JP2006213554A - 結晶成長方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 炉15内に設置されたるつぼ11内の原料溶液18に、種子結晶17を浸して引き上げながら結晶を育成する結晶成長方法において、種子結晶17を原料溶液18に接触させ、種子結晶17を引き上げると同時に、原料溶液18を一定冷却速度で冷却し、単位時間あたりに成長した結晶の組成と同一組成の補給原料を、単位時間あたりの成長結晶の重量に一致する単位時間あたりの供給量で、原料溶液18に加熱溶解しながら供給する。
【選択図】 図3
Description
2,12 るつぼ台
3,13 均熱管
4,14 ヒータ
5,15 縦型管状炉
6,16 引き上げ軸
7,17 種子結晶
8,18 原料溶液
9,19 成長結晶
10,20 炉体ふた
21 原料供給装置
22 原料供給パイプ
23 重量検出器
24 パイプ加熱ヒータ
25 原料供給制御装置
26 温度検出器
27 加熱制御装置
Claims (6)
- 炉内に設置されたるつぼ内の原料溶液に、種子結晶を浸して引き上げながら結晶を育成する結晶成長方法において、
前記種子結晶を前記原料溶液に接触させ、前記種子結晶を引き上げると同時に、前記原料溶液を一定冷却速度で冷却し、
単位時間あたりに成長した結晶の組成と同一組成の補給原料を、単位時間あたりの成長結晶の重量に一致する単位時間あたりの供給量で、前記原料溶液に加熱溶解しながら供給することを特徴とする結晶成長方法。 - 前記補給原料の温度が、前記原料溶液の表面温度に対して20℃以内となるように、前記補給原料を加熱溶解することを特徴とする請求項1に記載の結晶成長方法。
- 前記結晶の主成分は、周期率表Ia族とVa族から構成されており、Ia族はカリウムであり、Va族はニオブ、タンタルの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の結晶成長方法。
- 前記結晶の主成分は、周期率表Ia族とVa族から構成されており、Ia族はカリウムであり、Va族はニオブ、タンタルの少なくとも1つを含み、添加不純物として周期率表Ia、IIa族の1または複数種を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の結晶成長方法。
- 炉内に設置されたるつぼ内の原料溶液に、種子結晶を浸して引き上げながら結晶を育成する結晶成長装置において、
成長結晶の重量を検出する重量検出手段と、
補給原料を供給する原料供給手段と、
単位時間あたりに成長した結晶の組成と同一組成であり、および前記重量検出手段で検出された重量から求めた単位時間あたりの成長結晶の重量に一致する単位時間あたりの供給量の前記補給原料を、前記原料供給手段から供給するように制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする結晶成長装置。 - 前記原料供給手段は、前記補給原料を前記原料溶液に加熱溶解しながら供給することを特徴とする請求項5に記載の結晶成長装置。
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---|---|---|---|
JP2005026838A JP2006213554A (ja) | 2005-02-02 | 2005-02-02 | 結晶成長方法およびその装置 |
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JP2005026838A JP2006213554A (ja) | 2005-02-02 | 2005-02-02 | 結晶成長方法およびその装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009137781A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 結晶成長方法およびその装置 |
CN113428671A (zh) * | 2020-11-23 | 2021-09-24 | 眉山博雅新材料有限公司 | 一种加料控制方法和系统 |
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2005
- 2005-02-02 JP JP2005026838A patent/JP2006213554A/ja active Pending
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