JPH11288508A - 磁気ディスク用ガラス基板 - Google Patents
磁気ディスク用ガラス基板Info
- Publication number
- JPH11288508A JPH11288508A JP10697398A JP10697398A JPH11288508A JP H11288508 A JPH11288508 A JP H11288508A JP 10697398 A JP10697398 A JP 10697398A JP 10697398 A JP10697398 A JP 10697398A JP H11288508 A JPH11288508 A JP H11288508A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- glass substrate
- glass
- substrate
- chamfered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 広い記録可能エリアを有し、外内周が欠け難
い磁気ディスクを製造できる磁気ディスク用ガラス基板
を提供すること。 【解決手段】 本発明の磁気ディスク用ガラス基板１
は、外周及び内周に面取り部１ａ、１ｂが設けられ、面
取り部１ａ、１ｂから基板表面１ｃに至る接続部位１ｄ
にスキージャンプのような隆起部が存在せず、基板表面
１ｃの全領域が表面粗さＲａ値で１．５ｎｍ以下に形成
されている。
い磁気ディスクを製造できる磁気ディスク用ガラス基板
を提供すること。 【解決手段】 本発明の磁気ディスク用ガラス基板１
は、外周及び内周に面取り部１ａ、１ｂが設けられ、面
取り部１ａ、１ｂから基板表面１ｃに至る接続部位１ｄ
にスキージャンプのような隆起部が存在せず、基板表面
１ｃの全領域が表面粗さＲａ値で１．５ｎｍ以下に形成
されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク用ガ
ラス基板に関するものである。
ラス基板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、急速なＯＡ（オフィスオートメー
ション）化の進展に伴い、大容量で、しかも高速に記録
・再生ができる記録媒体が必要とされている。特に、コ
ンピュータの記憶装置として中心的な役割を果たしてい
る磁気ディスク記録装置において、記録容量が年々増加
しており、より薄く、しかも衝撃に強く欠け難い磁気デ
ィスク用基板が必要となっている。
ション）化の進展に伴い、大容量で、しかも高速に記録
・再生ができる記録媒体が必要とされている。特に、コ
ンピュータの記憶装置として中心的な役割を果たしてい
る磁気ディスク記録装置において、記録容量が年々増加
しており、より薄く、しかも衝撃に強く欠け難い磁気デ
ィスク用基板が必要となっている。
【０００３】磁気ディスク記録装置の記録容量の向上を
図る上で、高密度の記録を可能にすることが技術上の課
題となっている。このため、磁気ディスク用基板の記録
可能エリアをできるだけ平滑し、かつ平滑な領域をでき
るだけ広くする必要がある。
図る上で、高密度の記録を可能にすることが技術上の課
題となっている。このため、磁気ディスク用基板の記録
可能エリアをできるだけ平滑し、かつ平滑な領域をでき
るだけ広くする必要がある。
【０００４】そこで、表面の平滑性に優れ、硬い上に剛
性が高く、表面欠陥を少なくできる等の理由から、高密
度の記録が可能な磁気ディスクに用いる基板としてガラ
ス製の基板が注目されている。
性が高く、表面欠陥を少なくできる等の理由から、高密
度の記録が可能な磁気ディスクに用いる基板としてガラ
ス製の基板が注目されている。
【０００５】従来、磁気ディスク用ガラス基板は、以下
に示す方法により製造されている。先ず、所定の研磨代
を含む厚さの薄板ガラスを磁気ディスクが切り出せる寸
法に切断し、切断した薄板ガラスからコアドリルを使用
して中心孔と外周を同時に切削してドーナツ状板ガラス
を切り出し、その中心孔を回転中心としてドーナツ状板
ガラスの外内周のエッジ部を砥石で面取りして面取り部
を形成し、そのドーナツ状板ガラスの外内周面及び面取
り部を研磨し、面取りされた略製品寸法のドーナツ状板
ガラスの表面を平面研磨盤で研磨した後、洗浄して磁気
ディスク用ガラス基板を製造している。
に示す方法により製造されている。先ず、所定の研磨代
を含む厚さの薄板ガラスを磁気ディスクが切り出せる寸
法に切断し、切断した薄板ガラスからコアドリルを使用
して中心孔と外周を同時に切削してドーナツ状板ガラス
を切り出し、その中心孔を回転中心としてドーナツ状板
ガラスの外内周のエッジ部を砥石で面取りして面取り部
を形成し、そのドーナツ状板ガラスの外内周面及び面取
り部を研磨し、面取りされた略製品寸法のドーナツ状板
