JP5076897B2 - 赤外線反射ガラス板および車両窓用合わせガラス - Google Patents
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Description
[1]赤外線反射膜を有するガラス板であって、該赤外線反射膜が、屈折率が1.90以上の高屈折率無機質材料からなる被膜(1)と屈折率が1.56以下の低屈折率無機質材料からなる被膜(2)とがガラス板側からこの順に交互に積層された積層被膜(X)を有し、前記被膜(1)の数と前記被膜(2)の数の合計が3以上であり、前記被膜(1)の幾何学的厚さが70〜150nmであり、前記被膜(2)の幾何学的厚さが100〜200nmであることを特徴とする赤外線反射ガラス板。
[2]被膜(1)の少なくとも1つが、酸化チタンまたは酸窒化チタンの単層膜(1a)である、[1]に記載の赤外線反射ガラス板。
[3]被膜(1)の少なくとも1つが、異なる種類の高屈折率無機質材料からなる2層以上の多層構造からなる高屈折率多層膜(1b)であり、当該高屈折率多層膜(1b)の少なくとも1つの層が酸化チタンまたは酸窒化チタンの層である、[1]に記載の赤外線反射ガラス板。
[4]高屈折率多層膜(1b)の少なくとも1つの層が酸化チタンまたは酸窒化チタンの層であり、当該高屈折率多層膜(1b)の他の少なくとも1つの層が酸化ジルコニウムの層である、[3]に記載の赤外線反射ガラス板。
[5]積層被膜(X)が、酸化ジルコニウムの層と酸化チタンまたは酸窒化チタンの層とを含む幾何学的厚さの合計が70〜150nmの高屈折率多層膜(1b−1)の2つと、当該2つの高屈折率多層膜(1b−1)の間に存在する被膜(2)とからなる、[1]に記載の赤外線反射ガラス板。
[6]被膜(2)が酸化ケイ素の層である、[1]〜[5]のいずれかに記載の赤外線反射ガラス板。
[7]赤外線反射膜が、積層被膜(X)のガラス板側および非ガラス板側のいずれか片方または両方に、無機質材料からなる単層構造または多層構造の薄膜(Y)を有し、当該薄膜の各層の幾何学的厚さがいずれも70nm未満である、[1]に記載の赤外線反射ガラス板。
[8]互いに接する薄膜(Y)の層と積層被膜(X)の被膜との屈折率差が0.3以上である、[7]に記載の赤外線反射ガラス板。
[9]薄膜(Y)が、屈折率が1.90以上の高屈折率無機質材料からなる幾何学的厚さが5〜40nmの高屈折率層(c)と屈折率が1.56以下の低屈折率無機質材料からなる幾何学的厚さが5〜40nmの低屈折率層(d)とが交互に積層された、合計層数が偶数の多層薄膜からなり、積層被膜(X)の被膜(1)に接する層が低屈折率層(d)である、[7]または[8]に記載の赤外線反射ガラス板。
[10]薄膜(Y)の高屈折率層(c)が酸化チタンの層であり、薄膜(Y)の低屈折率層(d)が酸化ケイ素の層である、[9]に記載の赤外線反射ガラス板。
[11]加熱処理を行うことにより[1]〜[10]のいずれかに記載の赤外線反射ガラス板となる前駆体であって、加熱処理後の赤外線反射ガラス板の被膜(1)における「酸化チタンまたは酸窒化チタンの層」に対応する全ての層が酸窒化チタンの層であり、該酸窒化チタンの層における酸窒化チタンが加熱処理後の赤外線反射ガラス板における酸窒化チタンに比較して窒素原子の割合の多い酸窒化チタンであることを特徴とする赤外線反射ガラス板の前駆体。
[12][1]〜[10]のいずれかに記載の赤外線反射ガラス板を製造する方法であって、請求項11に記載の前駆体を加熱して、当該前駆体における酸窒化チタンの層の酸窒化チタンを当該前駆体における酸窒化チタンと比較して窒素原子の含有割合の少ない酸窒化チタンに変換するかまたは酸化チタンに変換することを特徴とする赤外線反射ガラス板の製造方法。
[13]前駆体を加熱して曲げ加工する、曲げ加工された[12]に記載の赤外線反射ガラス板の製造方法。
[14]第1のガラス板と、シート抵抗値が1kΩ/□以上である赤外線反射膜を有する第2のガラス板と、第1のガラス板と第2のガラス板との間に介在された中間膜とを備え、第1のガラス板が車内側に配される車両窓用合わせガラスであって、赤外線反射膜を有する第2のガラス板が[1]〜[10]のいずれかに記載の赤外線反射ガラス板である車両窓用合わせガラス。
[15]第2のガラス板側から入射する光について、可視光透過率が70%以上である[14]に記載の車両窓用合わせガラス。
11:第1のガラス板
12:第2のガラス板
20:赤外線反射ガラス板
21:赤外線反射膜
30:中間膜
