JP2007098484A - 磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円盤状のガラス基板1を積層して円柱を構成し、該ガラス基板1の端面に回転ブラシ2を接触させ、研磨液15を供給しながらガラス基板1と回転ブラシ2を各々平行な軸心で同方向に回転させてガラス基板1の端面の研磨を行う工程を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、研磨液温度制御手段33を備え、研磨液15の温度を調節しながら研磨を行うことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
以下に、本発明を適用した磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法について実施例を説明する。
まず、溶融させたアルミノシリケートガラスを上型、下型、胴型を用いたダイレクトプレスによりディスク形状に成型し、アモルファスの板状ガラスを得た。なお、アルミノシリケートガラスとしては、化学強化用のガラスを使用した。得られたディスク状の板状ガラスは、直径が96mm、板厚が1.8mmであった。この場合、ダイレクトプレス以外に、ダウンドロー法やフロート法で形成したシートガラスから研削砥石で切り出して円盤状の磁気ディスク用ガラス基板を得てもよい。なお、アルミノシリケートガラスとしては、SiO2:58〜75重量%、Al2O3:5〜23重量%、Li2O:3〜10重量%、Na2O:4〜13重量%を主成分として含有する化学強化ガラスを使用した。
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス母材を切断し、このガラス母材から、直径29mmのガラス基板を切り出した。ガラス母材の直径は96mmであり、1枚のガラス母材から、6枚のガラス基板を採取することができた。
次に、ガラス基板の外周端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行った。このとき、研磨砥粒としては、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いた。ここでの鏡面研磨処理は、上述の図1および図2に示した研磨装置およびスラリー循環装置を用いて行い、冷却機33によって略25℃に温度調節されたスラリー15を供給しながら研磨を行った。また回転ブラシ2の回転速度は略1100rpmとし、回転ブラシ2のブラシ毛にはナイロン繊維(66ナイロン)を用いた。
図3は実施例の評価を説明する図であって、図3(a)はブラシ使用時間と研磨レートの関係を説明する図、図3(b)は基板主表面の研磨砥粒残留数を比較する図である。比較対象となる従来の構成では、冷却を行っていないために、研磨を継続することによりスラリー15は約58℃まで温度上昇していた。
次に、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行った。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができるようになる。
主表面研磨工程として、まず第1研磨工程を施した。この第1研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とするものである。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行った。研磨剤としては、酸化セリウム砥粒を用いた。
次に、前述のラッピング工程および研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施した。化学強化は、硝酸カリウム(60%)と硝酸ナトリウム(40%)を混合した化学強化溶液を用意し、この化学強化溶液を400℃に加熱しておくとともに、洗浄済みのガラス基板を300℃に予熱し、化学強化溶液中に約3時間浸漬することによって行った。この浸漬の際には、ガラス基板の表面全体が化学強化されるようにするため、複数のガラス基板が端面で保持されるように、ホルダーに収納した状態で行った。
テープ式のテクスチャー装置を用いて、研磨、および円周状テクスチャー処理を施した。テクスチャー用テープには織物タイプのテープを、硬質研磨剤には平均粒径0.125μmの多結晶ダイヤモンドが分散剤・潤滑剤(グリセリン)に溶かしてあるスラリーを用いて行った。このテクスチャー処理の後に、前記研磨剤のダイヤモンドスラリーと分散剤(潤滑剤)を洗い流すため、超純水シャワーによる前洗浄を5秒間行った。
次に、テクスチャーを形成したガラスディスクの精密洗浄を行った。これはヘッドクラッシュやサーマルアスペリティ障害の原因となる研磨剤残渣や外来の鉄系コンタミなどを除去し、表面が平滑で清浄なガラス基板を得るためのものである。この精密洗浄工程は以下の一連の洗浄工程を含む。
上述した工程を経て精密洗浄されたガラス基板の両面に、枚葉式のスパッタリング装置を用いて、シード層、Cr下地層、CrMo下地層、CoPtCrTa磁性層、水素化カーボン保護層を成膜し、ディップ法によりパーフルオロポリエーテル潤滑層を形成して磁気ディスクを作製した。
2 …回転ブラシ
4 …ノズル
10 …外周端面
12 …面取部
12a …溝の奥
15 …スラリー
23 …毛
28 …回収槽
29 …第1タンク
30 …ポンプ
31 …濾過装置
32 …第2タンク
33 …冷却機
34 …冷却機本体
35 …冷却コイル
36 …ポンプ
Claims (6)
- 円盤状のガラス基板を積層して円柱を構成し、該ガラス基板の端面に回転ブラシを接触させ、研磨液を供給しながら前記ガラス基板と前記回転ブラシを各々平行な軸心で同方向に回転させて前記ガラス基板の端面の研磨を行う工程を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
研磨液温度制御手段を備え、前記研磨液の温度を調節しながら研磨を行うことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記回転ブラシは、前記ガラス基板の外周端面または内周端面に接触させることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記研磨液を循環して使用することを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記研磨液温度制御手段による研磨液の温度制御を25℃から35℃の範囲内とすることを特徴とする請求項1に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記ガラス基板は、アルミノシリケートガラスからなることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法により得られたガラス基板の表面に、少なくとも磁性層を形成することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
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