ガラスの表面を平面研磨盤で研磨した後、洗浄して磁気
ディスク用ガラス基板を製造している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の磁気ディスク用ガラス基板は、面取りされた略製品
寸法のドーナツ状板ガラスの表面を研磨することにより
製造されているので、図３に示すように、磁気ディスク
用ガラス基板１の面取り部１ａと基板表面１ｃとの幅約
１ｍｍの環状の接続部位１ｄに、研磨布等で選択的に研
磨されることによるスキージャンプと呼ばれる高さが
０．３μｍ程度の隆起部１ｅ、及びこれに伴うロールオ
フと呼ばれる面ダレ１ｆが形成される。このような隆起
部１ｅや面ダレ１ｆを有する磁気ディスク用ガラス基板
が磁気ディスク記録装置に組み込まれた場合、高速回転
する磁気ディスクの表面上を数十ｎｍの高さで飛行中の
磁気ヘッド（図示せず）が、隆起部１ｅに衝突して磁気
ヘッド自体が破損したり、磁気ディスクの記録エリアを
損傷させたり、或いは面ダレ１ｆの部分で傾斜して飛行
が不安定になり記録・再生エラーを生じさせたりする。
それに止まらず、この隆起部１ｅのために、特に高速ア
クセスが可能で、記憶容量に対して大きな比率を占める
基板表面１ｃにある外周の面取り部１ａより内側に位置
する幅約１ｍｍの接続部位１ｄを記録エリアとして使用
することができないという問題がある。この接続部位１
ｄを記録容量に換算すると、例えば、直径３．５インチ
サイズの磁気ディスク用ガラス基板では約６．５％、直
径２．５インチサイズの磁気ディスク用ガラス基板では
約７％、直径１．８インチサイズの磁気ディスク用ガラ
ス基板では約７．５％が、それぞれ記録エリアとして使
用不可となり、記録容量が制約される。
来の磁気ディスク用ガラス基板は、面取りされた略製品
寸法のドーナツ状板ガラスの表面を研磨することにより
製造されているので、図３に示すように、磁気ディスク
用ガラス基板１の面取り部１ａと基板表面１ｃとの幅約
１ｍｍの環状の接続部位１ｄに、研磨布等で選択的に研
磨されることによるスキージャンプと呼ばれる高さが
０．３μｍ程度の隆起部１ｅ、及びこれに伴うロールオ
フと呼ばれる面ダレ１ｆが形成される。このような隆起
部１ｅや面ダレ１ｆを有する磁気ディスク用ガラス基板
が磁気ディスク記録装置に組み込まれた場合、高速回転
する磁気ディスクの表面上を数十ｎｍの高さで飛行中の
磁気ヘッド（図示せず）が、隆起部１ｅに衝突して磁気
ヘッド自体が破損したり、磁気ディスクの記録エリアを
損傷させたり、或いは面ダレ１ｆの部分で傾斜して飛行
が不安定になり記録・再生エラーを生じさせたりする。
それに止まらず、この隆起部１ｅのために、特に高速ア
クセスが可能で、記憶容量に対して大きな比率を占める
基板表面１ｃにある外周の面取り部１ａより内側に位置
する幅約１ｍｍの接続部位１ｄを記録エリアとして使用
することができないという問題がある。この接続部位１
ｄを記録容量に換算すると、例えば、直径３．５インチ
サイズの磁気ディスク用ガラス基板では約６．５％、直
径２．５インチサイズの磁気ディスク用ガラス基板では
約７％、直径１．８インチサイズの磁気ディスク用ガラ
ス基板では約７．５％が、それぞれ記録エリアとして使
用不可となり、記録容量が制約される。
【０００７】また、ドーナツ状板ガラスの外内周のエッ
ジ部を砥石等を使用して面取り部１ａを形成した従来の
磁気ディスク用ガラス基板１の場合、面取り部１ａには
潜傷と呼ばれる極微小なクラックが存在する。磁気ディ
スク用ガラス基板１にこのような潜傷があると、磁気デ
ィスクを製造する際に磁気ディスク用ガラス基板１の面
取り部１ａが欠けて製品不良になったり、或いは磁気デ
ィスク記録装置の使用中に磁気ディスク用ガラス基板１
の面取り部１ａが欠けて破片が磁気ディスクの磁性層を
傷つけ記録装置が使用不能になる。
ジ部を砥石等を使用して面取り部１ａを形成した従来の
磁気ディスク用ガラス基板１の場合、面取り部１ａには
潜傷と呼ばれる極微小なクラックが存在する。磁気ディ
スク用ガラス基板１にこのような潜傷があると、磁気デ
ィスクを製造する際に磁気ディスク用ガラス基板１の面
取り部１ａが欠けて製品不良になったり、或いは磁気デ
ィスク記録装置の使用中に磁気ディスク用ガラス基板１
の面取り部１ａが欠けて破片が磁気ディスクの磁性層を
傷つけ記録装置が使用不能になる。
【０００８】本発明は、以上のような従来の問題点を解
決した磁気ディスク用ガラス基板を提供することを目的
とする。
決した磁気ディスク用ガラス基板を提供することを目的
とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気ディス
ク用ガラス基板は、外周及び内周に面取り部が設けられ
た磁気ディスク用ガラス基板において、前記面取り部か
ら基板表面に至る接続部位に隆起部が存在せず、該基板
