JP5167779B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
[実施の形態1の装置の構成]
図1は、本発明の実施の形態1にかかる半導体装置の製造装置の構成を示す図である。この装置は、ステージ10とボンディングヘッド12とを備えている。この装置は、ステージ10とボンディングヘッド12とを用いて、半導体チップを基板に接合する機能を有している。この装置は、例えばBGA(Ball Grid Array)タイプ又はLGA(Land Grid Array)タイプのパッケージで構成される半導体装置を製造する際に使用され、具体的には、樹脂等の基板に半導体装置の外部電極及び該外部電極に接続される配線が形成された配線基板に、シリコンなどの基板上に集積回路の形成された半導体チップをいわゆるフリップチップ接合する工程において使用される。また、該配線基板以外にも、いわゆるチップオンチップ構造において半導体チップを、別の半導体チップ(シリコンなどの基板上にトランジスタを含む集積回路が形成されたいわゆるICチップ,又は、シリコンなどの基板上に配線だけが形成されたチップなど)に接合させる工程に使用することもできる。
以下、図1を用いて、実施の形態1にかかる装置の動作ならびに実施の形態1にかかる製造方法について説明する。図1(a)(b)(c)は、ステージ10に載せられた基板2と、ボンディングヘッド12に保持された半導体チップ4とがボンディング接合される過程を示している。
実施の形態1では、まずステージ10に基板2が載置される。一方、半導体チップ4は、製造装置内の別の場所でボンディングヘッド12によって吸着され、ボンディングヘッド12に受け渡されて保持される。ボンディングヘッド12がステージ10上方まで移動し、半導体チップ4を基板2と対向させる。その後、ボンディングヘッド12を下降させてヘッド12とステージ10とを接近させるが、半導体チップ4と基盤2のそれぞれ半田バンプどうしが接触する前に、製造装置において予め設定された位置で一時停止する。図1(a)はこの状態を図示している。既述したようにヒータ14の温度は高温に保たれているので、ボンディングヘッド12が半導体チップ4を吸着保持して間もなく、バンプ5は溶融する。したがって、本実施形態では、図1(a)に示す時点で、バンプ5が既に溶融状態にある。一方、基板2のバンプ3は、固体状態である。
次に、実施の形態1では、以下述べる手法により、ボンディングを行う際のボンディングヘッド12の変位量(換言すれば、動作量)を的確に設定する。基本的には、先ず、ボンディングヘッド12がボンディング対象物を保持し且つステージ10がボンディング対象物を載せた状態であって、それらのボンディング対象物を接触させる前の状態(以下、この状態を「ボンディング前状態」とも称す。図1(a)はその一形態である)において、それらのボンディング対象物に対し、ボンディング前状態からボンディングヘッド12を下降させる変位量を決定するための測定を行う。
制御部23は、測定結果であるGAP寸法の平均値に基づき、図2の状態からその後ボンディングヘッド12を下降させる下降量を決定する。具体的には、制御部23は、GAP寸法の平均値と同一距離又は該平均値に補正量を加えた距離を下降量として決定する。
続いて、ヘッド位置制御機構16は、制御部23からの制御信号に基づき、図1(a)のボンディング前状態からその決定された下降量だけボンディングヘッド12を下降させる(図1(b))。これにより、溶融状態のバンプ5がバンプ3と接触する。バンプ5の接触によりバンプ5から伝導される熱によりバンプ3も溶融する。本実施形態では、図1(a)(b)の状態を通じて、ヒータ14の温度は一定に保持されている。
続いて、図1(c)に示すように、制御部23は、ボンディングヘッド12に吸着を停止させてボンディングヘッド12から半導体チップ4を離すとともに、ボンディングヘッド12を上昇させるようヘッド位置制御機構16を制御する。本実施形態では、ボンディングヘッド12の上昇の際にも、ヒータ14の温度は高温状態に保持されている。つまり、ボンディングヘッド12と半導体チップ4が分離する直前まで、ボンディングヘッド12側から半導体チップ4に熱が伝わっている。そして、ボンディングヘッド12が半導体チップ4から離れた瞬間、半導体チップ4への加熱が止み、半導体チップ4およびバンプ5の温度が低下し始める。やがて、バンプ5の温度が半田溶融点を十分に下回り、バンプ5が固化する。その結果、半導体チップ4、バンプ5、バンプ3、基板2が接合し、ボンディングが完了する。
