JP2010231841A - ガラス基板の製造方法、ガラス基板及び磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 片側にのみ磁気記録層を設けるガラス基板において、従来よりも強度の上昇を図ることのできるガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のガラス基板1の製造方法においては、原料となるガラスを加工して円板状のガラス基材1aを製造する。
次に、ガラス基材1aにエッチングを行う。
次に、エッチングを行ったガラス基材1aの主表面7a、7bのうちの一方の面のみを研磨して、実質的に平滑にする。
【選択図】 なし
【解決手段】本発明のガラス基板1の製造方法においては、原料となるガラスを加工して円板状のガラス基材1aを製造する。
次に、ガラス基材1aにエッチングを行う。
次に、エッチングを行ったガラス基材1aの主表面7a、7bのうちの一方の面のみを研磨して、実質的に平滑にする。
【選択図】 なし
Description
本発明はガラス基板の製造方法、ガラス基板の製造方法により製造されたガラス基板、および磁気記録媒体に関するものである。
近年、情報化技術の高度化に伴い、情報記録技術、特に磁気記録技術は著しく進歩している。
このような磁気記録技術のひとつであるHDD(ハードディスクドライブ)は、ディスク状の基板の表面に磁性体薄膜からなる磁気記録層を有した磁気ディスクと、磁気ディスクを高速で回転させるスピンドルモータと、スイングアームの先端に取り付けられ磁気ディスクの磁気記録層に磁気データを読み書きする磁気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気ディスク上の半径方向に移動する位置決め装置とを主な構成要素としている(特許文献1)。
なお、磁気ディスクの両主表面に形成された磁気記録層に対しては、それぞれ磁気ヘッドが対向配置されるので、1つの磁気ディスクにつき2つの磁気ヘッドを備えているのが、一般的な構成である。
ここで、磁気記録媒体用基板としては、かつてはアルミニウム基板が広く用いられてきた。
しかしながら、磁気ディスクの小型化、薄板化、および高密度記録化に伴い、近年は、アルミニウム基板に比べ基板表面の平坦性及び基板強度に優れたガラス基板の需要が高まっている。
ガラス基板は、従来、例えば、特許文献2に示すように、ガラスを円盤状に形成して面取りを行い、基板自体の機械的強度を高めることで耐衝撃性や耐振動性を向上させるためのエッチング処理を行い、その後に主表面および端面に研磨を施すことにより製造されていた(特許文献2)。
このようにして製造されたガラス基板は、両面に磁性層等の磁気記録層を設けることにより、磁気記録媒体として利用されてきた。
一方で、最近はディスク容量が拡大されてきたので、高価な磁気ヘッドを磁気ディスクの片側にだけ設置し、磁気ディスクの片側にのみ磁気記録層を設けて読み書きするHDDも登場している。
これにより、高価な磁気ヘッドの個数を減らすことで、HDDの低コスト化を図ることができる。
ところで、磁気ディスクの片側にのみ磁気記録層を設ける場合であっても、ガラス基板は、両面に磁気記録層を設ける場合と同様に、両面を研磨して製造されている。
しかしながら、初めから記録面として用いられないことが判っている基板面にまで研磨を行うのは無駄な工程であり、それによる基板作製コストアップが問題となり、かつスクラッチ、ダメージ、クラックなどの欠陥の発生原因となる場合もありうる研磨工程を余計に行うことで、例えば発生したその欠陥部分からの発塵により、メディア化工程などの後工程において悪影響を及ぼすことが懸念される。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、片側にのみ磁気記録層を設けるガラス基板において、従来よりも強度の上昇を図ることのできるガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を有する。
(構成1)ガラス基材の表面にエッチング処理を行う工程(a)と、前記エッチング処理を行った前記ガラス基材の主表面を処理する工程(b)と、を有し、
前記工程(b)は、前記ガラス基材の主表面のうち、一方の面のみを研磨する工程であることを特徴とするガラス基板の製造方法。
前記工程(b)は、前記ガラス基材の主表面のうち、一方の面のみを研磨する工程であることを特徴とするガラス基板の製造方法。
(構成2)前記ガラス基材の端面のうち、外周端面のみを研磨する工程(c)をさらに有することを特徴とする構成1記載のガラス基板の製造方法。
(構成3)構成1〜2のいずれかに記載のガラス基板の製造方法により製造されたことを特徴とするガラス基板。
