JPH11219521A - 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
磁気ディスク用ガラス基板の製造方法Info
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- JPH11219521A JPH11219521A JP3428198A JP3428198A JPH11219521A JP H11219521 A JPH11219521 A JP H11219521A JP 3428198 A JP3428198 A JP 3428198A JP 3428198 A JP3428198 A JP 3428198A JP H11219521 A JPH11219521 A JP H11219521A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 記録可能エリアが広く、外内周縁が欠け難い
磁気ディスクを製造することができる磁気ディスク用ガ
ラス基板の製造方法を提供すること。 【解決手段】 本発明の製造方法は、所定の肉厚及び表
面精度を有する板ガラス１を、その表面に接着剤２で被
覆を施した後、板ガラス１をコアリング加工してドーナ
ツ状板ガラス３とし、次いでドーナツ状板ガラス３の外
内周のエッジ部３ｂ、３ｃを面取りして面取り部７ａ、
７ｂを有する面取りされたドーナツ状板ガラス７とし、
その後、ドーナツ状板ガラス７の接着剤２を除去するこ
とを特徴とする。
磁気ディスクを製造することができる磁気ディスク用ガ
ラス基板の製造方法を提供すること。 【解決手段】 本発明の製造方法は、所定の肉厚及び表
面精度を有する板ガラス１を、その表面に接着剤２で被
覆を施した後、板ガラス１をコアリング加工してドーナ
ツ状板ガラス３とし、次いでドーナツ状板ガラス３の外
内周のエッジ部３ｂ、３ｃを面取りして面取り部７ａ、
７ｂを有する面取りされたドーナツ状板ガラス７とし、
その後、ドーナツ状板ガラス７の接着剤２を除去するこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク用ガ
ラス基板の製造方法に関するものである。
ラス基板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、急速なＯＡ（オフィスオートメー
ション）化の進展に伴い、大容量で、しかも高速に記録
・再生ができる記録媒体が必要とされている。特に、コ
ンピュータの記憶装置として中心的な役割を果たしてい
る磁気ディスク記録装置において、記録容量、記録密度
が年々増加しており、より薄く、外力に対して変形し難
い磁気ディスク用基板が必要となっている。
ション）化の進展に伴い、大容量で、しかも高速に記録
・再生ができる記録媒体が必要とされている。特に、コ
ンピュータの記憶装置として中心的な役割を果たしてい
る磁気ディスク記録装置において、記録容量、記録密度
が年々増加しており、より薄く、外力に対して変形し難
い磁気ディスク用基板が必要となっている。
【０００３】磁気ディスク記録装置の記録容量の向上を
図る上で、高密度の記録を可能にするには、磁気ディス
ク用基板の記録可能エリアをできるだけ広く、しかも平
滑にする必要がある。
図る上で、高密度の記録を可能にするには、磁気ディス
ク用基板の記録可能エリアをできるだけ広く、しかも平
滑にする必要がある。
【０００４】そこで、表面の平滑性に優れ、硬い上に剛
性が高く、表面欠陥を少なくすることができる等の理由
から、高密度の記録が可能な磁気ディスク用基板として
ガラス製の基板が注目されている。
性が高く、表面欠陥を少なくすることができる等の理由
から、高密度の記録が可能な磁気ディスク用基板として
ガラス製の基板が注目されている。
【０００５】従来、磁気ディスク用ガラス基板の製造方
法は、先ず所定の研磨代を含む厚さの板ガラスを磁気デ
ィスクが切り出せる寸法に切断し、コアドリルを使用し
て切断した板ガラスから中心孔と外周を同時に切削して
ドーナツ状板ガラスを切り出し、その中心孔を回転中心
