JP5163442B2 - 結晶成長装置及び結晶成長方法 - Google Patents
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Description
「強誘電体光学単結晶のブレークスルー」,北村健二,応用物理第69巻 第5号(2000年),P511〜P517
補充用の融液を保持する第2容器と、
前記第2容器内に保持されている前記補充用の融液を前記第1容器に供給する融液供給部と、
を備え、
前記融液供給部は、
前記第2容器の側壁または上面に設けられ、前記第1容器内における前記融液の液面より高く位置する開口部と、
前記開口部からオーバーフローした前記補充用の融液を伝わせることにより、当該融液を前記第1容器内の前記液面に案内する案内部と、
を備える結晶成長装置が提供される。
補充用の融液を保持する第2容器を配置し、
前記第2容器の側壁または上面に、前記第1容器内における前記融液の液面より高く位置する開口部を設け、
前記第2容器内の前記補充用の融液を前記開口部からオーバーフローさせ、オーバーフローした前記補充用の融液を、案内部に伝わせて前記第1容器内の前記液面に案内することにより、前記第1容器に供給する、結晶成長方法が提供される。
本実施形態によっても、第3の実施形態と同様の効果を得ることができる。
実施形態1に示した結晶成長装置を用いて、ニオブ酸リチウムの単結晶を成長させた。
52 融液
54 融液
100 第1容器
110 側壁
110 第1容器
112 上部
114 切欠部
200 第2容器
210 側壁
220 開口部
230 開口部
242 側壁
244 案内部
300 固体原料供給部
400 ステージ
500 ヒータ
520 炉心管
600 結晶成長制御部
610 原料供給制御部
Claims (11)
- 種結晶、及び前記種結晶上に位置する結晶成長用の融液を保持する結晶成長用の第1容器と、
補充用の融液を保持する第2容器と、
前記第2容器内に保持されている前記補充用の融液を前記第1容器に供給する融液供給部と、
を備え、
前記融液供給部は、
前記第2容器の側壁または上面に設けられ、前記第1容器内における前記融液の液面より高く位置する開口部と、
前記開口部からオーバーフローした前記補充用の融液を伝わせることにより、当該融液を前記第1容器内の前記液面に案内する案内部と、
を備える結晶成長装置。 - 請求項1に記載の結晶成長装置において、
前記第2容器の前記側壁の外面と、前記第1容器の側壁の内面は連続しており、
前記案内部は、前記第2容器の前記側壁の外面、及び前記第1容器の側壁の内面である結晶成長装置。 - 請求項2に記載の結晶成長装置において、
前記第2容器は、前記第1容器の周囲を取り囲むように形成されており、
前記案内部は、前記第2容器の前記側壁の外面の全周、及び前記第1容器の側壁の内面の全周である結晶成長装置。 - 請求項1〜3のいずれか一つに記載の結晶成長装置において、
前記第1容器内における結晶成長を制御する結晶成長制御部と、
結晶成長用の固体原料を前記第2容器に供給する固体原料供給部と、
前記固体原料供給部による前記固体原料の供給量を、前記結晶成長制御部による制御結果に基づいて制御する原料供給制御部と、
を備える結晶成長装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の結晶成長装置において、
前記第1容器で成長する結晶は、強誘電体の単結晶である結晶成長装置。 - 請求項5に記載の結晶成長装置において、
前記強誘電体の単結晶はニオブ酸リチウムであり、LiO2/(LiO2+Nb2O5)のモル分率が0.495〜0.50である結晶成長装置。 - 第1容器内に種結晶及び前記種結晶上に位置する結晶成長用の融液を保持させておき、前記種結晶を成長させる結晶成長方法であって、
補充用の融液を保持する第2容器を配置し、
前記第2容器の側壁または上面に、前記第1容器内における前記融液の液面より高く位置する開口部を設け、
前記第2容器内の前記補充用の融液を前記開口部からオーバーフローさせ、オーバーフローした前記補充用の融液を、案内部に伝わせて前記第1容器内の前記液面に案内することにより、前記第1容器に供給する、結晶成長方法。 - 請求項7に記載の結晶成長方法において、
前記第2容器の前記側壁の外面と、前記第1容器の側壁の内面は連続しており、
前記開口部からオーバーフローした前記補充用の融液は、前記案内部としての前記第2容器の前記側壁の外面、及び前記第1容器の側壁の内面を伝って前記第1容器に供給される結晶成長方法。 - 請求項7または8に記載の結晶成長方法において、
前記第1容器で成長する結晶は、強誘電体の単結晶である結晶成長方法。 - 請求項9に記載の結晶成長方法において、
前記強誘電体の単結晶はニオブ酸リチウムであり、LiO2/(LiO2+Nb2O5)のモル分率が0.495〜0.50である結晶成長方法。 - 請求項10に記載の結晶成長方法において、
前記第1容器内における前記融液は、LiO2/(LiO2+Nb2O5)のモル分率が0.58〜0.60であり、
前記第2容器内における前記融液は、LiO2/(LiO2+Nb2O5)のモル分率が0.495〜0.50である結晶成長方法。
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