JP5297281B2 - 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims description 86
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 75
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 74
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 70
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 65
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 39
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 31
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 22
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 19
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 13
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 claims description 11
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 49
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 49
- 238000003426 chemical strengthening reaction Methods 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 13
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 8
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 101100432135 Caenorhabditis elegans lap-2 gene Proteins 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 4
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N sodium nitrate Chemical compound [Na+].[O-][N+]([O-])=O VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 235000010333 potassium nitrate Nutrition 0.000 description 2
- 239000004323 potassium nitrate Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000010344 sodium nitrate Nutrition 0.000 description 2
- 239000004317 sodium nitrate Substances 0.000 description 2
- 101100434846 Caenorhabditis elegans lap-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 1
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100216020 Mus musculus Anpep gene Proteins 0.000 description 1
- 229910000943 NiAl Inorganic materials 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N Raney nickel Chemical compound [Al].[Ni] NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000005407 aluminoborosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- JSKZWIGBDHYSGI-UCSXVCBISA-L disodium;(6r,7r)-7-[[(2e)-2-(2-amino-1,3-thiazol-4-yl)-2-[1-[2-(3,4-dihydroxybenzoyl)hydrazinyl]-2-methyl-1-oxopropan-2-yl]oxyiminoacetyl]amino]-3-[(2-carboxylato-5-methyl-[1,2,4]triazolo[1,5-a]pyrimidin-7-yl)sulfanylmethyl]-8-oxo-5-thia-1-azabicyclo[4.2. Chemical compound [Na+].[Na+].N([C@H]1[C@@H]2N(C1=O)C(=C(CS2)CSC1=CC(=NC2=NC(=NN21)C([O-])=O)C)C([O-])=O)C(=O)C(\C=1N=C(N)SC=1)=N\OC(C)(C)C(=O)NNC(=O)C1=CC=C(O)C(O)=C1 JSKZWIGBDHYSGI-UCSXVCBISA-L 0.000 description 1
- 238000003280 down draw process Methods 0.000 description 1
- 238000007518 final polishing process Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000007500 overflow downdraw method Methods 0.000 description 1
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910001414 potassium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
固定砥粒を用いて磁気ディスク用ガラス基板の主表面の平坦度を調整する表面研削加工を行う場合には、固定砥粒パッドを上下定盤に装着する。この固定砥粒パッドは、基材に研削砥粒を散在させてなるものである。例えば、固定砥粒パッドとしては、図1に示すようなダイヤモンドシート10が挙げられる。このダイヤモンドシート10は、基材であるシート11にダイヤモンド砥粒12を研削砥粒として備えたものである。基材としては、PET(ポリエチレンテレフタレート)などを用いることができる。
日立造船社製「真直度形状測定器HSSシリーズ」
ミツトヨ社製「微細輪郭形状測定器SV600シリーズ(感度1100倍)」
キーエンス社製「渦電流測定器 EX−110V(分解能0.4μm)」
(1)素材加工工程及び第1ラッピング工程
まず、素材加工工程においては、板状ガラスの表面をラッピング(研削)加工してガラス母材とし、このガラス母材を切断してガラスディスクを切り出す。板状ガラスとしては、様々な板状ガラスを用いることができる。この板状ガラスは、例えば、溶融ガラスを材料として、プレス法やフロート法、ダウンドロー法、リドロー法、フュージョン法など、公知の製造方法を用いて製造することができる。これらの方法うち、プレス法を用いれば、板状ガラスを廉価に製造することができる。
コアリング工程においては、例えば、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に内孔を形成し、円環状のガラス基板とする。チャンファリング工程においては、内周端面及び外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施す。
第2ラッピング工程においては、得られたガラス基板の両主表面について、第2ラッピング加工を行う。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができるようになる。本発明においては、図1に示すような固定砥粒パッドを用いて行う。この固定砥粒パッドは、新しく張り替えたとき、基板の平坦度が悪化したとき、パッドにウェーブが生じたときなどに修正処理がなされる。この修正処理においては、ジルコニアを含有する遊離砥粒を含む研磨液及び鋳鉄製リングを用いる。