としてドーナツ状板ガラスの外内周のエッジ部を砥石を
使用して面取りして面取り部を形成し、そのドーナツ状
板ガラスの外内周面及び面取り部を研磨し、面取りされ
た略製品寸法のドーナツ状板ガラスの表面を平面研磨盤
で研磨した後、洗浄して磁気ディスク用ガラス基板を製
造している。
法は、先ず所定の研磨代を含む厚さの板ガラスを磁気デ
ィスクが切り出せる寸法に切断し、コアドリルを使用し
て切断した板ガラスから中心孔と外周を同時に切削して
ドーナツ状板ガラスを切り出し、その中心孔を回転中心
としてドーナツ状板ガラスの外内周のエッジ部を砥石を
使用して面取りして面取り部を形成し、そのドーナツ状
板ガラスの外内周面及び面取り部を研磨し、面取りされ
た略製品寸法のドーナツ状板ガラスの表面を平面研磨盤
で研磨した後、洗浄して磁気ディスク用ガラス基板を製
造している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の製造方法では、略製品寸法の面取りされたドーナツ
状板ガラスを研磨することにより製造されているので、
図５に示すように、磁気ディスク用ガラス基板１０の外
内周の面取り部１０ａの内側研磨表面に、研磨布等で選
択的に研磨されることによるスキージャンプＳと呼ばれ
る隆起や、ロールオフＲと呼ばれる面ダレが局部的に形
成される。このような変形部を有する磁気ディスク用ガ
ラス基板１０が磁気ディスク記録装置に組み込まれた場
合、高速回転する磁気ディスクの表面１０ｃ上を数十ｎ
ｍの高さで飛行中の磁気ヘッド（図示せず）が、ロール
オフＲの部分で傾斜して不安定になり記録・再生エラー
を生じたり、スキージャンプＳの隆起に衝突して磁気ヘ
ッドが破損したり、磁気ディスクの記録エリアを損傷す
る。そればかりか、この変形部のために、高速アクセス
が可能で、記録容量に対して大きな比率を占める外周の
面取り部１０ａの内側にある幅約１ｍｍの環状部１０ｄ
を記録エリアとして使用することができないという問題
がある。この環状部１０ｄを記録容量に換算すると、例
えば、直径３．５インチサイズの磁気ディスク用ガラス
基板では約６．５％、直径２．５インチサイズの磁気デ
ィスク用ガラス基板では約７％、直径１．８インチサイ
ズの磁気ディスク用ガラス基板では約７．５％が、それ
ぞれ記録エリアとして使用不可となり、記録容量が制約
される。
来の製造方法では、略製品寸法の面取りされたドーナツ
状板ガラスを研磨することにより製造されているので、
図５に示すように、磁気ディスク用ガラス基板１０の外
内周の面取り部１０ａの内側研磨表面に、研磨布等で選
択的に研磨されることによるスキージャンプＳと呼ばれ
る隆起や、ロールオフＲと呼ばれる面ダレが局部的に形
成される。このような変形部を有する磁気ディスク用ガ
ラス基板１０が磁気ディスク記録装置に組み込まれた場
合、高速回転する磁気ディスクの表面１０ｃ上を数十ｎ
ｍの高さで飛行中の磁気ヘッド（図示せず）が、ロール
オフＲの部分で傾斜して不安定になり記録・再生エラー
を生じたり、スキージャンプＳの隆起に衝突して磁気ヘ
ッドが破損したり、磁気ディスクの記録エリアを損傷す
る。そればかりか、この変形部のために、高速アクセス
が可能で、記録容量に対して大きな比率を占める外周の
面取り部１０ａの内側にある幅約１ｍｍの環状部１０ｄ
を記録エリアとして使用することができないという問題
がある。この環状部１０ｄを記録容量に換算すると、例
えば、直径３．５インチサイズの磁気ディスク用ガラス
基板では約６．５％、直径２．５インチサイズの磁気デ
ィスク用ガラス基板では約７％、直径１．８インチサイ
ズの磁気ディスク用ガラス基板では約７．５％が、それ
ぞれ記録エリアとして使用不可となり、記録容量が制約
される。
【０００７】また、従来の製造方法によりドーナツ状板
ガラスの外内周のエッジ部を回転砥石、研磨布、ブラシ
等を使用して面取りし面取り部１０ａを形成した磁気デ
ィスク用ガラス基板１０の場合、面取り部１０ａには潜
傷と呼ばれる極微小なクラックが存在する。このような
潜傷を有する磁気ディスク用ガラス基板１０を用いて磁