表面の全領域が表面粗さＲａ値で１．５ｎｍ以下に形成
されていることを特徴とする。
ク用ガラス基板は、外周及び内周に面取り部が設けられ
た磁気ディスク用ガラス基板において、前記面取り部か
ら基板表面に至る接続部位に隆起部が存在せず、該基板
表面の全領域が表面粗さＲａ値で１．５ｎｍ以下に形成
されていることを特徴とする。
【００１０】本発明の磁気ディスク用ガラス基板は、面
取りされた略製品寸法のドーナツ状板ガラスの表面を研
磨することにより製造される従来の磁気ディスク用ガラ
ス基板の場合のように、面取り部と基板表面の環状の接
続部位に形成され、磁気ヘッドの飛行を妨げるスキージ
ャンプと呼ばれる隆起部、及びこれに伴うロールオフと
呼ばれる面ダレが存在しないものである。
取りされた略製品寸法のドーナツ状板ガラスの表面を研
磨することにより製造される従来の磁気ディスク用ガラ
ス基板の場合のように、面取り部と基板表面の環状の接
続部位に形成され、磁気ヘッドの飛行を妨げるスキージ
ャンプと呼ばれる隆起部、及びこれに伴うロールオフと
呼ばれる面ダレが存在しないものである。
【００１１】また、磁気ディスク用ガラス基板の基板表
面は、その上に形成される磁性膜を強固に付着させるた
めに、均質な所定の表面粗さに仕上げられる。この目的
に適合する表面粗さはＲａ値で１．５ｎｍ以下であり、
表面粗さがＲａ値で１．５ｎｍ以上の場合、基板表面の
上に磁性膜を形成した際に必要とされる平滑性の特性を
満たすことができない。
面は、その上に形成される磁性膜を強固に付着させるた
めに、均質な所定の表面粗さに仕上げられる。この目的
に適合する表面粗さはＲａ値で１．５ｎｍ以下であり、
表面粗さがＲａ値で１．５ｎｍ以上の場合、基板表面の
上に磁性膜を形成した際に必要とされる平滑性の特性を
満たすことができない。
【００１２】更に、本発明の磁気ディスク用ガラス基板
は、面取り部が弗硫酸を含むエッチング液により処理さ
れてなることを特徴とする。
は、面取り部が弗硫酸を含むエッチング液により処理さ
れてなることを特徴とする。
【００１３】弗硫酸を含むエッチング液により処理され
た磁気ディスク用ガラス基板の面取り部は、ドーナツ状
板ガラスを濃度の高い弗硫酸を含むエッチング液に浸漬
して磁気ディスク用ガラス基板の外内周に形成したもの
であったり、ドーナツ状板ガラスの外内周に回転砥石等
で研削・研磨して面取り部を形成した後、濃度の低い弗
硫酸を含むエッチング液に浸漬し処理したものであって
もよく、面取り部の強度に影響を及ぼす潜傷が除去され
ていればよい。
た磁気ディスク用ガラス基板の面取り部は、ドーナツ状
板ガラスを濃度の高い弗硫酸を含むエッチング液に浸漬
して磁気ディスク用ガラス基板の外内周に形成したもの
であったり、ドーナツ状板ガラスの外内周に回転砥石等
で研削・研磨して面取り部を形成した後、濃度の低い弗
硫酸を含むエッチング液に浸漬し処理したものであって
もよく、面取り部の強度に影響を及ぼす潜傷が除去され
ていればよい。
【００１４】
【作用】本発明の磁気ディスク用ガラス基板によれば、
外周及び内周に面取り部が設けられた磁気ディスク用ガ
ラス基板において、前記面取り部から基板表面に至る接
続部位に隆起部が存在せず、該基板表面の全領域が表面
粗さＲａ値で１．５ｎｍ以下に形成されているので、磁
気ヘッドの飛行に障害とならず、従来よりも記録容量が
大きい磁気ディスクを製造することができる。
外周及び内周に面取り部が設けられた磁気ディスク用ガ
ラス基板において、前記面取り部から基板表面に至る接
続部位に隆起部が存在せず、該基板表面の全領域が表面
粗さＲａ値で１．５ｎｍ以下に形成されているので、磁
気ヘッドの飛行に障害とならず、従来よりも記録容量が
大きい磁気ディスクを製造することができる。
【００１５】また、本発明の磁気ディスク用ガラス基板
は、面取り部が弗硫酸を含むエッチング液により処理さ
れてなるので、外内周の端面に欠けの原因となる潜傷が
なく、強度的に優れた磁気ディスクを製造することがで
きる。
は、面取り部が弗硫酸を含むエッチング液により処理さ
れてなるので、外内周の端面に欠けの原因となる潜傷が
なく、強度的に優れた磁気ディスクを製造することがで
きる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る磁気ディス
ク用ガラス基板の説明図であり、図２は、磁気ディスク
用ガラス基板を製造する方法の説明図である。これらの
図において、１は磁気ディスク用ガラス基板を、２は研
磨された板ガラスを、３は板ガラス２の表面を被覆して
保護する接着剤を、４はドーナツ状板ガラスを、５は研
磨装置を、５ａ及び５ｂは研磨ツールを、６はエッチン
グ液を、７はエッチング槽を、８は面取りされたドーナ
ツ状板ガラスを、９は溶剤を、１０は溶解槽を各々示し
ている。
ク用ガラス基板の説明図であり、図２は、磁気ディスク
