JPS6081010A - トリクロルシランの製造法 - Google Patents
トリクロルシランの製造法Info
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- JPS6081010A JPS6081010A JP18997283A JP18997283A JPS6081010A JP S6081010 A JPS6081010 A JP S6081010A JP 18997283 A JP18997283 A JP 18997283A JP 18997283 A JP18997283 A JP 18997283A JP S6081010 A JPS6081010 A JP S6081010A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は四塩化けい素（ｓｉｃＬｔ）と水素（Ｈ２）と
からトリクロルシラン（Ｓ１ａｃｚ３）を製造する方法
に関する。
からトリクロルシラン（Ｓ１ａｃｚ３）を製造する方法
に関する。
５ｉＨＣＪ、３から筒純度シリコンを製造する場合シリ
コンとほぼ等モルのＳ ｉ （Ｊ ４が副生ずる。
コンとほぼ等モルのＳ ｉ （Ｊ ４が副生ずる。
この副生５ｊ（Ｊ、はアエロジル等の原料として、また
５ｉＨＣ！２３に再転換してシリコンとするなどに再利
用することが５ｉＨＣＪ３の生産コストを低ｄｉるため
に必要である。Ｓ ｉ ＣＪ ４がら５ｉＨＣ２３を製
造する方法としてはいろいろ提案されている。
５ｉＨＣ！２３に再転換してシリコンとするなどに再利
用することが５ｉＨＣＪ３の生産コストを低ｄｉるため
に必要である。Ｓ ｉ ＣＪ ４がら５ｉＨＣ２３を製
造する方法としてはいろいろ提案されている。
例えば最高１２００℃の温度において５ｉＣＪ−、とＨ
（Ｊと平衡にある５ｉＣＪ４とＨ２とノモ／Ｌ／比１：
３〜１：１５の混合ガスを急冷する方法がある。
（Ｊと平衡にある５ｉＣＪ４とＨ２とノモ／Ｌ／比１：
３〜１：１５の混合ガスを急冷する方法がある。
（特公昭５７１８５２４号）
この方法は次式（１）で示される反応の平衡が充分に（
１）式の右側に傾むく温度で反応させ平衡を達成するよ
うにし、その平衡状態の混合物を直ちに急冷して平衡を
凍結させ５ｉ（Ｊ３の収率（原料Ｓ ｉ Ｃｌ）、４に
対して生成したＳ ｉ ＣＬ ３の割合）を向上させる
ようにしたものである。
１）式の右側に傾むく温度で反応させ平衡を達成するよ
うにし、その平衡状態の混合物を直ちに急冷して平衡を
凍結させ５ｉ（Ｊ３の収率（原料Ｓ ｉ Ｃｌ）、４に
対して生成したＳ ｉ ＣＬ ３の割合）を向上させる
ようにしたものである。
５ｉＣＪ４ ＋ Ｈ２： ５ｉＨ（Ｊ３ ＋ＨＣＪＬ・
・（１）しかしながら、この方法の反応温度が最＾１２
００℃と低いため平衡値はそれ程高くなく、またＨ２の
使用量が多いため原料ｓｉｃノ４の＃度が小さく ５ｉ
Ｈ（Ｊ３の収量（ＳｉＨ（Ｊ３の生成に対するモル数）
が小さいという欠点があった。
・（１）しかしながら、この方法の反応温度が最＾１２
００℃と低いため平衡値はそれ程高くなく、またＨ２の
使用量が多いため原料ｓｉｃノ４の＃度が小さく ５ｉ
Ｈ（Ｊ３の収量（ＳｉＨ（Ｊ３の生成に対するモル数）
が小さいという欠点があった。
本発明はこれらの欠点を解決することを目的とし温度１
２００℃をこえ１４００°Ｃ以下に加熱した反応器にＳ
ｉ ＣＪ、４とＨ２とのモル比が１＝１〜１：２の混
合ガスを導入して反応させ、熱平衡状態としその平衡状
態の混合物である５ｉＨ（Ｊ３とＨＣＪとのモル比が１
：１〜１：４であり、さらに５ｉＣＪ４とＨ２等を含有
する混合物を１秒以内に６００°Ｃ以下に急冷して反応
を凍結させることにより５ｉＨＣＪ、３の収率及び収量