気ディスクを製造する際に面取り部１０ａが欠けて製品
不良となったり、或いはこの磁気ディスクを用いた記録
装置の使用中に面取り部が欠けてその破片が磁性層を傷
つけ記録装置が使用不能になり重大な問題となる。
ガラスの外内周のエッジ部を回転砥石、研磨布、ブラシ
等を使用して面取りし面取り部１０ａを形成した磁気デ
ィスク用ガラス基板１０の場合、面取り部１０ａには潜
傷と呼ばれる極微小なクラックが存在する。このような
潜傷を有する磁気ディスク用ガラス基板１０を用いて磁
気ディスクを製造する際に面取り部１０ａが欠けて製品
不良となったり、或いはこの磁気ディスクを用いた記録
装置の使用中に面取り部が欠けてその破片が磁性層を傷
つけ記録装置が使用不能になり重大な問題となる。
【０００８】更に、従来の製造方法では、板ガラスを磁
気ディスクが切り出せる寸法に切断する工程、コアドリ
ルで板ガラスからドーナツ状板ガラスを切り出す工程、
ドーナツ状板ガラスの外内周面を研磨する工程、ドーナ
ツ状板ガラスの外内周のエッジ部を面取りする工程、及
び面取りされたドーナツ状板ガラスの表面を平面研磨盤
で研磨する工程等、多くの工程を必要とする。また、各
工程における装置への材料の装填及び取り出しは、全て
一枚毎に行われるので効率が悪く、コストが高くなると
いう問題がある。
気ディスクが切り出せる寸法に切断する工程、コアドリ
ルで板ガラスからドーナツ状板ガラスを切り出す工程、
ドーナツ状板ガラスの外内周面を研磨する工程、ドーナ
ツ状板ガラスの外内周のエッジ部を面取りする工程、及
び面取りされたドーナツ状板ガラスの表面を平面研磨盤
で研磨する工程等、多くの工程を必要とする。また、各
工程における装置への材料の装填及び取り出しは、全て
一枚毎に行われるので効率が悪く、コストが高くなると
いう問題がある。
【０００９】本発明は、以上のような従来の問題点を解
決した磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供する
ことを目的とする。
決した磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供する
ことを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気ディス
ク用ガラス基板の製造方法は、所定の肉厚及び表面精度
を有する板ガラスを、その表面に被覆を施した後、該板
ガラスをコアリング加工してドーナツ状板ガラスとし、
次いで該ドーナツ状板ガラスの外内周のエッジ部を面取
りし、その後、前記ドーナツ状板ガラスの被覆を除去す
ることを特徴とする。
ク用ガラス基板の製造方法は、所定の肉厚及び表面精度
を有する板ガラスを、その表面に被覆を施した後、該板
ガラスをコアリング加工してドーナツ状板ガラスとし、
次いで該ドーナツ状板ガラスの外内周のエッジ部を面取
りし、その後、前記ドーナツ状板ガラスの被覆を除去す
ることを特徴とする。
【００１１】また、本発明の磁気ディスク用ガラス基板
の製造方法は、所定の肉厚及び表面精度を有する複数枚
の板ガラスを、それぞれの表面に被覆を施すと共に互い
に面接着して積層体とし、該積層体をコアリング加工し
て筒状体とし、次いで該筒状体を構成する各ドーナツ状
板ガラスの外内周のエッジ部を面取りし、その後、前記
筒状体の接着を解くと共に被覆を除去し、個々のドーナ
ツ状板ガラスに分離することを特徴とする。
の製造方法は、所定の肉厚及び表面精度を有する複数枚
の板ガラスを、それぞれの表面に被覆を施すと共に互い
に面接着して積層体とし、該積層体をコアリング加工し
て筒状体とし、次いで該筒状体を構成する各ドーナツ状
板ガラスの外内周のエッジ部を面取りし、その後、前記
筒状体の接着を解くと共に被覆を除去し、個々のドーナ
ツ状板ガラスに分離することを特徴とする。
【００１２】更に、本発明の磁気ディスク用ガラス基板
の製造方法は、表面に被覆が施されたドーナツ状板ガラ
スを、弗硫酸を含むエッチング液に浸漬し、該ドーナツ
状板ガラスの外内周のエッジ部を面取りすることを特徴
とする。
の製造方法は、表面に被覆が施されたドーナツ状板ガラ