図2は、本発明の赤外線反射ガラス板の一例を示す概略断面図である。本例における赤外線反射ガラス板20は、ガラス板12とガラス板12に設けられた赤外線反射膜21とからなる。赤外線反射膜21は、ガラス板12側から順に被膜(1)、被膜(2)および被膜(1)の合計3つの被膜からなる積層被膜(X)からなる。この態様においては、積層被膜(X)の非ガラス側面に薄膜(Y)が積層されている。薄膜(Y)は高屈折率層(c)と低屈折率層(d)の2層からなり、低屈折率層(d)が積層被膜(X)の被膜(1)に接している。
濃色透明ガラスは特に限定されないが、例えば鉄を高濃度で含有するソーダライムシリカガラスである。
図3(a)に本発明で用いられるガラス板の分光透過率を示し、図3(b)に本発明で用いられるガラス板の分光反射率を示す。有色透明ガラス板は、無色透明ガラス板に比べて光の透過率が小さいことが分かる。
ガラス板の厚さは1.5〜3.0mmであることが好ましい。また、ガラス板は平板状でもよく湾曲状でもよい。ただし、車両、特に自動車窓は湾曲していることが多いため、ガラス板も湾曲形状であることが好ましい。
被膜(1)として、前記のように酸窒化チタンの単層膜や、酸化ジルコニウムの層とチタン化合物の層とからなる高屈折率多層膜(1b−1)を用いることが好ましいのは、以下の理由によるものである。
また、クラック発生を抑制するためには、被膜(1)を多層膜(1b)とすることも有効であり、特に、酸化ジルコニウムの層とチタン化合物の層とを含む多層膜(1b−1)とすることが好ましい。
さらに、積層被膜(X)全体の幾何学的厚さ(総膜厚)は、耐久性を良好にする観点から、240〜650nmが好ましく、300〜500nmが特に好ましい。
[1]G/被膜(1)/被膜(2)/被膜(1)、
[2]G/被膜(1)/被膜(2)/被膜(1)/被膜(2)、
[3]G/被膜(1)/被膜(2)/被膜(1)/被膜(2)/被膜(1)、
[4]G/被膜(1)/被膜(2)/被膜(1)/被膜(2)/被膜(1)/被膜(2)、
[5]G/被膜(1)/被膜(2)/被膜(1)/被膜(2)/被膜(1)/被膜(2)/被膜(1)。
より具体的には、例えば、以下に示す構成の積層被膜(X)が挙げられる。
[1−1]:G/TiO2/SiO2/TiO2、
[1−2]:G/TiOxNy/SiO2/TiO2、
[1−3]:G/TiO2/SiO2/TiOxNy、
[1−4]:G/TiOxNy/SiO2/TiOxNy、
[1−5]:G/ZrO2/TiO2/SiO2/TiO2、
[1−6]:G/ZrO2/TiO2/SiO2/ZrO2/TiO2、
[1−7]:G/ZrO2/TiO2/SiO2/TiOxNy、
[1−8]:G/ZrO2/TiO2/SiO2/ZrO2/TiOxNy、
[1−9]:G/ZrO2/TiOxNy/SiO2/TiO2、
[1−10]:G/ZrO2/TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiO2、
[1−11]:G/ZrO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy、
[1−12]:G/ZrO2/TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiOxNy、
[1−13]:G/TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiO2、
[1−14]:G/TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiOxNy、
[1−15]:G/TiOxNy/ZrO2/SiO2/TiOxNy、
[1−16]:G/TiOxNy/SiO2/TiOxNy/ZrO2、
[1−17]:G/TiOxNy/ZrO2/SiO2/TiOxNy/ZrO2、
[1−18]:G/ZrO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy/ZrO2、
[1−19]:G/TiOxNy/ZrO2/SiO2/ZrO2/TiOxNy、
[3−1]:G/TiOxNy/SiO2/TiOxNy/SiO2/TiO2、
[3−2]:G/TiOxNy/SiO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy、
[3−3]:G/ZrO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy。
また、薄膜(Y)としては、前記リップルを抑制する膜の非ガラス面側に、中間膜との接着力を調整する接着力調整膜が積層された多層薄膜でもよい。
さらに、薄膜(Y)を含めた赤外線反射膜全体の幾何学的厚さ(総膜厚)は、耐久性を良好にする観点から、250〜700nmが好ましく、300〜500nmが特に好ましい。
