JP5998953B2 - 半導体発光素子、半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、基板上に成膜される単結晶膜中に生じる貫通転位のような欠陥の発生を許容し、良好な発光特性を有するIII族窒化物半導体を用いた半導体発光素子及びその製造方法を提供することを目的としている。
前記n側井戸層の前記斜面のIn原子の濃度は、前記p型半導体層に最も近い当該n側井戸層の当該斜面と比較して前記n型半導体層に最も近い当該n側井戸層の当該斜面で減少することが好ましい。
前記発光層は、III族窒化物半導体で構成される6層の前記井戸層と、当該井戸層よりもバンドギャップが大きいIII族窒化物半導体で構成される7層の前記障壁層とを備えることが好ましい。
前記井戸層は、Ga1−yInyN(0.1<y<0.3)から構成され、前記障壁層は、GaNから構成されることが好ましい。
また、他の観点から捉えると、本発明によれば、基板上に積層されたn型半導体層と、障壁層およびIn原子を含む井戸層が交互に複数積層された多重量子井戸構造からなる発光層と、p型半導体層と、を有し、前記発光層は、3層以上の前記井戸層と、3層以上の当該井戸層のそれぞれを両側から挟み込むとともに、前記n型半導体層との境界部にて当該n型半導体層と接続され且つ前記p型半導体層との境界部にて当該p型半導体層と接続される4層以上の前記障壁層とを備え、3層以上の前記井戸層は、前記n型半導体層に近い側から順に設けられる複数のn側井戸層と、前記p型半導体層に近い側の1つのp側井戸層とからなり、前記発光層には、前記p型半導体層側に開口した凹部の斜面からなるV字状凹部が生じており、少なくとも1層以上の前記n側井戸層の当該斜面のIn原子の濃度が当該n側井戸層内に存在するIn原子の濃度の50%以下であり、前記n側井戸層の前記斜面のIn原子の濃度は、前記p型半導体層に最も近い当該n側井戸層の当該斜面と比較して前記n型半導体層に最も近い当該n側井戸層の当該斜面で減少することを特徴とする半導体発光素子が提供される。
ここで、前記第2の工程において、原料の供給を停止して前記第2の成長温度より前記第3の成長温度に降温する時間と、原料の供給の停止を継続したまま当該第3の成長温度に前記基板を保持する時間の和が、前記n側低温障壁層の成長に要する時間の1.8倍以上の時間であることが好ましい。
図1は、本実施の形態が適用される半導体発光素子(発光ダイオード)1の上面図の一例である。図2は、図1に示す半導体発光素子1のII−II断面図である。
半導体発光素子1は、基板110と、基板110上に積層される中間層120と、中間層120上に積層される下地層130とを備える。また、半導体発光素子1は、下地層130上に積層されるn型半導体層140と、n型半導体層140上に積層される発光層150と、発光層150上に積層されるp型半導体層160とをさらに備える。
ここで、n型半導体層140は、下地層130上に積層されるnコンタクト層141と、nコンタクト層141上に積層されるとともに発光層150の積層対象となるnクラッド層142とを有している。
一方、p型半導体層160は、発光層150上に積層されるpクラッド層161と、pクラッド層161上に積層されるpコンタクト層162とを有している。尚、以下の説明では、必要に応じて、これら中間層120、下地層130、n型半導体層140、発光層150およびp型半導体層160を、まとめて積層半導体層100と呼ぶことがある。
さらに、半導体発光素子1は、積層半導体層100のうち、p型半導体層160、発光層150およびn型半導体層140の一部を切り欠くことによって露出した、n型半導体層140の半導体露出面140a上の一部に積層されるn側電極400を有する。尚、半導体露出面140aにおいては、n型半導体層140におけるnコンタクト層141が露出している。