(構成4)構成3記載のガラス基板と、前記ガラス基板の表面に設けられた下地層、磁性層、保護層、潤滑層と、を有することを特徴とする磁気記録媒体。
本発明によれば、片側にのみ磁気記録層を設けるガラス基板において、(1)エッチング処理により従来よりも強度の上昇を図ることが可能であり、かつ(2)記録面/非記録面の識別が容易であるガラス基板の製造方法を提供することができる。
以下、図面に基づき、本発明の実施形態を詳細に説明する。
まず、図1を参照して、本実施形態に係るガラス基板1の製造方法を用いて製造されるガラス基板1の構造について簡単に説明する。
ここではガラス基板1として、主表面の片方のみに記録層を形成する、いわゆる片面品用のガラス基板が開示されている。
図1(a)に示すように、ガラス基板1は、円板形状を有する本体3を有し、本体3の中心には内孔5が形成されている。
図1(b)に示すように、本体3は、主表面7a、7bを有している。
主表面7a、7bは、情報を記録再生するための層が形成される面であり、例えば図1(c)に示すように、主表面7a、7bの一方に、下地層18a、磁性層18b、保護層18c、潤滑層18dを設けることにより、ガラス基板1は、磁気記録媒体100となる(少なくとも磁性層18bは記録層として必要)。
なお、詳細は後述するが、主表面7a、7bのうち、一方のみが情報を記録再生するための層(磁性層18b等)が形成される面であり、実質的に平滑となっている。
一方で他の主表面は、実質的に平滑な主表面とは粗さが異なっている。
また、本体3は主表面7a、7bに対して直交している内周端面11および外周端面9を有している。
内周端面11および外周端面9は面取されており、それぞれ内周面取面13および外周面取面15が設けられている。
次に、図2〜図6を参照して、本実施形態に係るガラス基板1の製造方法について説明する。
なお、以下の説明では、製造工程中におけるガラスを「ガラス基材1a」と称し、完成品を「ガラス基板1」と称することにする。
まず、製造方法の概略について、図2を参照して簡単に説明する。
まず、原料となるガラスを加工して図2に示すような円板状のガラス基材1aを製造する。
次に、ガラス基材1aにエッチングを行う。
次に、エッチングを行ったガラス基材1aの主表面7a、7bのいずれか一方のみを研磨して、実質的に平滑にする。
次に、図3〜図5を参照して、具体的な製造方法について説明する。
まず、図3に示すように、原料となるガラスを円板状に成形してガラス基材1aを製造する(ステップ101)。
原料となるガラスとしては例えばフロート法、ダウンドロー法、リドロー法又はプレス法で製造されたソーダライムガラス、アルミノシリケートガラス、ボロシリケートガラス、結晶化ガラス等が挙げられる。
なお、以下の実施形態ではプレス法で製造されたガラスを例に説明する。
次に、図3に示すように、ガラス基材1aの板厚調整のため、研削装置21を用いて表面を研削(第1ラッピング)する(ステップ102)。
ここで、研削に用いる研削装置21の構造および研削の方法の一例について、図4を参照して簡単に説明する。
図4に示すように、研削装置21は、太陽歯車23と、その外方に同心円状に配置される内歯歯車25と、太陽歯車23及び内歯歯車25に噛み合い、太陽歯車23や内歯歯車25の回転に応じて公転及び自転するキャリア27と、このキャリア27に保持されたガラス基材1aを挟持可能な上定盤29及び下定盤31と、上定盤29と下定盤31との間に研磨液を供給する研磨液供給部(図示せず)とを備えている。
研削装置21は、研削加工時には、キャリア27に保持されたガラス基材1aを上定盤29及び下定盤31とで挟持し、上定盤29及び下定盤31とガラス基材1aとの間に研磨液を供給しながら、太陽歯車23や内歯歯車25の回転に応じてキャリア27が公転及び自転することにより、ガラス基材1aの上下両面(主表面7a、7b)が研削加工される。
また、研磨液は、例えば、アルミナ等の砥粒を水に分散させてスラリーとしたものが用いられる。
次に、図3に示すように、ガラス基材1aの中心に内孔5(図1参照)を形成する(ステップ103)。
内孔5の形成は、例えばコアドリルを用いて行う。
なお、シートガラスを用いた場合は、ステップ101〜103は行わず、代わりに、カッターを用いてシート形状から円板形状にガラスを切り出し、さらに内孔5を切り出す工程(カッティング工程)を行う。
次に、図3に示すように、ガラス基材1aの端面のクラックを除去するため、内周端面11および外周端面9の面取を行う(ステップ104)。面取は、例えばダイヤモンド砥粒が付着した砥石を用いて行う。
なお、面取後に主表面7a、7bを再度研削(第2ラッピング)してもよい。これにより、内孔5の形成や面取によって生じた凹凸を研削でき、研磨の際の負担を軽減できる。