スを、弗硫酸を含むエッチング液に浸漬し、該ドーナツ
状板ガラスの外内周のエッジ部を面取りすることを特徴
とする。
【００１３】
【作用】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法
によれば、所定の肉厚及び表面精度を有する板ガラス
を、その表面に被覆を施した後、該板ガラスをコアリン
グ加工してドーナツ状板ガラスとし、次いで該ドーナツ
状板ガラスの外内周のエッジ部を面取りし、その後、前
記ドーナツ状板ガラスの被覆を除去するので、従来にな
い広く平滑な表面を有する磁気ディスク用ガラス基板を
製造できる。
によれば、所定の肉厚及び表面精度を有する板ガラス
を、その表面に被覆を施した後、該板ガラスをコアリン
グ加工してドーナツ状板ガラスとし、次いで該ドーナツ
状板ガラスの外内周のエッジ部を面取りし、その後、前
記ドーナツ状板ガラスの被覆を除去するので、従来にな
い広く平滑な表面を有する磁気ディスク用ガラス基板を
製造できる。
【００１４】また、本発明の磁気ディスク用ガラス基板
の製造方法は、所定の肉厚及び表面精度を有する複数枚
の板ガラスを、それぞれの表面に被覆を施すと共に互い
に面接着して積層体とし、該積層体をコアリング加工し
て筒状体とし、次いで該筒状体を構成する各ドーナツ状
板ガラスの外内周のエッジ部を面取りし、その後、前記
筒状体の接着を解くと共に被覆を除去し、個々のドーナ
ツ状板ガラスに分離するので、記録可能エリアの広い磁
気ディスク用ガラス基板を効率よく製造することができ
る。
の製造方法は、所定の肉厚及び表面精度を有する複数枚
の板ガラスを、それぞれの表面に被覆を施すと共に互い
に面接着して積層体とし、該積層体をコアリング加工し
て筒状体とし、次いで該筒状体を構成する各ドーナツ状
板ガラスの外内周のエッジ部を面取りし、その後、前記
筒状体の接着を解くと共に被覆を除去し、個々のドーナ
ツ状板ガラスに分離するので、記録可能エリアの広い磁
気ディスク用ガラス基板を効率よく製造することができ
る。
【００１５】更に、本発明の磁気ディスク用ガラス基板
の製造方法は、表面に被覆が施されたドーナツ状板ガラ
スを、弗硫酸を含むエッチング液に浸漬し、該ドーナツ
状板ガラスの外内周のエッジ部を面取りするので、外内
周に欠けや発塵の原因となる潜傷がなく、欠けを生じ難
く、優れた強度を有する磁気ディスク用ガラス基板を効
率よく製造することができる。
の製造方法は、表面に被覆が施されたドーナツ状板ガラ
スを、弗硫酸を含むエッチング液に浸漬し、該ドーナツ
状板ガラスの外内周のエッジ部を面取りするので、外内
周に欠けや発塵の原因となる潜傷がなく、欠けを生じ難
く、優れた強度を有する磁気ディスク用ガラス基板を効
率よく製造することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る磁気ディス
ク用ガラス基板の製造方法の説明図であって、これらの
図において、１は研磨された所定の肉厚及び表面精度を
有する板ガラスを、２は接着剤を、３はドーナツ状板ガ
ラスを、４は外内周研磨装置を、４ａ及び４ｂは研磨ツ
ールを、５はエッチング液を、６はエッチング槽を、７
は面取りされたドーナツ状板ガラスを、８は接着剤２の
溶剤を、９は溶解槽を、１０は磁気ディスク用ガラス基
板を各々示している。
ク用ガラス基板の製造方法の説明図であって、これらの
図において、１は研磨された所定の肉厚及び表面精度を
有する板ガラスを、２は接着剤を、３はドーナツ状板ガ
ラスを、４は外内周研磨装置を、４ａ及び４ｂは研磨ツ
ールを、５はエッチング液を、６はエッチング槽を、７
は面取りされたドーナツ状板ガラスを、８は接着剤２の
溶剤を、９は溶解槽を、１０は磁気ディスク用ガラス基
板を各々示している。
【００１７】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造
方法では、まず、ホウ珪酸ガラスからなり、表面がＲｍ
ａｘで１００オングストローム程度の表面粗さに研磨仕
上げされ、各辺の長さが７０ｍｍで、厚さ０．６３ｍｍ