基板110の材料としては、特に限定されず、各種の材料を選択して用いることができる。例えば、サファイア、SiC、シリコン、GaN等が挙げられる。これらの中でも、特に、C面を主面とするサファイア基板を用いることが好ましい。基板110としてサファイア基板を用いる場合は、サファイアのC面上に中間層120(バッファ層)を形成することが好ましい。
積層半導体層100は、例えば、III族窒化物半導体からなる層であって、図2に示すように、基板110上に、中間層120、下地層130、n型半導体層140、発光層150およびp型半導体層160の各層が、この順で積層されて構成されている。ここで、n型半導体層140は、電子(エレクトロン)をキャリアとするものであり、p型半導体層160は、正孔(ホール)をキャリアとするものである。
以下、積層半導体層100を構成する各層について説明する。
中間層120は、基板110と下地層130との格子定数の違いを緩和し、特にC面を主面とするサファイアで基板110を構成した場合には、基板110の(0001)面(C面)上にc軸配向した単結晶層の形成を容易にする働きがある。中間層120は、多結晶のAlxGa1−xN(0≦x≦1)からなるものが好ましく、単結晶のAlxGa1−xN(0≦x≦1)のものがより好ましい。中間層120の厚さ10nm〜500nmのものとすることができる。尚、中間層120は、有機金属気相成長法(MOCVD法:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)で形成すると結晶性の良いものが得られる。また、スパッタ法によっても条件を最適化することで、MOCVD法よりも優れた結晶性を有する半導体層を形成できる。
下地層130としては、AlxGayInzN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)を用いることができる。また、AlxGa1−xN(0≦x<1)を用いると結晶性の良い下地層130を形成できるため好ましい。
下地層130の厚さは100nm以上が好ましく、より好ましくは500nm以上であり、1000nm(1μm)以上が最も好ましい。
電子をキャリアとするn型半導体層140は、下地層130上に積層されるnコンタクト層141と、nコンタクト層141上に積層されるとともに発光層150の積層対象となるnクラッド層142とを備えている。尚、前述の下地層130をn型半導体層140に含めてもよい。
本実施の形態において、発光層150は、バンドギャップエネルギーの小さい井戸層とバンドギャップエネルギーの大きい障壁層を交互に積層した多重量子井戸構造を有している。井戸層と障壁層からなる多重量子井戸構造のペア数(井戸層および障壁層の組を1ペアとする)としては、3以上、好ましくは3から50、より好ましくは3から20である。ペア数が過度に大きいと、通常、生産性が低下するので好ましくない。多重量子井戸構造については後述する。
正孔をキャリアとするp型半導体層160は、発光層150上に積層されるpクラッド層161と、pクラッド層161上に積層されるとともに透明導電層170の積層対象となるpコンタクト層162とを備えている。
pクラッド層161は、発光層150へのキャリア(ここでは正孔)の注入とキャリアの閉じ込めを行なう層である。pクラッド層161としては、好ましくは、AlxGa1−xN(0<x≦0.4)を用いることができる。pクラッド層161の膜厚は、好ましくは透明絶縁層190nm〜400nmであり、より好ましくは5nm〜100nmである。pクラッド層161におけるp型不純物の濃度は、1×1018/cm3〜1×1021/cm3が好ましく、より好ましくは1×1019/cm3〜1×1020/cm3である。
本実施の形態では、透明絶縁層190は、p型半導体層160の上の一部に積層されている。図1に示すように、半導体発光素子1を平面視したときに、p側電極300の下方に位置する部分に透明絶縁層190を形成する。
透明絶縁層190を構成する材料としては、例えば、SiO2(二酸化珪素)、SiN(窒化珪素)、Al2O3(酸化アルミニウム)、酸化チタン等の金属酸化物、窒化物が挙げられる。また、これらの層の多層膜にして反射率を高めた構造も好ましい。
