JP5032580B2 - トリクロロシランの製造方法 - Google Patents
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Description
テトラクロロシラン25モル%および水素75モル%からなる気体混合物を、温度950℃および第1表に記載されている圧力段階および高温反応器中での滞留時間1秒で、それぞれ反応させた。その際、熱交換器ユニット中の気体混合物を、反応器から排出される高温ガスにより予熱し、かつ最終的に950℃の温度で高温反応器に通過させた。反応器から排出された生成物ガスの組成物、つまりSiHCl3(TCS)とSiCl4(STC)とからなる混合物を、ガスクロマトグラフィーにより測定した。測定値は第1表に記載されている。
テトラクロロシラン25%および水素75%からなる気体混合物を、熱交換器ユニット中で反応器から排出される高温ガスによって予熱し、かつ最終的に950℃の温度で高温反応器に通過させた。反応器中での滞留時間は、50ミリ秒、もしくは500ミリ秒、もしくは5秒であった。反応器からの冷却時間は一定して約1秒に維持した。圧力は、第2表に記載されているように変更した。反応器から排出される生成物ガスの組成物、つまりSiHCl3およびSiCl4の混合物を、ガスクロマトグラフィーにより測定した。測定値は第2表に記載されている。
Claims (6)
- テトラクロロシランを含有する原料ガスと水素を含有する原料ガスとの原料ガス混合物を900℃〜1300℃の温度で反応させて、トリクロロシランを含有する生成物混合物を製造する方法において、該反応を、前記原料ガス混合物の超臨界圧である12.9〜24バールで行うことを特徴とする、トリクロロシランの製造方法。
- 該反応を、14〜24バールで行うことを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記原料ガス混合物において、テトラクロロシランと水素とが、1:1〜1:3のモル比で存在していることを特徴とする、請求項1または2記載の方法。
- 前記原料ガス混合物が反応帯域中に10〜0.1秒滞留することを特徴とする、請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。
- 超臨界範囲の原料流の系統圧力および臨界未満範囲の生成物流の系統圧力で実施することを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。
- 臨界未満範囲の生成物流の系統圧力を、反応帯域後における放圧によって行うことを特徴とする、請求項5記載の方法。
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