を向上させる５ｉＨ（Ｊ３の製造法を提供しようとする
ものである。
２００℃をこえ１４００°Ｃ以下に加熱した反応器にＳ
ｉ ＣＪ、４とＨ２とのモル比が１＝１〜１：２の混
合ガスを導入して反応させ、熱平衡状態としその平衡状
態の混合物である５ｉＨ（Ｊ３とＨＣＪとのモル比が１
：１〜１：４であり、さらに５ｉＣＪ４とＨ２等を含有
する混合物を１秒以内に６００°Ｃ以下に急冷して反応
を凍結させることにより５ｉＨＣＪ、３の収率及び収量
を向上させる５ｉＨ（Ｊ３の製造法を提供しようとする
ものである。
すなわち、本発明は四塩化けい素と水素とを、出発混合
物中の四塩化けい素：水素のモル比を１：１〜１：２と
して、１２００℃をこえ１４００’０の範囲内の温度で
反応させ、１２００℃をこえ１４００℃の範囲内の温度
で、四塩化けい素：水素のモル比が１＝１〜１：４の状
態にある平衡状態の混合物を取り出し、１秒未満の時間
内に６００℃以下まで急冷して、トリクロルシランを得
ることを特徴とするトリクロルシランの製造法である。
物中の四塩化けい素：水素のモル比を１：１〜１：２と
して、１２００℃をこえ１４００’０の範囲内の温度で
反応させ、１２００℃をこえ１４００℃の範囲内の温度
で、四塩化けい素：水素のモル比が１＝１〜１：４の状
態にある平衡状態の混合物を取り出し、１秒未満の時間
内に６００℃以下まで急冷して、トリクロルシランを得
ることを特徴とするトリクロルシランの製造法である。
以下さらに本発明の詳細な説明する。
本発明は８ｉＣ４４： Ｈ２のモル比が１＝１〜１：２
である出発混合物を１２００℃をこえ１４００°Ｃの温
匿範囲で反応させ５ｉ（Ｊ４ ： Ｈ２のモル比が１：
１〜１：４好ましくは１ ： １，１〜１ ： ３．８
である混合物を取り出し管を介して取り出し直ちに温度
６００℃以下に急冷することを特徴とする５ｉＨＣＪ、
３の製造法である。
である出発混合物を１２００℃をこえ１４００°Ｃの温
匿範囲で反応させ５ｉ（Ｊ４ ： Ｈ２のモル比が１：
１〜１：４好ましくは１ ： １，１〜１ ： ３．８
である混合物を取り出し管を介して取り出し直ちに温度
６００℃以下に急冷することを特徴とする５ｉＨＣＪ、
３の製造法である。
さらに説明すると、本発明は温度１２００°Ｇをこえ１
４００°Ｃ好ましくは１２５０〜１６５０°Ｃの範囲に
保たれた黒鉛、炭化けい素等の駒熱性耐蝕材料から構成
された反応器にＳ ｉ ＣＪ、４とＨ２のモル比が１＝
１〜１：２の混合物を供給し反応させる。
４００°Ｃ好ましくは１２５０〜１６５０°Ｃの範囲に
保たれた黒鉛、炭化けい素等の駒熱性耐蝕材料から構成
された反応器にＳ ｉ ＣＪ、４とＨ２のモル比が１＝
１〜１：２の混合物を供給し反応させる。
なお、反応器に５ｉＣｊ！４とＨ２の混合物を供給する
速度が余り速すぎると目的とする熱平衡状態を達成する
ことはできず、５＜”ｊ！燈ヘス痕度を保つことはでき
ない。従って反応器内の滞留時間が１へ６０秒程度であ
るような速度で供給することが好ましい。
速度が余り速すぎると目的とする熱平衡状態を達成する
ことはできず、５＜”ｊ！燈ヘス痕度を保つことはでき
ない。従って反応器内の滞留時間が１へ６０秒程度であ
るような速度で供給することが好ましい。
このように反応器内の滞留時間を前記のように保持させ
る方法としては、例えば活性炭、炭化けい素等の充填物
を存在させてもよい。
る方法としては、例えば活性炭、炭化けい素等の充填物
を存在させてもよい。
反応器内において所定温度で熱平衡状態に達した混合物
は取り出し管、例えば毛細管やラバール管を介して６０
０℃以下の温度に急冷し、熱平衡状態のまま凍結する。
は取り出し管、例えば毛細管やラバール管を介して６０
０℃以下の温度に急冷し、熱平衡状態のまま凍結する。
取り出し管を通過した混合物はさらに５ｉＣＬ４の液と
