JP4878860B2 - 吸着支持具 - Google Patents
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Landscapes
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
1 …ガラス基板
10 …吸着支持具
11 …T字管
12a〜12c …通気部
13 …接続部
14 …解放穴
16 …接続ゴム
16a …円筒部
16b …フランジ部
17 …リング
18 …ベースホルダー
19 …ビス
1a …穴
20 …ガスケット
21 …バキュームベース
21a …吸着面
21b …開口穴
22 …吸引穴
23 …当接パッド
23a …穴
50 …下定盤
51 …上定盤
52 …研磨パッド
53 …キャリア
55 …太陽ギア
56 …インターナルギア
57 …スラリー
58 …ポンプ
60 …ホース
61 …プラグ
Claims (6)
- 磁気ディスク用ガラス基板の研磨工程において研磨装置からガラス基板を吸着して取り出すために用いられる吸着支持具であって、
吸引手段に接続される接続部と、
前記接続部に連通する通気部と、
前記通気部に連通し外気に通じる解放穴と、
前記ガラス基板に対向する吸着面と、
前記通気部に連通し前記吸着面に開口した吸引穴と、
少なくとも前記吸引穴の周囲を囲むように、前記吸着面に取り付けられた柔軟性を有する当接パッドとを備え、
前記解放穴をふさぐことにより前記吸引穴の負圧を増大して前記吸着面において前記ガラス基板を吸着することを特徴とする吸着支持具。 - 前記吸引穴は、前記吸着面に吸着される前記ガラス基板の中心穴よりも外側、かつ、同心円上に配置されていて、前記同心円の径が前記ガラス基板の外径と中心穴の径とのほぼ中間の径であることを特徴とする請求項1に記載の吸着支持具。
- 前記吸着面はほぼ円形であって、該吸着面の径は前記ガラス基板の径よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の吸着支持具。
- 前記当接パッドは、前記研磨装置に用いられる研磨パッドと同じ材質であることを特徴とする請求項1記載の吸着支持具。
- 前記当接パッドの硬さは、研磨工程の種類に応じて選択される前記研磨装置の研磨パッドの硬さと同じか又はやわらかいことを特徴とする請求項1記載の吸着支持具。
- 前記当接パッドは発泡ポリウレタンであって、Asker-C硬度が78〜88であることを特徴とする請求項1記載の吸着支持具。
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