用ガラス基板を製造する方法の説明図である。これらの
図において、１は磁気ディスク用ガラス基板を、２は研
磨された板ガラスを、３は板ガラス２の表面を被覆して
保護する接着剤を、４はドーナツ状板ガラスを、５は研
磨装置を、５ａ及び５ｂは研磨ツールを、６はエッチン
グ液を、７はエッチング槽を、８は面取りされたドーナ
ツ状板ガラスを、９は溶剤を、１０は溶解槽を各々示し
ている。
【００１７】図１に示すように、本発明の磁気ディスク
用ガラス基板１は、外周及び内周の各端面にエッチング
液により面取り処理された面取り部１ａ、１ｂが形成さ
れており、該面取り部１ａ、１ｂから基板表面１ｃに至
る環状の接続部位１ｄに隆起部が存在しないことを特徴
とする。特に、外周の端面の面取り部１ａと基板表面１
ｃとの接続部位１ｄに隆起部がなく、接続部位１ｄが従
来から記録エリアとして使用されている基板表面１ｃの
中心側の平滑な部分と連続したほぼ同じ高さの平滑面で
ある。また、本発明の磁気ディスク用ガラス基板１は、
外周及び内周の面取り部１ａ、１ｂを除く基板表面１ｃ
の表面粗さが、その全領域に亘ってＲａ値で０．６ｎ
ｍ、Ｒｍａｘ値で５．９ｎｍである。
用ガラス基板１は、外周及び内周の各端面にエッチング
液により面取り処理された面取り部１ａ、１ｂが形成さ
れており、該面取り部１ａ、１ｂから基板表面１ｃに至
る環状の接続部位１ｄに隆起部が存在しないことを特徴
とする。特に、外周の端面の面取り部１ａと基板表面１
ｃとの接続部位１ｄに隆起部がなく、接続部位１ｄが従
来から記録エリアとして使用されている基板表面１ｃの
中心側の平滑な部分と連続したほぼ同じ高さの平滑面で
ある。また、本発明の磁気ディスク用ガラス基板１は、
外周及び内周の面取り部１ａ、１ｂを除く基板表面１ｃ
の表面粗さが、その全領域に亘ってＲａ値で０．６ｎ
ｍ、Ｒｍａｘ値で５．９ｎｍである。
【００１８】本発明の磁気ディスク用ガラス基板１を製
造する場合、まず、ホウ珪酸ガラスからなり、一辺の長
さが７０ｍｍの正方形で、厚さ０．６３ｍｍの寸法を有
し、表面粗さがＲａ値で１．５ｎｍ以下（Ｒｍａｘ値で
１５ｎｍ以下）に研磨仕上げされた板ガラス２を準備す
る。この板ガラス２の表面を、図２（Ａ）に示すよう
に、研磨仕上げされた表面をポリ酢酸ビニルを含むホッ
トメルト型の接着剤３により被覆して保護する。
造する場合、まず、ホウ珪酸ガラスからなり、一辺の長
さが７０ｍｍの正方形で、厚さ０．６３ｍｍの寸法を有
し、表面粗さがＲａ値で１．５ｎｍ以下（Ｒｍａｘ値で
１５ｎｍ以下）に研磨仕上げされた板ガラス２を準備す
る。この板ガラス２の表面を、図２（Ａ）に示すよう
に、研磨仕上げされた表面をポリ酢酸ビニルを含むホッ
トメルト型の接着剤３により被覆して保護する。
【００１９】次に、図２（Ｂ）に示すように、被覆保護
された板ガラス２から、ツール部が同心配置された長尺
の同心コアドリル（図示せず）を使用して外径６６ｍ
ｍ、内径１９ｍｍのドーナツ状板ガラス４を切り出す。
された板ガラス２から、ツール部が同心配置された長尺
の同心コアドリル（図示せず）を使用して外径６６ｍ
ｍ、内径１９ｍｍのドーナツ状板ガラス４を切り出す。
【００２０】次いで、図２（Ｃ）に示すように、ドーナ
ツ状板ガラス４の外周及び内周の端面を研磨装置５の研
磨ツール５ａ、５ｂによりエッチング代を見込んだ所定
の外内径寸法に研磨して、外周及び内周の真円度、同心
度及び表面粗さが所定値以内にされて軸対称性が向上し
たドーナツ状板ガラス４ａを作製する。
ツ状板ガラス４の外周及び内周の端面を研磨装置５の研
磨ツール５ａ、５ｂによりエッチング代を見込んだ所定
の外内径寸法に研磨して、外周及び内周の真円度、同心
度及び表面粗さが所定値以内にされて軸対称性が向上し
たドーナツ状板ガラス４ａを作製する。
【００２１】上記の研磨されたドーナツ状板ガラス４ａ
を、図２（Ｄ）に示すように、弗硫酸を含むエッチング
液６を満たしたエッチング槽７に所定の時間浸漬し、ド
ーナツ状板ガラス４ａの外内周のエッジ部４ｂ、４ｃを
一斉に面取りして、幅０．１５ｍｍ、厚さ方向０．１５
ｍｍの面取り部８ａ、８ｂを有する外径６５ｍｍ、内径
２０ｍｍの面取りされたドーナツ状板ガラス８とする。
を、図２（Ｄ）に示すように、弗硫酸を含むエッチング
液６を満たしたエッチング槽７に所定の時間浸漬し、ド
ーナツ状板ガラス４ａの外内周のエッジ部４ｂ、４ｃを
一斉に面取りして、幅０．１５ｍｍ、厚さ方向０．１５
ｍｍの面取り部８ａ、８ｂを有する外径６５ｍｍ、内径
２０ｍｍの面取りされたドーナツ状板ガラス８とする。
【００２２】次いで、面取りされたドーナツ状板ガラス
８を、図２（Ｅ）に示すように、溶剤９で満たされた溶
解槽１０に浸漬して表面を被覆保護している接着剤３を
溶かし除去する。その後、面取りされたドーナツ状板ガ
ラス８を洗浄、乾燥して、図１に示すような磁気ディス
ク用ガラス基板１を製造する。