透明絶縁層190の厚さは、通常、20nm〜500nm、より望ましくは、50nm〜300nmである。
本実施の形態では、透明導電層170(例えば、図1に破線で示す)は、n側電極400を形成するためにエッチング等の手段によって一部が除去されたp型半導体層160の上面のほぼ全面を覆うように形成されている。
透明導電層170は、Inを含む導電性の酸化物から構成され、例えば、ITO(酸化インジウム錫(In2O3−SnO2))、IZO(酸化インジウム亜鉛(In2O3−ZnO))、IGO(酸化インジウムガリウム(In2O3−Ga2O3))、ICO(酸化インジウムセリウム(In2O3−CeO2))等が挙げられる。透明導電層170の厚さは特に制限されないが、例えば、10nm〜500nmの範囲である。
本実施の形態では、保護層180をSiO2で構成している。ただし、保護層180を構成する材料についてはこれに限られるものではなく、SiO2に代えて、TiO2、Si3N4、SiO2−Al2O3、Al2O3、AlN等を用いることができる。
本実施の形態では、p側電極300は、複数種の金属層を積層して構成され、図1に示すように平面視したときに円形状を呈するようになっている。また、発光層150に対し均一に電流を供給するために、p側電極300に、細線形状の延伸部310を設けている。延伸部310は、発光層150の大きさや形状に応じて、長さ、太さ、本数など、好適な形状を設計できる。
n側電極400は、p側電極300と同様に、複数種の金属層を積層して構成されている。本実施の形態のn側電極400は、所謂ボンディングパッドを兼ねており、外部に露出する面に図示しないボンディングワイヤが接続される。本実施の形態では、図1に示すように平面視したときに、n側電極400がかまぼこ形状を呈するようになっているが、上述したp側電極300と同様、例えば、円形状や多角形状など任意の形状を選択することができる。
図3は、多重量子井戸構造からなる発光層150の構造を説明する断面図である。
本実施の形態において、発光層150は、障壁層と井戸層とを交互に積層した多重量子井戸構造を有している。図3に示すように、発光層150は、nクラッド層142(より詳しくはn第1クラッド層)上に積層される第1障壁層1511と、第1障壁層1511上に積層される第1井戸層1521と、第1井戸層1521上に積層される第2障壁層1512と、第2障壁層1512上に積層される第2井戸層1522と、第2井戸層1522上に積層される第3障壁層1513と、第3障壁層1513上に積層される第3井戸層1523と、第3井戸層1523上に積層される第4障壁層1514と、第4障壁層1514上に積層される第4井戸層1524と、第4井戸層1524上に積層される第5障壁層1515と、第5障壁層1515上に積層される第5井戸層1525と、第5井戸層1525上に積層される第6障壁層1516と、第6障壁層1516上に積層される第6井戸層1526と、第6井戸層1526上に積層されるとともにpクラッド層161の積層対象となる第7障壁層1517とを備えている。
そして、n型半導体層140に近い側から順に設けられる第1井戸層1521〜第5井戸層1525が複数のn側井戸層の一例であり、p型半導体層160に近い側の第6井戸層1526がp側井戸層の一例である。
障壁層151と井戸層152の製造方法については後述する。
図4は、発光層150に生じたV字状凹部150Vの周辺を説明する断面図である。図1〜図3と同様な箇所については同じ符号を使用し、その説明を省略する。尚、図4では保護層180および透明絶縁層190、基板110、中間層120および下地層130を省略している。
図4に示すように、nクラッド層142上に積層されている発光層150は、バンドギャップエネルギーの小さい井戸層152とバンドギャップエネルギーの大きい障壁層151を交互に積層した多重量子井戸構造を有している。本実施の形態では、発光層150には、p型半導体層160のpクラッド層161側に開口した凹部斜面153からなるV字状凹部150Vが生じている。