(2)G/{薄膜(Y)(H´1/L´2)}/[積層被膜(X)(H3/L4/H5)]、
(3)G/[積層被膜(X)(H1/L2/H3)]/{薄膜(Y)(L´4/H´5)}、
(4)G/{薄膜(Y)(H´1/L´2)}/[積層被膜(X)(H3/L4/H5)]/{薄膜(Y)(L´6/H´7)}、
(5)G/[積層被膜(X)(H1/L2/H3/L4/H5)、
(6)G/{薄膜(Y)(H´1/L´2)}/[積層被膜(X)(H3/L4/H5/L6/H7)]、
(7)G/[積層被膜(X)(H1/L2/H3/L4/H5)]/{薄膜(Y)(L´6/H´7)}、
(8)G/{薄膜(Y)(H´1/L´2)}/[積層被膜(X)(H3/L4/H5/L6/H7)]/{薄膜(Y)(L´8/H´9)}。
具体的には、例えば、以下に示す構成の赤外線反射ガラス板が挙げられる。
(1−1)G/[ZrO2/TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiOxNy]、
(1−2)G/[ZrO2/TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiOxNy]/{SiO2/TiO2}、
(1−3)G/[ZrO2/TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiOxNy]/{SiO2/TiO2/CrOx}、
(1−4)G/{SiO2/TiO2}/[ZrO2/TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiOxNy]、
(1−5)G/{SiO2/TiO2}/[ZrO2/TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiOxNy]/{SiO2/TiO2}、
(1−6)G/[TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiOxNy]、
(1−7)G/[TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiOxNy]/{SiO2/TiO2}、
(1−8)G/[ZrO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy]、
(1−9)G/[ZrO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy]/{SiO2/TiO2}、
(1−10)G/[TiOxNy/SiO2/ZrO2/TiO2]、
(1−11)G/[ZrO2/TiO2/SiO2/TiOxNy]、
(1−12)G/[ZrO2/TiO2/SiO2/ZrO2/TiOxNy]、
(3−1)G/[TiOxNy/SiO2/TiOxNy/SiO2/TiO2]、
(3−2)G/[TiOxNy/SiO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy]/{SiO2/TiO2}、
(3−3)G/[ZrO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy]/{SiO2/TiO2}、
(3−4)G/[ZrO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy/SiO2/TiOxNy]/{SiO2/TiO2/CrOx}。
熱処理後にこのような窒素含有率の赤外線反射ガラス板を得るためには、前駆体における被膜(1)中の酸窒化チタンの層の窒素含有率は、熱処理後の赤外線反射ガラス板における被膜(1)の窒素含有率と同等以上となる。通常、チタンに対する窒素の割合が0.1〜80%である。また、熱処理の際のクラックの発生を抑制する効果は酸窒化チタンの窒素含有量と関連がある。クラックを抑制する効果をより大きくするためには、熱処理前におけるチタンに対する窒素の割合が1〜20%であることが特に好ましく、2〜15%であることがとりわけ好ましい。
また、X線光電子分光法(XPS)、ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)等では、酸窒化チタン層の組成(酸窒化チタン層における酸素、窒素の割合、具体的にはxおよびyの値)を直接測定することは困難であるが、チタンに対する窒素の割合(N/Ti(%))として測定することができる。組成を直接測定することが困難な場合であっても、チタンに対する窒素の割合が測定により求まること、(x+y)の値がおおよそ1.8〜2.1の値をとると考えられること、などから、おおよその値を推測できる。たとえば、チタンに対する窒素の量が0.1%である場合、yの値を固定すると、x=1.799〜2.099、y=0.001になると考えられる。
