JP6401673B2 - 単結晶成長方法およびその装置 - Google Patents
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Description
方向に移動可能なように設置する。攪拌羽を原料溶融体8の液面下におき、上記の対流を促す方向に回転軸を設定して、原料溶融体8を攪拌する。
チタン酸バリウムストロンチウム(Ba1-xSrxTiO3,0≦x≦1:BST)の単結晶を成長させる場合の具体例を説明する。BSTの原料であるチタン酸バリウム(BaTiO3)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)を所望の組成で秤量し、るつぼ11に混合し充填する。原料を充填したるつぼ11は、水平方向の断面形状が1辺4インチの正方形である直方体である。るつぼ11を、縦型管状炉内に設置されたるつぼ台2上に設置する。ヒータ14を加熱することにより、原料を昇温溶融し、原料溶融体8を準備する。このとき、原料溶融体8の表面温度の等高線は、図5に示した通り、四回対称性を有する。
2 るつぼ台
3,13 均熱管
4,14 ヒータ
5 電気炉
6 引き上げ軸
7 種子結晶
8 原料溶融体
9 成長結晶
10 炉体ふた
Claims (6)
- 炉内に設置されたるつぼ内のチタン酸バリウムとチタン酸ストロンチウムとからなる原料溶融体の表面に、種子結晶を接触させ、前記原料溶融体を冷却することにより、前記種子結晶を核としてチタン酸バリウムストロンチウム(Ba 1-x Sr x TiO 3 ,0≦x≦1)の単結晶を成長させる単結晶成長装置であって、
前記るつぼは、直方体の形状を有し、
前記炉内の温度を一定に保つ均熱管と、前記原料溶融体を昇温溶融するためのヒータとが、前記るつぼの中心軸を共有する直方体形状であることを特徴とする単結晶成長装置。 - 前記種子結晶が取り付けられる引き上げ軸と前記るつぼとは、前記単結晶の成長中に回転しないことを特徴とする請求項1に記載の単結晶成長装置。
- 前記種子結晶が前記原料溶融体の表面に接触する部分からの脱熱を促す機構を備えたことを特徴とする請求項1、2に記載の単結晶成長装置。
- 前記種子結晶が取り付けられる引き上げ軸は、その内部に外気の通気孔を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の単結晶成長装置。
- 炉内に設置されたるつぼ内のチタン酸バリウムとチタン酸ストロンチウムとからなる原料溶融体の表面に、種子結晶を接触させ、前記原料溶融体を冷却することにより、前記種子結晶を核としてチタン酸バリウムストロンチウム(Ba 1-x Sr x TiO 3 ,0≦x≦1)の単結晶を成長させる単結晶成長方法であって、
前記るつぼは、直方体の形状を有し、前記るつぼの中心軸を共有する直方体形状である、前記炉内の温度を一定に保つ均熱管および前記原料溶融体を昇温溶融するためのヒータを制御して、前記るつぼを満たしている前記原料溶融体の表面温度の等高線が四回対称性を有するようにし、
前記種子結晶が前記原料溶融体と接触する部分の温度を、過冷却または過飽和状態となるように制御し、
前記単結晶の成長に伴って、前記種子結晶を引き上げながら前記炉内の温度を降下させて前記単結晶を成長させることを特徴とする単結晶成長方法。 - 前記種子結晶が取り付けられる引き上げ軸と前記るつぼとは、前記単結晶を成長させる間、回転させないことを特徴とする請求項5に記載の単結晶成長方法。
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