。次いで、インターバルを取らずに、TMAのバルブを閉じてCp2Mgのバルブを開け、MgをドープしたGaNの層を2.5nmの膜厚で成膜した
以上のような操作を5回繰り返し、最後にアンドープAl0.07Ga0.93Nの層を形成することにより、超格子構造よりなるpクラッド層14aを形成した。
その後、pクラッド層14a上に、膜厚170nmのMgドープGaNからなるpコンタクト層14bを形成した。pコンタクト層14bを成長させる際の基板温度は、pクラッド層14aの成長温度と同じとした。
次に、フォトリソグラフィの手法を用いてエッチングを施し、所望の領域にnコンタクト層12aの露出面20aを形成し、その上にTi/Auの二層構造のn型電極17を形成した。
再成長層12d成長時の基板温度を1150℃、pクラッド層14a成長時の基板温度を1100℃に替えた以外は、実施例1と同様な操作を行い、半導体発光素子1としての特性は、順方向電圧Vf=3.1V、発光出力Po=21mW、逆方向電流IR(@20V)=0.5μAであった。
再成長層12d成長時の基板温度を1000℃、pクラッド層14a成長時の基板温度を1000℃に替えた以外は、実施例1と同様な操作を行い、半導体発光素子1としての特性は、順方向電圧Vf=3.2V、発光出力Po20mW、逆方向電流IR(@20V)=0.2μAであった。
再成長層12d成長時の基板温度を700℃、pクラッド層14a成長時の基板温度を1050℃に替えた以外は、実施例1と同様な操作を行い、半導体発光素子1としての特性は、順方向電圧Vf=3.2V、発光出力Po=20mW、逆方向電流IR(@20V)=0.1μAであった。
再成長層12d成長時の基板温度を1100℃、pクラッド層14a成長時の基板温度を800℃に替えた以外は、実施例1と同様な操作を行い、半導体発光素子1としての特性は、順方向電圧Vf=3.3V、発光出力Po=18mW、逆方向電流IR(@20V)=0.1μAであった。
バッファ層21、下地層22、第一n型半導体層12c、nクラッド層12b、発光層13、pクラッド層14a、pコンタクト層14bを第一有機金属化学気相成長装置(第一MOCVD装置)を用いて積層した。比較例1においては、第二有機金属化学気相成長装置(第二MOCVD装置)を用いず、全て第一有機金属化学気相成長装置により成膜を行った。
第一n型半導体層12c成長時の基板温度を1100℃、pクラッド層14a成長時の基板温度を1050℃とし、全て第一有機金属化学気相成長装置で連続的に成長させた。半導体発光素子1としての特性は、順方向電圧Vf=3.7V、発光出力Po=10mW、逆方向電流IR(@20V)=5.0μAであった。
pクラッド層14a成長時の基板温度を800℃に替えた以外は、比較例1と同様な操作を行い、半導体発光素子1としての特性は、順方向電圧Vf=3.9V、発光出力Po=5mW、逆方向電流IR(@20V)=8.0μAであった。
第一n型半導体層12c成長時の基板温度を700℃に替えた以外は、比較例1と同様な操作を行い、半導体発光素子1としての特性は、順方向電圧Vf=3.6V、発光出力Po=8mW、逆方向電流IR(@20V)=2.5μAであった。
第一n型半導体層12c成長時の基板温度を800℃、pクラッド層14a成長時の基板温度を800℃に替えた以外は、比較例1と同様な操作を行い、半導体発光素子1としての特性は、順方向電圧Vf=4.2V、逆方向電流IR(@20V)=10μAであり、発光は観測されなかった。
針による通電で電流印加値20mAにおける順方向電圧(V)を測定した。また、TO−18缶パッケージに実装し、テスターによって印加電流0〜100mAの範囲における発光出力(Po)を測定した。また、逆方向に20Vの電圧を印加した時の素子に流れる電流(逆方向電流IR)を測定した。これらの結果を表1に示す。
Claims (9)
- 第一有機金属化学気相成長装置において、基板上に第一n型半導体層を積層する第一工程と、
第二有機金属化学気相成長装置において前記第一n型半導体層上に、前記第一n型半導体層の再成長層と、第二n型半導体層と、障壁層およびGa1−xInxN(0<x<0.2)なる組成の井戸層からなる発光層と、Al1−yGayN(0.1<y<0.5)なる組成のpクラッド層およびpコンタクト層からなるp型半導体層と、を順次積層する第二工程とを具備し、
前記第二工程において前記再成長層を基板温度700℃〜1200℃で形成し、前記pクラッド層を基板温度800℃〜1200℃で形成することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記pコンタクト層を基板温度800℃〜1200℃で形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記再成長層を5μm以下の膜厚で形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 第一有機金属化学気相成長装置において、基板上に第一n型半導体層を積層する第一工程と、
第二有機金属化学気相成長装置において前記第一n型半導体層上に、前記第一n型半導体層の再成長層と、第二n型半導体層と、障壁層およびGa1−xInxN(0<x<0.2)なる組成の井戸層からなる発光層と、Al1−yGayN(0.1<y<0.5)なる組成のpクラッド層およびpコンタクト層からなるp型半導体層と、を順次積層する第二工程とを具備し、
発光波長が360〜420nmの範囲であることを特徴とするIII族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 基板上に、n型半導体層、発光層及びp型半導体層が順次積層されてなり、前記n型半導体層、発光層及びp型半導体層がそれぞれIII族窒化物半導体から構成されてなる半導体発光素子において、
前記n型半導体層を構成するnコンタクト層又はnクラッド層が、複数の有機金属化学気相成長装置で成長され、
前記発光層は、障壁層およびGa1−yInyN(0<y<0.20)なる組成の井戸層が交互に複数積層された多重量子井戸構造からなることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記発光層からの発光光の発光波長が360〜420nmの範囲であることを特徴とする請求項5に記載の半導体発光素子。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法を用いて製造された半導体発光素子又は請求項5又は6に記載の半導体発光素子を備えることを特徴とするランプ。
- 請求項7に記載のランプが組み込まれていることを特徴とする電子機器。
- 請求項8に記載の電子機器が組み込まれていることを特徴とする機械装置。
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