例として、前記の酸窒化チタン層の好ましい組成におけるxおよびyの値を表1に示す。この値は前記と同じ前提に基づき、yの値を固定して算出した値として記載する。
スパッタリング法は、例えば、DC(直流)スパッタリング方式、AC(交流)スパッタリング方式、高周波スパッタリング方式、マグネトロンスパッタリング方式が挙げられる。中でも、プロセスが安定しており、大面積への成膜が容易であるという利点があるので、DCマグネトロンスパッタリング法およびACマグネトロンスパッタリング法が好ましい。
ターゲットの材質やスパッタガスの組成は、成膜する膜の種類によって選択される。また、スパッタリングの条件(圧力、温度等)は、成膜する膜の種類、厚さ等により適宜決定されうる。スパッタガスの全圧は、グロー放電が安定に行われる圧力であればよい。
酸化チタンからなる被膜の形成においては、ターゲットとしてTiOx(1<x<2)を用い、スパッタガスとして酸素原子を含むガスを含有するガスを用いて、反応性スパッタリング法を行う方法が好適に挙げられる。
酸窒化チタンからなる被膜の形成においては、ターゲットとしてTiOx(1<x<2)を用い、スパッタガスとして窒素原子を含むガスを含有するガスを用いて、反応性スパッタリング法を行う方法が好適に挙げられる。
酸化ケイ素からなる被膜の形成においては、ターゲットとして炭化ケイ素(SiC)、または多結晶シリコンを用い、スパッタガスとして酸素原子を含むガスを含有するガスを用いて、反応性スパッタリング法を行う方法が好適に挙げられる。
ターゲットには、Al、Si、Zn等公知のドーパントを本発明の特徴を損なわない範囲でドープしてもよい。
窒素原子を含むガスを含有するガスは、窒素原子を含むガスを含有するものであれば特に限定されず、例えば、窒素原子を含むガス、窒素原子を含むガスと不活性ガスとの混合ガスが挙げられる。窒素原子を含むガスとしては、例えば、窒素ガス(N2)、N2O、NO、NO2、NH3が挙げられる。不活性ガスとしては、例えば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン等の希ガスが挙げられる。なかでも、経済性および放電のしやすさの点から、アルゴンが好ましい。窒素原子を含むガスを含有するガスは、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
前記のようにして得られる中間膜は、その厚さは0.5〜1mm程度であり、通常は0.76mmである。
本発明の車両窓用合わせガラスの製造方法は、特に限定されないが、例えば、赤外線反射膜を有する第2のガラス板上の赤外線反射膜と第1のガラス板との間に中間膜を挟み、プレスにより一体化させる方法が挙げられる。
また、本発明の車両窓用合わせガラスは、自動車のウインドシールドにも用いることができるように可視光透過率が70%以上であることが好ましく、特には75%以上であることが好ましい。
本発明において吸収率は、吸収率=1−(透過率+反射率)で表す。厳密には、ガラス物品に入射する光は「反射」「吸収」「透過」のほかに「散乱」がある、しかし、ガラス物品の場合、「散乱」によるロスはきわめて小さいため、吸収率を1−(透過率+反射率)で表すことは妥当である。
また、シュミレーションによる実施例は、ガラス板に各被膜を構成する材料を単層で成膜したサンプルについて、各波長における屈折率および各波長における消衰係数を測定して得られたデータをもとに行った。
100mm×100mm(例1〜3)、200mm×200mm(例4〜6)、約1200mm×約1650mm(例7、8)の寸法で、厚さ2mmのガラス板を3種類用意した。3種類のガラス板の内訳は以下の通りである。例7、8については、上記サイズのガラス板に赤外線反射膜を成膜した後、100mm×100mmの大きさに切り出したサンプルを用いて、赤外線反射ガラスとしての評価、合せガラスの製造、合わせガラスとしての評価を行った。また、ガラス板そのものの分光特性の評価も100mm×100mmのサンプルを用いて行った。
(2)無色透明ソーダライムシリカガラス(グラバーベル社製、以下「FL2」という)、
(3)紫外線吸収性能を有するグリーン系有色透明ソーダライムシリカガラス(旭硝子社製、以下「UVFL1」という)。
図1に示す構成の赤外線反射膜付きガラス板20を、以下に示す膜構成で8種類(膜例1〜8)用意した。カッコ内の数字は各被膜の幾何学的厚さ(nm)を示す。また、膜例1〜8で用いた材料の屈折率を表3に示す。これらの値はいずれも波長550nmにおける値であり、熱処理がなされていない状態での値である。