次に、図3に示すように、ガラス基材1aにエッチングを行う(ステップ105)。これは、前工程(ガラスを円板状に成形、板厚調整、内孔の形成、面取りなど)において、ガラス表面/端面に発生したクラックを除去し、基板そのものの機械的な強度を向上させるという目的がある。具体的には、例えばガラス基材1aを弗酸(フッ酸)、弗硫酸、弗硝酸、珪弗化水素等の弗素化合物液を用いたウェットエッチングを行う。
次に、エッチングが終わると、ガラス基材1aを洗浄した後、図3に示すように、ガラス基材1aの端面研磨を行う(ステップ106)。
なお、研磨については物理的/化学的或いは電気的な手法を使ったあらゆる種類の研磨の適用を排除するものでない。
ここで、ステップ106においては、外周端面9のみを研磨し、内周端面11は研磨しないのが望ましい。
理由は以下の通りである。
端面研磨を行う理由は、特に外周端面部分はメディア工程或いはHDD組み立て工程において各種製造装置のハンドリング機構部と接触する頻度が高いこと、或いは潤滑剤塗布後のテープバーニッシュ工程においてパーティクル等のゴミが付着しやすく、磁気ディスクがHDDに搭載され、回転した際にゴミが飛散して記録面に付着し、サーマルアスペリティ等のエラーの原因となりやすいためである。
しかしながら、磁気ディスクがHDDに搭載されると、内周端面11はスピンドルモータの軸や軸受と接することになり、HDDの内部に直接暴露される可能性が低く、ゴミが付着しても飛散し難いため、内周端面11はエッチング状態のままでも問題ない。
次に、図3に示すように、ガラス基材1aの主表面7a、7bのいずれか一方のみを研磨する(ステップ107)。以下の説明では主表面7aのみを研磨した場合を例に説明する。
ここで、研磨に用いる研磨装置21aの構造について図5を参照して説明する。
研磨装置21aの構造は、研削装置21と同様であるが、図5に示すように、上定盤29及び下定盤31に研磨パッド33が貼り付けられている。
研磨装置21aは、研磨加工時には、キャリア27に保持されたガラス基材1aを上定盤29及び下定盤31とで挟持し、研磨パッド33とガラス基材1aとの間に研磨液を供給しながら、太陽歯車23や内歯歯車25の回転に応じてキャリア27が公転及び自転することにより、ガラス基材1aの主表面7aが研磨加工される。
研磨パッド33としては、軟質ポリッシャの研磨パッドであることが好ましい。研磨パッド33の硬度はアスカーC硬度で、60以上80以下とすることが好適である。研磨パッド33のガラス基材1aとの当接面は、発泡ポアが開口した発泡樹脂、特に発泡ポリウレタンとすることが好ましい。このようにして研磨を行うと、ガラス基材1aの主表面を平滑な鏡面状に研磨することができる。
また、研磨液は、例えば、酸化セリウムや酸化ランタン等の砥粒を水に分散させてスラリーとしたものが用いられる。
なお、前述のように、研磨の際は、主表面7a、7bのいずれか一方のみ(ここでは主表面7a)を研磨する。
これは、前述のように、本実施形態に係るガラス基板1は片面品であり、片方の主表面にのみ記録層(磁性層18b等)を形成するため、記録層を形成しない基板面にまで研磨を行うのは無駄な工程であり、それによる基板作製コストアップが問題となり、かつスクラッチ、ダメージ、クラックなどの欠陥の発生原因となる場合もありうる研磨工程を余計に行うことで、例えば発生したその欠陥部分からの発塵により、メディア化工程などの後工程において悪影響を及ぼすことが懸念されるからである。
また、このように主表面7a、7bのいずれか一方のみを研磨することにより、研磨されない主表面は前述のように、エッチングにより表面が荒れているため、主表面7aと主表面7bの表面粗さが異なることになるが、エッチング面はその化学的腐食作用により、主表面に比べなだらかな起伏を持つ粗さが創生される。
そのため、記録層を形成する面(研磨した主表面)を視覚的に判別可能となり、記録層を形成する際の作業性が向上する。
なお、研磨した主表面の粗さは、要求される磁気ディスクと磁気ヘッドとの距離にもよるが、磁気ディスクと磁気ヘッドの距離が10nm以下の場合は、算術平均粗さ(Ra)で0.3nm以下であるのが望ましい。
また、研磨は1段階、2段階或いは3段階に分けて行っても良い。
具体的には、2段研磨の一例として、研磨液に含まれる砥粒として、粒径が異なる2種類の砥粒を用い、まず粒径が相対的に大きい砥粒を用いて第1研磨を行い、次に粒径が相対的に小さい砥粒を用いて第2研磨を行う。
研磨が終了すると、ガラス基材1aを洗浄し、製造中に表面に付着した研磨剤や不純物を除去する(ステップ108)。
具体的にはスクラブ洗浄、超音波洗浄等の物理的な洗浄や、フッ化物、有機酸、過酸化水素、界面活性剤等を用いた薬液洗浄、そしてその両者を組み合わせた洗浄などが挙げられる。
最後に、製品検査(例えば主表面7a、7bのうち、研磨を行った面の表面粗さやパーティクルの量の検査)を行う(ステップ109)。