８を、図２（Ｅ）に示すように、溶剤９で満たされた溶
解槽１０に浸漬して表面を被覆保護している接着剤３を
溶かし除去する。その後、面取りされたドーナツ状板ガ
ラス８を洗浄、乾燥して、図１に示すような磁気ディス
ク用ガラス基板１を製造する。
【００２３】上記の製造方法により、欠け難い面取り部
１ａ、１ｂが外内周に形成され、この面取り部１ａ、１
ｂと、基板表面１ｃとの接続部位１ｄに隆起部１ｅ、及
びこれに伴う面ダレ１ｆが存在しない磁気ディスク用ガ
ラス基板１が得られる。
１ａ、１ｂが外内周に形成され、この面取り部１ａ、１
ｂと、基板表面１ｃとの接続部位１ｄに隆起部１ｅ、及
びこれに伴う面ダレ１ｆが存在しない磁気ディスク用ガ
ラス基板１が得られる。
【００２４】尚、本発明の磁気ディスク用ガラス基板１
は、以下に示す方法でも製造が可能である。例えば、最
初に複数枚の板ガラス２の表面を接着剤３で被覆保護し
積層して積層体を形成すれば、以後の各工程での加工効
率を高めることができる。
は、以下に示す方法でも製造が可能である。例えば、最
初に複数枚の板ガラス２の表面を接着剤３で被覆保護し
積層して積層体を形成すれば、以後の各工程での加工効
率を高めることができる。
【００２５】また、外内周の面取り部の形成は、エッチ
ング以外の方法によるものでもよい。例えば、砥粒を用
いる研磨ツールを備えた面取り装置で、所定の寸法に一
斉に面取りしてもよく、この場合、面取りされたドーナ
ツ状板ガラスを弗硫酸を含むエッチング液を満たしたエ
ッチング槽内に所定の時間浸漬し、面取りの際に生じた
潜傷を除去しておくことが好ましい。
ング以外の方法によるものでもよい。例えば、砥粒を用
いる研磨ツールを備えた面取り装置で、所定の寸法に一
斉に面取りしてもよく、この場合、面取りされたドーナ
ツ状板ガラスを弗硫酸を含むエッチング液を満たしたエ
ッチング槽内に所定の時間浸漬し、面取りの際に生じた
潜傷を除去しておくことが好ましい。
【００２６】
【発明の効果】本発明の磁気ディスク用ガラス基板によ
れば、記録可能エリアが広く、外内周の端面が欠け難い
ので、信頼性が高く、大容量で高速に記録・再生が可能
な磁気ディスクの製造に適した優れた効果を奏するもの
である。
れば、記録可能エリアが広く、外内周の端面が欠け難い
ので、信頼性が高く、大容量で高速に記録・再生が可能
な磁気ディスクの製造に適した優れた効果を奏するもの
である。
【図１】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の説明図で
あって、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の部分Ｙ−Ｙ
断面図。
あって、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の部分Ｙ−Ｙ
断面図。
【図２】本発明の磁気ディスク用ガラス基板を製造する
方法の説明図であって、（Ａ）は板ガラスの表面を被覆
保護する工程の説明図、（Ｂ）はドーナツ状板ガラスの
斜視図、（Ｃ）はドーナツ状板ガラスの外内周の端面を
研磨する工程の説明図、（Ｄ）はドーナツ状板ガラスの
外内周の端面をエッチングにより面取りする工程の説明
図、（Ｅ）は面取りされたドーナツ状板ガラスの表面の
接着剤を溶解する工程の説明図。
方法の説明図であって、（Ａ）は板ガラスの表面を被覆
保護する工程の説明図、（Ｂ）はドーナツ状板ガラスの
斜視図、（Ｃ）はドーナツ状板ガラスの外内周の端面を
研磨する工程の説明図、（Ｄ）はドーナツ状板ガラスの
外内周の端面をエッチングにより面取りする工程の説明
図、（Ｅ）は面取りされたドーナツ状板ガラスの表面の
接着剤を溶解する工程の説明図。
【図３】従来の磁気ディスク用ガラス基板の説明図。
１ 磁気ディスク用ガラス基板 １ａ、１ｂ 面取り部 １ｃ 基板表面 １ｄ 接続部位 １ｅ 隆起部 １ｆ 面ダレ ２ 板ガラス ３ 接着剤 ４ ドーナツ状板ガラス ５ 研磨装置 ５ａ、５ｂ 研磨ツール ６ エッチング液 ７ エッチング槽 ８ 面取りされたドーナツ状板ガラス ９ 溶剤 １０ 溶解槽
Claims (2)
- 【請求項１】 外周及び内周に面取り部が設けられた磁
気ディスク用ガラス基板において、前記面取り部から基
板表面に至る接続部位に隆起部が存在せず、該基板表面
の全領域が表面粗さＲａ値で１．５ｎｍ以下に形成され
ていることを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板。 - 【請求項２】 面取り部が、弗硫酸を含むエッチング液
により処理されてなることを特徴とする請求項１に記載
