JP4682350B2 - 結晶成長方法およびその装置 - Google Patents
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Description
2,22 るつぼ台
3,23 均熱管
4,24 ヒータ
5,25 縦型管状炉
6,26 引き上げ軸
7,27 種子結晶
8,28 原料溶液
9,29 成長結晶
10,30 炉体ふた
11 浮遊結晶
31 監視窓
32 レーザ照射装置
33 駆動装置
41 CO2レーザ
42 He-Neレーザ
43 ハーフミラー
44 ミラー
Claims (4)
- 炉内に設置されたるつぼ内の原料溶液に、種子結晶を浸して結晶を育成する結晶成長方法において、
前記種子結晶を前記原料溶液に接触させると同時に、前記原料溶液を冷却し、
結晶の成長過程において、前記原料溶液の表面に析出した浮遊結晶を、可視光レーザにより照射、検出し、前記可視光レーザの光軸上に、加熱用のレーザ光を照射することにより、前記浮遊結晶を溶融することを特徴とする結晶成長方法。 - 前記結晶の成分は、周期率表Ia族とVa族から構成されており、Ia族はリチウム、カリウムの少なくとも1つを含み、Va族はニオブ、タンタルの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記載の結晶成長方法。
- 前記結晶の成分は、周期率表Ia族とVa族から構成されており、Ia族はカリウムであり、Va族はニオブ、タンタルの少なくとも1つを含み、添加不純物として周期率表Ia、IIa族の1または複数種を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の結晶成長方法。
- 炉内に設置されたるつぼ内の原料溶液に、種子結晶を浸して結晶を育成する結晶成長装置において、
前記原料溶液の表面に析出した浮遊結晶を検出するための可視光を照射する第1レーザと、
前記浮遊結晶を溶融するための加熱用のレーザ光を照射する第2レーザと、
前記第1レーザからの前記可視光を、前記第2レーザからの前記レーザ光の光軸上に照射する手段と、
前記可視光が浮遊結晶に照射するように、前記第1および第2レーザのレーザ照射位置を調整する制御手段と
を備えたことを特徴とする結晶成長装置。
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