JP4702978B2 - 窒化アルミニウム焼結体 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板等に使用される窒化アルミニウム焼結体に係り、特に強度、耐靭性に優れる窒化アルミニウム焼結体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の金属材料と比較して強度、耐熱性、耐食性、耐磨耗性、軽量性などの諸特性に優れているセラミックス焼結体は、半導体基板、電子機器材料、エンジン用部材、高速切削工具用材料など、従来の金属材料では対応できない過酷な環境下で使用される機械部品に用いられている。
【0003】
特に、窒化アルミニウム焼結体は、高熱伝導性を有する絶縁体であり、シリコン(Si)に近い熱膨張係数を有することから高集積化した半導体装置の放熱板や基板として、その用途を拡大している。
【0004】
上記窒化アルミニウム焼結体は一般的に下記の製造方法によって量産されている。すなわち、窒化アルミニウム原料粉末に焼結助剤と、有機バインダと、必要に応じて各種添加剤や溶媒、分散剤とを添加して原料混合体を調整し、得られた原料混合体をドクターブレード法や泥漿鋳込み法(スリップキャスティング法)によって成形し、薄板状ないしシート状の成形体としたり、原料混合体をプレス成形して厚板状ないし大型の成形体を形成する。次に、得られた成形体は、空気又は窒素ガス雰囲気において加熱され脱脂処理され、有機バインダとして使用された炭化水素成分等が成形体から排除脱脂される。そして、脱脂された成形体は窒素ガス雰囲気等で高温度に加熱され緻密化焼結されて窒化アルミニウム焼結体が形成される。
【0005】
上記製造方法において、原料窒化アルミニウム粉末として平均粒径が0.5μm以下程度の超微細な原料粉末を使用する場合は、窒化アルミニウム粉末単独でもかなり緻密な焼結体が得られる。
【0006】
一方、原料粉末として平均粒径が1μm以上の窒化アルミニウム粉末を使用する場合は、その原料粉末単独では焼結性が良好でないため、ホットプレス法以外には助剤無添加では緻密な焼結体を得ることが困難であり、量産性が低い欠点があった。そこで常圧焼結法によって効率的に焼結体を製造しようとする場合には、焼結体の緻密化及び窒化アルミニウム原料粉末中の不純物酸素が窒化アルミニウム結晶粒子内へ固溶することを防止するため、焼結助剤として酸化イットリウム(Y2 O3 )などの希土類酸化物や酸化カルシウムなどのアルカリ土類金属酸化物等を添加することが一般的に行われている。
【0007】
これらの焼結助剤は窒化アルミニウム中に含まれる不純物酸素やAl2 O3 と反応して液相を形成し、焼結体の緻密化を達成するとともに、この不純物酸素を粒界相として固定し、高熱伝導率化も達成するものと考えられている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の製造方法においては、本来窒化アルミニウムと液相化合物との濡れ性が低く、また液相自体が偏析しやすい性質を有することから、焼結後に液相が凝固する際に、液相は窒化アルミニウム粒子の間隙部に偏在するように残留し、凝固して粗大で脆弱な粒界相を形成する傾向がある。
【0009】
上記問題点を解決するために、粒径が均一で細かい窒化アルミニウム原料粉末を使用して可及的に微細な結晶組織を有する窒化アルミニウム焼結体を形成したり、各種添加剤を添加して焼結性を高める工夫も試行されている。例えば、W成分等を含有させることにより、焼結性を改善して高強度の窒化アルミニウム焼結体を得る方法も考案されている。しかしながら、W成分を含有させることにより、結晶組織が微細で均一化されるため、焼結体の強度は改善される反面、破壊靭性値は逆に低下してしまうことも判明している。
【0010】
また、Y2 O3 等の焼結助剤を使用した場合には、焼結温度が1700℃〜1800℃程度必要であり、焼結温度の低下が求められていた。さらに、Y2 O3 等の焼結助剤を使用した場合、得られる焼結体の強度は、通常では400MPa程度であり、他の焼結助剤と同時に用いても、最高で500MPa程度のものしか得られず、強度の向上が求められている。
【0011】
近年、半導体素子の高集積化、高出力化にともなって増加する発熱量に対応するために、高熱伝導性(高放熱性)を有する窒化アルミニウム材料が普及しつつある。しかしながら上記のように構造部材としての強度並びに靭性値が不足するため、例えば窒化アルミニウム焼結体で形成した半導体基板を実装ボードに装着する際に作用する僅かな曲げ応力や取扱時に作用する衝撃力によって半導体基板が損傷しやすく、半導体回路基板の製造歩留まりが大幅に低下してしまう問題点があった。また、窒化アルミニウム焼結体の焼成を高温で行う必要があり、コストや時間的な面からも、焼成温度の低下が求められている。
【0012】
本発明は上記の問題点を解決するためになされたものであり、従来の窒化アルミニウム焼結体に比較して、焼成温度が低く、かつ強度が向上した窒化アルミニウム焼結体を提供することを目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の窒化アルミニウム焼結体は、Sm、Ndから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%含有し、残部が窒化アルミニウムからなることを特徴とするものである。
【0014】
前記けい素化合物としては、SiO2 、Si3 N4 、Si2 N2 O、SiC、β−サイアロン、α−サイアロン、ムライトおよびポリタイプの窒化アルミニウム(Al−Si−O−N)から選択された少なくとも1種からなるものが好ましく、前記ホウ素化合物としては、B4 C、B2 O3 、AlB2 およびTiB2 から選択された少なくとも1種からなるものが好ましい。