本実施の形態では、図4に示す半導体発光素子1において、n側電極400を高電位とし且つp側電極300を低電位とする電圧(逆方向電圧)をかけた場合、nクラッド層142からpクラッド層161に流れようとする逆電流(IR)が、凹部斜面153のIn原子の濃度が井戸層内に存在するIn原子の濃度の50%以下であるn側井戸層を有しない場合と比較して低減する。
本実施の形態では、井戸層152がpクラッド層161と接する表面近傍で、特に、n側井戸層である第1井戸層1521〜第5井戸層1525の凹部斜面153でIn原子の濃度が低減した端部が、p側井戸層である第6井戸層1526の端部と比較して、逆電流(IR)を低減させる効果が大きいと考えられる。
これは、MQW層の井戸層の端部が、Vピットを埋めたPクラッド層に露出して井戸層とPクラッド層が接するため、井戸層からPクラッド層に逆電流(IR)が流れるためと考えられる。逆電流は、Nクラッド層に近い井戸層から特に流れやすい傾向がある。
次に、半導体発光素子1の製造方法について説明する。
多重量子井戸構造からなる発光層150を有する半導体発光素子の製造方法は、基板110上にn型半導体層140を積層する第1の工程と、有機金属気相成長法(MOCVD法)により、n型半導体層140上に、障壁層151とGaInNを含む井戸層152とが交互に積層した多重量子井戸構造からなり、且つn型半導体層140中に生じた貫通転位140Dに起因するV字状凹部150Vを有する発光層150を積層する第2の工程と、発光層150上にp型半導体層160を積層する第3の工程と、を有している。
まず、サファイア等からなる基板110上に、例えば、MOCVD法により、中間層120、下地層130を順次積層する。次いで、下地層130上に、n型半導体層140のnコンタクト層141とnクラッド層142を積層する。n型半導体層140を成長させる際には、水素雰囲気で、基板110の温度を900℃〜1200℃の範囲とすることが好ましい。nコンタクト層141を成長させる原料としては、トリメチルガリウム(TMG)等のIII族金属の有機金属原料とアンモニア(NH3)などの窒素原料とを用いる。MOCVD法における圧力は15kPa〜80kPaとすることが好ましく、15〜60kPaとすることがより好ましい。キャリアガスは窒素ガス、水素ガス、または水素ガスと窒素ガスとの混合ガスが使用される。
続いて、n型半導体層140上に発光層150を積層する。本実施の形態では、障壁層151と井戸層152とを交互に繰返し積層し、発光層150を形成する。このとき、障壁層151は、n型半導体層140側及びp型半導体層160側に配されるように積層することが好ましい。
本実施の形態では、前述した第1の工程において、サファイア等からなる基板110上にGaN系半導体等のn型半導体層140を成長させることにより、格子不整に起因して多数の貫通転位140Dが形成される(図4参照)。そして、n型半導体層140上に積層する発光層150には、下地のn型半導体層140に生じた貫通転位140Dに起因して、Vピットと呼ばれるV字状凹部150Vが形成される(図4参照)。
本実施の形態では、多重量子井戸構造の発光層150の場合、Ga1−yInyNを井戸層152とし、井戸層152よりバンドギャップエネルギーが大きいGa1−xN(0≦x<0.3)を障壁層151とすることが好ましい。また、障壁層151及び井戸層152には、不純物をドープしても良いし、あるいは、しなくてもよい。
その後、原料の供給を停止し第3の成長温度(T3)に基板110を保持した後、原料の供給を再開しp側低温障壁層(pLTB)の上に井戸層(Well)を成長させ、さらにその後、井戸層(Well)上に障壁層(nLTB/HTB/pLTB)を積層する操作を繰り返し、多重量子井戸構造の発光層150を形成する。
尚、本実施の形態では、III族原料を供給したまま、基板温度を第1の成長温度(T1)から第2の成長温度(T2)に昇温している。これにより発光強度が高まる傾向がある。