の寸法を有する板ガラス１を準備する。この板ガラス１
の研磨仕上げされた表面を、図１（Ａ）に示すように、
ポリ酢酸ビニルを含むホットメルト型の接着剤２により
被覆して保護する。
方法では、まず、ホウ珪酸ガラスからなり、表面がＲｍ
ａｘで１００オングストローム程度の表面粗さに研磨仕
上げされ、各辺の長さが７０ｍｍで、厚さ０．６３ｍｍ
の寸法を有する板ガラス１を準備する。この板ガラス１
の研磨仕上げされた表面を、図１（Ａ）に示すように、
ポリ酢酸ビニルを含むホットメルト型の接着剤２により
被覆して保護する。
【００１８】次に、図１（Ｂ）に示すように、ツール部
が同心配置された長尺の同心コアドリル（図示せず）を
使用し、被覆保護された前記板ガラス１をコアリング加
工し、外径６６ｍｍ、内径１９ｍｍのドーナツ状板ガラ
ス３を得る。
が同心配置された長尺の同心コアドリル（図示せず）を
使用し、被覆保護された前記板ガラス１をコアリング加
工し、外径６６ｍｍ、内径１９ｍｍのドーナツ状板ガラ
ス３を得る。
【００１９】次いで、図１（Ｃ）に示すように、ドーナ
ツ状板ガラス３の外内周面を研磨装置４の研磨ツール４
ａ、４ｂによりエッチング代を見込んだ所定の外内径寸
法に研磨して、真円度、同心度、及び外内周の表面粗さ
が向上したドーナツ状板ガラス３ａを作製する。
ツ状板ガラス３の外内周面を研磨装置４の研磨ツール４
ａ、４ｂによりエッチング代を見込んだ所定の外内径寸
法に研磨して、真円度、同心度、及び外内周の表面粗さ
が向上したドーナツ状板ガラス３ａを作製する。
【００２０】研磨されたドーナツ状板ガラス３ａを、図
１（Ｄ）に示すように、弗硫酸を含むエッチング液５を
満たしたエッチング槽６に所定の時間浸漬し、ドーナツ
状板３ａの外内周のエッジ部３ｂ、３ｃを一斉に面取り
して、幅０．１５ｍｍ、深さ０．１５ｍｍの面取り部７
ａ、７ｂを有する外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍのドーナ
ツ状板ガラス７とする。
１（Ｄ）に示すように、弗硫酸を含むエッチング液５を
満たしたエッチング槽６に所定の時間浸漬し、ドーナツ
状板３ａの外内周のエッジ部３ｂ、３ｃを一斉に面取り
して、幅０．１５ｍｍ、深さ０．１５ｍｍの面取り部７
ａ、７ｂを有する外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍのドーナ
ツ状板ガラス７とする。
【００２１】次いで、面取りされたドーナツ状板ガラス
７を、図１（Ｅ）に示すように、溶剤８で満たされた溶
解槽９に浸漬して接着剤２を溶かし、被覆を除去して面
取りされたドーナツ状板ガラス７を取り出す。その後、
面取りされたドーナツ状板ガラス７を洗浄し、乾燥し
て、図１（Ｆ）に示すような磁気ディスク用ガラス基板
１０を製造する。
７を、図１（Ｅ）に示すように、溶剤８で満たされた溶
解槽９に浸漬して接着剤２を溶かし、被覆を除去して面
取りされたドーナツ状板ガラス７を取り出す。その後、
面取りされたドーナツ状板ガラス７を洗浄し、乾燥し
て、図１（Ｆ）に示すような磁気ディスク用ガラス基板
１０を製造する。
【００２２】上記の製造方法により、外内周に欠け難い
面取り部１０ａ、１０ｂが形成されており、この面取り
部１０ａ、１０ｂから約１ｍｍ内側にある環状の領域に
スキージャンプＳやロールオフＲが存在しない磁気ディ
スク用ガラス基板１０を製造することができる。
面取り部１０ａ、１０ｂが形成されており、この面取り
部１０ａ、１０ｂから約１ｍｍ内側にある環状の領域に
スキージャンプＳやロールオフＲが存在しない磁気ディ
スク用ガラス基板１０を製造することができる。
【００２３】図２、図３は、第２の発明に係る磁気ディ
スク用ガラス基板の製造方法の説明図であって、これら
の図において、１１は複数枚の板ガラス１を積層し接着
剤２で互いに面接着した積層体を、１２は複数枚のドー
ナツ状板ガラス３が積層されてなる筒状体を各々示して
いる。
スク用ガラス基板の製造方法の説明図であって、これら
の図において、１１は複数枚の板ガラス１を積層し接着
剤２で互いに面接着した積層体を、１２は複数枚のドー
