JP2721118B2 - 磁気記録媒体基板 - Google Patents
磁気記録媒体基板Info
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- JP2721118B2 JP2721118B2 JP3829994A JP3829994A JP2721118B2 JP 2721118 B2 JP2721118 B2 JP 2721118B2 JP 3829994 A JP3829994 A JP 3829994A JP 3829994 A JP3829994 A JP 3829994A JP 2721118 B2 JP2721118 B2 JP 2721118B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】脆性材料から成る磁気記録媒体基
板のハンドリング中もしくは落下時の割れ、欠け等の欠
陥を防止するための加工方法に関する。
板のハンドリング中もしくは落下時の割れ、欠け等の欠
陥を防止するための加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】情報化社会の進展に伴い、大容量でしか
も高速で記録、再生できる記録媒体が必要とされ、特に
コンピュータの外部メモリとして中心的な役割を果たし
ている磁気記録媒体は、年々記録容量、記録密度ともに
増加しているが、さらに高密度記録を行なうために開発
が進められている。磁気記録媒体は基板とその上に形成
される磁気記録膜等の薄膜で構成されるが、基板に比べ
て薄膜は十分薄いため、磁気記録媒体の機械特性や形状
等は殆ど基板で決まってしまうため、磁気記録媒体中で
基板は非常に重要な役割を果たしている。ドライブの単
位体積当たりの記録容量はドライブ内に組み込まれる媒
体の枚数と記録媒体１枚当たりの記録容量によって決ま
る。ドライブ内に入る記録媒体の枚数は厚みによって決
まり、厚みをなるべく薄くした方がよい。特に、ノート
型、パームトップ型等のコンピュータの小型化に伴い、
より薄型の磁気記録装置が必要となり、従って、より薄
い磁気記録媒体が求められている。磁気記録媒体の厚み
は殆どがその基板の厚みなので、より薄い基板で外力に
対して変形しにくい基板が必要となっている。
も高速で記録、再生できる記録媒体が必要とされ、特に
コンピュータの外部メモリとして中心的な役割を果たし
ている磁気記録媒体は、年々記録容量、記録密度ともに
増加しているが、さらに高密度記録を行なうために開発
が進められている。磁気記録媒体は基板とその上に形成
される磁気記録膜等の薄膜で構成されるが、基板に比べ
て薄膜は十分薄いため、磁気記録媒体の機械特性や形状
等は殆ど基板で決まってしまうため、磁気記録媒体中で
基板は非常に重要な役割を果たしている。ドライブの単
位体積当たりの記録容量はドライブ内に組み込まれる媒
体の枚数と記録媒体１枚当たりの記録容量によって決ま
る。ドライブ内に入る記録媒体の枚数は厚みによって決
まり、厚みをなるべく薄くした方がよい。特に、ノート
型、パームトップ型等のコンピュータの小型化に伴い、
より薄型の磁気記録装置が必要となり、従って、より薄
い磁気記録媒体が求められている。磁気記録媒体の厚み
は殆どがその基板の厚みなので、より薄い基板で外力に
対して変形しにくい基板が必要となっている。
【０００３】従来から用いられている磁気記録媒体基板
はＮi −ＰをコートしたＡl 合金基板であるが、Ａl 合
金は柔らかいために薄くなると磁気記録媒体または磁気
記録装置製造中に歪んでしまい易いという問題があっ
た。そこでより硬く、剛性の大きなガラスのような脆性
材料が磁気記録媒体基板に用いられるようになった。し
かし、これら基板は一般にハンドリングをし易くするた
め面取り角度45度の面取りが施されているが、欠けや割
れを生じ易いという問題がある。
はＮi −ＰをコートしたＡl 合金基板であるが、Ａl 合
金は柔らかいために薄くなると磁気記録媒体または磁気
記録装置製造中に歪んでしまい易いという問題があっ
た。そこでより硬く、剛性の大きなガラスのような脆性
材料が磁気記録媒体基板に用いられるようになった。し
かし、これら基板は一般にハンドリングをし易くするた
め面取り角度45度の面取りが施されているが、欠けや割
れを生じ易いという問題がある。
【０００４】例えば脆性材料の中でもシリコンはヤング
率が大きく、比重が小さいため、磁気記録媒体基板に好
ましい。シリコンを磁気記録媒体用基板として用いた例
としては、特開昭57- 105826号では半導体用シリコン基
板を用いるための支持方法が開示され、特公平02-41089
号では半導体用シリコンを磁気記録媒体として用いるた
めの膜構成について開示している。しかし、前者に開示
されているような支持材（コア材、強化材として繊維を
含んだ重合体材料）を用いると基板製造工程が増えると
いう不利がある。さらにシリコン等の脆性材料はＡl 合
