JP3182758U - チャック治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャック治具5は、一対の主表面、側壁面、及び、側壁面と主表面の間に介在する面取面とを備え、内孔を有するガラス基板を保持する。このチャック治具には、円筒状の一対の係合部50が設けられ、把持部48の操作に応じて、前記一対の係合部間が拡がる開状態、又は前記一対の係合部間が狭まる閉状態となる。ガラス基板が基準面に配置されている状態で、上方からガラス基板の内孔に対して閉状態の前記一対の係合部を挿入し、内孔の中で前記一対の係合部を開状態としたときに、前記基準面に接するガラス基板の主表面と内孔の側壁面との間に介在する面取面と、前記一対の係合部50とが接触するように構成されている。
【選択図】図5
Description
さらに、記憶容量の一層の増大化のために、DFH(Dynamic Flying Height)機構を搭載した磁気ヘッドを用いて磁気記録面からの浮上距離を極めて短くすることにより、磁気ヘッドの記録再生素子と磁気ディスクの磁気記録層との間の磁気的スペーシングを低減して情報の記録再生の精度をより高める(S/N比を向上させる)ことも行われている。この場合においても、磁気ヘッドによる磁気記録情報の読み書きを長期に亘って安定して行うために、磁気ディスクの基板の表面凹凸は可能な限り小さくすることが求められる。
そこで、本考案は、研磨後のガラス基板をより確実に移送させることができるチャック治具を提供することを目的とする。
先ず、実施形態のチャック治具のチャック対象である磁気ディスク用ガラス基板について説明し、次いで、実施形態のチャック治具の使用例を示すために、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法について説明する。
実施形態のチャック治具のチャック対象である磁気ディスク用ガラス基板の材料として、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラスなどを用いることができる。特に、化学強化を施すことができ、また主表面の平坦度及び基板の強度において優れた磁気ディスク用ガラス基板を作製することができるという点で、アルミノシリケートガラスを好適に用いることができる。
図1(b)は、磁気ディスク用ガラス基板1の内周側の端部の断面を拡大して示す図である。図1(b)に示すように、磁気ディスク用ガラス基板1は、一対の主表面1pと、一対の主表面1pに対して直交する方向に沿って配置された側壁面1tと、一対の主表面1pと側壁面1tとの間に配置された一対の面取面1cとを有する。図示しないが、磁気ディスク用ガラス基板1の外周側の端部についても同様に、側壁面と面取面が形成されている。面取面1cの主表面1pに対する傾斜角度は、特に制限されないが、例えば45°である。面取面は、断面視において円弧状に形成されていてもよい。以下の説明では、側壁面と面取面を総称して端面ともいう。
なお、磁気ディスク用ガラス基板1の基となる、製造途中のガラス基板Gについても、外観及び内周側の端部について図1と同様の形態となっている。そこで、以下では便宜的に、ガラス基板Gの各部についても同一の符号(1p,1t,1c等)を付して説明する。
磁気ディスク用ガラス基板は、例えば以下のようにして製造される。
例えばフロート法によって板状ガラスを形成した後、この板状ガラスから、磁気ディスク用ガラス基板の元となる所定形状のガラス基板が切り出される。フロート法の代わりに、例えば上型と下型を用いたプレス成形によってガラス基板を成形してもよい。なお、ガラス基板は、これらの方法に限らず、ダウンドロー法、リドロー法、フュージョン法などの公知の製造方法を用いて製造することもできる。なお、ガラス基板の両主表面に対して、必要に応じて、アルミナ系遊離砥粒を用いたラッピング加工を行ってもよい。次いで、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、円盤状ガラス基板の中心部に内孔を形成し、円環状のガラス基板とする。なお、ダイヤモンドカッター等によるスクライビングによって、円環状のガラス基板を作製することもできる。
そして両面研削装置を用いてガラス基板の主表面に対して研削加工を行う。
次に、上記主表面研磨で使用される研磨装置について図2及び図3を参照して説明する。図2は、主表面研磨工程で使用される研磨装置(両面研磨装置)の分解斜視図である。図3は、主表面研磨工程で使用される研磨装置(両面研磨装置)の断面図である。
研磨装置において、下定盤60の上面および上定盤40の底面には、全体として円環形状の平板の研磨パッド10が取り付けられている。キャリア30は、外周部に設けられて太陽歯車61及び内歯車62に噛合する歯部31と、ガラス基板Gを収容し保持するための1または複数の孔部32とを有する。太陽歯車61、外縁に設けられた内歯車62および円板状のキャリア30は全体として、中心軸CTRを中心とする遊星歯車機構を構成する。円板状のキャリア30は、内周側で太陽歯車61に噛合し、かつ外周側で内歯車62に噛合するともに、ガラス基板G(ワーク)を1または複数を収容し保持する。下定盤60上では、キャリア30が遊星歯車として自転しながら公転し、ガラス基板Gと下定盤60とが相対的に移動させられる。例えば、太陽歯車61がCCW(反時計回り)の方向に回転すれば、キャリア30はCW(時計回り)の方向に回転し、内歯車62はCCWの方向に回転する。その結果、研磨パッド10とガラス基板Gの間に相対運動が生じる。同様にして、ガラス基板Gと上定盤40とを相対的に移動させてよい。
図4は、実施形態のチャック治具5を用いて研磨装置から磁気ディスク用ガラス基板を移送のためにチャックする作業状態を示す図である。図5は、実施形態のチャック治具5の閉状態と開状態の斜視図である。
図4(a)に示すように、ガラス基板Gの主表面研磨が終了すると、ガラス基板Gを次工程(例えば、化学強化工程)へ移送するために、作業者がチャック治具5を使用して、キャリア30の孔部32に収容されているガラス基板Gをチャックして取り出す。
