JP5146256B2 - シート状構造体及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法について図1乃至図7を用いて説明する。
第2実施形態によるカーボンナノチューブシートの製造方法について図8及び図9を用いて説明する。図1乃至図7に示す第1実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略し或いは簡潔にする。
第3実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法について図10及び図11を用いて説明する。図1乃至図9に示す第1及び第2実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略し或いは簡潔にする。
第4実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法について図12を用いて説明する。図1乃至図11に示す第1乃至第3実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略し或いは簡潔にする。
第5実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法について図13乃至図15を用いて説明する。図1乃至図12に示す第1乃至第4実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略し或いは簡潔にする。
第6実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法について図16乃至図19を用いて説明する。図1乃至図15に示す第1乃至第5実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略し或いは簡潔にする。
本発明の第7実施形態による電子機器について図20を用いて説明する。
本発明の第8実施形態による電子機器について図21を用いて説明する。
本発明の第9実施形態による電子機器について図22を用いて説明する。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
複数の前記線状構造体の間隙に充填され、複数の前記線状構造体を保持する充填層と、
複数の前記線状構造体の少なくとも一方の端部に形成され、前記充填層の構成材料よりも熱伝導率の高い材料よりなる第1の被膜と
を有することを特徴とするシート状構造体。
前記第1の被膜は、隣接する前記線状構造体を互いに結合する
ことを特徴とするシート状構造体。
複数の前記線状構造体の少なくとも一方の端部に形成され、0.1W/m・K以上の熱伝導率を有し、隣接する前記線状構造体を互いに結合する第1の被膜と
を有することを特徴とするシート状構造体。
前記第1の被膜と前記線状構造体との間に形成されたグラファイト層を更に有する
ことを特徴とするシート状構造体。
複数の前記線状構造体の他方の端部に形成された第2の被膜を更に有する
ことを特徴とするシート状構造体。
複数の前記線状構造体は、互いに第1の間隔をもって配置され、互いに前記第1の間隔よりも大きな第2の間隔をもって配置された複数の線状構造体束を形成している
ことを特徴とするシート状構造体。
複数の前記線状構造体は、シートの膜厚方向に配向している
ことを特徴とするシート状構造体。
複数の前記線状構造体のそれぞれは、シートの膜厚方向に対して傾いており、隣接する前記線状構造体が互いに接触している
ことを特徴とするシート状構造体。
前記第2の被膜は、0.1W/m・K以上の熱伝導率を有する
ことを特徴とするシート状構造体。
前記発熱部により生じた熱を放熱する放熱部と、
前記発熱部と前記放熱部との間に配置され、複数の炭素元素の線状構造体と、複数の前記線状構造体の少なくとも一方の端部に形成された被膜とを有するシート状構造体と
を有することを特徴とする電子機器。
前記シート状構造体は、複数の前記線状構造体の間隙に充填され、複数の前記線状構造体を保持する充填層を更に有する
ことを特徴とする電子機器。
前記被膜は、隣接する前記線状構造体を互いに結合するように形成されており、
複数の前記線状構造体は、前記被膜により保持されている
ことを特徴とする電子機器。
前記触媒金属膜を触媒として、前記第1の基板上に、複数の炭素元素の線状構造体を成長する工程と、
複数の前記線状構造体の端部上に、第1の被膜を形成する工程と、
前記第1の被膜上に第2の基板を貼り合わせた後、複数の前記線状構造体と前記第1の基板との界面から前記第1の基板を剥離する工程と、
前記線状構造体間に充填材を充填し、充填層を形成する工程と、
前記第2の基板を除去する工程と
を有することを特徴とするシート状構造体の製造方法。
前記第1の基板を剥離した後、
前記第1の基板を剥離することにより露出した複数の前記線状構造体の端部上に、第2の被膜を形成する工程を更に有する
ことを特徴とするシート状構造体の製造方法。
前記触媒金属膜を触媒として、前記基板上に、複数の炭素元素の線状構造体を成長する工程と、
複数の前記線状構造体の端部上に、隣接する前記線状構造体を互いに結合するように、第1の被膜を形成する工程と、
複数の前記線状構造体と前記基板との界面から前記基板を剥離する工程と、
を有することを特徴とするシート状構造体の製造方法。
前記基板を剥離した後、
前記基板を剥離することにより露出した複数の前記線状構造体の端部上に、第2の被膜を形成する工程を更に有する
ことを特徴とするシート状構造体の製造方法。
複数の前記線状構造体を成長する工程では、端部がグラファイト層により覆われた前記線状構造体を成長する