接触させて冷却することが好ましい。
接触させて冷却することが好ましい。
次に本発明の構成要件の限定理由について説明する。
出発混合物中の５ｉｌｌＪ４ ： Ｈ２のモル比を１＝
１〜に２き限定したのはＨ２のモル比が多くなると熱負
荷が犬となるので不経済となるからであり、Ｓ ｉ Ｃ
Ｊ 、とＨ２とのモル比が１〜２未満であるとＨ２が多
いため（１）式は右に傾くが同時に金属シリコンが反応
管及び取り出し管内に析出して装置の閉塞につながるた
めである。さらに、モル比が１：２未満であると収率は
大きくなるが、５ｉ（Ｊ４のｇＱ度が少なくなるために
、収量が少なくなると同時に、取扱量が多くなり装置が
大型化するので好ましくない。また１：１を越えるき逆
に収率が小さくなる。即ちモル比が１＝２〜１：１の範
囲でトリクロルシランの収量が最大となる。
１〜に２き限定したのはＨ２のモル比が多くなると熱負
荷が犬となるので不経済となるからであり、Ｓ ｉ Ｃ
Ｊ 、とＨ２とのモル比が１〜２未満であるとＨ２が多
いため（１）式は右に傾くが同時に金属シリコンが反応
管及び取り出し管内に析出して装置の閉塞につながるた
めである。さらに、モル比が１：２未満であると収率は
大きくなるが、５ｉ（Ｊ４のｇＱ度が少なくなるために
、収量が少なくなると同時に、取扱量が多くなり装置が
大型化するので好ましくない。また１：１を越えるき逆
に収率が小さくなる。即ちモル比が１＝２〜１：１の範
囲でトリクロルシランの収量が最大となる。
第１図に８１（Ｊ４ ／ Ｈ２のモル比と平衡収率との
関係（計算値）を示す。
関係（計算値）を示す。
次に反応温度を１２００℃をこえ１４００℃と限定した
理由は１２００℃をこえると二塩化けい素（８ｉＣＬ２
）と塩化水素が多くなり、これを急冷することにより（
１）式の他に、式（２）の反応が何らかの形で寄与し、
全体としてＳ ｉ ＣＬ ３の収率が向上する。
理由は１２００℃をこえると二塩化けい素（８ｉＣＬ２
）と塩化水素が多くなり、これを急冷することにより（
１）式の他に、式（２）の反応が何らかの形で寄与し、
全体としてＳ ｉ ＣＬ ３の収率が向上する。
Ｓ ｉ Ｃ２２＋ ＨＣＪ→５ｉＨ（４３・・・・・・
・・ （２）また出発混合物の５ｉＣＪ４ ： Ｈ２の
モル比が同じであれば温度が高い方が平衡転換率が高く
本発明の出発混合物では１２００°Ｃ伺近から急速に平
衡転換率が上昇する。反応温度が１４００°Ｃをこえる
と反応速度が犬となるので好ましいが、高温の混合物の
急冷時間に限界があるので、１４００°Ｃをこえる温度
で反応させてもその効果は少ない。
・・ （２）また出発混合物の５ｉＣＪ４ ： Ｈ２の
モル比が同じであれば温度が高い方が平衡転換率が高く
本発明の出発混合物では１２００°Ｃ伺近から急速に平
衡転換率が上昇する。反応温度が１４００°Ｃをこえる
と反応速度が犬となるので好ましいが、高温の混合物の
急冷時間に限界があるので、１４００°Ｃをこえる温度
で反応させてもその効果は少ない。
このように反応温度を高くシ、出発混合物のＳ ｉ （
Ｊ 、とＨｚのモル比を１：１〜１：２とする効果とし
ては、反応器に対する熱負荷が小さくなることである。
Ｊ 、とＨｚのモル比を１：１〜１：２とする効果とし
ては、反応器に対する熱負荷が小さくなることである。
８ｉＨＣＡ３１モル生成させる場合の熱負荷はＳ ｉ
ＣＪｔ ４とＨｚとのモル比１：２、温度１１００°Ｃ
１１２００℃、１３’００℃の条件ではそれぞれ１５０
ＫＣａＡｉ ％ １２０ ＫＣａＡｓ ９０ ＫＣａ
ｌである。
ＣＪｔ ４とＨｚとのモル比１：２、温度１１００°Ｃ
１１２００℃、１３’００℃の条件ではそれぞれ１５０
ＫＣａＡｉ ％ １２０ ＫＣａＡｓ ９０ ＫＣａ
ｌである。
本発明において、熱負荷とは（１）式の反応熱に反応生
