JP5702448B2 - 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5702448B2 JP5702448B2 JP2013195269A JP2013195269A JP5702448B2 JP 5702448 B2 JP5702448 B2 JP 5702448B2 JP 2013195269 A JP2013195269 A JP 2013195269A JP 2013195269 A JP2013195269 A JP 2013195269A JP 5702448 B2 JP5702448 B2 JP 5702448B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- polishing
- batches
- magnetic disk
- rotating brush
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 98
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims description 96
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 116
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 41
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 13
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 10
- 238000003426 chemical strengthening reaction Methods 0.000 description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 12
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 8
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 4
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N sodium nitrate Chemical compound [Na+].[O-][N+]([O-])=O VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000007518 final polishing process Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 235000010333 potassium nitrate Nutrition 0.000 description 2
- 239000004323 potassium nitrate Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000010344 sodium nitrate Nutrition 0.000 description 2
- 239000004317 sodium nitrate Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNAAJJQQZSMGQD-UHFFFAOYSA-N aluminum magnesium Chemical compound [Mg].[Al] SNAAJJQQZSMGQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000003280 down draw process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000005340 laminated glass Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 1
- 238000007500 overflow downdraw method Methods 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910001414 potassium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
また本発明では、前記端面研磨工程では、前記外周端部の面取り面の角度がバッチ間で一定になるように、前記複数の回転ブラシのそれぞれの先端形状を変えるべく、それぞれの回転ブラシの交換タイミングを決定し、決定されたタイミングで各回転ブラシを交換し、前記複数の回転ブラシのそれぞれの交換タイミングをずらすことが好ましい。
ここで、磁気ディスク用ガラス基板の材料としては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラスなどを用いることができる。特に、化学強化を施すことができ、また主表面の平坦性及び基板強度において優れた磁気ディスク用ガラス基板を提供することができるという点で、アルミノシリケートガラスを好ましく用いることができる。
(1)素材加工工程及び第1ラッピング工程
まず、素材加工工程においては、板状ガラスの表面をラッピング(研削)加工してガラス母材とし、このガラス母材を切断してガラスディスクを切り出す。板状ガラスとしては、様々な板状ガラスを用いることができる。この板状ガラスは、例えば、溶融ガラスを材料として、プレス法やフロート法、ダウンドロー法、リドロー法、フュージョン法など、公知の製造方法を用いて製造することができる。これらの方法のうち、プレス法を用いれば、板状ガラスを廉価に製造することができる。
コアリング工程においては、例えば、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に内孔を形成し、円環状のガラス基板とする。チャンファリング工程においては、内周端面及び外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施す。
第2ラッピング工程においては、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行う。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができるようになる。
端面研磨工程においては、ガラス基板の外周端部及び内周端部について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行う。このとき、研磨砥粒としては、例えば、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いることができる。この端面研磨工程により、ガラス基板の端面は、ナトリウムやカリウムの析出の発生を防止できる鏡面状態になる。
主表面研磨工程として、まず第1研磨工程を施す。第1研磨工程は、前述のラッピング工程で主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とする工程である。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行う。研磨剤としては、酸化セリウム砥粒を用いることができる。
次に、最終研磨工程として、第2研磨工程を施す。第2研磨工程は、主表面を鏡面状に仕上げることを目的とする工程である。第2研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、軟質発泡樹脂ポリッシャを用いて、主表面の鏡面研磨を行う。スラリーとしては、第1研磨工程で用いた酸化セリウム砥粒よりも微細な酸化セリウム砥粒(平均粒子径0.8μm)を用いることがきる。
化学強化工程においては、前述のラッピング工程及び研磨工程を終えたガラス基板に化学強化を施す。化学強化に用いる化学強化液としては、例えば、硝酸カリウム(60%)と硝酸ナトリウム(40%)の混合溶液などを用いることができる。化学強化においては、化学強化液を300℃〜400℃に加熱し、洗浄済みのガラス基板を200℃〜300℃に予熱し、化学強化溶液中に3時間〜4時間浸漬することによって行う。この浸漬の際には、ガラス基板の表面全体が化学強化されるようにするため、複数のガラス基板が端面で保持されるように、ホルダに収納した状態で行うことが好ましい。なお、化学強化に用いる混合溶液における塩の配合比については、塩の種類により適宜変更して用いることができる。
(実施例)
まず、溶融させたアルミノシリケートガラスを上型、下型、胴型を用いたダイレクトプレスによりディスク形状に成型し、アモルファスの板状ガラス素材(ブランクス)を得た。この時点でブランクスの直径は66mmであった。次に、このブランクスの両主表面を第1ラッピング加工した後、円筒状のコアドリルを用いて、このガラス基板の中心部に穴部を形成して円環状のガラス基板に加工(コアリング)した。そして端部(外周端部及び内周端部)に面取り面を形成するチャンファリング加工(面取り面形成工程))を施して、直径2.5インチのガラス基板とした。その後、このガラス基板に第2ラッピング加工を行った。
端面研磨工程において、一対の回転ブラシの交換時期(50バッチ)を揃えること以外は実施例と同様にして磁気ディスク用ガラス基板を製造した。この磁気ディスク用ガラス基板について、実施例と同様にして1バッチ目と100バッチ目の外周端面の算術平均粗さを求めた。その結果、1バッチ目の算術平均粗さはRa0.33μmであり、100バッチ目の算術平均粗さはRa0.08μmであり、処理バッチ間での品質ばらつきが非常に大きかった。また、ブラシの使用初期と使用末期との間の面取り面の角度の差を調べたところ2.932度で大きかった。これは、一対の回転ブラシの交換時期(50バッチ)が揃い、使用初期と使用末期との間の研磨能力の差が大きく、ガラス基板の端面に作用する力のばらつきを小さくできないからであると考えられる。
2,2A,2B,2C,2D 回転ブラシ
3 ノズル
4 回収槽
5 第1タンク
6 研磨用スラリー
7,10 ポンプ
8 濾過装置
9 第2タンク
Claims (5)
- 外周端部に面取り面を有する円環状の磁気ディスク用ガラス基板の前記外周端部に当接するようにして配設された回転ブラシに遊離砥粒を供給し、前記回転ブラシと前記遊離砥粒とを用いて研磨を行うブラシ研磨方法により鏡面研磨を行う端面研磨工程を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、前記端面研磨工程では、前記回転ブラシとして、使用されたバッチ数に対応して毛材の先端形状が異なっている複数の回転ブラシを同時に使用することによって、前記面取り面の角度を調整し、研磨後の前記面取り面の角度のバッチ間での変動幅を小さくすることを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記端面研磨工程では、前記外周端部の面取り面の角度がバッチ間で一定になるように、前記複数の回転ブラシのそれぞれの先端形状を変えるべく、それぞれの回転ブラシの交換タイミングを決定し、決定されたタイミングで各回転ブラシを交換し、前記複数の回転ブラシのそれぞれの交換タイミングをずらすことを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 特定の回転ブラシが寿命使用済バッチ数の約半分の使用済バッチ数のときに、他の回転ブラシを新規のものに交換することを特徴とする請求項2記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記複数の回転ブラシが、前記磁気ディスク用ガラス基板を挟んで配設された一対の回転ブラシであることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 端面研磨工程前の面取り面の角度と、端面研磨工程後の面取り面の角度が実質的に等しいこと特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013195269A JP5702448B2 (ja) | 2008-09-24 | 2013-09-20 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008244227 | 2008-09-24 | ||
JP2008244227 | 2008-09-24 | ||
JP2013195269A JP5702448B2 (ja) | 2008-09-24 | 2013-09-20 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009066144A Division JP2010102811A (ja) | 2008-09-24 | 2009-03-18 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013254556A JP2013254556A (ja) | 2013-12-19 |
JP5702448B2 true JP5702448B2 (ja) | 2015-04-15 |
Family
ID=42293310
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009066144A Pending JP2010102811A (ja) | 2008-09-24 | 2009-03-18 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP2013195269A Active JP5702448B2 (ja) | 2008-09-24 | 2013-09-20 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009066144A Pending JP2010102811A (ja) | 2008-09-24 | 2009-03-18 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP2010102811A (ja) |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3151957B2 (ja) * | 1992-10-07 | 2001-04-03 | 松下電器産業株式会社 | 化学反応装置とその反応制御方法、薬液廃棄方法、および薬液供給方法 |
JP3160841B2 (ja) * | 1997-08-05 | 2001-04-25 | 株式会社八紘エンジニアリング | 円環状ディスクのブラシ研磨方法及びその装置 |
JPH11285671A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |
JP2001195731A (ja) * | 2000-01-13 | 2001-07-19 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 板状ワークの洗浄装置 |
JP2004001152A (ja) * | 2002-06-03 | 2004-01-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ドレッサ、ドレッシング方法、研磨装置、及び研磨方法 |
JP2004174695A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Hoya Corp | 研磨方法及び研磨装置並びに磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP4936040B2 (ja) * | 2005-08-26 | 2012-05-23 | 株式会社東京精密 | パッドドレッシング方法 |
JP2007098484A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法 |
JP2007118172A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-05-17 | Hoya Glass Disk Thailand Ltd | 研磨装置、研磨方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法 |
JP4817812B2 (ja) * | 2005-11-14 | 2011-11-16 | 文化シヤッター株式会社 | 開閉体装置 |
JP2008168214A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク洗浄ブラシ、ディスク洗浄機構およびディスク洗浄装置 |
-
2009
- 2009-03-18 JP JP2009066144A patent/JP2010102811A/ja active Pending
-
2013
- 2013-09-20 JP JP2013195269A patent/JP5702448B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013254556A (ja) | 2013-12-19 |
JP2010102811A (ja) | 2010-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5297549B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 | |
JP5305698B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク製造方法および磁気ディスク用ガラス基板 | |
JP2004243445A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方法並びにそれに使用する研磨パッド | |
JP2010257562A (ja) | 磁気ディスク用基板及びその製造方法 | |
WO2004058450A1 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法と研磨装置及び情報記録媒体用ガラス基板 | |
JP2007118172A (ja) | 研磨装置、研磨方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法 | |
US20100247978A1 (en) | Method of manufacturing a substrate for a magnetic disk | |
JP2010080025A (ja) | 磁気ディスク用基板及び磁気ディスク | |
JP5361185B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP5297281B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP2007118173A (ja) | 研磨用ブラシ、ブラシ調整用治具、および研磨用ブラシの調整方法 | |
JP2010079948A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP2009154232A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP5350853B2 (ja) | ガラス基板の製造方法、及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP3156265U (ja) | 研磨用ブラシ、ブラシ調整用治具、磁気ディスク用ガラス基板、および磁気ディスク | |
JP5702448B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP5461936B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP5265429B2 (ja) | ガラス基板の製造方法、及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5345425B2 (ja) | ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2010238310A (ja) | 磁気ディスク用基板の製造方法 | |
JP5778165B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法および情報記録媒体の製造方法 | |
JP2010080026A (ja) | 磁気ディスク用基板の製造方法 | |
JP5483530B2 (ja) | 磁気ディスク用基板の製造方法 | |
JP5701938B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP2010238303A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141001 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5702448 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |