JP2010238291A - 被研磨物の搬送装置、被研磨物の搬送方法、ガラス基板の製造方法、ガラス基板、磁気記録媒体及び被研磨物のチャック治具 - Google Patents

Abstract

【課題】 研磨装置から速やかに、かつ確実に被研磨物を搬送可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置５１は板状の本体５３を有し、本体５３には研磨装置２１ａに収納されたガラス基材１ａをチャックするチャック治具５５が設けられている。
図６に示すように、チャック治具５５は、研磨装置２１ａ上のガラス基材１ａ（被研磨物）の配置形状に対応した形状に配置されている。
チャック部５７は柱状であり、端部６１は軸方向に４つに分割されて拡径している。
また、チャック部５７の外周には周方向に形成されたネジ６５が設けられている。
一方、スリーブ５９は円筒状の形状を有し、回転可能に設けられている。
スリーブ５９をＣ１の向きに回転させると、チャック部５７はスリーブ５９内に引き込まれ、チャック部５７の外周形状はスリーブ５９の内周に拘束されて縮径する。
【選択図】 図７

Description

本発明は被研磨物の搬送装置、被研磨物の搬送方法、ガラス基板の製造方法、ガラス基板、磁気記録媒体および被研磨物のチャック治具に関するものである。

近年、情報化技術の高度化に伴い、情報記録技術、特に磁気記録技術は著しく進歩している。

このような磁気記録技術のひとつであるＨＤＤ（ハードディスクドライブ）等の磁気記録媒体用基板としては、かつてはアルミニウム基板が広く用いられてきた。

しかしながら、磁気ディスクの小型化、薄板化、および高密度記録化に伴い、近年は、アルミニウム基板に比べ基板表面の平坦性及び基板強度に優れたガラス基板の需要が高まっている。

ガラス基板は、従来、例えば、特許文献１の段落〔０００４〕に示すように、ガラスを円盤状に形成して面取りを行い、端面および主表面を研磨し、その後に耐衝撃性や耐振動性を向上させるための化学強化処理を施すことにより製造されていた（特許文献１）。

ここで、主表面の研磨に用いられる装置としては、例えば遊星歯車機構を用いたものがある。

具体的には、例えば特許文献２では、段落〔０００３〕〔０００４〕に、太陽歯車と、その外方に同心円状に太陽歯車を囲むように配置される内歯歯車と、太陽歯車および内歯歯車にかみ合い、被研磨物を保持するキャリアと、キャリアを挟持する上下定盤を有し、キャリアを自転および公転させつつ、研磨液をキャリアに供給して研磨を行う研磨装置が開示されている（特許文献２）。

特開２０００−０７６６５２号公報 特開２００２−０６６９１０号公報

ここで、研磨されたガラスは研磨装置から取り出されて次工程に搬送されるが、従来は搬送を手作業で行っていた。

しかしながら手作業による搬送では、手間がかかる上に、搬送時に落下等によりガラスを損傷させるおそれがあった。

本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、研磨装置から速やかに、かつ確実に被研磨物を搬送可能な搬送装置を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を有する。

（構成１）本体と、前記本体に設けられ、研磨機に収納された被研磨物をチャックするチャック治具と、を有し、前記チャック治具は、前記研磨機上の前記被研磨物の配置形状に対応した形状に配置されていることを特徴とする被研磨物の搬送装置。

（構成２）前記被研磨物は孔を有し、前記チャック治具は、前記孔の内周と接触可能に設けられた複数の接触部と、複数の前記接触部の相対距離を、前記孔の内径未満の距離から少なくとも前記孔の内径と同一の距離まで変化させる変化手段を有することを特徴とする構成１記載の被研磨物の搬送装置。

（構成３）前記チャック治具は、柱状のチャック部と、前記チャック部の端部を軸方向に分割して拡径した形状を有する端部と、を有し、前記端部が前記接触部を構成し、前記変化手段は、前記チャック部の外周を覆うように設けられ、前記チャック部に対して相対移動可能なスリーブを有することを特徴とする構成２記載の被研磨物の搬送装置。