成物である混合物の入口と出口とのエンタルピーの差を
加えたものであり、熱負荷の小さいことは系に加えるべ
き熱量が小さいという効果がある。
成物である混合物の入口と出口とのエンタルピーの差を
加えたものであり、熱負荷の小さいことは系に加えるべ
き熱量が小さいという効果がある。
第２図はＳ ｉ ＣＪ、４とＨｚとのモル比熱負荷との
関係図であり、第２図からもＳ ｉ ＣＬ ４とＨｚと
のモル比が１＝２を下廻ると急激に熱負荷が上昇するこ
とが分る。
関係図であり、第２図からもＳ ｉ ＣＬ ４とＨｚと
のモル比が１＝２を下廻ると急激に熱負荷が上昇するこ
とが分る。
本発明においてＳ ｉ ＣＬ４とＨｚとを反応させ熱平
衡状態となった混合物を６００°Ｃ以下に急冷する理由
は、６００℃に狗、冷したものとそれ以下の温度に急冷
したものとは大差はなく省エネルギーとなるからである
。
衡状態となった混合物を６００°Ｃ以下に急冷する理由
は、６００℃に狗、冷したものとそれ以下の温度に急冷
したものとは大差はなく省エネルギーとなるからである
。
以上説明したように本発明はＳ ｉ （Ｊ ４とＨｚと
をモル比１：１〜１：２とした出発混合物を温度１２０
０℃をこえ１４００℃の範囲において反応させ、熱平衡
状態とし、これを取り出して６００℃以下に急冷する８
ｉＨＣＡ３の製法であり、本発明によれば金属シリコン
の析出がなく長時間連転が可能であり、また熱負荷が小
さいため省エネルギーであり、しかも高収率で５ｉＨ（
Ｊ３が得られるという効果がある。
をモル比１：１〜１：２とした出発混合物を温度１２０
０℃をこえ１４００℃の範囲において反応させ、熱平衡
状態とし、これを取り出して６００℃以下に急冷する８
ｉＨＣＡ３の製法であり、本発明によれば金属シリコン
の析出がなく長時間連転が可能であり、また熱負荷が小
さいため省エネルギーであり、しかも高収率で５ｉＨ（
Ｊ３が得られるという効果がある。
以下実施例及び比較例をあげて本発明をさらに具体的に
説明する。
説明する。
比較例１
第６図に示す、蒸発器１、反応器３及び凝縮器６からな
る装置を用いた。１反応器３は内径５αｎ１長さ８０α
のもので電気炉４により加熱されるようになっているが
、反応器の中心部１５ｃＩＩＬＩＪ′３温跣１２５０℃
となるように加熱した。なお蒸発器１から反応器３まで
の配管は８０℃に加熱し、５１ｃＪ４が＠扁しないよう
にした。
る装置を用いた。１反応器３は内径５αｎ１長さ８０α
のもので電気炉４により加熱されるようになっているが
、反応器の中心部１５ｃＩＩＬＩＪ′３温跣１２５０℃
となるように加熱した。なお蒸発器１から反応器３まで
の配管は８０℃に加熱し、５１ｃＪ４が＠扁しないよう
にした。
温度６６℃に保温された５ｉＣＪ４そ入れた蒸発器１に
Ｈｚ ４００ ｃｃ ／ ｎｎ１ｎで導入し、８ ｉ
ＣＪ ４とＨｚ（ＩＪモル比が１ ： １，３３の混合
物として反応器３に供給した。
Ｈｚ ４００ ｃｃ ／ ｎｎ１ｎで導入し、８ ｉ
ＣＪ ４とＨｚ（ＩＪモル比が１ ： １，３３の混合
物として反応器３に供給した。
反応器３から排出される混合ガスは一７０°Ｇの凝縮器
６で凝縮した。
６で凝縮した。
反応器３から排出されたガスを凝縮器６０手前で採取（
温度２５°Ｏ）Ｌ ガスクロマトグラフで分析した。
温度２５°Ｏ）Ｌ ガスクロマトグラフで分析した。
ガス中の５ｉＨ（Ｊ３は６．５％であり、その収率は１
５．２％であった。
５．２％であった。
実施例１
第４図に示す装置を用いて反応させた。
第４図の装置の反応器３は内径５Ｃ１ｒＬ１長さ８０α
、のもので、反応器３の均熱部後半から後出口まで内径
２闘の毛細管５が設けられており、反応ガスが毛細管５
を介して反応器３より取り出され急冷されるようになっ