の磁気ディスク用ガラス基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10697398A JPH11288508A (ja) | 1998-04-01 | 1998-04-01 | 磁気ディスク用ガラス基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10697398A JPH11288508A (ja) | 1998-04-01 | 1998-04-01 | 磁気ディスク用ガラス基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11288508A true JPH11288508A (ja) | 1999-10-19 |
Family
ID=14447250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10697398A Pending JPH11288508A (ja) | 1998-04-01 | 1998-04-01 | 磁気ディスク用ガラス基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11288508A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005333124A (ja) * | 2004-04-22 | 2005-12-02 | Asahi Glass Co Ltd | 反射型マスク用低膨張硝子基板および反射型マスク |
| JP2006092722A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-04-06 | Showa Denko Kk | 磁気ディスク用基板および磁気ディスクの製造方法 |
| JP2006099949A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-04-13 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板および磁気記録媒体 |
| WO2008035666A1 (fr) * | 2006-09-20 | 2008-03-27 | Konica Minolta Opto, Inc. | Procédé pour traiter un disque en verre |
| JP2010003365A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス基板の製造方法 |
| JP2010108598A (ja) * | 2010-01-18 | 2010-05-13 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスクの製造方法及び磁気ディスク |
-
1998
- 1998-04-01 JP JP10697398A patent/JPH11288508A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005333124A (ja) * | 2004-04-22 | 2005-12-02 | Asahi Glass Co Ltd | 反射型マスク用低膨張硝子基板および反射型マスク |
| JP2006092722A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-04-06 | Showa Denko Kk | 磁気ディスク用基板および磁気ディスクの製造方法 |
| JP2006099949A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-04-13 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板および磁気記録媒体 |
| WO2008035666A1 (fr) * | 2006-09-20 | 2008-03-27 | Konica Minolta Opto, Inc. | Procédé pour traiter un disque en verre |
| JPWO2008035666A1 (ja) * | 2006-09-20 | 2010-01-28 | コニカミノルタオプト株式会社 | ガラスディスクの加工方法 |
| US8747688B2 (en) | 2006-09-20 | 2014-06-10 | Konica Minolta, Inc. | Glass disk processing method |
| JP2010003365A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス基板の製造方法 |