ナツ状板ガラス３が積層されてなる筒状体を各々示して
いる。
【００２４】本発明では、まず、表面が研磨仕上げさ
れ、各辺の長さが３００ｍｍで厚さが０．６３ｍｍの板
ガラス１を４０枚準備する。この板ガラス１を、図２
（Ａ）に示すように、接着剤２により表面に被覆を施し
て保護すると共に面接着して、高さ３０ｍｍの積層体１
１を形成する。
れ、各辺の長さが３００ｍｍで厚さが０．６３ｍｍの板
ガラス１を４０枚準備する。この板ガラス１を、図２
（Ａ）に示すように、接着剤２により表面に被覆を施し
て保護すると共に面接着して、高さ３０ｍｍの積層体１
１を形成する。
【００２５】次に、図２（Ｂ）に示すように、ツール部
が同心配置された長尺の同心コアドリル（図示せず）を
使用してコアリング加工により、積層体１１から、１６
本の外径６６ｍｍ、内径１９ｍｍ、高さ３０ｍｍの筒状
体１２を得る。
が同心配置された長尺の同心コアドリル（図示せず）を
使用してコアリング加工により、積層体１１から、１６
本の外径６６ｍｍ、内径１９ｍｍ、高さ３０ｍｍの筒状
体１２を得る。
【００２６】次いで、図２（Ｃ）に示すように、筒状体
１２の外内周面を研磨ツール４ａ、４ｂによりエッチン
グ代を見込んだ所定の外内径寸法に研磨して、真円度、
同心度、及び外内周面の表面粗さが向上した筒状体１２
ａを作製する。
１２の外内周面を研磨ツール４ａ、４ｂによりエッチン
グ代を見込んだ所定の外内径寸法に研磨して、真円度、
同心度、及び外内周面の表面粗さが向上した筒状体１２
ａを作製する。
【００２７】研磨された筒状体１２ａを、図３（Ａ）に
示すように、弗硫酸を含むエッチング液５を満たしたエ
ッチング槽６内に所定の時間浸漬し、図２に示すような
筒状体１２ａを構成する各ドーナツ状板ガラス３ａの外
内周のエッジ部３ａ、３ｂを一斉に面取りして、幅０．
１５ｍｍ、深さ０．１５ｍｍの面取り部７ａ、７ｂを有
する複数枚のドーナツ状板ガラス７からなる筒状体１２
ｂとする。
示すように、弗硫酸を含むエッチング液５を満たしたエ
ッチング槽６内に所定の時間浸漬し、図２に示すような
筒状体１２ａを構成する各ドーナツ状板ガラス３ａの外
内周のエッジ部３ａ、３ｂを一斉に面取りして、幅０．
１５ｍｍ、深さ０．１５ｍｍの面取り部７ａ、７ｂを有
する複数枚のドーナツ状板ガラス７からなる筒状体１２
ｂとする。
【００２８】次いで、筒状体１２ｂを、図３（Ｂ）に示
すように、溶剤８を満たした溶解槽９内に浸漬して接着
剤２を溶かし、接着を解いて個々の面取りされたドーナ
ツ状板ガラス７に分離し、その後、ドーナツ状板ガラス
７を洗浄し乾燥して磁気ディスク用ガラス基板１０を製
造する。
すように、溶剤８を満たした溶解槽９内に浸漬して接着
剤２を溶かし、接着を解いて個々の面取りされたドーナ
ツ状板ガラス７に分離し、その後、ドーナツ状板ガラス
７を洗浄し乾燥して磁気ディスク用ガラス基板１０を製
造する。
【００２９】他の実施の形態では、図２に示すような筒
状体１２を構成する各ドーナツ状板ガラス３の外周のエ
ッジ部３ｂ及び内周のエッジ部３ｃを、図４に示すよう
に、ダイヤモンド粒を固着した研磨ツール４ａ、４ｂを
備えた研磨装置４を使用して、所定の寸法に一斉に面取
りし、幅０．１５ｍｍ、深さ０．１５ｍｍの面取り部７
ａ、７ｂを有する複数枚のドーナツ状板ガラス７からな
る筒状体１２ｂとする。
状体１２を構成する各ドーナツ状板ガラス３の外周のエ
ッジ部３ｂ及び内周のエッジ部３ｃを、図４に示すよう
に、ダイヤモンド粒を固着した研磨ツール４ａ、４ｂを
備えた研磨装置４を使用して、所定の寸法に一斉に面取
りし、幅０．１５ｍｍ、深さ０．１５ｍｍの面取り部７
ａ、７ｂを有する複数枚のドーナツ状板ガラス７からな
る筒状体１２ｂとする。
【００３０】次いで、筒状体１２ｂを、前記図３（Ｂ）
と同様に溶剤８を満たした溶解槽９内に浸漬して接着剤
２を溶かし、接着を解いて個々の面取りされたドーナツ
状板ガラス７に分離し、その後、ドーナツ状板ガラス７
を洗浄し乾燥して磁気ディスク用ガラス基板１０を製造
する。
と同様に溶剤８を満たした溶解槽９内に浸漬して接着剤