FL1/TiOxNy(92)/SiO2(179)/TiOxNy(92)/SiO2(35)/TiOxNy(10)
[膜例2]
FL1/TiOxNy(96)/SiO2(170)/TiOxNy(95)/SiO2(28)/TiOxNy(11)
[膜例3]
FL1/TiOxNy(114)/SiO2(150)/TiOxNy(113)/SiO2(25)/TiOxNy(11)
[膜例4]
FL1/TiOxNy(104)/SiO2(176)/TiOxNy(104)/SiO2(30)/TiOxNy(11)
[膜例5]
FL1/TiOxNy(110)/SiO2(178)/TiOxNy(111)/SiO2(30)/TiOxNy(11)
[膜例6]
FL1/TiOxNy(95)/SiO2(180)/TiOxNy(103)/SiO2(26)/TiOxNy(11)
[膜例7]
FL1/ZrO2(20)/TiOxNy(120)/SiO2(185)/ZrO2(20)/TiOxNy(120)/SiO2(30)/TiO2(8)
[膜例8]
FL2/ZrO2(17)/TiOxNy(102)/SiO2(182)/ZrO2(17)/TiOxNy(100)/SiO2(28)/TiO2(7)
膜例1〜6における酸窒化チタン層について、ESCAにより、チタンに対する窒素の割合を測定し、本明細書中に記載した前提条件よりxおよびyの値を求めた。この結果は、ガラス板上に酸窒化チタン層のみを成膜したサンプルについて測定したデータに基づくものである。酸窒化チタン層のみを成膜したサンプルであっても、チタンに対する窒素の割合は、赤外線反射ガラス板において測定する場合と変わらないと考えられる。表中では、チタンに対する窒素の割合をN/Ti(%)と記す。
膜例1〜6の赤外線反射膜は、ガラス板の上にTiOxNy層とSiO2層とをこの順に計5層順次積層することによって製造した。
真空槽内にTiOx(1<x<2)ターゲットをスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を1.3×10-3Pa以下となるまで排気した。ついで、スパッタガスとしてアルゴンガスと窒素ガスとの混合ガスを導入した。このとき、圧力は7.0×10−1Paとなった。この状態で、DCパルス電源を用いて反応性スパッタリング法を行い、真空槽内に設置した第2のガラス板(FL)の上に、TiOxNy膜を形成させた。なお、膜例1〜6のスパッタガスとしては、それぞれ次のような混合ガスを用いた。膜例1;アルゴンガス90sccm、窒素ガス10sccm、膜例2、4〜6;アルゴンガス95sccm、窒素ガス5sccm、膜例3;アルゴンガス80sccm、窒素ガス20sccm。
真空槽内にSiCターゲットをスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を1.3×10-3Pa以下となるまで排気した。ついで、スパッタガスとしてアルゴンガス40sccmと酸素ガス60sccmとの混合ガスを導入した。このとき、圧力は6.0×10−1Paとなった。この状態で、DCパルス電源を用いて反応性スパッタリング法を行い、真空槽内に設置した被処理体の被膜(1)の上に、SiO2膜を形成させた。
膜例7、8の赤外線反射膜は以下に示す手順に従い、ガラス板にZrO2膜、TiOxNy膜、SiO2膜、ZrO2膜、TiOxNy膜、SiO2膜、TiO2膜を順次成膜することによって得た。
真空槽内にZrターゲットをスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を1.3×10-3Pa以下となるまで排気した。ついで、スパッタガスとして酸素ガスとアルゴンガスを70:30の割合(容量比)で、圧力が4.0×10-1Paとなるまで導入した。この状態で、DCパルス電源を用いて反応性スパッタリング法を行い、真空槽内に設置した被処理体の上に、ZrO2層を形成させた。
真空槽内にTiOx(1<x<2)ターゲットをスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を1.3×10-3Pa以下となるまで排気した。ついで、スパッタガスとしてアルゴンガスと窒素ガスと酸素ガスを70:13:17の割合(容量比)で、圧力が4.0×10-1Paとなるまで導入した。この状態で、DC電源を用いて反応性スパッタリング法を行い、真空槽内に設置した被処理体の上に、TiOxNy層を形成させた。