金等と異なり、特に特開昭57-105826 号に開示されてい
るような支持材を用いない時は、磁気記録媒体製造工程
や、磁気記録装置製造工程で割れや欠けが生じ易いとい
う欠点がある。そこで発明者等はシリコンの場合には強
度を上げるためにケミカルエッチングを施したり、円周
角部を丸めたりすることによって、割れや欠けが生じに
くくなることを見出した（特願平05- 208459号参照）。
率が大きく、比重が小さいため、磁気記録媒体基板に好
ましい。シリコンを磁気記録媒体用基板として用いた例
としては、特開昭57- 105826号では半導体用シリコン基
板を用いるための支持方法が開示され、特公平02-41089
号では半導体用シリコンを磁気記録媒体として用いるた
めの膜構成について開示している。しかし、前者に開示
されているような支持材（コア材、強化材として繊維を
含んだ重合体材料）を用いると基板製造工程が増えると
いう不利がある。さらにシリコン等の脆性材料はＡl 合
金等と異なり、特に特開昭57-105826 号に開示されてい
るような支持材を用いない時は、磁気記録媒体製造工程
や、磁気記録装置製造工程で割れや欠けが生じ易いとい
う欠点がある。そこで発明者等はシリコンの場合には強
度を上げるためにケミカルエッチングを施したり、円周
角部を丸めたりすることによって、割れや欠けが生じに
くくなることを見出した（特願平05- 208459号参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法だ
けではまだ割れや欠けを生ずることがあって不十分であ
り、さらに対策が必要である。本発明は、かかる課題を
解決して、割れや欠けのない脆性材料から成る磁気記録
媒体基板を提供しようとするものである。
けではまだ割れや欠けを生ずることがあって不十分であ
り、さらに対策が必要である。本発明は、かかる課題を
解決して、割れや欠けのない脆性材料から成る磁気記録
媒体基板を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者等はこのような
課題を解決するために、基板そのものの加工のみで効果
を挙げることに成功し、諸条件を確立して本発明を完成
したもので、その要旨は、脆性材料を用いた磁気記録媒
体基板において、その内周上および／または外周上の面
取り角度を20度以上24度以下、特には23度に、また面取
り長さが0.03mm以上0.15mm以下である磁気記録媒体基板
にある。
課題を解決するために、基板そのものの加工のみで効果
を挙げることに成功し、諸条件を確立して本発明を完成
したもので、その要旨は、脆性材料を用いた磁気記録媒
体基板において、その内周上および／または外周上の面
取り角度を20度以上24度以下、特には23度に、また面取
り長さが0.03mm以上0.15mm以下である磁気記録媒体基板
にある。
【０００７】
【作用】以下、本発明を詳細に説明する。本発明は脆性
材料からなる磁気記録媒体基板に関するもので、内周上
および／または外周上の面取り角度を20度から24度、特
には23度とすることを特徴とする。面取り角度は大き過
ぎても、小さ過ぎても落下強度は低下する。特に面取り
角度が小さ過ぎると面取り長さの公差が大きくなるため
よくない。基板材としては衝撃に対してクラックを生じ
易い脆性材料に適用されるが、特にシリコン、さらには
このシリコンが劈開や薄く大きな欠けであるシェルクラ
ックの入り易い単結晶、もしくは結晶粒界から結晶粒が
欠け落ちてしまい易い多結晶から成るときに落下強度が
効果的に増加する。面取りを施すのは基板の外周または
内周であり、もちろん外周及び内周を含む。前述したよ
うにハンドリング時のトラブル防止であるから、外周支
持でハンドリングする時は外周になり、内周支持でハン
ドリングする時は内周に適応することになる。また一つ
の工程で内周支持したり、外周支持したりする時は両方
ともに適応することになる。また落下については、落下
によって衝撃が加わる端面で外周に衝撃をうける時は外
周、内周に衝撃をうける時は内周、どちらも衝撃をうけ
る時は両方に適応することになる。
材料からなる磁気記録媒体基板に関するもので、内周上
および／または外周上の面取り角度を20度から24度、特
には23度とすることを特徴とする。面取り角度は大き過
ぎても、小さ過ぎても落下強度は低下する。特に面取り
角度が小さ過ぎると面取り長さの公差が大きくなるため
よくない。基板材としては衝撃に対してクラックを生じ
易い脆性材料に適用されるが、特にシリコン、さらには
このシリコンが劈開や薄く大きな欠けであるシェルクラ
ックの入り易い単結晶、もしくは結晶粒界から結晶粒が
欠け落ちてしまい易い多結晶から成るときに落下強度が
効果的に増加する。面取りを施すのは基板の外周または
内周であり、もちろん外周及び内周を含む。前述したよ
うにハンドリング時のトラブル防止であるから、外周支
持でハンドリングする時は外周になり、内周支持でハン
ドリングする時は内周に適応することになる。また一つ