（構成４）前記チャック部は円筒状または円柱状の形状を有し、前記チャック部の外周には、円周方向に形成された第１のネジ部を有し、前記スリーブの内周には、円周方向に形成され、前記第１のネジ部とかみ合う第２のネジ部を有し、前記スリーブを前記チャック部に対して相対回転させることにより前記スリーブが前記チャック部に対して相対的に上下動することを特徴とする構成３記載の被研磨物の搬送装置。

（構成５）前記スリーブを回転させる回転手段をさらに有することを特徴とする構成４記載の被研磨物の搬送装置。

（構成６）前記回転手段は、前記スリーブに連結されたモータを有することを特徴とする構成５記載の被研磨物の搬送装置。

（構成７）前記チャック治具は複数設けられ、複数の前記チャック治具には、互いにかみ合うように配置されたギヤが設けられ、前記モータは、複数の前記ギヤの１つを回転させるように設けられていることを特徴とする構成６記載の被研磨物の搬送装置。

（構成８）複数の前記ギヤとかみ合うように設けられた太陽歯車を有し、前記ギヤは、前記太陽歯車の周囲に配置されて遊星歯車機構を構成していることを特徴とする構成７記載の被研磨物の搬送装置。

（構成９）構成１〜８のいずれかに記載の被研磨物の搬送装置を用いることを特徴とする被研磨物の搬送方法。

（構成１０）構成９記載の被研磨物の搬送方法を工程に有することを特徴とするガラス基板の製造方法。

（構成１１）構成１０に記載のガラス基板の製造方法により製造されたことを特徴とするガラス基板。

（構成１２）構成１１記載のガラス基板と、前記ガラス基板の主表面に設けられた下地層、磁性層、保護層、潤滑層を有することを特徴とする磁気記録媒体。

（構成１３）孔を有する被研磨物の前記孔の内周と接触可能に設けられた複数の接触部と、複数の前記接触部の相対距離を、前記孔の内径未満の距離から少なくとも前記孔の内径と同一の距離まで変化させる変化手段と、を有することを特徴とする被研磨物のチャック治具。

（構成１４）柱状のチャック部と、前記チャック部の端部を軸方向に分割して拡径した形状を有する端部と、を有し、前記端部が前記接触部を構成し、前記変化手段は、前記チャック部の外周を覆うように設けられ、前記チャック部に対して相対移動可能なスリーブを有することを特徴とする構成１３記載の被研磨物のチャック治具。

（構成１５）前記チャック部は円筒状または円柱状の形状を有し、前記チャック部の外周には、円周方向に形成された第１のネジ部を有し、前記スリーブの内周には、円周方向に形成され、前記第１のネジ部とかみ合う第２のネジ部を有し、前記スリーブを前記チャック部に対して相対回転させることにより前記スリーブが前記チャック部に対して相対的に上下動することを特徴とする構成１４記載の被研磨物のチャック治具。

本発明によれば、研磨装置から速やかに、かつ確実に被研磨物を搬送可能な搬送装置を提供することができる。

図１（ａ）はガラス基板１の平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１−Ａ１断面図、図１（ｃ）は磁気記録媒体１００を示す断面図である。 ガラス基板１の製造方法の詳細を示すフローチャートである。 研磨装置２１ａを示す断面図である。 研磨装置２１ａの太陽歯車２３、内歯歯車２５、キャリア２７を示す平面図である。 図４において、キャリア２７がガラス基材１ａを保持している状態を示す図である。 図６（ａ）は搬送装置５１を示す平面図であって、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡ２−Ａ２断面図であって、チャック治具５５は側面図で描いている。 図７（ａ）は図６（ｂ）のチャック治具５５付近の拡大図であって、チャック部５７を一部側面図で描いたものであり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＢ１方向矢視図である。 図８（ａ）は図７（ａ）の状態からスリーブ５９をＣ１の向きに回転させた場合の状態を示す図であって、図８（ｂ）は図８（ａ）のＢ２方向矢視図である。 搬送装置５１を用いて研磨装置２１ａからガラス基材１ａを搬送する際の手順を示す図である。 搬送装置５１を用いて研磨装置２１ａからガラス基材１ａを搬送する際の手順を示す図である。 搬送装置５１を用いて研磨装置２１ａからガラス基材１ａを搬送する際の手順を示す図である。 搬送装置５１ａを示す側面図であって、チャック治具５５、ギヤ７５、ギヤ８１は記載を一部省略している。 駆動装置７１を示す平面図である。

