JP2006213553A - 結晶成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 炉5内に設置されたるつぼ1内の原料溶液8に、種子結晶7を浸して引き上げながら結晶を育成する結晶成長装置において、種子結晶7が先端に取り付けられた引き上げ軸6に、るつぼ1の開口面を覆う傘11を備えた。
【選択図】 図2
Description
2 るつぼ台
3 均熱管
4 ヒータ
5 縦型管状炉
6 引き上げ軸
7 種子結晶
8 原料溶液
9 成長結晶
10 炉体ふた
11 傘
Claims (3)
- 炉内に設置されたるつぼ内の原料溶液に、種子結晶を浸して引き上げながら結晶を育成する結晶成長装置において、
前記種子結晶が先端に取り付けられた引き上げ軸に、前記るつぼの開口面を覆う傘を備えたことを特徴とする結晶成長装置。 - 前記結晶の主成分は、周期率表Ia族とVa族から構成されており、Ia族はカリウムであり、Va族はニオブ、タンタルの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記載の結晶成長装置。
- 前記結晶の主成分は、周期率表Ia族とVa族から構成されており、Ia族はカリウムであり、Va族はニオブ、タンタルの少なくとも1つを含み、添加不純物として周期率表Ia、IIa族の1または複数種を含むことを特徴とする請求項1に記載の結晶成長装置。
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