| JP2010108598A (ja) * | 2010-01-18 | 2010-05-13 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスクの製造方法及び磁気ディスク |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6363599B1 (en) | Method for manufacturing a magnetic disk including a glass substrate | |
| JP2003506814A (ja) | ガラス基板から構成される磁気ディスクの製造方法 | |
| JP5542989B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 | |
| JP2008119810A (ja) | ガラス基板の製造方法 | |
| JP2006079800A (ja) | 磁気記録媒体用シリコン基板及びその製造方法並びに磁気記録媒体 | |
| WO2012042906A1 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
| JP2008302448A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 | |
| JP5321594B2 (ja) | ガラス基板の製造方法、および磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2010003365A (ja) | ガラス基板の製造方法 | |
| JPH11288508A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板 | |
| JP2008287779A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 | |
| JP2009193608A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 | |
| JP2012089221A (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
| US20100081013A1 (en) | Magnetic disk substrate and magnetic disk | |
| JPH11219521A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
| WO2010041536A1 (ja) | ガラス基板の製造方法、および磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2002123931A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の研磨方法、及び該方法により研磨された情報記録媒体用ガラス基板 | |
| JP4894678B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
| JP4994213B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板、磁気ディスクおよび磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
| JPWO2010041537A1 (ja) | ガラス基板の製造方法、および磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2000036114A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板 | |
| JP4942428B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および加工装置、および磁気ディスクの製造方法 | |
| WO2011021478A1 (ja) | ガラス基板の製造方法、ガラス基板、磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体 | |
| JP2002326156A (ja) | ガラス基板研磨用キャリア及びガラス基板研磨装置 | |
| JP5191137B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050331 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20070125 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070129 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070525 |