JP4955936B2 - 高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックス及びその製造方法 - Google Patents
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窒化ケイ素は常圧下で融点がなく、高温で蒸発しやすいので、焼結は非常に困難である。窒化ケイ素セラミックスは一般的に焼結助剤を添加し、高圧状態下で焼結する。例えば焼結助剤を添加し、1〜10MPaの窒素雰囲気中において、1700℃以上の高温で長時間加熱し焼結する。あるいはホットプレス及びHIP(Hot Isostatic Pressing:熱間静水圧プレス)などの特殊な高温・高圧装置を使って、100MPa以上の圧力下で焼結する。他のセラミックス、特に酸化物セラミックスと比べると、窒化ケイ素セラミックスの焼結プロセスは複雑であり、焼結コストは非常に高い。
これとは別に、市販された窒化ケイ素セラミックスは抗折強度が1000MPa超えたものもある一方、その熱伝導率は一般的にわずか20〜30W/m・Kである(非特許文献1、2参照)。これはアルミナセラミックスの熱伝導率とほぼ同レベルであり、高熱伝導率窒化アルミニウムセラミックスの熱伝導率(180〜260W/m・K)より遥かに低い。
この他に、窒化ケイ素結晶粒の中の酸素及び他の不純物の含有量の低減(特許文献6、7参照)、窒化ケイ素原料の粒子分布の制御(特許文献7、8参照)、焼結助剤の選択(特許文献5、9〜12参照)などの方法も窒化ケイ素セラミックスの熱伝導率の向上にある程度有効であることが分かった。
ここで注意しなければならないのは、高温処理によって窒化ケイ素セラミックスの熱伝導率をある程度向上させることはできるが、製造コストは非常に高く、また、高温処理によって、セラミックスの結晶粒が著しく成長し、機械特性は激しく劣化する(非特許文献6参照)。その結果、窒化ケイ素セラミックスの高強度というメリットはなくなり、その用途は非常に限られている。
つまり、本発明によれば、高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法が提供される。この製造方法は、窒化ケイ素粉末に希土類化合物などの焼結助剤を添加し、原料粉を作る工程(1)と、アークプラズマ焼結装置を使って工程(1)で得られた原料粉を1400〜1800℃で焼結し、緻密な微粒子セラミックスを作る工程(2)と、工程(2)で得られた微粒子セラミックスをアークプラズマ焼結装置から取り出し、1600〜2000℃で熱処理する工程(3)とを備え、工程(2)において、焼結時間は10分以内であることを特徴とする。工程(3)では、焼結助剤と窒化ケイ素表面酸化物との複合酸化物の融点以上の温度で微粒子セラミックスを熱処理する。
アークプラズマ焼結法を使ってセラミックスを焼結するときに、粉末の間の隙間にプラズマ放電が発生し、粉末の表面を活性化する一方、被加熱体の全体を均一に加熱する。そのためにこの方法は加熱が速く、焼結温度が低く、焼結時間が短いなどの利点を有し、この方法で結晶粒が小さく、組織が緻密な窒化ケイ素を得ることができる。本発明中の焼結温度は1400〜1800℃であり、好ましくは1500〜1600℃であり、保持時間は好ましくは10分以内であり、昇温スピードは好ましくは1〜10℃/sである。また、焼結プロセスの昇温過程において、400℃から所定焼結温度まで昇温スピードは、好ましくは1.7〜5℃/sであり、約5〜15分間かかる。焼結時の温度が高く、焼結時間が長すぎる場合、窒化ケイ素の分解は進み、またセラミックスの粒子は過大に成長する。一方、焼結温度が低すぎる場合、緻密なセラミックスを焼結できない。焼結時の昇温スピードに関しては焼結体の密度への影響は小さいが、快速加熱はβ−Si3N4柱状晶の形成を促進し、焼結後の窒化ケイ素セラミックスの熱伝導率と強度を向上させることができるので、昇温スピードを速くした方がよい。冷却スピードはセラミックス焼結体の熱衝撃割れに直結するため、セラミックスの形状及び大きさ、即ち割れやすさによって適度に制御する必要がある。
MgOを添加する目的は焼結助剤の融点を下げ、焼結を促進することである。焼結過程において、MgOは希土類化合物及び窒化ケイ素粉末中の酸化物との間に比較的に低融点の化合物を形成する。他の化合物、たとえばMgSiN2、Li2Oも同じような役目を果たすので、これらの化合物をMgOの代わりに使ってもよい。一方、アークプラズマ焼結法は活性が高く、低い温度でも焼結できる利点がある。選ぶ粉末の焼結活性によって、これらの化合物を添加しなくても焼結できるなら、添加しなくてもよい。
本発明はセラミックスの原料の不純物含有量及び結晶の種類に対して何らの制限も加えていないが、周知のとおり、窒化ケイ素の純度を上げたり、粒界相を結晶化させたりすることで、窒化ケイ素セラミックスの熱伝導率を上げることができる。よって、上記幾つかの特許文献にすでに開示されているような窒化ケイ素結晶粒中の酸素及び不純物含有量を低減させる方法、焼結助剤の比率を最適化する方法及び結晶粒界の再結晶化方法なども本発明の方法と併用できる。
窒化ケイ素セラミックスの熱伝導率(k)を測定する場合、まずレーザ法でサンプルの熱拡散率(α)を測定し、排水法でサンプルの密度(ρ)を測定し、下記の式で計算した。
k=α×ρ×Cp
ここで、Cpは等圧熱容量であり、この場合、文献値の0.7J/℃で計算した。
窒化ケイ素セラミックスの強度は三点曲げ法で測定し、硬さはHVで測定した。HV測定時の荷重は10kgであり、加圧時間は15秒であった。
