JP2011248984A - 磁気記録媒体用ガラス基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、磁気記録媒体用ガラス基板の両主平面を研磨する研磨工程において、ガラス基板の両主平面を同時に研磨したとき、前記ガラス基板を研磨する前の研磨液の温度Ts1から、ガラス基板を研磨した後の研磨液の温度Ts2を差し引いた、研磨液温度差ΔTs(=Ts1−Ts2)が−3℃〜0℃であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。
【選択図】図7
Description
外径65mm、内径20mm、板厚0.635mmの磁気記録媒体用ガラス基板用に、フロート法で成形されたSiO2を主成分とするガラス基板をドーナツ状円形ガラス基板(中央部に円孔を有する円盤形状ガラス基板)に加工した。
外周端面研磨後のガラス基板の内周側面と内周面取り部を研磨ブラシと酸化セリウム砥粒を用いて研磨し、内周側面と内周面取り部のキズを除去し、鏡面となるように内周端面を研磨加工した。内周端面研磨を行ったガラス基板は、アルカリ性洗剤を用いたスクラブ洗浄、アルカリ性洗剤溶液に浸漬した状態での超音波洗浄により、砥粒を洗浄除去した。
端面加工後のガラス基板は、研磨具として硬質ウレタン製の研磨パッドと酸化セリウム砥粒を含有する研磨液(平均粒子直径、以下、平均粒径と略す、約1.3μmの酸化セリウムを主成分した研磨液組成物)を用いて、両面研磨装置により上下主平面を1次研磨した。
本発明の研磨方法を適用した研磨工程により、形状特性(平行度、同一ロット内の板厚偏差)に優れる磁気記録媒体用ガラス基板を得られることを確認した。
A1とA6:磁気記録媒体用ガラス基板の外径側領域の板厚、A2とA5:磁気記録媒体用ガラス基板の中間領域の板厚、A3とA4:磁気記録媒体用ガラス基板の内径側領域の板厚、
20:両面研磨装置、30:上定盤の研磨面、40:下定盤の研磨面、50:キャリア、201:上定盤、202:下定盤、203:サンギア、204:インターナルギア、
tp1:上定盤の内周端側の表面温度測定領域、tp2:上定盤の外周端側の表面温度測定領域、
D:定盤面内の任意の位置における上定盤の研磨面30と下定盤の研磨面40との距離、D1:内周端側における上定盤の研磨面30と下定盤の研磨面40との距離、D2:外周端側における上定盤の研磨面30と下定盤の研磨面40との距離、
501:ガラス基板保持穴、501A:内径側保持穴、501B:中間部保持穴、501C:外径側保持穴。
Claims (10)
- 板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の主平面の研削工程と、前記主平面の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法において、
前記研磨工程は、両面研磨装置の上定盤と下定盤の対向する面にそれぞれ研磨パッドを装着し、上定盤に装着した研磨パッドの研磨面と下定盤に装着した研磨パッドの研磨面との間に板形状を有するガラス基板を保持したキャリアを配置し、ガラス基板の両主平面に上定盤の研磨パッドの研磨面と下定盤の研磨パッドの研磨面を互いに押圧させた状態で、ガラス基板の主平面に研磨液を供給するとともに、ガラス基板と研磨面を相対的に動かして、ガラス基板の両主平面を同時に研磨するものであり、
前記ガラス基板を研磨する前の研磨液の温度Ts1から、ガラス基板を研磨した後の研磨液の温度Ts2を差し引いた、研磨液温度差ΔTs(=Ts1−Ts2)が−3℃〜0℃であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。 - 前記上定盤及び前記下定盤は、内周端と外周端のある円盤形状を有し、
ガラス基板の両主平面を同時に研磨したときの上定盤の表面温度tpは、上定盤の内周端側で測定した表面温度tp1と外周端側で測定した表面温度tp2との差Δtp(tp1−tp2)の絶対値が3℃以下である請求項1に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。 - 前記上定盤の内周端側の表面温度tp1と外周端側の表面温度tp2との差Δtp(tp1−tp2)は0〜+3℃である請求項2に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法で製造した磁気記録媒体用ガラス基板であって、同一ロットで研磨加工されたガラス基板間の板厚偏差が、1.0μm以下である磁気記録媒体用ガラス基板。
- 前記磁気記録媒体用ガラス基板の記録再生領域の中間部において、0°、90°、180°、270°の計4箇所の位置で、マイクロメータまたはレーザ変位計を用いて測定した板厚の最大板厚値と最小板厚値の差(同一ガラス基板面内の板厚偏差)から求めた平行度aが0.4μm以下である請求項1〜3のいずれかに記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法で製造した磁気記録媒体用ガラス基板。
- 同一ロットで研磨加工された磁気記録媒体用ガラス基板間の前記平行度aの偏差が0.4μm以下である請求項5に記載の磁気記録媒体用ガラス基板。
- レーザ干渉計を用いて測定した、前記磁気記録媒体用ガラス基板の少なくとも記録再生領域における両主平面の平行度bが0.3μm以下である請求項1〜3のいずれかに記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法で製造した磁気記録媒体用ガラス基板。
- 同一ロットで研磨加工された磁気記録媒体用ガラス基板間の前記平行度bの偏差が、0.2μm以下である請求項7に記載の磁気記録媒体用ガラス基板。
- 中心部に円孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板であって、前記磁気記録媒体用ガラス基板は内周側面と外周側面と両主平面とを有し、磁気記録媒体用ガラス基板の記録再生領域の中間部において、0°、90°、180°、270°の計4箇所の位置で測定した板厚の最大板厚値と最小板厚値の差(同一ガラス基板面内の板厚偏差)である平行度aが、0.4μm以下である磁気記録媒体用ガラス基板。
- 中心部に円孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板であって、前記磁気記録媒体用ガラス基板は内周側面と外周側面と両主平面とを有し、レーザ干渉計を用いて測定した、磁気記録媒体用ガラス基板の少なくとも記録再生領域における前記両主平面の平行度bが、0.3μm以下であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板。
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