の工程で内周支持したり、外周支持したりする時は両方
ともに適応することになる。また落下については、落下
によって衝撃が加わる端面で外周に衝撃をうける時は外
周、内周に衝撃をうける時は内周、どちらも衝撃をうけ
る時は両方に適応することになる。
【０００８】この基板の内周上および／または外周上の
面取りを図面に基づいて説明すると、図１は本発明の面
取り角度を示したもので、基板の水平記録面と内周上お
よび／または外周上の面取り斜線とのなす角度を面取り
角度と言い、20度から24度の範囲が好ましく、特に23度
が最適である。面取り角度が24度を越えて大き過ぎて
も、20度未満と小さ過ぎても基板の落下強度は低下す
る。基板の厚みは一般に磁気記録媒体に用いられる厚み
が適応される。面取り長さ、即ち面取り角度の頂点から
基板外周の垂直端面までの寸法が0.15mmを越えて大きく
なり過ぎると記録トラックの数が減るため好ましくない
だけでなく、基板端面が狭くなり、欠けが生じ易くなる
ため好ましくない。特に基板が薄い時は、基板の厚みを
ｔ、面取り長さをβ、面取り角度をαとすると、下記の 式 ２β・ｔａｎα＜０．５ｔ を満たすことが望ましい。反対に面取り長さが0.03mm未
満と小さくなり過ぎると面取り効果がなくなるため、面
取り長さは0.03〜0.15mmが好ましい。面取り方法は従来
から用いられている方法でよく、例えば基板を回転させ
ながらこれに目的とする面取り形状となるような形状に
加工した回転砥石を当てて研削加工すればよい。
面取りを図面に基づいて説明すると、図１は本発明の面
取り角度を示したもので、基板の水平記録面と内周上お
よび／または外周上の面取り斜線とのなす角度を面取り
角度と言い、20度から24度の範囲が好ましく、特に23度
が最適である。面取り角度が24度を越えて大き過ぎて
も、20度未満と小さ過ぎても基板の落下強度は低下す
る。基板の厚みは一般に磁気記録媒体に用いられる厚み
が適応される。面取り長さ、即ち面取り角度の頂点から
基板外周の垂直端面までの寸法が0.15mmを越えて大きく
なり過ぎると記録トラックの数が減るため好ましくない
だけでなく、基板端面が狭くなり、欠けが生じ易くなる
ため好ましくない。特に基板が薄い時は、基板の厚みを
ｔ、面取り長さをβ、面取り角度をαとすると、下記の 式 ２β・ｔａｎα＜０．５ｔ を満たすことが望ましい。反対に面取り長さが0.03mm未
満と小さくなり過ぎると面取り効果がなくなるため、面
取り長さは0.03〜0.15mmが好ましい。面取り方法は従来
から用いられている方法でよく、例えば基板を回転させ
ながらこれに目的とする面取り形状となるような形状に
加工した回転砥石を当てて研削加工すればよい。
【０００９】本発明が適用される磁気記録媒体基板の材
質は脆性材料で、シリコン、ガラス、セラミックス等が
挙げられ、中でもシリコン、特には単結晶シリコン、多
結晶シリコンに対して効果的である。
質は脆性材料で、シリコン、ガラス、セラミックス等が
挙げられ、中でもシリコン、特には単結晶シリコン、多
結晶シリコンに対して効果的である。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施態様を実施例を挙げて具
体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるもので
はない。 （実施例１）外径48mm、内径12mm、厚み0.4mm の単結晶
シリコンで作製した基板に、面取り角度を23度と45度の
２種類、共に0.1mm の長さで面取りを施した後、ＨＦ
（50重量％）：硝酸（70重量％）：メタノール＝２：
５：３（容積比）の混合液で20秒間エッチングを行な
い、次に基板表面をポリッシュして表面を仕上げた磁気
記録媒体基板を作製した。この基板を１ｍの高さから５
mm厚のステンレス板の上に落下させ、基板の欠け、割れ
を調べた。0.2mm 以上のかけのある基板を不良とし、不
良率を調べたところ面取り角度が23度のものは45度のも
のに比べて２割不良率が少なかった。
体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるもので
はない。 （実施例１）外径48mm、内径12mm、厚み0.4mm の単結晶
シリコンで作製した基板に、面取り角度を23度と45度の
２種類、共に0.1mm の長さで面取りを施した後、ＨＦ
（50重量％）：硝酸（70重量％）：メタノール＝２：
５：３（容積比）の混合液で20秒間エッチングを行な
い、次に基板表面をポリッシュして表面を仕上げた磁気
記録媒体基板を作製した。この基板を１ｍの高さから５
mm厚のステンレス板の上に落下させ、基板の欠け、割れ
を調べた。0.2mm 以上のかけのある基板を不良とし、不
良率を調べたところ面取り角度が23度のものは45度のも
のに比べて２割不良率が少なかった。
【００１１】（実施例２）外径48mm、内径12mm、厚み0.
