JP5399115B2 - 研磨装置、ガラス基材の研磨方法及びガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Description
前記第2の溝部は前記第2の保持部に設けられていることを特徴とする構成1記載の研磨装置。
1a…………ガラス基材
3……………本体
5……………内孔
7a…………主表面
17…………化学強化層
18b………磁性層
21…………粗研磨装置
21a………研磨装置
23…………太陽歯車
25…………内歯歯車
27…………キャリア
27a………孔部
29…………上定盤
31…………下定盤
33…………研磨液供給部
33a………研磨パッド
34…………輸送管
35…………保持部
37…………保持部
41…………貯蔵部
43…………第1の溝部
45…………開口部
47…………配管
49…………第2の溝部
57…………管
59…………第3の溝部
61…………輸送管
Claims (7)
- 太陽歯車と、
前記太陽歯車を囲むように設けられた環状の内歯歯車と、
被研磨物を収納する収納部を有し、前記内歯歯車と前記太陽歯車とかみ合い、自転および公転するように設けられたキャリアと、
前記キャリアを挟み込むように設けられた上定盤および下定盤と、
前記キャリアと前記上定盤および前記下定盤の間に研磨液を供給する供給手段と、
前記下定盤の内周の下部に設けられ、研磨液が流入する環状の第1の溝部と、
前記下定盤の下部に、前記第1の溝部から前記内歯歯車に向けて設けられ、前記第1の溝部から研磨液が流入する配管と、
前記下定盤の外周の下部および前記配管の一端の下部に設けられ、研磨液が流入する第2の溝部と、
を有することを特徴とする研磨装置。 - 前記太陽歯車および前記下定盤を保持する第1の保持部を有し、
前記第1の溝部は前記第1の保持部に設けられていることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。 - 前記内歯歯車を保持する第2の保持部を有し、
前記第2の溝部は前記第2の保持部に設けられていることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。 - 前記第2の溝部に設けられ、前記研磨液を前記供給手段に排出する排出手段を有することを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記上定盤および前記下定盤の、前記キャリアと対向する面に設けられた研磨パッドを有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の研磨装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の研磨装置を用い、前記被研磨物としてガラス基材を研磨することを特徴とするガラス基材の研磨方法。
- 請求項6記載の研磨方法を工程に有することを特徴とするガラス基板の製造方法。
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