以下、実施の形態1の効果について、以下の比較例を用いながら説明する。
図4には、本実施形態の効果を説明するため、便宜上、比較例として、ヒータの温度をボンディングの都度、上昇、下降した場合の態様を示している。図4は、ヒータ14の温度とボンディングヘッド12の高さ方向の位置(ヘッド位置)との対応を、時間を追って示す図である。紙面左側から右側へ向かう方向が、時間軸に対応している。なお、図4では、ボンディングヘッド12が既に半導体チップ4を保持している状態から、ヘッド位置がどのように変化していくかを示している。
実施の形態1と比較例とを比較すると、実施の形態1は、図3に示すように、ヒータ14の温度を製造工程中常に280℃に保っている点で比較例と相違している。
(第1変形例)
実施の形態1では、ボンディングヘッド12のみにヒータ14を内蔵させている。しかしながら、本発明はこれに限られず、ボンディングヘッド12ではなくステージ10にヒータを内蔵させたり、ボンディングヘッド12とステージ10の両方にヒータを内蔵させてもよい。この場合は、バンプを有する半導体チップをステージ10に載せて、ヒータ14に対して適用したバンプ溶融温度以上に加熱する温度調整の内容を、ステージ10のヒータに対しても同様に適用することができる。
実施の形態1では、ボンディングを行う前後のそれぞれについてヒータ14の温度をバンプ溶融点以上に保ち、比較例における時間Δt1と時間Δt3の両方を削減している。しかしながら、時間Δt3の時間削減の思想のみ(言い換えれば、実施の形態1中のヘッド分離工程に関する技術のみ)を、独立に利用することが可能である。
実施の形態1では、図3にも示したように、ヒータ14の温度を、プロセス中、バンプ溶融点を上回る温度(具体的には、実施の形態1では280℃以上)に固定した。しかしながら、本発明はこれに限られるものではない。時間Δt1の削減という観点からは、バンプ5が溶融している状態でバンプ3と接触すれば良いからである。このため、図1(b)に示したバンプ3、5の接触状態以外の時期に、瞬間的に或いは一定時間、ヒータ14が低温にされても構わない。
実施の形態1は、融点が260℃の半田を用いてバンプ3、5を形成している。しかしながら、バンプの材料はこのような材料に限られない。具体的には、例えば、鉛が含まれていないか、又は環境負荷が少ない程度(0.1wt%未満)の鉛しか含まれていないいわゆる鉛フリー半田を用いることができる。例えば、鉛フリー半田として、SnにCuが1〜4%含有したものを用いることができる。また、鉛フリー半田として、Sn−Bi系、Sn−Ag系、もしくは純Snのものなどを用いてもよい。
なお、実施の形態1は、2つのボンディング対象物間の間隙において、一方のボンディング対象物の接合部位の先端(半導体チップ4のバンプ5の下端)と、他のボンディング対象物の接合部位の先端(基板2のバンプ3の上端)との距離を計測している(図2の「GAP寸法」)。そして、複数のGAP寸法の計測値の平均値に基づいて、ボンディングヘッド12の位置制御を行っている。
実施の形態1では、半導体チップ4と基板2とを接合させるときにボンディングヘッド12を下降させる形態を採用しているが、ステージ10を上昇させることにより半導体チップ4と基板2とを接合させることも可能である。この場合は、制御部23により決定された下降量を、ボンディング前状態からステージ10とボンディングヘッド12とを近接させる変位量とし、ボンディング前状態からその変位量だけステージ10をボンディングヘッド12の方向に上昇させることになる。また、ステージ10とボンディングヘッド12をともに可動とし、上記変位量に従って、ステージ10とボンディングヘッド12の双方を近づけるという態様も可能である。
以下、図5を用いて、本発明の実施の形態2について説明する。実施の形態2は、ボンディング前状態に測定を行ってボンディングヘッド12の下降量を決定し、その後のボンディングヘッド12の位置制御を適切に行うという点で、実施の形態1と共通している。
図5に示すように、実施の形態2にかかる装置は、レーザ変位計30及びレーザ変位計32を備えている。レーザ変位計30は半導体チップ4の厚み寸法を測定するためにボンディングヘッド12より下側で対向する位置に離間して配置される。レーザ変位計32はレーザ変位計30は基板2の厚み寸法を測定するためにステージ10より上側で対向する位置に離間して配置される。このようなレーザ変位計の原理や構成は、すでに公知である。このため、ここではこれ以上の詳細な説明は行わない。
