JP5147282B2 - インクジェット記録用基板、該基板を備えた記録ヘッド及び記録装置 - Google Patents
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Description
基板と、
該基板の上に設けられた、インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを与える複数の素子からなる第1の素子列と、
前記基板の上に前記第1の素子列と並行に設けられた、インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを与える複数の素子からなる第2の素子列と、
前記第1および第2の素子列の上に設けられた絶縁層と、
前記第1の素子列の上側に位置するように前記絶縁層の上に設けられた、導電性を有する帯状の第1の保護膜と、
前記第2の素子列の上側に位置するように前記絶縁層の上に設けられた、導電性を有する帯状の第2の保護膜と、
前記第1の素子列と第2の素子列との間の位置の前記絶縁層の上に、前記第1の素子列に沿うようにメッキ法で設けられ、前記第1の素子列の素子を駆動する電力を供給する第1の共通配線と、
前記第1の素子列と第2の素子列との間の位置の前記絶縁層の上に、前記第2の素子列に沿うようにメッキ法で設けられ、前記第2の素子列の素子を駆動する電力を供給する第2の共通配線と、
を備えたインクジェット記録ヘッド用基板であって、
前記第1および第2の保護膜の機能を検査する一対の検査用電極をさらに備え、
前記一対の検査用電極の一方は、第1の引出配線を介して前記第1の保護膜と接続し、前記一対の検査用電極の他方は、第2の引出配線を介して前記第2の保護膜と接続するように設けられており、
前記第1の共通配線と前記第2の共通配線とは、それぞれ2つに分けて設けられており、前記第1の保護膜と前記第2の保護膜とは、前記第1の共通配線と前記第2の共通配線とのそれぞれを2つに分けて得られた領域の前記絶縁層の上に設けられた接続配線を介して接続されていることを特徴とする記録ヘッド用基板。
本発明の構成の中心となる記録ヘッド用基板の形態に関して、実施例について説明する。
(2)記録ヘッド用基板の回路構成
インクジェット方式に従う記録装置に搭載される記録ヘッドは、図3に示すような回路構成をしている。このような記録ヘッドの熱変換素子(ヒータ)とその駆動回路は、半導体プロセス技術を用いて同一基板上に形成されている。
(3)記録ヘッド用基板と記録ヘッドの製造方法
本発明の実施例における記録ヘッド用基板及び基板を搭載する記録ヘッドの製造方法に関して本発明に関連する部分の説明を行う。
(4)記録装置
上述した記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドを搭載可能な記録装置について説明する。図6は、本発明の記録ヘッドを搭載可能な記録装置の一例を示す説明図である。
1113 保護膜検査用電極パッド
1401 耐キャビテーション膜
1501 接続配線
Claims (9)
- 基板と、
該基板の上に設けられた、インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを与える複数の素子からなる第1の素子列と、
前記基板の上に前記第1の素子列と並行に設けられた、インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを与える複数の素子からなる第2の素子列と、
前記第1および第2の素子列の上に設けられた絶縁層と、
前記第1の素子列の上側に位置するように前記絶縁層の上に設けられた、導電性を有する帯状の第1の保護膜と、
前記第2の素子列の上側に位置するように前記絶縁層の上に設けられた、導電性を有する帯状の第2の保護膜と、
前記第1の素子列と第2の素子列との間の位置の前記絶縁層の上に、前記第1の素子列に沿うようにメッキ法で設けられ、前記第1の素子列の素子を駆動する電力を供給する第1の共通配線と、
前記第1の素子列と第2の素子列との間の位置の前記絶縁層の上に、前記第2の素子列に沿うようにメッキ法で設けられ、前記第2の素子列の素子を駆動する電力を供給する第2の共通配線と、
を備えたインクジェット記録ヘッド用基板であって、
前記第1および第2の保護膜の機能を検査する一対の検査用電極をさらに備え、
前記一対の検査用電極の一方は、第1の引出配線を介して前記第1の保護膜と接続し、前記一対の検査用電極の他方は、第2の引出配線を介して前記第2の保護膜と接続するように設けられており、
前記第1の共通配線と前記第2の共通配線とは、それぞれ2つに分けて設けられており、前記第1の保護膜と前記第2の保護膜とは、前記第1の共通配線と前記第2の共通配線とのそれぞれを2つに分けて得られた領域の前記絶縁層の上に設けられた接続配線を介して接続されていることを特徴とする記録ヘッド用基板。 - 前記第1の共通配線と前記第2の共通配線とのそれぞれは、前記基板の対向する位置に設けられた一対の外部接続用電極に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド用基板。
- 前記第1の素子列にインクを供給するための第1の供給口と、
前記第2の素子列にインクを供給するための第2の供給口と、
前記基板の上に、前記第1の供給口をはさんで前記第1の素子列とは対向する位置に設けられた、インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを与える複数の素子からなる第3の素子列と、
前記基板の上に、前記第2の供給口をはさんで前記第2の素子列とは対向する位置に設けられた、インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを与える複数の素子からなる第4の素子列と、
を有し、
前記第1の保護膜は、前記第1の素子列と前記第3の素子列との上側に位置するように設けられており、前記第2の保護膜は、前記第2の素子列と前記第4の素子列との上側に位置するように設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の記録ヘッド用基板。 - 前記第1の保護膜は、前記第1の供給口を囲むように設けられており、前記第2の保護膜は前記第2の供給口を囲むように設けられていることを特徴とする請求項3に記載の記録ヘッド用基板。
- 前記第3の素子列に沿って前記絶縁層の上にメッキ法で設けられ、前記第3の素子列の素子を駆動する電力を供給する第3の共通配線と、
前記第4の素子列に沿って前記絶縁層の上にメッキ法で設けられ、前記第4の素子列の素子を駆動する電力を供給する第4の共通配線と、
をさらに有し、
前記第3の共通配線と前記第4の共通配線とは、それぞれ2つに分けて設けられており、前記第1の引出配線は、前記第3の共通配線を2つに分けて得られた領域の前記絶縁層の上に設けられており、前記第2の引出配線は、前記第4の共通配線を2つに分けて得られた領域の前記絶縁層の上に設けられていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の記録ヘッド用基板。 - 前記第1の共通配線と前記第2の共通配線とは、各前記素子列の中央部で分かれていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の記録ヘッド用基板。
- 前記第1の保護膜および第2の保護膜がタンタルからなる耐キャビテーション膜である、請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の記録ヘッド用基板。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の記録ヘッド用基板と、
前記記録ヘッド用基板のメッキ法で設けられた共通配線と接するように設けられ、インクを吐出するための吐出口とインクの流路とを形成する樹脂からなる形成部材と、を備えた記録ヘッド。 - 記録媒体を搬送する搬送手段と、インクを吐出し、前記記録媒体に記録を行う請求項8に記載の記録ヘッドを保持し、かつ、前記記録媒体の搬送方向に対して略直角方向に往復移動する保持手段とを有することを特徴とする記録装置。
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