4mm の多結晶シリコンで作製した基板に、面取り角度を
23度と45度の２種類、共に0.1mm の長さで面取りを施し
た後、基板表面をポリッシュして表面を仕上げた磁気記
録媒体基板を作製した。この基板を１ｍの高さから５mm
厚のステンレス板の上に落下させ、基板の欠け、割れを
調べた。0.2mm 以上のかけのある基板を不良とし、不良
率を調べたところ面取り角度が23度のものは45度のもの
に比べて３割不良率が少なかった。
4mm の多結晶シリコンで作製した基板に、面取り角度を
23度と45度の２種類、共に0.1mm の長さで面取りを施し
た後、基板表面をポリッシュして表面を仕上げた磁気記
録媒体基板を作製した。この基板を１ｍの高さから５mm
厚のステンレス板の上に落下させ、基板の欠け、割れを
調べた。0.2mm 以上のかけのある基板を不良とし、不良
率を調べたところ面取り角度が23度のものは45度のもの
に比べて３割不良率が少なかった。
【００１２】
【発明の効果】基板の内周上および／または外周上の面
取り角度を20度から24度の範囲、特に23度とすることに
よって、磁気記録装置および磁気記録媒体製造中のハン
ドリングもしくは落下による磁気記録媒体基板の割れ、
欠け等の欠陥が減少し、産業上その利用価値は極めて高
い。
取り角度を20度から24度の範囲、特に23度とすることに
よって、磁気記録装置および磁気記録媒体製造中のハン
ドリングもしくは落下による磁気記録媒体基板の割れ、
欠け等の欠陥が減少し、産業上その利用価値は極めて高
い。
【図１】本発明の面取り加工を施した基板の縦断面図で
ある。
ある。
１ 基板 ２ 記録面 ３ 端面 α 面取り角度 β 面取り長さ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 俵 好夫 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１ 号 信越化学工業株式会社 コーポレー トリサーチセンター内 (56)参考文献 特開 平２−179920（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−19120（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−62171（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−94627（ＪＰ，Ｕ)
Claims (7)
- 【請求項１】脆性材料を用いた磁気記録媒体基板におい
て、その内周上および／または外周上の面取り角度を20
度以上24度以下にすることを特徴とする磁気記録媒体基
板。 - 【請求項２】脆性材料を用いた磁気記録媒体基板におい
て、その内周上および／または外周上の面取り角度を23
度にすることを特徴とする磁気記録媒体基板。 - 【請求項３】面取り長さが0.03mm以上0.15mm以下である
請求項１または２に記載の脆性材料を用いた磁気記録媒
体基板。 - 【請求項４】請求項１、２または３に記載の脆性材料
が、シリコン、ガラス、セラミックスである磁気記録媒
体基板。 - 【請求項５】請求項４に記載の脆性材料がシリコンであ
る磁気記録媒体基板。 - 【請求項６】請求項４または５に記載のシリコンが単結
晶である磁気記録媒体基板。 - 【請求項７】請求項４または５に記載のシリコンが多結
晶である磁気記録媒体基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3829994A JP2721118B2 (ja) | 1994-03-09 | 1994-03-09 | 磁気記録媒体基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3829994A JP2721118B2 (ja) | 1994-03-09 | 1994-03-09 | 磁気記録媒体基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07249223A JPH07249223A (ja) | 1995-09-26 |
| JP2721118B2 true JP2721118B2 (ja) | 1998-03-04 |
Family
ID=12521437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3829994A Expired - Fee Related JP2721118B2 (ja) | 1994-03-09 | 1994-03-09 | 磁気記録媒体基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2721118B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006079800A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-03-23 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用シリコン基板及びその製造方法並びに磁気記録媒体 |
| JP2006114198A (ja) | 2004-09-17 | 2006-04-27 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用シリコン基板及び磁気記録媒体 |
| WO2007072835A1 (en) * | 2005-12-19 | 2007-06-28 | Showa Denko K.K. | Magnetic disk substrate and magnetic disk thereof |
| JP2008282539A (ja) * | 2008-08-25 | 2008-11-20 | Hoya Corp | 磁気記録媒体用ガラス基板及びその製造方法 |
| JP2011108355A (ja) * | 2010-12-20 | 2011-06-02 | Hoya Corp | 磁気記録媒体用ガラス基板及びその製造方法 |
| JP6247878B2 (ja) * | 2013-09-27 | 2017-12-13 | Hoya株式会社 | Ｈｄｄ用ガラス基板 |
-
1994
- 1994-03-09 JP JP3829994A patent/JP2721118B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07249223A (ja) | 1995-09-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |