JP5074745B2 - ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係るガラス基板の製造方法のフロー図である。図1において、まず、出発ガラス母材として薄板ガラスを成形する(ステップS101)。つぎに、薄板ガラスを複数枚積層して固着、一体化し、ガラスブロックを形成する(ステップS102)。つぎに、形成したガラスブロックをコアリングしてドーナツ状ガラスブロックを形成する(ステップS103)。つぎに、ドーナツ状ガラスブロックの内周および外周の端面を研削する(ステップS104)。つぎに、ドーナツ状ガラスブロックを個々のドーナツ状ガラス基板に分離し、洗浄して接合剤等を除去する(ステップS105)。つぎに、ドーナツ状ガラス基板の内周および外周のエッジ部を斜面取りする(ステップS106)。そして、ドーナツ状ガラス基板の内周および外周の端面のポリッシングを行い(ステップS107)、ドーナツ状ガラス基板の主表面のポリッシングを行い(ステップS108)、ドーナツ状ガラス基板を洗浄し(ステップS109)、所望のガラス基板が完成する。
以下に、本発明の実施例及び比較例を示す。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。実施例1〜10においては、上述の実施の形態にしたがって以下のような方法で直径0.85インチ(21.6mm)の磁気ディスク用ガラス基板を製造した。また、比較例では、特許文献1に記載されるような内周および外周の端面の研削とエッジ部の斜面取りとを内外周同時に行うことが可能なチャンファ加工機を用いて行い、それ以外の工程はすべて実施例と同じとした。以下、各工程について図15を参照して具体的に説明する。
まず、フロート法により製造したソーダライムガラス(幅328mm×厚さ5mm×長さ約1.5m)を図2に示す加熱延伸装置で加熱延伸して所望の厚さのガラス条(幅25mm×長さ 数十mm)を形成し、150mmの長さに切断して薄板ガラスとした。薄板ガラスの厚さは、図15に示すように、完成品のガラス基板の厚さである0.381mmに、ポリッシュ工程での取り代である約0.01mm、約0.12mm、あるいは約0.22mmを上乗せした程度のものとした。また、薄板ガラスの平均表面粗さを、AFM(島津製作所製 SPM−9500J3)を用いて測定したところ、図15に示すように100nm以下であった。
つぎに、形成した薄板ガラスを複数枚積層した状態で固着、一体化する方法として、ワックス固定法と冷凍チャック固定法とを採用した。ワックス固定法では、80℃程度で溶解する水溶性ワックス(日化精工製 アクアワックス80)を用い、ホットプレート上で薄板ガラスを加熱しながらワックスを塗布し、その上に別の薄板ガラスを乗せる作業を繰り返して薄板ガラスを25枚積層させた後、冷却して固着、一体化し、ガラスブロックを形成した。また、冷凍チャック固定法では、薄板ガラスの間に低温凝固剤を塗布充填しながら25枚積層させた後、冷却装置を用いて低温凝固材が十分固化する温度まで冷凍して固着、一体化し、ガラスブロックを形成した。
図4に示すダブルコア砥石を2種類準備した。すなわち、内径加工用砥石と外径加工用砥石がともにメタルボンド#320のタイプと、外径加工用砥石がメタルボンド#320であり、内径加工用砥石がメタルボンド#600であるタイプとである。そして、前工程で形成したガラスブロックを、上述のステップS103に示す方法によって、図15に示す条件で研削し、ドーナツ状ガラスブロックを形成した。なお、冷凍チャック方式を用いた場合は、研削中においても冷凍固着状態が維持されるように研削液温度を−10℃程度に保った。
円柱状の外周端面研削砥石および内周端面研削砥石をそれぞれ2種類準備した。砥石の種類および粒度は、外周用および内周用ともに電着#400と、電着#600とである。そして、前工程で形成したドーナツ状ガラスブロックの内周および外周の端面を、上述のステップS104に示す方法によって、図15に示す条件で研削し、芯取りを行い完成品寸法に仕上げた。なお、冷凍チャック方式を用いた場合は、研削中においても冷凍固着状態が維持されるよう研削液温度を−10℃程度に保った。
つぎに、前工程で内周および外周の端面を研削したドーナツ状ガラスブロックを80℃に調整した温水に浸漬し、超音波を印加して水溶性ワックスまたは低温凝固材を溶解した。つぎに、仕上げ洗浄としてIPA(イソプロピルアルコール)超音波洗浄を施し乾燥させることで、個々のドーナツ状ガラス基板を得た。
つぎに、斜面取り砥石として、メタルボンドまたはレジメタボンドを結合剤として砥粒を焼結し、砥石粒度を#800〜#2000に調整したものを数種類準備した。なお、実施例1〜10については、外周斜面取り砥石は、図7に示したものと同様のものであって、砥石の先端面の傾斜面がストレート形状であり、傾斜角度が45度であるものを用いた。また、内周斜面取り砥石は、図11に示したものと同様のものであって、砥石の先端面の傾斜面がストレート形状であり、傾斜角度が45度であるものを用いた。そして、斜面取り角度がガラス基板の主表面に対して45度の角度となるように斜面取り砥石およびドーナツ状ガラス基板の位置を調整しておき、ジュラコン製樹脂を用いて同心円状に加工された吸着ステージにドーナツ状ガラス基板を乗せて真空吸着させた後、上述のステップS106に示す方法によって、図15に示す条件で斜面取りを行った。なお、斜面取りは、内周上面、内周下面、外周上面、外周下面の順に行った。