真空槽内にSiターゲットをスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を1.3×10-3Pa以下となるまで排気した。ついで、スパッタガスとしてアルゴンガスと酸素ガスを39:61の割合(容量比)で、圧力は4.0×10-1Paとなるまで導入した。この状態で、AC電源を用いて反応性スパッタリング法を行い、真空槽内に設置した被処理体の上に、SiO2層を形成させた。
真空槽内にTiOx(1<x<2)ターゲットをスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を1.3×10-3Pa以下となるまで排気した。ついで、スパッタガスとしてアルゴンガスと酸素ガスを30:70の割合(容量比)で、圧力は4.0×10-1Paとなるまで導入した。この状態で、DC電源を用いて反応性スパッタリング法を行い、真空槽内に設置した被処理体の上に、TiO2層を形成させた。
これらの赤外線反射ガラス板の分光反射率を示すグラフを図4〜図6に示す。
図1に示す構成の合わせガラスを製造した。第1のガラス板11は先に用意したUVFLガラス板、第2のガラス板12は先に用意したFLガラス板であり膜例1〜8の赤外線反射膜21を有する。中間膜30には、クールベール(旭硝子社製、登録商標)で使用されているITO微粒子が分散配合されたPVB(ポリビニルブチラール)中間膜を用いた。以下、膜例1を有する合わせガラスを例1の合わせガラスといい、他の例も同様とする。このPVB中間膜は、厚さが0.76mmであった。また、ITO微粒子の含有率は、PVB中間膜に対して0.2質量%であった。
なお、2005年8月16日に出願された日本特許出願2005−235726号及び2005年9月2日に出願された日本特許出願2005−254905号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
Claims (9)
- 赤外線反射膜を有するガラス板であって、該赤外線反射膜が積層被膜(X)と薄膜(Y)とを有し、積層被膜(X)は屈折率が1.90以上の高屈折率無機質材料からなる被膜(1)と屈折率が1.56以下の低屈折率無機質材料からなる被膜(2)とを有し、ガラス板側からこの順に交互に積層されており、前記被膜(1)の数と前記被膜(2)の数の合計が3以上であり、前記被膜(1)の幾何学的厚さが70〜150nmであり、前記被膜(2)の幾何学的厚さが100〜200nmであり、 薄膜(Y)は積層被膜(X)の非ガラス板側にあって、無機質材料からなる多層構造を有し、
薄膜(Y)は積層被膜(X)と互いに接しており、
薄膜(Y)は屈折率が1.90以上の高屈折率無機質材料からなる幾何学的厚さが5〜40nmの高屈折率層(c)と屈折率が1.56以下の低屈折率無機質材料からなる幾何学的厚さが5〜40nmの低屈折率層(d)とが交互に積層された合計層数が偶数の多層薄膜からなり、積層被膜(X)の被膜(1)に接する層が低屈折率層(d)である赤外線反射ガラス板。 - 被膜(1)の少なくとも1つが、酸化チタンまたは酸窒化チタンの単層膜(1a)である、請求項1に記載の赤外線反射ガラス板
- 被膜(1)の少なくとも1つが、異なる種類の高屈折率無機質材料からなる2層以上の多層構造からなる高屈折率多層膜(1b)であり、当該高屈折率多層膜(1b)の少なくとも1つの層が酸化チタンまたは酸窒化チタンの層である、請求項1に記載の赤外線反射ガラス板。
- 高屈折率多層膜(1b)の少なくとも1つの層が酸化チタンまたは酸窒化チタンの層であり、当該高屈折率多層膜(1b)の他の少なくとも1つの層が酸化ジルコニウムの層である、請求項3に記載の赤外線反射ガラス板。
- 積層被膜(X)が、酸化ジルコニウムの層と酸化チタンまたは酸窒化チタンの層とを含む幾何学的厚さの合計が70〜150nmの高屈折率多層膜(1b−1)の2つと、当該2つの高屈折率多層膜(1b−1)の間に存在する被膜(2)とからなる、請求項1に記載の赤外線反射ガラス板。
- 被膜(2)が酸化ケイ素の層である、請求項1〜5のいずれかに記載の赤外線反射ガラス板。
- 薄膜(Y)の高屈折率層(c)が酸化チタンの層であり、薄膜(Y)の低屈折率層(d)が酸化ケイ素の層である、請求項1〜6のいずれかに記載の赤外線反射ガラス板。
- 第1のガラス板と、シート抵抗値が1kΩ/□以上である赤外線反射膜を有する第2のガラス板と、第1のガラス板と第2のガラス板との間に介在された中間膜とを備え、第1のガラス板が車内側に配される車両窓用合わせガラスであって、赤外線反射膜を有する第2のガラス板が請求項1〜7のいずれかに記載の赤外線反射ガラス板である車両窓用合わせガラス。
- 第2のガラス板側から入射する光について、可視光透過率が70%以上である請求項8に記載の車両窓用合わせガラス。
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