ている。このような装置を用いて比較例１と同様な条件
（水素流量４００ｃｒ−７分、四塩化珪素：水素＝１：
１．３３．１２５０℃）で反応さぜた。反応器出口の温
度は４ Ｄ Ｄ ’Ｏ（急冷時間肌０６秒）であった。
、のもので、反応器３の均熱部後半から後出口まで内径
２闘の毛細管５が設けられており、反応ガスが毛細管５
を介して反応器３より取り出され急冷されるようになっ
ている。このような装置を用いて比較例１と同様な条件
（水素流量４００ｃｒ−７分、四塩化珪素：水素＝１：
１．３３．１２５０℃）で反応さぜた。反応器出口の温
度は４ Ｄ Ｄ ’Ｏ（急冷時間肌０６秒）であった。
排出がスのがスクロマトグラフイ分析値によると３ｉＨ
ＣＪ’３の収率は１９．５％であった。
ＣＪ’３の収率は１９．５％であった。
比較例２
Ｈｚ ４０ ［１印／分を２５°Ｃに保温されたＳｉＣ
ハ蒸発器に通し、モル比１：４の混合ガスを形成ｔ２第
４図の反応器を用いて１２５０°Ｃで反応させた。
ハ蒸発器に通し、モル比１：４の混合ガスを形成ｔ２第
４図の反応器を用いて１２５０°Ｃで反応させた。
排出がスのがスクロマトグラフイ分析値では５ｉＨ（４
３の収率は２９．０％であった。しかし９時間経過後、
反応系に閉塞が認められたため反応を停止し、冷却後毛
細管及び反応管内部を観察したところ、金属シリコンの
析出が認められた。
３の収率は２９．０％であった。しかし９時間経過後、
反応系に閉塞が認められたため反応を停止し、冷却後毛
細管及び反応管内部を観察したところ、金属シリコンの
析出が認められた。
実施例２
実施例１に用いた装置において８００ＣＣ／分でＨｚを
流しＳ ｉ ＣＬ ４蒸発器の温間を２５℃に保持し、
５ｉ（Ｊ４とＨｚのモル比１：２の混合ガスを反応温度
を１２５０°０，１３００°Ｃ及び１３５０’Ｃと変え
て反応させ排出ガスを４００ ’Ｃに急冷した。排出が
ス中の５ｉＨＣｊ！３の収率はそれぞれ２７，０％、６
１．２％及び６４．５％であった。
流しＳ ｉ ＣＬ ４蒸発器の温間を２５℃に保持し、
５ｉ（Ｊ４とＨｚのモル比１：２の混合ガスを反応温度
を１２５０°０，１３００°Ｃ及び１３５０’Ｃと変え
て反応させ排出ガスを４００ ’Ｃに急冷した。排出が
ス中の５ｉＨＣｊ！３の収率はそれぞれ２７，０％、６
１．２％及び６４．５％であった。
比較例６
第４図の装置を用いて８００（Ｕ／分て水素を流し、５
ＩＣＪ、４、Ｈ２のモル比１ ： １．３３の混合ガス
を作り、１１５０℃で反応させたところ、排出ガス中の
５ｉＨＣＪ３の収率は１６．６％であった。
ＩＣＪ、４、Ｈ２のモル比１ ： １．３３の混合ガス
を作り、１１５０℃で反応させたところ、排出ガス中の
５ｉＨＣＪ３の収率は１６．６％であった。
実施例６
実施例１の装置においてＨ２流撤８００に７分でＳ ｉ
（Ｊ 、とＨ２とのモル比１ ： １．６３の混合ガ
スを流し、１２５０℃で１００時間反応させ排出ガスを
４００ ’Ｃに急冷した。１時間毎に排出ガス分析をガ
スクロマトグラフィで行なったが、５ｉＨＣＪ、３の収
率は２２〜２４％とほぼ一定であり、反応系の閉塞もな
く安定に運転できた。反応終了後、凝縮液を蒸留により
Ｓ ｉ ＣＪ ４と５ｉＨＣＪ３に分離すると、５１）
ｆ（Ｊ３が約６６モル生成した。才た毛５１１１及び反
応管内部を観察したが何ら変化がなかった。
（Ｊ 、とＨ２とのモル比１ ： １．６３の混合ガ
スを流し、１２５０℃で１００時間反応させ排出ガスを
４００ ’Ｃに急冷した。１時間毎に排出ガス分析をガ
スクロマトグラフィで行なったが、５ｉＨＣＪ、３の収
率は２２〜２４％とほぼ一定であり、反応系の閉塞もな
く安定に運転できた。反応終了後、凝縮液を蒸留により
Ｓ ｉ ＣＪ ４と５ｉＨＣＪ３に分離すると、５１）
ｆ（Ｊ３が約６６モル生成した。才た毛５１１１及び反