実施例1〜40の実施に当たって、表1及び表2に示す条件で原料粉を作製し、スパークプラズマ焼結を行い、また熱処理を行った。なお、スパークプラズマ焼結にはアークプラズマ焼結が包含される。
具体的には、まず平均粒径0.43μmの窒化ケイ素原料粉に5wt%のY2O3粉末と3wt%のMgO粉末を焼結助剤として添加し、アルコールを添加し、ボールミールで24時間混合した。これを乾燥してから80#の篩で篩い分けして、均一に混合された粉末を作製した。
この粉末を黒鉛ダイスに充填し、さらにこのダイスの外側をカーボン断熱材で包み、アークプラズマ焼結装置(住友石炭鉱業株式会社製)に設置し、装置の内部を6Paの真空にしてから、パルス電圧をかけて焼結を行った。焼結時の昇温スピードは夫々1.7K/sと4.2K/sに設定し、焼結温度は1500℃とした。焼結温度に達した後直ちに電気を切断するか、5分間保持してから電気を切断し、300℃までに自然冷却した。その後、装置からダイスを外部に取り出し、空冷した。なお、焼結時に上下の電極棒を通じて、セラミックス焼結体に25MPaの圧力をかけた。このように焼結したセラミックスを更に1MPaの窒素雰囲気において1600〜2000℃に加熱しその温度で1〜5時間保持した。
表1及び表2に示すように、このように作製したセラミックスの密度は98%以上であり、熱伝導率は32〜100W/m・Kであり、抗折強度は627〜1168MPaであり、ビッカース硬さは12〜18GPaである。
特に、1900℃または2000℃で熱処理して得られたセラミックス(実施例1〜3)の熱伝導率は90W/m・K以上、かつ抗折強度は700MPa以上に達した。
表3に示すように、焼結温度を1400〜1800℃とし、かつ焼結後の熱処理を省略した点を除けば、比較例1〜9は上述の実施例と同様の条件(同じ粉末及び焼結方法)で実施したものである。表3に示すように、このように作製した窒化ケイ素セラミックスの密度は92.6〜99.8%であり、熱伝導率は20〜31W/m・Kであり、強度は344〜480MPaであり、表1及び表2の実施例1〜40に示した特性より明らかに低い。
表4に示すように、比較例10〜13では実施例1〜40と同じ原料及び混合方法を採用するが、一般常用の成形及び焼結技術でセラミックスを焼結した。また、比較例の焼結条件は実施例1〜40の熱処理温度とほぼ同じであるため、この場合熱処理を省略した。比較例10〜13に示したサンプルはセラミックスの原料を金属のダイスに充填し、その上に17MPaの単軸圧力をかけて成形し、更に成形体を1MPaの窒素雰囲気中において、1850℃及び1900℃で4時間加熱し焼結したものである。これらの特性の内、熱伝導率、抗折強度及び硬さは実施例1〜40に得た値より低い。
Claims (11)
- 窒化ケイ素粉末に希土類化合物などの焼結助剤を添加し、原料粉を作る工程(1)と、
アークプラズマ焼結装置を使って1400〜1800℃で前記原料粉を焼結し、緻密な微粒子セラミックスを作る工程(2)と、
前記アークプラズマ焼結装置から取り出した前記微粒子セラミックスを1600〜2000℃で熱処理する工程(3)と、
を備え、
前記工程(2)において、焼結時間は10分以内であることを特徴とする高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。 - 前記工程(1)における前記希土類化合物はY2O3、CeO2、Yb2O3、Dy2O3及びYFから選択される少なくとも一種類の化合物であることを特徴とする請求項1に記載の高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。
- 前記希土類化合物の添加量は2〜10wt%であることを特徴とする請求項1または2に記載の高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。
- 前記工程(1)において、更に焼結助剤としてMgO、MgSiN2及びLi2Oから選択される少なくとも一種類の化合物を添加することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。
- 前記工程(2)と前記工程(3)との間に冷却工程が存在することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。
- 前記工程(2)において、昇温スピードは1.7〜5℃/sであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。
- 前記工程(2)において、所定の温度までの昇温時間は5〜15分間であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。
- 前記工程(3)において、熱処理時間は1〜5時間であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。
- 前記工程(3)における熱処理は窒素雰囲気中において行うことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。
- 前記工程(2)において、焼結温度は1500〜1600℃であることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。
- 前記工程(3)において、熱処理温度は1800〜2000℃であることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックスの製造方法。
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