以下、図面に基づき、本発明の実施形態を詳細に説明する。

まず、図１を参照して、第１の実施形態に係る搬送装置５１を用いた製造方法により製造されるガラス基板１の構造について簡単に説明する。

図１（ａ）に示すように、ガラス基板１は、円板形状を有する本体３を有し、本体３の中心には内孔５が孔として形成されている。

図１（ｂ）に示すように、本体３は、実質的に平滑な主表面７ａ、７ｂを有している。

主表面７ａ、７ｂは、情報を記録再生するための層が形成される面であり、例えば図１（ｃ）に示すように、主表面７ａ、７ｂの一方または両方に、下地層１８ａ、磁性層１８ｂ、保護層１８ｃ、潤滑層１８ｄを設けることにより、ガラス基板１は、磁気記録媒体１００となる(少なくとも磁性層１８ｂは記録層として必要)。

また、図１（ｂ）に示すように、本体３は主表面７ａ、７ｂに対して直交している内周端面１１および外周端面９を有している。

内周端面１１および外周端面９は面取されており、それぞれ内周面取面１３および外周面取面１５が設けられている。

さらに、本体３は表面に化学強化層１７が形成されている。

化学強化層１７の詳細については後述するが、例えば、ガラス基板１の原料となるガラスのイオンの一部を、よりイオン半径の大きいイオンに置換し、圧縮応力層とした層である。

次に、図２〜図７を参照して、ガラス基板１の製造方法について説明する。

なお、以下の説明では、製造工程中におけるガラスを「ガラス基材１ａ」と称し、完成品を「ガラス基板１」と称することにする。

まず、図２に示すように、原料となるガラスを円板状に成形してガラス基材１ａを製造する（ステップ１０１）。

原料となるガラスとしては例えばフロート法、ダウンドロー法、リドロー法又はプレス法で製造されたソーダライムガラス、アルミノシリケートガラス、ボロシリケートガラス、結晶化ガラス等が挙げられる。

なお、以下の実施形態ではプレス法で製造されたガラスを例に説明する。

次に、図２に示すように、ガラス基材１ａの板厚調整のため、主表面７ａ、７ｂを研削（第１ラッピング）する（ステップ１０２）。

ここで、研削は、例えば遊星歯車機構を用いた研削装置を用いて行う。

次に、図２に示すように、ガラス基材１ａの中心に内孔５（図１参照）を形成する（ステップ１０３）。

内孔５の形成は、例えばコアドリルを用いて行う。

なお、シートガラスを用いた場合は、ステップ１０１〜１０３は行わず、代わりに、カッターを用いてシート形状から円板形状にガラスを切り出し、さらに内孔５を切り出す工程（カッティング工程）を行う。

次に、図２に示すように、ガラス基材１ａの端面のクラックを除去するため、内周端面１１および外周端面９の面取を行う（ステップ１０４）。面取は、例えばダイヤモンド砥粒が付着した砥石を用いて行う。

なお、面取後に主表面７ａ、７ｂを研削（第２ラッピング）する工程を追加してもよい。これにより、内孔５の形成や面取によって生じた凹凸を研削でき、研磨の際の負担を軽減できる。

次に、図２に示すように、ガラス基材１ａの内周端面１１および外周端面９の研磨、即ち端面研磨を行う（ステップ１０５）。

端面研磨は例えば回転ブラシを用いて行う。

次に、図２に示すように、ガラス基材１ａに化学強化を行い、化学強化層１７を形成する（ステップ１０６）。

具体的には、ガラス基材１ａを、例えば硝酸カリウム、硝酸ナトリウム、硝酸銀等をそれぞれ単独、あるいは少なくとも２種を混合した化学強化液に浸漬し、化学強化液に含まれているイオンと、ガラス基材１ａに含まれているイオンとがイオン交換する。