つぎに、ワークホールダーに前工程で斜面取りを行ったドーナツ状ガラス基板を300枚重ね合わせ、従来より用いられているブラシ研磨法により内周および外周の端面および斜面取り部の鏡面研磨を行った。研磨砥粒としては酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いた。なお、このポリッシングは、内周、外周の順に実施し、このポリッシングを終えたドーナツ状ガラス基板を水洗浄し、仕上げ洗浄としてIPA超音波洗浄を施し、乾燥させた。
遊星歯車機構を有する両面研磨装置に前工程で得られたドーナツ状ガラス基板をセットし、軟質ポリッシャを用いたタッチポリッシュによって所望の厚さ0.381mmになるまで主表面の鏡面研磨を行った。研磨砥粒としては、コロイダルシリカ砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いた。
2 ガラス条
3 薄ガラス板
4 ガラスブロック
5 ドーナツ状ガラスブロック
52、62 円孔
53、63 外周端面
54、64 内周端面
6 ドーナツ状ガラス基板
61 主表面
65 外周エッジ部
66 内周エッジ部
67 外周斜面取り部
68 内周斜面取り部
120 外周斜面取り砥石
121、131 砥石軸
122、132 砥石
123、133 中空部
124、134 先端面
130 内周斜面取り砥石
Claims (9)
- 所定の厚さを有する薄板ガラスを複数枚積層して固着、一体化し、ガラスブロックを形成するガラスブロック形成工程と、
前記形成したガラスブロックをコアリングしてドーナツ状ガラスブロックを形成する内外径コアリング工程と、
前記形成したドーナツ状ガラスブロックの内周および外周の端面を研削する内外周端面研削工程と、
前記内周および外周の端面を研削したドーナツ状ガラスブロックを個々のドーナツ状ガラス基板に分離して該分離したドーナツ状ガラス基板を洗浄する分離洗浄工程と、
前記洗浄したドーナツ状ガラス基板の内周および外周のエッジ部を斜面取りする内外周斜面取り工程と、
前記内周および外周のエッジ部を斜面取りしたドーナツ状ガラス基板の主表面を研磨する工程と、
を含み、
前記薄板ガラスの主表面の平均表面粗さは1nm以下であり、
前記薄板ガラスの厚さは完成品のガラス基板の厚さよりも0.02mm以下だけ厚い
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記形成したガラスブロックと該ガラスブロックを固定する固定手段との間にダミー板ガラスを挟んで、前記内外径コアリング工程または前記内外周端面研削工程を行うことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記内外周斜面取り工程は、電着法、メタルボンド、レジンボンド、レジメタボンド、またはビトリファイドボンドのいずれか1つ以上の結合剤で焼結した砥粒を付着した砥石を用いて前記洗浄したドーナツ状ガラス基板の内周および外周のエッジ部を斜面取りすることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記砥粒の粒度は、#800以上#2000以下であることを特徴とする請求項3に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記砥粒の粒度は、#1000以上#1500以下であることを特徴とする請求項4に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記内外周斜面取り工程は、中空部を形成した円筒状の先端部を有し、前記先端部の内径が先端方向に向けて拡開して内側に窪んだ湾曲形状またはストレート形状の斜面が形成された外周斜面取り砥石、または、中空部を形成した円筒状の先端部を有し、前記先端部が円錐台側面状に先細り外側に膨らんだ湾曲形状またはストレート形状の斜面が形成された内周斜面取り砥石を、斜面取り角度が所望の角度となるように前記ドーナツ状ガラス基板との位置関係を予め調整しておき、前記外周斜面取り砥石または前記内周斜面取り砥石と前記ドーナツ状ガラス基板とをそれぞれ回転させた状態で、前記外周斜面取り砥石の中空部または前記内周斜面取り砥石の中空部を前記ドーナツ状ガラス基板の外周または内周のエッジ部に押し当てて斜面取りすることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のガラス基板の製造方法。
- 前記外周斜面取り砥石または前記内周斜面取り砥石の回転方向と前記ドーナツ状ガラス基板の回転方向を非平行にすることを特徴とする請求項6に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記外周斜面取り用砥石は、前記ドーナツ状ガラス基板と接触する部分の砥石の直径が該ドーナツ状ガラス基板の直径未満であり、前記内周斜面取り用砥石は、前記ドーナツ状ガラス基板と接触する部分の砥石の直径が該ドーナツ状ガラス基板に形成した円孔の直径未満であることを特徴とする請求項6または7に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記外周斜面取り用砥石は、前記ドーナツ状ガラス基板と接触する部分の砥石の直径が該ドーナツ状ガラス基板の直径の40%以上95%以下であり、前記内周斜面取り用砥石は、前記ドーナツ状ガラス基板と接触する部分の砥石の直径が該ドーナツ状ガラス基板に形成した円孔の直径の40%以上95%以下であることを特徴とする請求項8に記載のガラス基板の製造方法。
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