端面研磨工程においては、ガラス基板の外周端面及び内周端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行う。このとき、研磨砥粒としては、例えば、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いることができる。この端面研磨工程により、ガラス基板の端面は、ナトリウムやカリウムの析出の発生を防止できる鏡面状態になる。
主表面研磨工程として、まず第1研磨工程を施す。第1研磨工程は、前述のラッピング工程で主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とする工程である。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行う。研磨剤としては、酸化セリウム砥粒を用いることができる。
次に、最終研磨工程として、第2研磨工程を施す。第2研磨工程は、主表面を鏡面状に仕上げることを目的とする工程である。第2研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、軟質発泡樹脂ポリッシャを用いて、主表面の鏡面研磨を行う。スラリーとしては、第1研磨工程で用いた酸化セリウム砥粒よりも微細なコロイダルシリカ砥粒(平均粒子径0.5μm以下)を用いることがきる。
化学強化工程においては、前述のラッピング工程及び研磨工程を終えたガラス基板に化学強化を施す。化学強化に用いる化学強化液としては、例えば、硝酸カリウム(60%)と硝酸ナトリウム(40%)の混合溶液などを用いることができる。化学強化においては、化学強化液を300℃〜400℃に加熱し、洗浄済みのガラス基板を200℃〜300℃に予熱し、化学強化溶液中に3時間〜4時間浸漬することによって行う。この浸漬の際には、ガラス基板の表面全体が化学強化されるようにするため、複数のガラス基板が端面で保持されるように、ホルダに収納した状態で行うことが好ましい。
(実施例)
まず、溶融させたアルミノシリケートガラスを上型、下型、胴型を用いたダイレクトプレスによりディスク形状に成型し、アモルファスの板状ガラス素材(ブランクス)を得た。この時点でブランクスの直径は66mmであった。次に、このブランクスの両主表面を第1ラッピング加工した後、円筒状のコアドリルを用いて、このガラス基板の中心部に穴部を形成して円環状のガラス基板に加工(コアリング)した。そして端部(外周端部及び内周端部)に面取り面を形成するチャンファリング加工(面取り面形成工程))を施して、直径2.5インチのガラス基板とした。
第2ラッピング加工において、ダイヤモンドシートの修正処理に、遊離砥粒を樹脂で固めてなる砥石を用いること以外実施例と同様にして磁気ディスク用ガラス基板を作製した。なお、第2ラッピング後の各ガラス基板の平坦度を実施例と同様にして測定したところ、平坦度ばらつきが4μm以上であった。このようにして得られた磁気ディスク用ガラス基板を用いて実施例と同様にして磁気ディスクを作製した。得られた磁気ディスクに対して、実施例と同様にして長期信頼性試験を行ったところ、30万回でヘッドクラッシュが発生した。これは、ダイヤモンドシートの修正処理に遊離砥粒を樹脂で固めてなる砥石を用いたので、研磨速度が速すぎ、ダイヤモンドシートの表面粗さを所望の値にすることができず、バッチ間で板厚のばらつきが大きくなり、これにより、バッチ間での平坦度のばらつきが大きくなったためであると考えられる。
11 シート
12 ダイヤモンド砥粒
Claims (4)
- 固定砥粒を有するシートを用いて磁気ディスク用ガラス基板の主表面の平坦度を調整する表面研削工程を備えた磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、前記表面研削工程において、ジルコニアを含有する遊離砥粒を含む研磨液及び鋳鉄製リングを用い、両面研磨機において面圧及び回転数を単調増加させ、一定に維持し、その後単調減少させて修正処理した前記シートを用いて表面研削を行うことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記遊離砥粒が#1000〜#4000の粒度範囲のものであり、前記研磨液における前記遊離砥粒の濃度が5重量%〜20重量%であることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記遊離砥粒の濃度に応じて前記修正処理の時間を変えることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記シートの修正量が、新品のシートの表面凹凸の差異の最大値をA(mm)とし、前記新品のシートの板厚ばらつきの最大値をB(mm)としたときに、(A+B)×2(mm)以上であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009154508A JP5297281B2 (ja) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009154508A JP5297281B2 (ja) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011014177A JP2011014177A (ja) | 2011-01-20 |
JP5297281B2 true JP5297281B2 (ja) | 2013-09-25 |
Family
ID=43592923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009154508A Active JP5297281B2 (ja) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5297281B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6126790B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2017-05-10 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
JP5869241B2 (ja) * | 2011-06-30 | 2016-02-24 | Hoya株式会社 | Hdd用ガラス基板、hdd用ガラス基板の製造方法、及びhdd用磁気記録媒体 |
JP2013040086A (ja) * | 2011-08-19 | 2013-02-28 | Asahi Glass Co Ltd | 強化ガラス板及びカバーガラスの製造方法並びにカバーガラス |
WO2013099087A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | コニカミノルタ株式会社 | Hdd用ガラス基板の製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000153458A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-06-06 | Speedfam-Ipec Co Ltd | 両面加工機における砥石定盤の面出し方法及び装置 |
JP2004025412A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-01-29 | Tosoh Corp | 研磨用定盤の面修正方法及びそれに用いる面修正材 |
JP4384591B2 (ja) * | 2004-12-08 | 2009-12-16 | 信越化学工業株式会社 | 平面研磨加工方法 |
JP2008000824A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Konica Minolta Opto Inc | 板状体の製造方法 |
JP2008142802A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Ohara Inc | 基板の製造方法および基板 |
JP5305698B2 (ja) * | 2007-03-09 | 2013-10-02 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク製造方法および磁気ディスク用ガラス基板 |
-
2009
- 2009-06-30 JP JP2009154508A patent/JP5297281B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011014177A (ja) | 2011-01-20 |
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A977 | Report on retrieval |
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