JP2000036114A - 磁気ディスク用ガラス基板 - Google Patents

磁気ディスク用ガラス基板

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JP2000036114A
JP2000036114A JP20326698A JP20326698A JP2000036114A JP 2000036114 A JP2000036114 A JP 2000036114A JP 20326698 A JP20326698 A JP 20326698A JP 20326698 A JP20326698 A JP 20326698A JP 2000036114 A JP2000036114 A JP 2000036114A
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Japan
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magnetic disk
glass substrate
chamfered
glass
donut
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JP20326698A
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English (en)
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Masayoshi Kusakabe
正良 日下部
Ryuichi Yamawaki
隆一 山脇
Masahiro Kobayashi
正宏 小林
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Nippon Electric Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Glass Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 面取り部が欠け難く十分な実用強度を有して
おり、面取り部からの発塵もなく、信頼性の高い磁気デ
ィスクの製造に適する磁気ディスク用ガラス基板を提供
すること。 【解決手段】 本発明の磁気ディスク用ガラス基板1
は、外周及び内周に設けられた面取り部1a、1bの表
面が、エッチングにより形成された隣接しあう略多角形
の微細組織1eからなり、各微細組織1eに外接する円
の直径Uが5μm〜100μmであり、外周及び内周の
面取り部1a、1bに微小クラックは存在しない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク用ガ
ラス基板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、急速なOA(オフィスオートメー
ション)化の進展に伴い、大容量で、しかも高速に記録
・再生ができる記録媒体が必要とされている。特に、コ
ンピュータの記憶装置として中心的な役割を果たしてい
る磁気ディスク記録装置において、記録容量が年々増加
する傾向にある。高密度記録を可能とする磁気ディスク
を開発する上で、より薄く、しかも衝撃に強い磁気ディ
スク用基板が必要となっており、硬い上に剛性が高く、
表面欠陥を少なくすることができる等の理由から、高密
度の記録が可能な磁気ディスクに用いる基板としてガラ
ス製の基板が注目されている。
【0003】従来、磁気ディスク用ガラス基板は、以下
に示す方法により製造されている。先ず、所定の研磨代
を含む厚さの薄板ガラスをコアドリルを使用して中心孔
と外周を同時に切削してドーナツ状板ガラスを切り出
す。次に、その中心孔を回転中心としてドーナツ状板ガ
ラスの外内周のエッジ部を砥石等で面取りし研磨して面
取り部を形成する。次いで面取りされた略製品寸法のド
ーナツ状板ガラスの表面を平面研磨盤で研磨した後、洗
浄して磁気ディスク用ガラス基板を製造している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図3に
示すように、砥石等を使用して面取り部1a、1bを形
成した従来の磁気ディスク用ガラス基板1の場合、面取
り部1a、1bには潜傷と呼ばれる微小クラック1cが
存在する。磁気ディスク用ガラス基板1にこのような微
小クラック1cがあると、磁気ディスクを製造する際に
磁気ディスク用ガラス基板1の面取り部1a、1bが欠
けて製品不良になったり、或いは磁気ディスク記録装置
の使用中に磁気ディスク用ガラス基板1の面取り部1
a、1bが欠けて破片1dが磁気ディスクの磁性膜を傷