この際、ガラス基材１ａに含まれているイオンよりもイオン半径が大きいイオンとイオン交換が生じることにより、化学強化層１７は圧縮応力層となり、ガラス基材１ａの表面の強度が上昇する。

次に、化学強化が終わると、ガラス基材１ａを洗浄して表面の化学強化液を除去した後、図２に示すように、ガラス基材１ａの主表面７ａ、７ｂの平坦度と表面粗さを調整する（実質的に平滑にする）ため、主表面７ａ、７ｂを研磨する（ステップ１０７）。

ここで、研磨に用いる研磨装置２１ａの構造について図３〜図５を参照して説明する。

図３および図４に示すように、研磨装置２１ａは、太陽歯車２３と、その外方に同心円状に配置される内歯歯車２５と、太陽歯車２３及び内歯歯車２５にかみ合い、太陽歯車２３や内歯歯車２５の回転に応じて公転及び自転するキャリア２７と、このキャリア２７に保持されたガラス基材１ａを挟持可能な上定盤２９及び下定盤３１と、上定盤２９と下定盤３１との間に研磨液を供給する研磨液供給部（図示せず）と、上定盤２９及び下定盤３１に貼り付けられた研磨パッド３３を備えている。

また、図４に示すように、キャリア２７には被研磨物としてのガラス基材１ａを保持するための孔状の収納部３２を有している。

収納部３２の平面状の配置形状は、図４および図５では等間隔で二重の同心円状になっている。

研磨装置２１ａは、研磨加工時には、キャリア２７の収納部３２にガラス基材１ａを収納、保持した状態で上定盤２９及び下定盤３１（の研磨パッド３３）でガラス基材１ａを挟持し、研磨パッド３３とガラス基材１ａとの間に研磨液を供給しながら、太陽歯車２３や内歯歯車２５の回転に応じてキャリア２７が公転及び自転することにより、ガラス基材１ａの上下両面（主表面７ａ、７ｂ）が研磨加工される。

また、研磨液は、例えば、アルミナ等の砥粒を水に分散させてスラリーとしたものが用いられる。

研磨が終了すると、収納部３２よりガラス基材１ａを取り出して次工程に搬送する。

ここで、ガラス基材１ａの搬送に用いる搬送装置５１の構造および搬送方法について、図６〜１１を参照して説明する。

最初に、搬送装置５１の構造について図４〜図８を参照して説明する。

図６に示すように、搬送装置５１は板状の本体５３を有し、本体５３には研磨装置２１ａに収納されたガラス基材１ａをチャックするチャック治具５５が設けられている。

図６（ａ）に示すように、チャック治具５５は、研磨装置２１ａ（キャリア２７）上のガラス基材１ａ（被研磨物）の配置形状に対応した形状に配置されている。

具体的には、研磨装置２１ａのキャリア２７におけるガラス基材１ａの配置形状は、図４および図５に示すように、等間隔で二重の同心円状になっているため、チャック治具５５も等間隔で二重の同心円状に配置されている。

チャック治具５５は、ガラス基材１ａの内孔５の内周と接触可能に設けられたチャック部５７と、チャック部５７を覆うように設けられ、チャック部５７の形状を変化させるための変化手段としてのスリーブ５９を有している。

より詳細に説明すると、図７に示すように、チャック部５７は柱状（図７では円筒状だが、円柱状でもよい）であり、端部６１は軸方向に４つに分割されて拡径して接触部を構成している。なお、端部６１の上部には外周側に突出した突起６３が設けられている。

なお、図７に示す状態では、端部６１の外周同士の間隔６９は、ガラス基材１ａの内孔５の直径５ａよりも大きくなっている。

また、チャック部５７の外周には円周方向に形成された第１のネジ部としてのネジ６５が設けられている。

一方、スリーブ５９は円筒状の形状を有し、図７のＣ１、Ｃ２の向きに回転可能に設けられている。

また、スリーブ５９の内周にはネジ６５とかみ合うネジ６７が第２のネジ部として設けられており、スリーブ５９を図７のＣ１、Ｃ２の向きに回転させると、チャック部５７はネジ６５、６７によって図７のＤ１、Ｄ２の向きに移動する。