ことを特徴とするシート状構造体の製造方法。
前記被膜の融点よりも高い温度で熱処理を行い、前記被膜をリフローする工程と
を有することを特徴とする電子機器の製造方法。
前記シート状構造体は、複数の前記線状構造体の間隙に充填され、複数の前記線状構造体を保持する充填層を更に有する
ことを特徴とする電子機器の製造方法。
前記被膜は、隣接する前記線状構造体を互いに結合するように形成されており、
複数の前記線状構造体は、前記被膜により保持されている
ことを特徴とする電子機器の製造方法。
12…カーボンナノチューブ
14…被膜
16…充填層
20…グラファイト層
22…カーボンナノチューブ束
30,40…基板
42…接着材層
44…犠牲層
46…熱圧着層
50…ステージ
52…加圧ヘッド
100…回路基板
102,132…はんだバンプ
104…アンダーフィル
106…半導体素子
108,112,126…カーボンナノチューブシート
110…ヒートスプレッダ
114,124…ヒートシンク
120…高出力増幅器
122…パッケージ
130…プリント配線基板
Claims (7)
- 複数の炭素元素の線状構造体と、
複数の前記線状構造体の間隙に充填され、複数の前記線状構造体を保持する充填層と、
複数の前記線状構造体の少なくとも一方の端部に形成され、前記充填層の構成材料よりも熱伝導率の高い材料よりなる第1の被膜と、
前記第1の被膜と前記線状構造体との間に形成されたグラファイト層と
を有することを特徴とするシート状構造体。 - 請求項1記載のシート状構造体において、
前記第1の被膜は、隣接する前記線状構造体を互いに結合する
ことを特徴とするシート状構造体。 - 請求項1又は2記載のシート状構造体において、
複数の前記線状構造体の他方の端部に形成された第2の被膜を更に有する
ことを特徴とするシート状構造体。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のシート状構造体において、
複数の前記線状構造体のそれぞれは、シートの膜厚方向に対して傾いており、隣接する前記線状構造体が互いに接触している
ことを特徴とするシート状構造体。 - 発熱部と、
前記発熱部により生じた熱を放熱する放熱部と、
前記発熱部と前記放熱部との間に配置され、複数の炭素元素の線状構造体と、複数の前記線状構造体の少なくとも一方の端部に形成された被膜と、前記被膜と前記線状構造体との間に形成されたグラファイト層とを有するシート状構造体と
を有することを特徴とする電子機器。 - 第1の基板上に、触媒金属膜を形成する工程と、
前記触媒金属膜を触媒として、前記第1の基板上に、端部がグラファイト層により覆われた複数の炭素元素の線状構造体を成長する工程と、
前記グラファイト層により覆われた複数の前記線状構造体の端部上に、第1の被膜を形成する工程と、
前記第1の被膜上に第2の基板を貼り合わせた後、複数の前記線状構造体と前記第1の基板との界面から前記第1の基板を剥離する工程と、
前記線状構造体間に充填材を充填し、充填層を形成する工程と、
前記第2の基板を除去する工程と
を有することを特徴とするシート状構造体の製造方法。 - 発熱部と、前記発熱部により生じた熱を放熱する放熱部とを、複数の炭素元素の線状構造体と、複数の前記線状構造体の少なくとも一方の端部に形成された被膜と、前記被膜と前記線状構造体との間に形成されたグラファイト層とを有するシート状構造体を介して接合する工程と、
前記被膜の融点よりも高い温度で熱処理を行い、前記被膜をリフローする工程と
を有することを特徴とする電子機器の製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008275338A JP5146256B2 (ja) | 2008-03-18 | 2008-10-27 | シート状構造体及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法 |
KR1020090021322A KR101051351B1 (ko) | 2008-03-18 | 2009-03-12 | 시트 형상 구조체와 그 제조 방법, 및 전자 기기와 그 제조방법 |
TW098108570A TWI398508B (zh) | 2008-03-18 | 2009-03-17 | 片狀結構及製造片狀結構之方法 |
US12/405,578 US8749979B2 (en) | 2008-03-18 | 2009-03-17 | Sheet structure and method of manufacturing sheet structure |
CN2009101280244A CN101540302B (zh) | 2008-03-18 | 2009-03-17 | 片结构和制造片结构的方法 |
EP09155530.0A EP2104141B1 (en) | 2008-03-18 | 2009-03-18 | Sheet structure and method of manufacturing sheet structure |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008068992 | 2008-03-18 | ||
JP2008068992 | 2008-03-18 | ||