２を溶かし、接着を解いて個々の面取りされたドーナツ
状板ガラス７に分離し、その後、ドーナツ状板ガラス７
を洗浄し乾燥して磁気ディスク用ガラス基板１０を製造
する。
【００３１】尚、好ましくは、研磨装置４を使用して面
取り部７ａ、７ｂが施されたドーナツ状板ガラス７から
なる筒状体１２ｂを、弗硫酸を含むエッチング液５に所
定の時間漬浸して、研磨装置４による面取りの際に各ド
ーナツ状板ガラス７生じた潜傷を除去する。
取り部７ａ、７ｂが施されたドーナツ状板ガラス７から
なる筒状体１２ｂを、弗硫酸を含むエッチング液５に所
定の時間漬浸して、研磨装置４による面取りの際に各ド
ーナツ状板ガラス７生じた潜傷を除去する。
【００３２】
【発明の効果】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製
造方法によれば、広く平滑な記録可能エリアを有し、外
内周が欠け難い磁気ディスク用ガラス基板を効率よく製
造することができる優れた効果を奏するものである。
造方法によれば、広く平滑な記録可能エリアを有し、外
内周が欠け難い磁気ディスク用ガラス基板を効率よく製
造することができる優れた効果を奏するものである。
【図１】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法
の説明図であって、（Ａ）は接着剤で被覆保護された研
磨された板ガラスの断面図、（Ｂ）はコアリング加工に
より切り出したドーナツ状板ガラスの斜視図、（Ｃ）は
ドーナツ状板ガラスの外内周面を研磨する工程の説明
図、（Ｄ）はドーナツ状板ガラスの外内周エッジ部をエ
ッチングにより面取りする工程の説明図、（Ｅ）はドー
ナツ状板ガラスを被覆した接着剤を溶解し除去する工程
の説明図、（Ｆ）は磁気ディスク用ガラス基板の斜視図
の説明図であって、（Ａ）は接着剤で被覆保護された研
磨された板ガラスの断面図、（Ｂ）はコアリング加工に
より切り出したドーナツ状板ガラスの斜視図、（Ｃ）は
ドーナツ状板ガラスの外内周面を研磨する工程の説明
図、（Ｄ）はドーナツ状板ガラスの外内周エッジ部をエ
ッチングにより面取りする工程の説明図、（Ｅ）はドー
ナツ状板ガラスを被覆した接着剤を溶解し除去する工程
の説明図、（Ｆ）は磁気ディスク用ガラス基板の斜視図
【図２】第二の発明の説明図であって、（Ａ）は研磨さ
れた板ガラスを接着し積層した積層体の断面図、（Ｂ）
は積層体から切り出した筒状体の斜視図（Ｃ）は筒状体
の外内周面を研磨する工程の説明図
れた板ガラスを接着し積層した積層体の断面図、（Ｂ）
は積層体から切り出した筒状体の斜視図（Ｃ）は筒状体
の外内周面を研磨する工程の説明図
【図３】第二の発明の説明図であって、（Ａ）は筒状体
を構成する各ドーナツ状板ガラスの外内周のエッジ部を
エッチングにより面取りする工程の説明図、（Ｂ）は筒
状体の接着を解いて個々の面取りされたドーナツ状板ガ
ラスに分離する工程の説明図
を構成する各ドーナツ状板ガラスの外内周のエッジ部を
エッチングにより面取りする工程の説明図、（Ｂ）は筒
状体の接着を解いて個々の面取りされたドーナツ状板ガ
ラスに分離する工程の説明図
【図４】他の実施の形態の説明図
【図５】従来の磁気ディスク用ガラス基板の説明図
１ 板ガラス ２ 接着剤 ３ ドーナツ状板ガラス ４ 研磨装置 ４ａ、４ｂ 研磨ツール ５ エッチング液 ６ エッチング槽 ７ 面取りされたドーナツ状板ガラス ８ 溶剤 ９ 溶解槽 １０ 磁気ディスク用ガラス基板 １１ 積層体 １２ 筒状体
Claims (3)
- 【請求項１】 所定の肉厚及び表面精度を有する板ガラ
スを、その表面に被覆を施した後、該板ガラスをコアリ
ング加工してドーナツ状板ガラスとし、次いで該ドーナ
ツ状板ガラスの外内周のエッジ部を面取りし、その後、
前記ドーナツ状板ガラスの被覆を除去することを特徴と
する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 【請求項２】 所定の肉厚及び表面精度を有する複数枚
の板ガラスを、それぞれの表面に被覆を施すと共に互い
に面接着して積層体とし、該積層体をコアリング加工し