即ち、スリーブ５９を回転させるとスリーブ５９とチャック部５７の相対位置が変化する。

例えば、図７の状態からスリーブ５９をＣ１の向きに回転させると、チャック部５７はネジ６５、６７によって図７のＤ１の向きに移動してスリーブ５９内に引き込まれる。

この状態では、チャック部５７の外周形状はスリーブ５９の内周に拘束されて端部６１が縮径し、最終的には図８に示すように、全体が円筒形状（もしくは円柱状）になる。

この状態では端部６１の外周同士の間隔６９は、ガラス基材１ａの内孔５よりも小さくなっている（ガラス基材１ａの内孔５未満になっている）。

即ち、チャック治具５５は、端部６１の外周同士の間隔６９をガラス基材１ａの内孔５よりも大きい状態から小さい状態へと変化させることが可能な構造となっている。

そのため、チャック治具５５は、間隔６９がガラス基材１ａの内孔５よりも小さい状態で端部６１を内孔５に挿入し、間隔６９をガラス基材１ａの内孔５と同一の距離となるようにチャック部５７の形状を変化させることにより、ガラス基材１ａの内孔５の内周と、端部６１とが接触し、ガラス基材１ａをチャックすることができる。

なお、図８の状態からスリーブ５９を図７のＣ２の向きに回転させると、チャック部５７はネジ６５、６７によって図８のＤ２の向きに移動して、スリーブ５９から引き出され、端部６１の間隔が図７の状態に戻る。

次に、搬送装置５１を用いたガラス基材１ａの搬送方法について図７〜図１１を参照して説明する。

まず、図９に示すように、搬送装置５１を研磨装置２１ａのキャリア２７の上方に配置する。

この際、チャック治具５５がガラス基材１ａの内孔５の真上に来るように配置する。

また、チャック治具５５は、図８に示すように、端部６１の外周同士の間隔６９が、ガラス基材１ａの内孔５よりも小さい状態にする。

次に、搬送装置５１を図９の状態から下降させ、端部６１をガラス基材１ａの内孔５内に挿入する。このとき、突起６３によって、端部６１の挿入深さが制限される。

次に、スリーブ５９を図７のＣ２の向きに回転させ、端部６１の間隔６９をガラス基材１ａの内孔５と同一の距離となるようにチャック部５７の形状を変化させ、端部６１を内孔５の内周と接触させて、図１０に示すように、ガラス基材１ａをチャックする。