つけ記録装置が使用不能になったりする。
【0005】また、このように、面取り部1a、1bに
微小クラック1cがある磁気ディスク用ガラス基板1
は、面取り部1a、1bの部位の強度が不足しており、
磁気ディスク用ガラス基板1の外周を下方から支持し、
内周を上方から押圧する曲げ強度測定を行うと、その測
定値は300MPa程度であり、実用的な曲げ強度とさ
れている400MPaに満たない。このような磁気ディ
スク用ガラス基板1を磁気ディスクに用いるには、イオ
ン交換による化学強化処理が必要となるので、Li、N
a等のアルカリ金属成分を含有する組成のガラス材料を
使用しなければならず、このアルカリ金属成分が磁性膜
中に溶出した場合、記録特性に悪影響を及ぼすという問
題がある。
【0006】更に、砥石等で研削して面取り部1a、1
bを形成した磁気ディスク用ガラス基板1においては、
面取り部1a、1bに微小クラック1cが存在するた
め、面取り部1a、1bを研磨する際に、酸化セリウム
等の微細な研磨材等からなる微粒子2が微小クラック1
cに捕捉される。捕捉された微粒子2は、後の製造工程
で発塵して歩留まりを低下させたり、磁気ディスクとな
った後に発塵して磁気ヘッドや磁気ディスクの表面を傷
つけるばかりか、磁気記録装置自体をクラッシュさせる
という事態を引き起こす原因になる。
【0007】本発明は、以上のような従来の問題点を解
決した磁気ディスク用ガラス基板を提供することを目的
とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気ディス
ク用ガラス基板は、外周及び内周に面取り部が設けられ
た磁気ディスク用ガラス基板において、前記面取り部の
表面がエッチング処理により形成された隣接しあう略多
角形の微細組織からなり、各微細組織に外接する円の直
径が5μm〜100μmであることを特徴とする。
【0009】本発明の磁気ディスク用ガラス基板では、
面取り部は、ドーナツ状板ガラスを弗硫酸を含むエッチ
ング液に浸漬してその外内周に形成したもの、あるい
は、ドーナツ状板ガラスの外内周を回転砥石等で研削・
研磨した後に弗硫酸を含むエッチング液に浸漬して形成
したものでもよく、面取り部の強度に影響を及ぼす微小
クラックが除去されており、かつ面取り部の表面に形成
された隣接しあう略多角形の各微細組織に外接する円の
直径寸法が5μm〜100μmの範囲に制御されている
ことが重要である。
【0010】上記エッチング処理により面取り部の表面
に形成された隣接しあう各微細組織の外接円の直径寸法
が5μm未満の場合、面取り部の微小クラックが完全に
除去されておらず、磁気ディスク用ガラス基板の上記曲
げ強度測定の測定値が所定値を満たさない。また、各微
細組織の外接円の直径寸法が100μmを超える場合、
面取り部の形状に歪を生じ、磁気ディスク用ガラス基板
の寸法が規格を外れ、問題がある。
【0011】
【作用】本発明の磁気ディスク用ガラス基板によれば、
面取り部の表面がエッチング処理により形成された隣接
しあう略多角形の微細組織からなり、各微細組織に外接
する円の直径が5μm〜100μmであるので、外内周
の端面に欠けの原因となる微小クラックが全く存在せ
ず、強度的に優れた磁気ディスクを製造することができ
る。
【0012】
【発明の実施の形態】図1は、本発明に係る磁気ディス
ク用ガラス基板の説明図であり、図2は、磁気ディスク
用ガラス基板の製造方法の説明図である。これらの図に
おいて、1は磁気ディスク用ガラス基板を、3は表面を
ラッピング加工された板ガラスを、4はドーナツ状板ガ
ラスを、5は研磨装置を、5a及び5bは研磨ツール
を、6はドーナツ状板ガラス4を挟んで固定する治具
を、7はエッチング液を、8はエッチング槽を、9は面
取りされたドーナツ状板ガラスを各々示している。
【0013】図1に示すように、本発明の磁気ディスク
用ガラス基板1には、外周及び内周の各端面にエッチン
グ液により面取り処理され、表面が隣接しあう略多角形
の微細組織1eからなり、各微細組織1eの外接円の直
径Uが10μm〜60μmである面取り部1a、1bが
形成されている。また、本発明の磁気ディスク用ガラス
基板1には、外周及び内周の面取り部1a、1bを除く
基板表面に発塵の原因や曲げ強度に影響するような微小
クラックは存在しない。
【0014】本発明の磁気ディスク用ガラス基板1は、
面取り部1a、1bの表面に微小クラックが存在せず、
磁気ディスク用ガラス基板1の外周を下方から支持し、
内周を上方から押圧する曲げ強度測定を実施した結果、
曲げ強度の測定値は、平均値が550MPaであり、実
用的な曲げ強度とされている400MPaを上回ってお
り、化学強化処理されたものと同等以上であった。
【0015】本発明の磁気ディスク用ガラス基板1を製