JP2008275338A JP5146256B2 (ja) | 2008-03-18 | 2008-10-27 | シート状構造体及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012201242A Division JP5768786B2 (ja) | 2008-03-18 | 2012-09-13 | シート状構造体及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009260238A JP2009260238A (ja) | 2009-11-05 |
JP5146256B2 true JP5146256B2 (ja) | 2013-02-20 |
Family
ID=40651768
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008275338A Active JP5146256B2 (ja) | 2008-03-18 | 2008-10-27 | シート状構造体及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8749979B2 (ja) |
EP (1) | EP2104141B1 (ja) |
JP (1) | JP5146256B2 (ja) |
KR (1) | KR101051351B1 (ja) |
CN (1) | CN101540302B (ja) |
TW (1) | TWI398508B (ja) |
Families Citing this family (67)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1885652A4 (en) * | 2005-05-03 | 2010-02-24 | Nanocomp Technologies Inc | CARBON MATERIALS AND METHOD OF MANUFACTURING THEREFOR |
JP4864093B2 (ja) | 2005-07-28 | 2012-01-25 | ナノコンプ テクノロジーズ インコーポレイテッド | ナノ繊維質材料の形成および収穫に関するシステムおよび方法 |
JP5595737B2 (ja) * | 2007-02-27 | 2014-09-24 | ナノコンプ テクノロジーズ インコーポレイテッド | 熱保護材料およびその製造方法 |
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CN111128637B (zh) | 2018-11-01 | 2021-02-26 | 清华大学 | 场发射体的制备方法 |
CN111115615B (zh) | 2018-11-01 | 2021-08-31 | 清华大学 | 碳纳米管阵列的转移方法 |
CN111121981B (zh) | 2018-11-01 | 2021-04-02 | 清华大学 | 黑体辐射源的制备方法 |
CN110003438A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-07-12 | 傲川科技(河源)有限公司 | 导热凝胶及其制备方法 |
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CN110625877B (zh) * | 2019-09-05 | 2021-06-08 | 上海阿莱德实业股份有限公司 | 一种导热界面材料的制备方法 |
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-
2008
- 2008-10-27 JP JP2008275338A patent/JP5146256B2/ja active Active
-
2009
- 2009-03-12 KR KR1020090021322A patent/KR101051351B1/ko active IP Right Grant
- 2009-03-17 CN CN2009101280244A patent/CN101540302B/zh active Active
- 2009-03-17 US US12/405,578 patent/US8749979B2/en active Active
- 2009-03-17 TW TW098108570A patent/TWI398508B/zh active
- 2009-03-18 EP EP09155530.0A patent/EP2104141B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101540302B (zh) | 2012-04-04 |
EP2104141A2 (en) | 2009-09-23 |
EP2104141A3 (en) | 2010-10-27 |
KR20090100257A (ko) | 2009-09-23 |
US20090237886A1 (en) | 2009-09-24 |
JP2009260238A (ja) | 2009-11-05 |
EP2104141B1 (en) | 2016-05-18 |
US8749979B2 (en) | 2014-06-10 |
CN101540302A (zh) | 2009-09-23 |
KR101051351B1 (ko) | 2011-07-22 |
TWI398508B (zh) | 2013-06-11 |
TW200951210A (en) | 2009-12-16 |
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A977 | Report on retrieval |
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