JP5214517B2 - 積層体形成装置、積層体形成方法及びガラス基板の製造方法 - Google Patents
積層体形成装置、積層体形成方法及びガラス基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5214517B2 JP5214517B2 JP2009084009A JP2009084009A JP5214517B2 JP 5214517 B2 JP5214517 B2 JP 5214517B2 JP 2009084009 A JP2009084009 A JP 2009084009A JP 2009084009 A JP2009084009 A JP 2009084009A JP 5214517 B2 JP5214517 B2 JP 5214517B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spacer
- glass substrate
- glass
- placing
- chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims description 187
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 110
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 131
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 43
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 16
- 238000003426 chemical strengthening reaction Methods 0.000 description 9
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
Images
Description
1a…………ガラス基材
2……………スペーサ
3……………本体
4……………積層体
5……………内孔
7a…………主表面
17…………化学強化層
18b………磁性層
21…………積層体形成装置
25…………ガラス載置部
27…………スペーサ載置部
29…………積層体載置部
37…………第1アクチュエータ
41…………第2アクチュエータ
47a………ガラスチャック
47b………スペーサチャック
49…………制御部
Claims (9)
- ガラス基材が載置されるガラス載置部と、
スペーサが載置されるスペーサ載置部と、
前記ガラス載置部と前記スペーサ載置部の間に設けられ、前記ガラス基材と前記スペーサが交互に積層された積層体を載置する積層体載置部と、
前記ガラス基材をチャックして前記積層体載置部に載置するガラス基材チャック手段と、
前記スペーサをチャックして前記積層体載置部に載置するスペーサチャック手段と、
前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段とが交互に前記ガラス基材と前記スペーサを前記積層体載置部に載置することにより前記積層体を形成可能な形成手段と、
を有し、
前記形成手段は、
前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段を、前記ガラス載置部、前記積層体載置部、前記スペーサ載置部のうち2つの上方に、一体となって移動させる第1の移動手段と、
前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段を、前記ガラス載置部、前記積層体載置部、前記スペーサ載置部のうち2つに向けて一体となって移動させる第2の移動手段と、
を有することを特徴とする積層体形成装置。 - 前記ガラス基材チャック手段および/または前記スペーサチャック手段は、前記ガラス基材および/または前記スペーサを吸着する手段を有することを特徴とする請求項1記載の積層体形成装置。
- 前記スペーサ載置部、前記積層体載置部、前記ガラス基材チャック手段、前記スペーサチャック手段は平面状の配置形状が一列になるように配置されていることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の積層体形成装置。
- 前記ガラス載置部と前記積層体載置部、および、前記積層体載置部と前記スペーサ載置部は、それぞれ等間隔に配置されていることを特徴とする請求項1記載の積層体形成装置。
- 前記ガラス基材チャック手段および前記スペーサチャック手段は、前記第2の移動手段によって一体となって移動可能であると共に、それぞれ独立に、前記ガラス載置部および前記スペーサ載置部に向けて移動可能であり、かつそれぞれ独立に、前記ガラス載置部および前記スペーサ載置部から離れる方向に向けて移動可能であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の積層体形成装置。
- 前記第1の移動手段を用いて、前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記ガラス載置部および前記積層体載置部の上方に移動させる制御手段(a)と、
前記第2の移動手段を用いて前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記ガラス載置部および前記積層体載置部に向けて移動させ、前記ガラス基材チャック手段を用いて前記ガラス基材をチャックする制御手段(b)と、
前記第2の移動手段を用いて前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記ガラス載置部および前記積層体載置部から離れる方向に向けて移動させる制御手段(c)と、
前記第1の移動手段を用いて、前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記積層体載置部および前記スペーサ載置部の上方に移動させる制御手段(d)と、
前記第2の移動手段を用いて前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記積層体載置部および前記スペーサ載置部に向けて移動させ、前記ガラス基材を前記積層体載置部に載置し、かつ前記スペーサチャック手段を用いて前記スペーサをチャックする制御手段(e)と、
前記第2の移動手段を用いて、前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記積層体載置部および前記スペーサ載置部から離れる方向に向けて移動させる制御手段(f)と、
前記制御手段(a)〜(f)をこの順番で繰り返す制御手段(g)と、
を有することを特徴とする請求項1記載の積層体形成装置。 - 前記制御手段(b)は、前記スペーサチャック手段が前記スペーサをチャックした状態では、前記第2の移動手段を用いて前記ガラス基材チャック手段と前記スペーサチャック手段をそれぞれ前記ガラス載置部および前記積層体載置部に向けて移動させ、前記ガラス基材チャック手段を用いて前記ガラス基材をチャックするとともに、前記スペーサを前記積層体載置部に載置する手段であることを特徴とする請求項6記載の積層体形成装置。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の積層体形成装置を用いたことを特徴とする積層体形成方法。
- 請求項8記載の積層体形成方法を工程に含むことを特徴とするガラス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009084009A JP5214517B2 (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 積層体形成装置、積層体形成方法及びガラス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009084009A JP5214517B2 (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 積層体形成装置、積層体形成方法及びガラス基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010238293A JP2010238293A (ja) | 2010-10-21 |
JP5214517B2 true JP5214517B2 (ja) | 2013-06-19 |
Family
ID=43092484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009084009A Active JP5214517B2 (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 積層体形成装置、積層体形成方法及びガラス基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5214517B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015172988A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板の積層用治具及び積層用治具を用いたガラス基板の積層方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001162510A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-06-19 | Hoya Corp | 研磨方法並びに磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体の製造方法 |
JP2007280451A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Taiyo:Kk | ハードディスク基板の洗浄・乾燥装置及びその基板搬送方法 |
-
2009
- 2009-03-31 JP JP2009084009A patent/JP5214517B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010238293A (ja) | 2010-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006079800A (ja) | 磁気記録媒体用シリコン基板及びその製造方法並びに磁気記録媒体 | |
JP2012099172A (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP2012169024A (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP2001162510A (ja) | 研磨方法並びに磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2006085887A (ja) | 磁気記録媒体用シリコン基板及びその製造方法並びに磁気記録媒体 | |
JP5284163B2 (ja) | 積層体の分離装置、積層体の分離方法およびガラス基板の製造方法 | |
JP2012089221A (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP5327275B2 (ja) | 端面研磨ブラシ及び磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP5214517B2 (ja) | 積層体形成装置、積層体形成方法及びガラス基板の製造方法 | |
JP5861451B2 (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法、および、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP6059732B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP6148345B2 (ja) | 非磁性基板の製造方法 | |
JP5226583B2 (ja) | 積層体形成装置、積層体形成方法及びガラス基板の製造方法 | |
JP5235118B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 | |
JP5350853B2 (ja) | ガラス基板の製造方法、及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5399115B2 (ja) | 研磨装置、ガラス基材の研磨方法及びガラス基板の製造方法 | |
CN105163908B (zh) | 托盘、磁盘用基板的制造方法以及磁盘的制造方法 | |
JP5067498B1 (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 | |
JP5345425B2 (ja) | ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2008059727A (ja) | ワークホルダ用治具、ワークホルダ、および磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP5191137B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP4878860B2 (ja) | 吸着支持具 | |
JP2010231841A (ja) | ガラス基板の製造方法、ガラス基板及び磁気記録媒体 | |
JP5265429B2 (ja) | ガラス基板の製造方法、及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2010238291A (ja) | 被研磨物の搬送装置、被研磨物の搬送方法、ガラス基板の製造方法、ガラス基板、磁気記録媒体及び被研磨物のチャック治具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120313 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121009 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5214517 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160308 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |