JP2010018506A - シリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】CZ法により、石英ルツボ3にシリコン原料8を供給する工程と、石英ルツボ3内でシリコン原料8を溶融させこの原料融液5からシリコン単結晶7を引き上げる工程とを繰り返し、同一の石英ルツボ3を用いて複数本のシリコン単結晶7を製造する際、シリコン単結晶7を繰り返し引き上げるのに伴って、引き上げ開始前の石英ルツボ3内の原料融液5の液面6の位置を、直前に行った単結晶引き上げにおける引き上げ開始前の液面6の位置よりも低い位置に変更する。
【選択図】図4
Description
図3は、本発明の一実施形態であるマルチプリング法によるシリコン単結晶の製造方法が適用される引き上げ装置の構成を示す縦断面図である。同図に示すように、単結晶引き上げ装置は、その外郭をチャンバ1で構成され、チャンバ1内の中心部にルツボ2が配置されている。ルツボ2は二重構造になっており、内側の石英ルツボ3と、外側の黒鉛ルツボ4とから構成される。このルツボ2は、支持軸9の上端部に固定され、その支持軸9の回転駆動および昇降駆動を介して、周方向に回転するとともに軸方向に昇降することが可能である。
4:黒鉛ルツボ、 5:原料融液、 6:液面、
7:シリコン単結晶、 8:シリコン原料、
9:支持軸、 10:ヒータ、 11:断熱材、
12:引き上げ軸、 13:種結晶
Claims (4)
- チョクラルスキー法により、石英ルツボにシリコン原料を供給する工程と、石英ルツボ内でシリコン原料を溶融させこの原料融液からシリコン単結晶を引き上げる工程とを繰り返し、同一の石英ルツボを用いて複数本のシリコン単結晶を製造する方法であって、
シリコン単結晶を繰り返し引き上げるのに伴って、引き上げ開始前の石英ルツボ内の原料融液の液面位置を、直前に行った単結晶引き上げにおける引き上げ開始前の液面位置よりも低い位置に変更することを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。 - 前記引き上げ開始前の液面位置の変更高さが5mm以上であることを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記引き上げ開始前の液面位置の変更は、直前に行った単結晶引き上げにおけるシリコン原料の供給量よりもその供給量を減少させて行うことを特徴とする請求項1または2に記載のシリコン単結晶の製造方法。
- シリコン単結晶を繰り返し引き上げるのに伴って、引き上げ終了後の石英ルツボ内の残存融液の液面位置を、直前に行った単結晶引き上げにおける引き上げ終了後の液面位置よりも低い位置に変更することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のシリコン単結晶の製造方法。
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