図5に示すように、チャック治具5は、全体としてペンチのような形態をしており、作業者がチャック治具5を保持するための把持部48と、前端に設けられる一対の係合部50とを備えている。チャック治具5は、作業者による把持部48の操作に応じて、一対の係合部50間が拡がる開状態(図5の(b))、又は前記一対の係合部間が狭まる閉状態(図5の(a))となる。つまり、把持部48の操作がないときには一対の係合部50は開状態となっており、把持部48の操作がなされたときには一対の係合部50は閉状態となる。
図5及び図6に示すように、チャック治具5の一対の係合部50は、全体として円筒形状であるが、その先端50aは先にいくにつれて拡がるテーパー形態となっている。その拡がり度合いを示す図中の角度θ1は、先端50aが、研磨パッド10の表面に接するガラス基板Gの主表面1pと内孔の側壁面1tとの間に介在する面取面1cと接触する限り、任意の値に設定することができる。例えば、ガラス基板Gの面取面1cの主表面1pに対する傾斜角度が45°である場合には、角度θ1は、0<θ1<90°の範囲の任意の値とすることができ、より好ましくは、0<θ1<45°の範囲の値であり、θ1=45°であるのが最も好ましい。角度θ1が0<θ1<90°の範囲であれば、先端50aが面取面1cと研磨パッド10の間に入り込むため、先端50aによりガラス基板Gを下から引っ掛けることが可能となり、開状態のチャック治具5によってガラス基板Gをチャックして持ち上げたときにガラス基板Gの落下を防止することができる。
なお、図6では、先端50aが、ガラス基板Gの上側の主表面1pと内孔2の側壁面1tとの間に介在する面取面1cと接触する場合について示しているが、これは必須ではない。
図7に示した一対の係合部50は、ガラス基板Gの内周端部の側壁面1tとも面接触するが、開状態の一対の係合部50の先端50aと側壁面1tの間に生ずる摩擦力によって、ガラス基板Gがさらに落下し難くなっており、ガラス基板Gをより確実に持ち上げることができる。
なお、図7においても、先端50aが、ガラス基板Gの上側の主表面1pと内孔2の側壁面1tとの間に介在する面取面1cと接触する場合について示しているが、これは必須ではない。
1p…主表面
1t…側壁面
1c…面取面
2…内孔
5…チャック治具
48…把持部
50…一対の係合部
50a…先端
Claims (4)
- 一対の主表面、側壁面、及び、側壁面と主表面の間に介在する面取面とを備え、内孔を有するガラス基板を保持するためのチャック治具であって、
一対の係合部が設けられ、把持部の操作に応じて、前記一対の係合部間が拡がる開状態、又は前記一対の係合部間が狭まる閉状態となり、
ガラス基板が基準面に配置されている状態で、上方からガラス基板の内孔に対して閉状態の前記一対の係合部を挿入し、内孔の中で前記一対の係合部を開状態としたときに、前記基準面に接するガラス基板の主表面と内孔の側壁面との間に介在する面取面と、前記一対の係合部とが接触するように構成されている、
チャック治具。 - 前記一対の係合部は、前記基準面に接するガラス基板の主表面と内孔の側壁面との間に介在する面取面に対して、面接触する形状である、
請求項1に記載されたチャック治具。 - 前記一対の係合部は、前記基準面に接するガラス基板の主表面と内孔の側壁面との間に介在する面取面、及び内孔の側壁面の両面に対して、面接触する形状である、
請求項1に記載されたチャック治具。 - 前記把持部の操作がないときには前記一対の係合部は開状態となっており、前記把持部の操作がなされたときには前記一対の係合部は閉状態となる、
請求項1〜3のいずれかに記載されたチャック治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013000388U JP3182758U (ja) | 2013-01-28 | 2013-01-28 | チャック治具 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013000388U JP3182758U (ja) | 2013-01-28 | 2013-01-28 | チャック治具 |
Publications (1)
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JP3182758U true JP3182758U (ja) | 2013-04-11 |
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ID=50426806
Family Applications (1)
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JP2013000388U Expired - Lifetime JP3182758U (ja) | 2013-01-28 | 2013-01-28 | チャック治具 |
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JP (1) | JP3182758U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016122782A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | Hoya株式会社 | 基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及びインプリントモールドの製造方法 |
-
2013
- 2013-01-28 JP JP2013000388U patent/JP3182758U/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016122782A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | Hoya株式会社 | 基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及びインプリントモールドの製造方法 |
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