具体的には、例えばODT(Optical Defect Tester)やOSA(Optical Surface Analyzer)を用いて欠陥検査を行う。
以上の工程により、ガラス基板1が完成する。
ここで、完成したガラス基板1の表面形状について、図6を参照して説明する。
図6に示すように、主表面7aと外周端面9は研磨を行っているため、実質的に平滑な面となっている。
一方、主表面7bと内周端面11は研磨されていないため、エッチング面(図6では波形で表現された面)がそのまま残っており、研磨を行った主表面7aや外周端面9よりも表面粗さが大きくなっている。
このように、クラッチ、ダメージ、クラックなどの欠陥の発生原因となる場合もありうる研磨工程を行う部分を必要最小限とすることで、その欠陥部分からの発塵によりメディア化工程などの後工程において悪影響を及ぼすことが軽減される。
このように、本実施形態に係るガラス基板1の製造方法よれば、ガラス基材1aにエッチングを行い、前工程において、ガラス表面/端面に発生したクラックを除去し、基板そのものの機械的な強度を向上させた後、さらに主表面7a、7bの一方のみを研磨を行うことで主表面7a、7bの表面粗さが異なることになるため、記録層を形成する面(研磨した主表面)を視覚的に判別可能となり、記録層を形成する際の作業性、そして主表面の識別精度が向上する。
上述した実施形態では、本発明を磁気記録媒体用のガラス基板1を製造する製造方法に適用した場合について説明したが、本発明は何らこれに限定されることなく、エッチング後に研磨を行う必要がある全てのガラスの製造方法に適用できる。
1……………ガラス基板
1a…………ガラス基材
3……………本体
5……………内孔
7a…………主表面
18b………磁性層
21…………研削装置
21a………研磨装置
1a…………ガラス基材
3……………本体
5……………内孔
7a…………主表面
18b………磁性層
21…………研削装置
21a………研磨装置
Claims (4)
- ガラス基材の表面にエッチング処理を行う工程(a)と、
前記エッチング処理を行った前記ガラス基材の主表面を処理する工程(b)と、
を有し、
前記工程(b)は、前記ガラス基材の主表面のうち、一方の面のみを研磨する工程であることを特徴とする請求項1記載のガラス基板の製造方法。 - 前記ガラス基材の端面のうち、外周端面のみを研磨する工程(c)をさらに有することを特徴とする請求項1記載のガラス基板の製造方法。
- 請求項1〜2のいずれかに記載のガラス基板の製造方法により製造されたことを特徴とするガラス基板。
- 請求項3記載のガラス基板と、
前記ガラス基板の表面に設けられた下地層、磁性層、保護層、潤滑層と、
を有することを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009078111A JP2010231841A (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | ガラス基板の製造方法、ガラス基板及び磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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JP2010231841A true JP2010231841A (ja) | 2010-10-14 |
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JP2009078111A Withdrawn JP2010231841A (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | ガラス基板の製造方法、ガラス基板及び磁気記録媒体 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012089221A (ja) * | 2010-10-22 | 2012-05-10 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2013012280A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-17 | Konica Minolta Advanced Layers Inc | Hdd用ガラス基板の製造方法 |
-
2009
- 2009-03-27 JP JP2009078111A patent/JP2010231841A/ja not_active Withdrawn
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