応管内部を観察したが何ら変化がなかった。
第１図は５ｉＣＪ４ ／ Ｈ２モ）’ｖ比と５ｉＨ（Ｊ
３収率との関係図、第２図は８ｉＣＪ４ ／ Ｈ２と熱
負荷との関係図、第６図は従来例の装置の説明図、第４
図は本発明の実施例の装置の説明図である。 付号 １・・・Ｓ ｉ ＣＪ 、蒸発器 ２・・・ヒーター３
・・・反応器 ４・・・電気炉 ５・・・取り出し管 ６・・凝縮器 ７・・・サンプル口 特許出願人電気化学工業株式会社 ｅＨ−ｎ ／、、ッ、１．シ 第２図 ｅ ’ ＋ｌ１ｌｌ−１工＋１トト 第３図 第４図 手続補正書 昭和５９年１０月２ｐ日 １、事件の表示 昭和５８年特許願第１８９９７２号 ２、発明の名称 トリクロルシランの製造法 ろ、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区有楽町１丁目４番１号明細書の特
許請求の範囲の欄、発明の詳細な説明の欄及び図面。 ５、補正の内容 １）明細書第１頁特許請求の範囲を別紙のとおり訂正す
る。 ２）同第２頁において、第１２行ｒ ５ｉｃｘ、の収率
」をｒ ５ｉＨ（ｊｌ、の転化率」と訂正、第１３行「
５ｉＣ１３Ｊを［５ｉＨＣ１３Ｊと訂正する。 ６）同第６頁において、第６行「５ＩＨＣ１３とＨｃｌ
Ｊをｒ ５ｉｃａ４とＨ２Ｊと訂正、第７行〜第８行
、［５ＩＣ１４とＨ２Ｊを「５ＩＨＣ１３＋ＨＣｌ」と
訂正、第１０行「収率」を「転換率」と訂正する。 ４）同第４頁第１８行「一定のガス濃度を保つ」を「高
い転化率を得る」と訂正する。 ５）同第５頁第２０行「収率」を「転化率」と訂正する
。 ６）同第６頁において、第６行「収率」を「転換率」と
訂正、第６行「平衝収率」を「ｓｉｃ／、の５ｉＨＣ７
Ｉ３への平衝転化率」と訂正、第１２行ｒ： ５ｉｃａ
３の収率」をｒ ５ｉＨＣ４３への転化率」と訂正する
。 ７）同７頁、第１５行「モル比熱負荷」を「モル比と熱
負荷」と訂正する。 ８）同８頁第１１行「高収率で５ｉＨＣＪ３が得られる
」をｒ ｓｉ＋−ｒｃ１３への転化率が犬ぎ（なる」と
訂正する。 ９）同第９頁第１２行「収率」を「転化率」と訂正する
。 １０）同１０頁において、第５行、及び第１２行の「収
率」をそれぞれ「転化率」と訂正する。 １１）同１１頁第２行、第８行、及び第１５行の「収率
」をそれぞれ「転化率」と訂正する。 １２）第１図を別紙と差換える。 特許請求の範囲 「四塩化けい素と水素とを、出発混合物中の四塩化けい
素：水素のモル比を１＝１〜１．２として、１２００８
Ｃをこえ１４００°Ｃの範囲内の温度で反応させ、１２
００°Ｃをこえ１４００’Ｃの範囲内の温度で、四塩化
けい素°水素のモル比が１１〜１ ：４の混合物を取り
出し、１秒未満の時間内に６００’Ｃ以下まで急冷して
、トリクロルシランを得ることを特徴とするトリクロル
シランの製造法。」Ｓ二ＣＪ２４／Ｈ，長＋しＬヒ
３収率との関係図、第２図は８ｉＣＪ４ ／ Ｈ２と熱
負荷との関係図、第６図は従来例の装置の説明図、第４
図は本発明の実施例の装置の説明図である。 付号 １・・・Ｓ ｉ ＣＪ 、蒸発器 ２・・・ヒーター３
・・・反応器 ４・・・電気炉 ５・・・取り出し管 ６・・凝縮器 ７・・・サンプル口 特許出願人電気化学工業株式会社 ｅＨ−ｎ ／、、ッ、１．シ 第２図 ｅ ’ ＋ｌ１ｌｌ−１工＋１トト 第３図 第４図 手続補正書 昭和５９年１０月２ｐ日 １、事件の表示 昭和５８年特許願第１８９９７２号 ２、発明の名称 トリクロルシランの製造法 ろ、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区有楽町１丁目４番１号明細書の特
許請求の範囲の欄、発明の詳細な説明の欄及び図面。 ５、補正の内容 １）明細書第１頁特許請求の範囲を別紙のとおり訂正す
る。 ２）同第２頁において、第１２行ｒ ５ｉｃｘ、の収率