次に、実施の形態2における装置の動作と製造方法について、図5(a)、(b)を用いて説明する。なお、実施の形態2も、実施の形態1と同様に、ヒータ14の出力は280℃で一定に保つ。ヒータ14の温度調整に関しては実施の形態1と同様のため、これ以降は温度調整に関しては説明を省略する。
実施の形態3は、半導体チップ同士を接合する所謂チップオンチップ構造向けの、高速なボンディング工程を提供する。
図6は、実施の形態3にかかる製造装置の構成および製造方法を説明するための図である。実施の形態3は、ボンディングヘッド12と、ヒータ19を内蔵したステージ18を備えている。但し、実施の形態3では、ボンディングヘッド12はヒータ14を備えていないものとする。
以下、図6を用いて、実施の形態3にかかる装置の動作ならびに実施の形態3にかかる製造方法について説明する。図6(a)(b)(c)は、ステージ18に載せられた半導体チップ7と、ボンディングヘッド12に保持された半導体チップ4とがボンディング接合される過程を示している。
実施の形態3では、まず、図6(a)に示すように、ステージ18に半導体チップ7を載せ、ボンディングヘッド12に半導体チップ4を保持させる。既述したようにヒータ19の温度は高温に保たれているので、半導体チップ7がステージ18に載せられて間もなく、バンプ8は溶融する。このように、実施の形態1の図1(a)の時点でバンプ5が溶融状態にあったのと同様に、実施の形態3では図6(a)に示す時点でバンプ8が既に溶融状態にある。一方、バンプ5は固体状態である。
その後、実施の形態1と同様、図6(b)に示すようにボンディングヘッド12が所定量だけ下降させられる。これにより、固体状態のバンプ5が、溶融状態のバンプ8に接触する。実施の形態3でも、実施の形態1と同様、図6(a)(b)の状態を通じてヒータ19の温度は一定に保持されている。
続いて、図6(c)に示すように、半導体チップ4の保持をやめてボンディングヘッド12を上昇させる。ボンディングヘッド12の上昇の際にも、ヒータ19の温度は継続的に高温状態に保持される。これにより、ボンディングヘッド12と半導体チップ4が分離する瞬間も、バンプ8は引き続き溶融状態におかれることになる。
実施の形態3によれば、ステージ18上の半導体チップ7のバンプ8が溶融している状態で、ボンディングヘッド12を下降させてボンディングを行っている。したがって、バンプ溶融加熱のために、ボンディングヘッド12の動作を停止してヒータの温度上昇を行う時間(実施の形態1の比較例で述べたΔt1)が必要ない。
(第1変形例)
実施の形態3では、ボンディングを行う前後のそれぞれについてヒータ19の温度をバンプ溶融点以上に保ち、実施の形態1の比較例で述べた時間Δt1と時間Δt3の両方を削減している。しかしながら、ボンディングの後半における時間短縮(比較例のΔt3に相当する時間の削減)のみを行うことができる。例えば、実施の形態3とは異なりヒータ19の温度をボンディングヘッド12の下降後に上昇させることとし、ボンディングヘッド12を上昇させる際には実施の形態3と同じくヒータ19の温度を高温に保持する。その後、適宜のタイミングでヒータ19の温度を下げて次の半導体チップを受け取り、同様のプロセスを繰り返す。このような態様でも、少なくともΔt3相当時間の高速化が可能である。
また、実施の形態3では、ボンディングの前半における時間短縮(比較例のΔt1に相当する時間の削減)のみを行うこともできる。具体的には、ボンディングヘッド12の下降時(図6(a)のとき)に実施の形態3と同じく既にヒータ19を高温にしておき、バンプを溶融状態で接触させた後、ヒータ19の温度を下げてからボンディングヘッド12を上昇させることもできる。その後、適宜のタイミングでヒータ19の温度を上げて次の半導体チップを受け取り、同様のプロセスを繰り返す。このような態様によれば、少なくともΔt1相当時間の高速化が可能である。
実施の形態1の各種変形例で述べたのと同様に、実施の形態3でも、ヒータ19の温度は常にバンプ溶融点を上回る温度に固定されていなくともよい。また、バンプ5、8の材料や、これに応じたヒータ19の温度制御の変更なども、実施の形態1の変形例と同様に行えばよい。
半導体チップをチップ保持台(具体的には、半導体チップトレイなどが想定される)に載せて保管(あるいは待機)する場合に、バンプ側を下に向けて半導体チップを置く場合がある。このような場合に、実施の形態1以降述べてきたようにボンディングヘッドを高温状態にして半導体チップを受け取ろうとすると、ボンディングヘッドが半導体チップに触れた瞬間、即座に半導体チップが高温になってバンプが溶融してしまう。