次に、ガラス基材１ａをチャックした状態で搬送装置５１を上方に移動させ、図１１に示すように、キャリア２７の収納部３２から取り出し、次工程に使用する装置へ搬送する。

このように、搬送装置５１は、ガラス基材１ａをチャックするチャック治具５５を有しているため、手作業によらずガラス基材１ａを搬送できる。

そのため、ガラス基材１ａを損傷させることなく、確実に搬送できる。

また、搬送装置５１は、チャック治具５５が、研磨装置２１ａ（キャリア２７）上のガラス基材１ａ（被研磨物）の配置形状に対応した形状に配置されている。

そのため、研磨装置２１ａに収納された複数のガラス基材１ａを一度にチャックして搬送でき、一枚一枚搬送する場合と比べて搬送を速やかに行うことができる。

以上がステップ１０７の詳細である。

次に、図２に示すように、搬送されたガラス基材１ａを洗浄し、製造中に表面に付着した研磨液や不純物を除去する（ステップ１０８）。

具体的にはスクラブ洗浄、超音波洗浄等の物理的な洗浄や、フッ化物、有機酸、過酸化水素、界面活性剤等を用いた薬液洗浄が挙げられる。

最後に、図２に示すように、製品検査（例えば主表面７ａ、７ｂの表面粗さやパーティクルの量の検査）を行う（ステップ１０９）。

具体的には、例えばＯＤＴ（Optical Defect Tester）やＯＳＡ（Optical Surface Analyzer）を用いて欠陥検査を行う。

以上の工程により、ガラス基板１が完成する。

このように、第１の実施形態によれば、ガラス基板１の製造に用いられる搬送装置５１がガラス基材１ａをチャックするチャック治具５５を有している。

そのため、手作業によらずガラス基材１ａを搬送でき、ガラス基材１ａを損傷させることなく、確実に搬送できる。

また、第１の実施形態によれば、搬送装置５１は、チャック治具５５が、研磨装置２１ａ（キャリア２７）上のガラス基材１ａ（被研磨物）の配置形状に対応した形状になるように本体５３に配置されている。

そのため、研磨装置２１ａに収納された複数のガラス基材１ａを一度にチャックして搬送でき、一枚一枚搬送する場合と比べて搬送を速やかに行うことができる。

次に、第２の実施形態について、図１２および図１３を参照して説明する。

第２の実施形態に係る搬送装置５１ａは、第１の実施形態に係る搬送装置５１に、スリーブ５９を自動回転させる駆動装置７１を回転手段として設けたものである。

図１２に示すように、搬送装置５１ａは、駆動装置７１を有している。

駆動装置７１は板状の台座７３を有し、台座７３にはギヤ７５およびギヤ８１が回転可能に設けられている。

ギヤ７５およびギヤ８１には連結部９１、９３がそれぞれ設けられ、連結部９１、９３にはチャック治具５５のスリーブ５９が連結されている。

なお、前述のようにチャック治具５５は二重の同心円状に配置されているが、ギヤ７５は外側の同心円に位置するチャック治具５５に連結されており、ギヤ８１は、内側の同心円に位置するチャック治具５５に連結されている。

さらに、ギヤ７５とかみ合うようにして太陽歯車７７が設けられており、ギヤ７５と太陽歯車７７で遊星歯車機構を構成している。

また、太陽歯車７７の下部には、ギヤ８１とかみ合うようにして太陽歯車７７よりも直径が小さい太陽歯車７９が設けられており、ギヤ８１と太陽歯車７９で遊星歯車機構を構成している。

さらに、図１３に示すように、ギヤ７５の１つにはモータ８３が設けられている。

モータ８３は支持部８５によって台座７３に固定されている。

図１２および図１３から明らかなように、搬送装置５１ａは、ギヤ７５の１つをモータ８３で回転させることにより、太陽歯車７７、７９、ギヤ８１、および他のギヤ７５を全て自動回転させることができる。

回転したギヤ７５、ギヤ８１は連結部９１、９３を介してスリーブ５９を回転させ、チャック部５７の端部６１の外周同士の間隔６９を変化させる。

そのため、搬送装置５１ａはガラス基材１ａのチャックを自動で行うことができる。

なお、ガラス基材１ａの搬送方法およびガラス基板１の製造方法は第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。

このように、第２の実施形態よれば、搬送装置５１ａは、ガラス基材１ａをチャックするチャック治具５５を有している。

従って、第１の実施形態と同様の効果を奏する。

また、第２の実施形態によれば、搬送装置５１ａはスリーブ５９を自動回転させる駆動装置７１を有している。

そのため、ガラス基材１ａのチャックを自動で行うことができる。

上述した実施形態では、本発明を磁気記録媒体用のガラス基板１の製造工程における搬送装置に適用した場合について説明したが、本発明は何らこれに限定されることなく、研磨後の被研磨物を搬送する必要がある全ての装置に適用することができる。

また、上述した実施形態ではガラス基材１ａに化学強化を行っているが、化学強化の代わりにエッチングを行っても良い。

さらに、上述した実施形態ではガラス基材１ａに化学強化を行った後に研磨装置２１ａを用いて研磨を行っているが、研磨装置２１ａを用いて研磨を行った後に化学強化を行ってもよい。

１…………ガラス基板
１ａ………ガラス基材
３…………本体
５…………内孔
７ａ………主表面
１７………化学強化層
１８ｂ……磁性層
２１ａ……研磨装置
５１………搬送装置
５１ａ……搬送装置
５３………本体
５５………チャック治具
５７………チャック部
５９………スリーブ
６１………端部
６５………ネジ
６７………ネジ
７１………駆動装置