造する場合、まず、ホウ珪酸ガラスからなり、一辺の長
さが70mmの正方形で、厚さ0.68mmの寸法を有
し、磨りガラス状にラッピング加工された図2に示すよ
うな板ガラス3を準備する。
【0016】次に、ツール部が同心配置された長尺の同
心コアドリル(図示せず)を使用して、板ガラス3か
ら、図2(B)に示すような外径66mm、内径19m
mのドーナツ状板ガラス4を切り出す。
【0017】次いで、図2(C)に示すように、ドーナ
ツ状板ガラス4の外周及び内周の端面を、エッチング代
を見込んだ所定の外内径寸法に研磨装置5の研磨ツール
5a、5bにより研磨して、外周及び内周の真円度、同
心度及び表面粗さが所定値以内のドーナツ状板ガラス4
aを作製する。
【0018】このドーナツ状板ガラス4aを、図2
(D)に示すように、同軸に重ね合わせ、治具6の上板
6aと下板6bとで上下から挟み、締め付け機構が設け
られた支柱6cで上板6aと下板6bとを締め込むこと
によりドーナツ状板ガラス4aの表面を保護しつつ保持
する。
【0019】上記の治具6によって保持されたドーナツ
状板ガラス4aを、図2(E)に示すように、例えば弗
酸5重量%、硫酸20重量%からなるエッチング液7を
満たしたエッチング槽8に10分間以上浸漬し、ドーナ
ツ状板ガラス4aの外内周のエッジ部4b、4cを一斉
に面取りして、表面に隣接しあう略多角形の微細組織1
eを有し、各微細組織1eの外接円の直径Uが5μm〜
100μmであり、幅が0.15mm、深さが0.15
mmの面取り部9a、9bが形成された外径65mm、
内径20mmの面取りされたドーナツ状板ガラス9とす
る。
【0020】次いで、面取りされたドーナツ状板ガラス
9を、研磨装置(図示せず)を用いて所定の表面粗さに
研磨仕上げした後、洗浄、乾燥して、図1に示すような
磁気ディスク用ガラス基板1を製造する。
【0021】上記の製造方法により、外内周に微小クラ
ックのない面取り部1a、1bが形成された磁気ディス
ク用ガラス基板1が得られる。
【0022】また、ドーナツ状板ガラスの外内周のエッ
ジ部の面取りはエッチング以外の方法によるものでもよ
く、例えば、砥粒を用いる研磨ツールを備えた面取り装
置で、所定の寸法に面取りしてもよい。この場合、面取
りされたドーナツ状板ガラスの面取り部を弗硫酸を含む
エッチング液を満たしたエッチング槽内に所定の時間浸
漬し、面取り部の表面を僅かに溶かすことにより、面取
り部の表面に外接円の直径Uが5μm〜100μmの隣
接しあう略多角形の微細組織1eを形成し、面取りの際
に生じた微小クラックを除去する。
【0023】
【発明の効果】本発明の磁気ディスク用ガラス基板によ
れば、面取り部に微小クラックがないので面取り部が欠
け難く十分な実用強度を有しており、面取り部からの発
塵もなく、信頼性の高い磁気ディスクの製造に適する優
れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の斜視図及
び面取り部の表面の拡大図
【図2】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法
の説明図であって、(A)は表面をラッピング加工され
た板ガラスの側面図、(B)はドーナツ状板ガラスの斜
視図、(C)はドーナツ状板ガラスの外内周の端面を研
磨する工程の説明図、(D)はドーナツ状板ガラスを重
ねて保持する工程の説明図、(E)はドーナツ状板ガラ
スの外内周の端面をエッチングにより面取りする工程の
説明図
【図3】従来の磁気ディスク用ガラス基板の斜視図及び
面取り部の表面の拡大図
【符号の説明】
1 磁気ディスク用ガラス基板 1a、1b 面取り部 1c 微小クラック 1d 破片 1e 微細組織 2 微粒子 3 板ガラス 4 ドーナツ状板ガラス 5 研磨装置 5a、5b 研磨ツール 6 治具 7 エッチング液 8 エッチング槽 9 面取りされたドーナツ状板ガラス U 外接円の直径
フロントページの続き Fターム(参考) 5D006 CB04 CB07 DA03 FA00 5D112 AA02 AA24 BA03 BA09 GA02 GA27

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外周及び内周に面取り部が設けられた磁
    気ディスク用ガラス基板において、前記面取り部の表面
    がエッチング処理により形成された隣接しあう略多角形
    の微細組織からなり、各微細組織に外接する円の直径が
    5μm〜100μmであることを特徴とする磁気ディス
    ク用ガラス基板。
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