」をｒ ５ｉＨ（ｊｌ、の転化率」と訂正、第１３行「
５ｉＣ１３Ｊを［５ｉＨＣ１３Ｊと訂正する。 ６）同第６頁において、第６行「５ＩＨＣ１３とＨｃｌ
Ｊをｒ ５ｉｃａ４とＨ２Ｊと訂正、第７行〜第８行
、［５ＩＣ１４とＨ２Ｊを「５ＩＨＣ１３＋ＨＣｌ」と
訂正、第１０行「収率」を「転換率」と訂正する。 ４）同第４頁第１８行「一定のガス濃度を保つ」を「高
い転化率を得る」と訂正する。 ５）同第５頁第２０行「収率」を「転化率」と訂正する
。 ６）同第６頁において、第６行「収率」を「転換率」と
訂正、第６行「平衝収率」を「ｓｉｃ／、の５ｉＨＣ７
Ｉ３への平衝転化率」と訂正、第１２行ｒ： ５ｉｃａ
３の収率」をｒ ５ｉＨＣ４３への転化率」と訂正する
。 ７）同７頁、第１５行「モル比熱負荷」を「モル比と熱
負荷」と訂正する。 ８）同８頁第１１行「高収率で５ｉＨＣＪ３が得られる
」をｒ ｓｉ＋−ｒｃ１３への転化率が犬ぎ（なる」と
訂正する。 ９）同第９頁第１２行「収率」を「転化率」と訂正する
。 １０）同１０頁において、第５行、及び第１２行の「収
率」をそれぞれ「転化率」と訂正する。 １１）同１１頁第２行、第８行、及び第１５行の「収率
」をそれぞれ「転化率」と訂正する。 １２）第１図を別紙と差換える。 特許請求の範囲 「四塩化けい素と水素とを、出発混合物中の四塩化けい
素：水素のモル比を１＝１〜１．２として、１２００８
Ｃをこえ１４００°Ｃの範囲内の温度で反応させ、１２
００°Ｃをこえ１４００’Ｃの範囲内の温度で、四塩化
けい素°水素のモル比が１１〜１ ：４の混合物を取り
出し、１秒未満の時間内に６００’Ｃ以下まで急冷して
、トリクロルシランを得ることを特徴とするトリクロル
シランの製造法。」Ｓ二ＣＪ２４／Ｈ，長＋しＬヒ
Claims (1)
- 四塩化けい素と水素♂を、出発混合物中の四塩化けい素
：水素のモル比を１：１〜１：２として、１２０００Ｃ
をこえ１４００℃の範囲内の温度で反応させ、１２００
℃をこえ１４００℃の範囲内の温度で、四塩化けい素：
水素のモル比が１：１〜１：４の状態にある平衡状態の
混合物を取り出し、１秒未満の時間内に６０００Ｃ以下
まで急冷して、トリクロルシランを得ることを特許とす
るトリクロルシランの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18997283A JPS6081010A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | トリクロルシランの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18997283A JPS6081010A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | トリクロルシランの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6081010A true JPS6081010A (ja) | 1985-05-09 |
Family
ID=16250259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18997283A Pending JPS6081010A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | トリクロルシランの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPS6081010A (ja) |
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