JP6132768B2 - 放熱材料及びその製造方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態による放熱材料及びその製造方法について図1乃至図7を用いて説明する。
第2実施形態による放熱材料及びその製造方法について図8乃至図10を用いて説明する。図1乃至図7に示す第1実施形態による放熱材料及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し又は簡潔にする。
第3実施形態による放熱材料及びその製造方法について図11及び図12を用いて説明する。図1乃至図10に示す第1及び第2実施形態による放熱材料及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し又は簡潔にする。
第4実施形態による放熱材料及びその製造方法について図13及び図14を用いて説明する。図1乃至図12に示す第1乃至第3実施形態による放熱材料及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し又は簡潔にする。
第5実施形態による電子機器及びその製造方法について図15及び図16を用いて説明する。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
12…触媒金属膜
12a…触媒金属微粒子
14…カーボンナノチューブ
16,26,28…被膜
18…熱可塑性樹脂シート
20…充填層
22…放熱材料
30…放熱体
32…放熱パス
40…発熱体
42…発熱源
50…回路基板
52…突起状電極
54…半導体素子
56…ヒートスプレッダ
58…有機シーラント
Claims (8)
- 第1の端部及び第2の端部を有する炭素元素の複数の線状構造体と、
前記線状構造体の、前記第1の端部及び側面のうち前記第1の端部に隣り合う一部を被覆する第1のダイヤモンドライクカーボン層と、
前記第1のダイヤモンドライクカーボン層の表面、及び前記線状構造体の前記第1のダイヤモンドライクカーボン層に覆われていない側面を被覆する被膜と、
側面の一部が前記被膜により被覆された線状構造体間に配置された充填層と、
を有し、前記複数の線状構造体の、前記第1の端部及び側面のうち前記第1の端部に隣り合う一部は、前記第1のダイヤモンドライクカーボン層により接続されていることを特徴とする放熱材料。 - 第1の端部及び第2の端部を有する炭素元素の複数の線状構造体と、
前記線状構造体の、前記第1の端部及び側面を被覆する被膜と、
前記第1の端部及び側面を前記被膜により被覆された線状構造体の、前記第1の端部側の一端部及び側面のうち前記一端部に隣り合う一部を被覆する第1のダイヤモンドライクカーボン層と、
側面が前記被膜により被覆された線状構造体間に配置された充填層と、
を有し、前記第1の端部及び側面を前記被膜により被覆された複数の線状構造体の、前記一端部及び側面のうち前記一端部に隣り合う一部は、前記第1のダイヤモンドライクカーボン層により接続されていることを特徴とする放熱材料。 - 請求項1記載の放熱材料において、
側面の一部が前記被膜により被覆された前記線状構造体の、前記第2の端部側の他端部及び側面のうち前記他端部に隣り合う一部を被覆する第2のダイヤモンドライクカーボン層を更に有し、
側面の一部が前記被膜により被覆された前記複数の線状構造体の、前記他端部及び側面のうち前記他端部に隣り合う一部は、前記第2のダイヤモンドライクカーボン層により接続されていることを特徴とする放熱材料。 - 請求項2記載の放熱材料において、
前記第1の端部及び側面を前記被膜により被覆された前記線状構造体の、前記第2の端部側の他端部及び側面のうち前記他端部に隣り合う一部を被覆する第2のダイヤモンドライクカーボン層を更に有し、
前記第1の端部及び側面を前記被膜により被覆された前記複数の線状構造体の、前記他端部及び側面のうち前記他端部に隣り合う一部は、前記第2のダイヤモンドライクカーボン層により接続されていることを特徴とする放熱材料。 - 基板上に、第1の端部及び第2の端部を有し、前記基板側に第2の端部が位置する炭素元素の複数の線状構造体を形成する工程と、
前記線状構造体の、前記第1の端部及び側面のうち前記第1の端部に隣り合う一部を被覆する第1のダイヤモンドライクカーボン層を形成する工程と、
前記第1のダイヤモンドライクカーボン層の表面、及び前記線状構造体の前記第1のダイヤモンドライクカーボン層に覆われていない側面を被覆する被膜を形成する工程と、
側面の一部が前記被膜により被覆された線状構造体間に充填層を形成する工程と、
前記充填層を形成後、前記基板を除去する工程と、
を有し、
前記第1のダイヤモンドライクカーボン層を形成する工程において、前記複数の線状構造体の、前記第1の端部及び側面のうち前記第1の端部に隣り合う一部は、前記第1のダイヤモンドライクカーボン層により接続されていることを特徴とする放熱材料の製造方法。 - 基板上に、第1の端部及び第2の端部を有し、前記基板側に第2の端部が位置する炭素元素の複数の線状構造体を形成する工程と、
前記線状構造体の、前記第1の端部及び側面を被覆する被膜を形成する工程と、
前記第1の端部及び側面を前記被膜により被覆された線状構造体の、前記第1の端部側の一端部及び側面のうち前記一端部に隣り合う一部を被覆する第1のダイヤモンドライクカーボン層を形成する工程と、
側面が前記被膜により被覆された線状構造体間に充填層を形成する工程と、
前記充填層を形成後、前記基板を除去する工程と、
を有し、
前記第1のダイヤモンドライクカーボン層を形成する工程において、前記第1の端部及び側面を前記被膜により被覆された複数の線状構造体の、前記一端部及び側面のうち前記一端部に隣り合う一部は、前記第1のダイヤモンドライクカーボン層により接続されていることを特徴とする放熱材料の製造方法。 - 請求項5記載の放熱材料の製造方法において
前記基板を除去する工程の後、側面の一部が前記被膜により被覆された前記線状構造体の、前記第2の端部側の他端部及び側面のうち前記他端部に隣り合う一部を被覆する第2のダイヤモンドライクカーボン層を形成する工程を更に有する
ことを特徴とする放熱材料の製造方法。 - 請求項6記載の放熱材料の製造方法において
前記基板を除去する工程の後、第1の端部及び側面を前記被膜により被覆された前記線状構造体の、前記第2の端部側の他端部及び側面のうち前記他端部に隣り合う一部を被覆する第2のダイヤモンドライクカーボン層を形成する工程を更に有する
ことを特徴とする放熱材料の製造方法。
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