JP5343620B2 - 放熱材料及びその製造方法並びに電子機器及びその製造方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法について図1乃至図10を用いて説明する。
第2実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法について図11乃至図14を用いて説明する。図1乃至図10に示す第1実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し又は簡潔にする。
本発明の第3実施形態によるカーボンナノチューブシートの製造方法について図15及び図16を用いて説明する。図1乃至図14に示す第1実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し又は簡潔にする。
第4実施形態による電子機器について図17を用いて説明する。なお、図1乃至図16に示す第1乃至第3実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
第5実施形態による電子機器について図18を用いて説明する。なお、図1乃至図16に示す第1乃至第3実施形態によるカーボンナノチューブシート及びその製造方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
12…カーボンナノチューブ
14…充填層
14a…支持層
14b,14c…低融点材料層
16a,16b…被膜
30,40,44…基板
32…触媒金属膜
42,46…フォトレジスト膜
50,60…被着体
70…回路基板
72…突起状電極
74…アンダーフィル
76…半導体素子
78,82…カーボンナノチューブシート
80…ヒートスプレッダ
84…ヒートシンク
90…高出力増幅器
92…パッケージ
94…ヒートシンク
96…カーボンナノチューブシート
Claims (5)
- 複数の炭素元素の線状構造体と、
前記複数の線状構造体間に形成され、前記複数の線状構造体を支持する支持層と、
前記支持層の少なくとも一方の表面上に形成され、前記支持層の材料よりも融点が低く、液体から固体に状態変化する際に接着性を発現する熱可塑性樹脂よりなる低融点材料層と、
前記複数の線状構造体の少なくとも一方の端部に形成され、前記支持層及び前記低融点材料層の材料よりも熱伝導率の高い材料の被膜とを有し、
前記被膜により覆われた前記複数の線状構造体の前記端部は、前記支持層の前記表面から突出している
ことを特徴とする放熱材料。 - 発熱体と、
放熱体と、
前記発熱体と放熱体との間に配置され、複数の炭素元素の線状構造体と、前記複数の線状構造体間に形成され、前記複数の線状構造体を支持する支持層と、前記支持層の少なくとも一方の表面上に形成され、前記支持層の材料よりも融点が低く、液体から固体に状態変化する際に接着性を発現する熱可塑性樹脂よりなる低融点材料層と、前記複数の線状構造体の少なくとも一方の端部に形成され、前記支持層及び前記低融点材料層の材料よりも熱伝導率の高い材料の被膜とを有し、前記被膜により覆われた前記複数の線状構造体の前記端部が前記支持層の前記表面から突出している放熱材料と
を有することを特徴とする電子機器。 - 請求項2記載の電子機器において、
前記低融点材料層の材料の融点は、前記発熱体の発熱温度よりも高く、前記発熱体及び放熱体の耐熱温度よりも低い
ことを特徴とする電子機器。 - 発熱体と放熱体との間に、複数の炭素元素の線状構造体と、前記複数の線状構造体間に形成され、前記複数の線状構造体を支持する支持層と、前記支持層の少なくとも一方の表面上に形成され、前記支持層の材料よりも融点が低く、液体から固体に状態変化する際に接着性を発現する熱可塑性樹脂よりなる低融点材料層と、前記複数の線状構造体の少なくとも一方の端部に形成され、前記支持層及び前記低融点材料層の材料よりも熱伝導率の高い材料の被膜とを有し、前記被膜により覆われた前記複数の線状構造体の前記端部が前記支持層の前記表面から突出している放熱材料を配置する工程と、
前記発熱体と前記放熱体とを、前記放熱材料により、前記低融点材料層の融点よりも高く前記支持層の融点よりも低い温度で熱圧着する工程と
を有することを特徴とする電子機器の製造方法。 - 第1の基板上に、複数の炭素元素の線状構造体を成長する工程と、
前記複数の線状構造体の端部上に、支持層及び低融点材料層の材料よりも熱伝導率の高い材料よりなる被膜を形成する工程と、
前記被膜で覆われた前記複数の線状構造体の前記端部上に、第1のレジスト膜を形成した第2の基板を、前記被膜で覆われた前記複数の線状構造体の前記端部が前記第1のレジスト膜によって覆われるように、貼り合わせる工程と、
前記複数の線状構造体の他端と前記第1の基板との界面から前記第1の基板を剥離する工程と、
前記複数の線状構造体の間隙に、前記複数の線状構造体を支持する前記支持層を形成する工程と、
前記第1のレジスト膜を選択的に除去し、前記第2の基板を除去するとともに、前記被膜で覆われた前記複数の線状構造体の前記端部を露出する工程と、
前記支持層の少なくとも一方の表面に、前記支持層の材料よりも融点が低く、液体から固体に状態変化する際に接着性を発現する熱可塑性樹脂よりなる前記低融点材料層を形成する工程と
を有することを特徴とする放熱材料の製造方法。
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