図7は、本願に含まれる発明にかかる第4の実施の形態を説明する図であって、実施の形態4にかかる半導体チップ受け渡し方法を実現する構成の一例を示す図である。図7(a)には、チップ保持台40が図示されている。チップ保持台40は、ゴムコレット42を備えている。このゴムコレット42の上には、バンプ5を備えた半導体チップ4が載せられている。バンプ5は、半田で形成されている。
半導体チップ4の受け渡しの際には、図7(a)に示すように、ボンディングヘッド48を半導体チップ4から所定距離(例えば、0.5〜1mm程度)だけ離した位置で停止させる。この所定距離は、ボンディングヘッド48内部のヒータが高温(バンプ溶融点を上回る温度)になっていても、半導体チップ4のバンプ5が溶融しない程度の距離である。
実施の形態4では、半導体チップの受け渡し精度を高めるために、ガイド44を設けている。しかしながら、このガイド44は必ずしも必須ではなく、ガイド44を設けずに受け渡しを行ってもよい。
図9は、本願に含まれる発明にかかる第5の実施の形態を説明する図である。実施の形態5は、半導体チップをボンディングヘッドに受け渡しの手法に特徴を有している点で、実施の形態4と共通している。しかしながら、実施の形態5は、半導体チップの保持の仕方を工夫している点で、実施の形態4と相違する。
実施の形態5では、半導体チップ4をゴム針54に載せた状態で、負圧発生機構53によって図9(a)の矢印方向に吸引力を生じさせる。このようにすることで、半導体チップ4を紙面下方側に引っ張り、図9(a)の位置関係に半導体チップ4を固定する。
ゴム針54に代えて、例えば、図10(a)(b)に示すような種々の支持部材を用いることができる。また、ゴム針54に替えて、ゴム以外の他の材料を用いて形成した部材を用いてもよい。
3、5、8 バンプ
4、7 半導体チップ
10 ステージ
12 ボンディングヘッド
14 ヒータ
15 制御部
16 ヘッド位置制御機構
17 アーム
18 ステージ
19 ヒータ
20 カメラ
22 LED照明
23 制御部
30 レーザ変位計
32 レーザ変位計
34 制御部
40 チップ保持台
42 ゴムコレット
43 エア噴射機構
44 ガイド
48 ボンディングヘッド
53 負圧発生機構
54 ゴム針
Claims (3)
- それぞれが先端を備える複数の第1バンプを有する半導体チップを、ヒータ付のボンディングヘッドで保持する保持工程と、
それぞれが前記第1バンプの前記先端と対応する先端を有しかつ前記半導体チップに接続すべき複数の第2バンプを有する基板をステージに載せる載置工程と、
前記半導体チップの前記第1バンプが前記基板の前記第2バンプと対向するように前記半導体チップを保持するボンディングヘッドを前記ステージの上部に配置する配置工程と、
前記ボンディングヘッドの降下距離を決める決定工程と、
前記ボンディングヘッドを前記降下距離分、下方に移動させ、前記半導体チップの前記第1バンプを前記基板の前記第2バンプに接触させる接触工程と、
前記接触工程の後、前記ボンディングヘッドを前記半導体チップから離す離脱工程と、を有し、
前記保持工程、前記載置工程、前記配置工程、前記決定工程、前記接触工程および前記離脱工程の各々は、前記半導体チップの前記第1バンプが前記ヒータにより加熱されて溶融した状態で行われ、
前記決定工程は、
前記複数の第1バンプの複数の前記先端から前記複数の第2バンプの複数の前記先端までの距離を測定するために前記半導体チップおよび前記基板の側方に設けられたカメラで画像を取得する工程と、
前記カメラで取得された前記画像に基づいて、前記複数の第1バンプの複数の前記先端から前記複数の第2バンプの複数の前記先端までの前記距離の平均値を算出する工程と、
前記平均値に基づいて、前記ボンディングヘッドの前記降下距離を決定する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ステージはヒータを含み、
前記ステージは前記接触工程中に前記ヒータで加熱されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2バンプを有する前記基板は、半導体チップであることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
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