その後、原料の供給を停止し第3の成長温度(T3)に基板110を保持した後、原料の供給を再開しp側低温障壁層(pLTB)の上に井戸層(Well)を成長させる。
これにより、発光層150のV字状凹部150V(図4参照)の表面に露出した井戸層152の端部からインジウムが昇華し、V字状凹部150Vの表面近傍に、In原子の濃度が低減した凹部斜面153が形成されると考えられる。
また、保持時間であるt3とt4の和(t3+t4)が、t1の1.8倍以上の条件((t3+t4)/t1≧1.8)である場合、逆電流(IR)の低減効果が特に優れるので好ましく、さらに5倍以上であることがより好ましい。t3とt4の和(t3+t4)が、t1と比べて過度に小さい場合、逆電流(IR)の低減効果が低下する傾向があるので好ましくない。
本実施の形態では、t1は、10秒〜120秒の範囲が好ましい。t1が過度に短い場合、井戸層と障壁層の界面での相互拡散が顕著となり界面の急峻性が悪化して発光出力が低下する傾向があるので好ましくない。また、t1が過度に長い場合、生産性が低下する傾向があるので好ましくない。
t3は、60秒〜180秒の範囲が好ましい。t3が過度に短い場合、逆電流(IR)の低減効果が低下する傾向があるので好ましくない。また、t3が過度に長い場合、生産性が低下する傾向があるので好ましくない。
t4は、30秒〜600秒の範囲が好ましい。t4が過度に短い場合、逆電流(IR)の低減効果が低下する傾向があるので好ましくない。また、t4が過度に長い場合、素子の特性に問題はないが、生産性が低下する傾向があるので好ましくない。
次に、発光層150上にp型半導体層160を形成する。p型半導体層160は、pクラッド層161と、pコンタクト層162とを順次積層する。
その後、積層半導体層100のp型半導体層160の上の一部に透明絶縁層190を積層する。さらに、n側電極400を形成するためにエッチング等の手段によって一部が除去されたp型半導体層160の上面のほぼ全面を覆うように、透明導電層170を形成する。続いて、p側電極300を積層し、例えば、フォトリソグラフィーの手法によって所定の領域以外の部分を除去する。続いて、フォトリソグラフィーの手法によりパターニングを行い、所定の領域の積層半導体層100の一部をエッチングし、nコンタクト層141の一部を露出させ、半導体露出面140aを形成する。次いで、その半導体露出面140a上にn側電極400を形成する。
以上のようにして、図1に示す半導体発光素子1が製造される。
C面を主面とするサファイアからなる基板110上に、MOCVD法により、AlNからなる中間層120、GaNからなる下地層130、次いで、下地層130上に、Siをn型不純物とするn−GaNからなるnコンタクト層141とnクラッド層142を積層した。
また、上記実施の形態で説明した図5(a)の表に示す半導体発光素子は、実施例1に対応し、図5(a)の表と比較した図5(b)の表に示す半導体発光素子は、比較例1に対応している。尚、実施例1及び比較例1では、第1障壁層1511〜第6障壁層1516の膜厚は2.5nm、第7障壁層1517の膜厚は4.5nmとし、また井戸層B〜井戸層Fの膜厚は3.5nm、井戸層Aの膜厚は4.4nmである。井戸層を構成するGaInNのIn組成は、発光波長が460nmとなるように調整した。
Claims (7)
- 基板上に積層されたn型半導体層と、障壁層およびIn原子を含む井戸層が交互に複数積層された多重量子井戸構造からなる発光層と、p型半導体層と、を有し、
前記発光層は、3層以上の前記井戸層と、3層以上の当該井戸層のそれぞれを両側から挟み込むとともに、前記n型半導体層との境界部にて当該n型半導体層と接続され且つ前記p型半導体層との境界部にて当該p型半導体層と接続される4層以上の前記障壁層とを備え、
3層以上の前記井戸層は、前記n型半導体層に近い側から順に設けられる複数のn側井戸層と、前記p型半導体層に近い側の1つのp側井戸層とからなり、
