JP6115270B2 - 放熱構造体及びその製造方法並びに電子装置 - Google Patents
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- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73253—Bump and layer connectors
Description
置)などに用いられる電子部品には、半導体素子から発する熱を効率よく放熱することが求められる。このため、これら電子部品は、半導体素子の直上に設けられた銅などの高い熱伝導度を有する材料のヒートスプレッダが配置された構造を有している。
一実施形態による放熱構造体及びその製造方法並びにその放熱構造体を用いた電子装置及びその製造方法を図1乃至図12を用いて説明する。
まず、本実施形態による放熱構造体について図1を用いて説明する。図1は、本実施形態による放熱構造体を示す断面図である。
次に、本実施形態による放熱構造体を用いた電子装置について図2を用いて説明する。図2は、本実施形態による電子装置を示す断面図である。
次に、本実施形態による放熱構造体の製造方法について図3乃至図10を用いて説明する。図3乃至図9は、本実施形態による放熱構造体の製造方法を示す工程断面図である。
次に、本実施形態による電子装置の製造方法について図11及び図12を用いて説明する。図11及び図12は、本実施形態による電子装置の製造方法を示す工程断面図である。
次に、本実施形態による放熱構造体の製造方法の変形例を図13乃至図15を用いて説明する。図13乃至図15は、本変形例による放熱構造体の製造方法を示す工程断面図である。
次に、本実施形態による電子装置の製造方法の変形例について図16を用いて説明する。図16は、本変形例による電子装置の製造方法を示す工程断面図である。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
10a…構造物
12…カーボンナノチューブ
14…先端部
16…ランダム配向部
18…根元部
20…充填層、熱可塑性樹脂フィルム
22…回路基板
24…半導体素子、発熱体
26…半田バンプ
28…ヒートスプレッダ、放熱体
30…有機シーラント
32…電子装置
34…基板
36…バイトホルダ
38…バイト
40…回転軸
42…刃
44…台座
Claims (8)
- 上部がランダムな方向に配向したランダム配向部となっている炭素元素の複数の線状構造体を基板上に形成する工程と、
前記複数の線状構造体のうちの前記基板の法線方向とは異なる方向に配向した部分を前記ランダム配向部の上部から除去する工程と、
前記ランダム配向部から上方に突出した前記複数の線状構造体の一端部を湾曲させる工程と、
前記複数の線状構造体の他端部を除く部分の間に樹脂を充填する工程と、
前記複数の線状構造体の前記他端部を湾曲させる工程と、
前記複数の線状構造体の前記他端部の間に前記樹脂を更に充填する工程と
を有することを特徴とする放熱構造体の製造方法。 - 請求項1記載の放熱構造体の製造方法において、
前記複数の線状構造体の前記一端部を湾曲させる工程では、凸状体を周回させて、前記複数の線状構造体の前記一端部を湾曲させる
ことを特徴とする放熱構造体の製造方法。 - 請求項2記載の放熱構造体の製造方法において、
前記凸状体はバイトである
ことを特徴とする放熱構造体の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の放熱構造体の製造方法において、
前記複数の線状構造体のうちの前記基板の法線方向とは異なる方向に配向した部分を除去する工程では、異方性エッチングにより、前記複数の線状構造体のうちの前記基板の法線方向とは異なる方向に配向した部分を除去する
ことを特徴とする放熱構造体の製造方法。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の放熱構造体の製造方法において、
前記複数の線状構造体の前記他端部を湾曲させる工程では、刃を用いて、前記複数の線状構造体の前記他端部を前記基板から切り離し、前記複数の線状構造体の前記他端部を湾曲させる
ことを特徴とする放熱構造体の製造方法。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の放熱構造体の製造方法において、
前記複数の線状構造体の前記他端部の間に前記樹脂を更に充填する工程の後、前記複数の線状構造体の前記一端部の側における充填された前記樹脂の一部を除去する工程を更に有する
ことを特徴とする放熱構造体の製造方法。 - 一部がランダムな方向に配向したランダム配向部となっている炭素元素の複数の線状構造体と、
前記複数の線状構造体間に充填された樹脂層とを有し、
前記ランダム配向部から一方の側に突出した前記複数の線状構造体の一端部が同じ側に湾曲しており、
前記ランダム配向部から他方の側に突出した前記複数の線状構造体の他端部が同じ側に湾曲しており、
前記複数の線状構造体の湾曲した前記一端部の側面の一部が、前記複数の線状構造体間に充填された前記樹脂層の前記一端部側の面と同一平面上にあり、
前記複数の線状構造体の湾曲した前記他端部の側面の一部が、前記複数の線状構造体間に充填された前記樹脂層の前記他端部側の面と同一平面上にある
ことを特徴とする放熱構造体。 - 発熱体と、
放熱体と、
一部がランダムな方向に配向したランダム配向部となっている炭素元素の複数の線状構造体と、前記複数の線状構造体間に充填された樹脂層とを有し、前記ランダム配向部から一方の側に突出した前記複数の線状構造体の一端部が同じ側に湾曲しており、前記ランダム配向部から他方の側に突出した前記複数の線状構造体の他端部が同じ側に湾曲しており、前記複数の線状構造体の湾曲した前記一端部の側面の一部が、前記複数の線状構造体間に充填された前記樹脂層の前記一端部側の面と同一平面上にあり、前記複数の線状構造体の湾曲した前記他端部の側面の一部が、前記複数の線状構造体間に充填された前記樹脂層の前記他端部側の面と同一平面上にある放熱構造体とを有し、
前記複数の線状構造体の湾曲した前記一端部の前記側面の一部が、前記発熱体及び前記放熱体の一方に接しており、
前記複数の線状構造体の湾曲した前記他端部の前記側面の一部が、前記発熱体及び前記放熱体の他方に接している
ことを特徴とする電子装置。
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