Claims (15)

1. 本体と、
   前記本体に設けられ、研磨機に収納された被研磨物をチャックするチャック治具と、
   を有し、
   前記チャック治具は、前記研磨機上の前記被研磨物の配置形状に対応した形状に配置されていることを特徴とする被研磨物の搬送装置。
2. 前記被研磨物は孔を有し、
   前記チャック治具は、前記孔の内周と接触可能に設けられた複数の接触部と、
   複数の前記接触部の相対距離を、前記孔の内径未満の距離から少なくとも前記孔の内径と同一の距離まで変化させる変化手段を有することを特徴とする請求項１記載の被研磨物の搬送装置。
3. 前記チャック治具は、
   柱状のチャック部と、前記チャック部の端部を軸方向に分割して拡径した形状を有する端部と、を有し、前記端部が前記接触部を構成し、
   前記変化手段は、
   前記チャック部の外周を覆うように設けられ、前記チャック部に対して相対移動可能なスリーブを有することを特徴とする請求項２記載の被研磨物の搬送装置。
4. 前記チャック部は円筒状または円柱状の形状を有し、
   前記チャック部の外周には、円周方向に形成された第１のネジ部を有し、
   前記スリーブの内周には、円周方向に形成され、前記第１のネジ部とかみ合う第２のネジ部を有し、
   前記スリーブを前記チャック部に対して相対回転させることにより前記スリーブが前記チャック部に対して相対的に上下動することを特徴とする請求項３記載の被研磨物の搬送装置。
5. 前記スリーブを回転させる回転手段をさらに有することを特徴とする請求項４記載の被研磨物の搬送装置。
6. 前記回転手段は、
   前記スリーブに連結されたモータを有することを特徴とする請求項５記載の被研磨物の搬送装置。
7. 前記チャック治具は複数設けられ、
   複数の前記チャック治具には、互いにかみ合うように配置されたギヤが設けられ、
   前記モータは、複数の前記ギヤの１つを回転させるように設けられていることを特徴とする請求項６記載の被研磨物の搬送装置。
8. 複数の前記ギヤとかみ合うように設けられた太陽歯車を有し、
   前記ギヤは、前記太陽歯車の周囲に配置されて遊星歯車機構を構成していることを特徴とする請求項７記載の被研磨物の搬送装置。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載の被研磨物の搬送装置を用いることを特徴とする被研磨物の搬送方法。
10. 請求項９記載の被研磨物の搬送方法を工程に有することを特徴とするガラス基板の製造方法。
11. 請求項１０に記載のガラス基板の製造方法により製造されたことを特徴とするガラス基板。
12. 請求項１１記載のガラス基板と、
    前記ガラス基板の主表面に設けられた下地層、磁性層、保護層、潤滑層を有することを特徴とする磁気記録媒体。
13. 孔を有する被研磨物の前記孔の内周と接触可能に設けられた複数の接触部と、
    複数の前記接触部の相対距離を、前記孔の内径未満の距離から少なくとも前記孔の内径と同一の距離まで変化させる変化手段と、
    を有することを特徴とする被研磨物のチャック治具。
14. 柱状のチャック部と、前記チャック部の端部を軸方向に分割して拡径した形状を有する端部と、を有し、前記端部が前記接触部を構成し、
    前記変化手段は、
    前記チャック部の外周を覆うように設けられ、前記チャック部に対して相対移動可能なスリーブを有することを特徴とする請求項１３記載の被研磨物のチャック治具。
15. 前記チャック部は円筒状または円柱状の形状を有し、
    前記チャック部の外周には、円周方向に形成された第１のネジ部を有し、
    前記スリーブの内周には、円周方向に形成され、前記第１のネジ部とかみ合う第２のネジ部を有し、
    前記スリーブを前記チャック部に対して相対回転させることにより前記スリーブが前記チャック部に対して相対的に上下動することを特徴とする請求項１４記載の被研磨物のチャック治具。

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