JP5973753B2 - チップ受け渡し治具およびチップ受け渡し方法 - Google Patents
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Description
半導体チップをチップ供給側からボンディングヘッド側に搬送するチップ搬送装置に設けられたチップ受け渡し治具であって、
チップ搬送装置に載置された半導体チップ端面の外周側に、半導体チップとボンディングヘッドとの間隔を50〜200μmに規制する隙間規制手段を備えているチップ受け渡し治具である。
前記隙間規制手段は、チップ搬送装置の半導体チップ載置面から突出するストッパピンと、
半導体チップ載置面を支持する緩衝ユニットとから構成されているチップ受け渡し治具である。
チップ搬送装置は、半導体チップを載置して水平搬送するチップスライダとチップスライダをチップ供給側からボンディングヘッド側に水平移動させる駆動手段とから構成されており、該チップ搬送装置に設けられたチップ受け渡し治具である。
半導体チップをチップ搬送装置からボンディングヘッドに受け渡す方法であって、
ボンディングヘッドの下側において、ボンディングヘッドの下面と半導体チップの上面との隙間を50〜200μmの間隔に保って、
ボンディングヘッドを半田溶融温度から予熱温度に冷却する途中で、チップ搬送手段からボンディングヘッドへ半導体チップを受け渡し動作を開始する受け渡し方法である。
チップ搬送装置には隙間規制手段が備えられており、
ボンディングヘッドと隙間規制手段とを当接させ、チップ搬送装置からボンディングヘッドへ半導体チップを受け渡す受け渡し方法である。
2 半導体チップ
3 回路基板
4 チップトレイ
5 コレット
6 チップスライダ
7 駆動手段
8 ボンディングヘッド
9 基板ステージ
10 チップ吸着面
20 緩衝ユニット
21 下板
22 バネ
23 上板
24 チップ吸着部
25 吸引口
26 ストッパピン
27 突出ピン
28 駆動シリンダ
29 吸引孔
2a 基板接合面
7a 上カメラ
7b 下カメラ
26h タップ穴
Claims (5)
- 半導体チップをチップ供給側からボンディングヘッド側に搬送するチップ搬送装置に設けられたチップ受け渡し治具であって、
チップ搬送装置に載置された半導体チップ端面の外周側に、半導体チップとボンディングヘッドとの間隔を50〜200μmに規制する隙間規制手段を備えているチップ受け渡し治具。 - 請求項1に記載の発明において、
前記隙間規制手段は、チップ搬送装置の半導体チップ載置面から突出するストッパピンと、
半導体チップ載置面を支持する緩衝ユニットとから構成されているチップ受け渡し治具。 - 請求項1または2に記載の発明において、
チップ搬送装置は、半導体チップを載置して水平搬送するチップスライダとチップスライダをチップ供給側からボンディングヘッド側に水平移動させる駆動手段とから構成されており、該チップ搬送装置に設けられたチップ受け渡し治具。 - 半導体チップをチップ搬送装置からボンディングヘッドに受け渡す方法であって、
ボンディングヘッドの下側において、ボンディングヘッドの下面と半導体チップの上面との隙間を50〜200μmの間隔に保って、
ボンディングヘッドを半田溶融温度から予熱温度に冷却する途中で、チップ搬送手段からボンディングヘッドへ半導体チップを受け渡し動作を開始する受け渡し方法。 - 請求項4に記載の発明において、
チップ搬送装置には隙間規制手段が備えられており、
ボンディングヘッドと隙間規制手段とを当接させ、チップ搬送装置からボンディングヘッドへ半導体チップを受け渡す受け渡し方法。
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