前記発光層には、前記p型半導体層側に開口した凹部の斜面からなるV字状凹部が生じており、少なくとも1層以上の前記n側井戸層の当該斜面のIn原子の濃度が当該n側井戸層内に存在するIn原子の濃度の50%以下であり、少なくとも1層以上の当該n側井戸層の当該斜面から25nmの部位におけるIn原子の濃度が当該n側井戸層内に存在するIn原子の濃度の90%以下である
ことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記n側井戸層の前記斜面のIn原子の濃度は、前記p型半導体層に最も近い当該n側井戸層の当該斜面と比較して前記n型半導体層に最も近い当該n側井戸層の当該斜面で減少することを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記発光層は、III族窒化物半導体で構成される6層の前記井戸層と、当該井戸層よりもバンドギャップが大きいIII族窒化物半導体で構成される7層の前記障壁層とを備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体発光素子。
- 前記井戸層は、Ga1−yInyN(0.1<y<0.3)から構成され、前記障壁層は、GaNから構成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 基板上に積層されたn型半導体層と、障壁層およびIn原子を含む井戸層が交互に複数積層された多重量子井戸構造からなる発光層と、p型半導体層と、を有し、
前記発光層は、3層以上の前記井戸層と、3層以上の当該井戸層のそれぞれを両側から挟み込むとともに、前記n型半導体層との境界部にて当該n型半導体層と接続され且つ前記p型半導体層との境界部にて当該p型半導体層と接続される4層以上の前記障壁層とを備え、
3層以上の前記井戸層は、前記n型半導体層に近い側から順に設けられる複数のn側井戸層と、前記p型半導体層に近い側の1つのp側井戸層とからなり、
前記発光層には、前記p型半導体層側に開口した凹部の斜面からなるV字状凹部が生じており、少なくとも1層以上の前記n側井戸層の当該斜面のIn原子の濃度が当該n側井戸層内に存在するIn原子の濃度の50%以下であり、
前記n側井戸層の前記斜面のIn原子の濃度は、前記p型半導体層に最も近い当該n側井戸層の当該斜面と比較して前記n型半導体層に最も近い当該n側井戸層の当該斜面で減少することを特徴とする半導体発光素子。 - 多重量子井戸構造からなる発光層を有する半導体発光素子の製造方法であって、
基板上にn型半導体層を積層する第1の工程と、
有機金属化学気相成長装置により、前記n型半導体層上に、障壁層とGaInNを含む井戸層とが交互に積層した多重量子井戸構造からなり、且つ当該n型半導体層中に生じた貫通転位に起因するV字状凹部を有する発光層を積層する第2の工程と、
前記発光層上にp型半導体層を積層する第3の工程と、を有し、
前記第2の工程において、前記障壁層を形成する際に、前記有機金属化学気相成長装置中に原料を供給して第1の成長温度でn側低温障壁層を成長させ、
次に、原料を供給したまま第1の成長温度より高温の第2の成長温度に昇温して前記n側低温障壁層上に高温障壁層を成長させ、
続いて原料の供給を停止して前記第2の成長温度より低温の第3の成長温度に降温し、原料供給の停止を継続したまま、少なくとも前記n側低温障壁層の成長に要する時間の0.3倍以上の時間で当該第3の成長温度に前記基板を保持した後に、原料の供給を再開して前記高温障壁層上にp側低温障壁層の成長を続け、
さらに、前記p側低温障壁層の上に前記井戸層を成長させる操作を含むことを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記第2の工程において、原料の供給を停止して前記第2の成長温度より前記第3の成長温度に降温する時間と、原料の供給の停止を継続したまま当該第3の成長温度に前記基板を保持する時間の和が、前記n側低温障壁層の成長に要する時間の1.8倍以上の時間であることを特徴とする請求項6に記載の半導体発光素子の製造方法。
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