て筒状体とし、次いで該筒状体を構成する各ドーナツ状
板ガラスの外内周のエッジ部を面取りし、その後、前記
筒状体の接着を解くと共に被覆を除去し、個々のドーナ
ツ状板ガラスに分離することを特徴とする請求項１に記
載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 【請求項３】 表面に被覆が施されたドーナツ状板ガラ
スを、弗硫酸を含むエッチング液に浸漬し、該ドーナツ
状板ガラスの外内周のエッジ部を面取りすることを特徴
とする請求項１または請求項２に記載の磁気ディスク用
ガラス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3428198A JPH11219521A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3428198A JPH11219521A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11219521A true JPH11219521A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12409788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3428198A Pending JPH11219521A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11219521A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008112523A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Konica Minolta Opto Inc | ガラスディスクの加工方法 |
| JP2008119810A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス基板の製造方法 |
| JP2008254087A (ja) * | 2007-04-02 | 2008-10-23 | Shoda Techtron Corp | ガラス基板の製造方法およびガラス基板の研削装置 |
| JPWO2012077645A1 (ja) * | 2010-12-08 | 2014-05-19 | 電気化学工業株式会社 | 硬質基板積層体の加工方法及び板状製品の製造方法 |
| US8747688B2 (en) | 2006-09-20 | 2014-06-10 | Konica Minolta, Inc. | Glass disk processing method |
| US9027364B2 (en) | 2006-11-15 | 2015-05-12 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Method of manufacturing glass substrate |
| JPWO2013137332A1 (ja) * | 2012-03-13 | 2015-08-03 | Hoya株式会社 | 電子機器用カバーガラスのガラス基板の製造方法 |
-
1998
- 1998-01-30 JP JP3428198A patent/JPH11219521A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPWO2012077645A1 (ja) * | 2010-12-08 | 2014-05-19 | 電気化学工業株式会社 | 硬質基板積層体の加工方法及び板状製品の製造方法 |
| JPWO2013137332A1 (ja) * | 2012-03-13 | 2015-08-03 | Hoya株式会社 | 電子機器用カバーガラスのガラス基板の製造方法 |
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