【0015】
本発明の第2の窒化アルミニウム焼結体は、Sm、Ndから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%、Hf、Zr、Ti、Nb、W、Mo、Ta、Fe、Ni、Cr、Co、Li、Mgから選択された少なくとも1種の金属元素を酸化物換算で2重量%以下含有し、残部が窒化アルミニウムからなることを特徴とする。
【0016】
本発明の第3の窒化アルミニウム焼結体は、Sm、Ndから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%、Hf、Zr、Ti、Nb、W、Mo、Ta、Fe、Ni、Cr、Co、Li、Mgから選択された少なくとも1種の金属元素を酸化物換算で2重量%以下、Ca元素を酸化物換算で0.1〜1重量%含有し、残部が窒化アルミニウムからなることを特徴とする。
【0017】
本発明の第4の窒化アルミニウム焼結体は、Sm、Ndから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%、Y酸化物を、1〜4重量%含有し、残部が窒化アルミニウムからなり、かつ前記Sm酸化物およびNd酸化物の総重量を前記Y酸化物の重量で割った比が、1.5〜7.5の範囲にあることを特徴とする。
【0018】
また、本発明の窒化アルミニウム焼結体は、3点曲げ強度が500MPa以上、破壊靭性値が3MPa・m1/2以上であることが好ましい。
【0019】
さらに、本発明の窒化アルミニウム焼結体は、熱伝導率が130W/m・K以上であることがより好ましい。また、本発明の窒化アルミニウム焼結体は、1700℃以下で焼成したものであることが好ましい。
【0020】
本発明の窒化アルミニウムは、例えば窒化アルミニウム原料粉末に、Sm、Ndから選択された少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%添加した混合粉末を成形する工程と、前記成形体を、非酸化性雰囲気中、1700℃以下で焼結する工程とを経て製造することができる。
【0021】
前記けい素化合物としては、SiO2 、Si3 N4 、Si2 N2 O、SiC、β−サイアロン、α−サイアロン、ムライトおよびポリタイプの窒化アルミニウム(Al−Si−O−N)から選択された少なくとも1種からなるものが好ましく、また前記ホウ素化合物はB4 C、B2 O3 、AlB2 およびTiB2 から選択された少なくとも1種からなるものが好ましい。
【0022】
また、前記窒化アルミニウム原料粉末の2重量%以下を、Hf、Zr、Ti、W、Mo、Ta、Fe、Ni、Cr、Co、Li、Mgから選択された少なくとも1種の金属元素の酸化物で置換することが好ましい。
【0023】
さらに、前記窒化アルミニウム原料粉末の0.1〜1重量%を、Ca酸化物で置換するとより好ましい。
【0024】
また、上記製造方法では、前記窒化アルミニウム原料粉末の1〜4重量%をY酸化物で置換することが好ましい。このY酸化物の置換量としては、前記Sm酸化物およびNd酸化物の総重量を前記Y酸化物の重量で割った比が、1.5〜7.5の範囲となるようなものが好ましい。
【0025】
上記製造方法においては、前記窒化アルミニウム原料粉末の酸素含有量が1.5重量%以下であると、なお好ましい。
【0026】
本発明の第1〜第4の窒化アルミニウム焼結体によれば、従来の窒化アルミニウム焼結体に比較して、低温での焼結が可能になるとともに、強度を大幅に向上させることが可能となる。
【0027】
前記けい素化合物として、SiO2 、Si3 N4 、Si2 N2 O、SiC、β−サイアロン、α−サイアロン、ムライトおよびポリタイプの窒化アルミニウム(Al−Si−O−N)から選択された少なくとも1種を、前記ホウ素化合物として、B4 C、B2 O3 、AlB2 およびTiB2 から選択された少なくとも1種を用いることで、焼結性の改善や破壊靭性値等の改善が可能となる。
【0028】
また、Hf、Zr、Ti、Nb、W、Mo、Ta、Fe、Ni、Cr、Co、Li、Mgから選択された少なくとも1種の金属元素を酸化物換算で2重量%以下含有させることで、焼結体の表面液相発生を抑制し表面の平滑化等を向上させることが可能となる。
【0029】
さらに、Ca元素を酸化物換算で0.1〜1重量%含有することで、より一層焼結性を改善し、強度等の向上が可能となる。
【0030】
また、本発明の窒化アルミニウム焼結体では、Y酸化物を、1〜4重量%含有することにより、熱伝導率の制御が可能となる。このY酸化物の含有量としては、前記Sm酸化物およびNd酸化物の総重量を前記Y酸化物の重量で割った比が、1.5〜7.5の範囲となるようにすることで、強度と熱伝導率の特性に優れた窒化アルミニウム焼結体とすることができる。
【0031】
また、本発明の窒化アルミニウム焼結体は、上記した組成とすることで、3点曲げ強度を500MPa以上とし、破壊靭性値を3MPa・m1/2以上とするこ とが可能となる。
【0032】
さらに、本発明の窒化アルミニウム焼結体は、上記した組成とすることで、強度を確保しつつ、熱伝導率を130W/m・K以上とすることができる。
【0033】
上記製造方法によれば、窒化アルミニウム原料粉末に、Sm、Ndから選択された少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%添加した混合粉末を使用することで、1700℃以下での焼結を可能にし、かつ強度に優れた焼結体を作製することができる。
【0034】
前記けい素化合物としては、SiO2 、Si3 N4 、Si2 N2 O、SiC、β−サイアロン、α−サイアロン、ムライトおよびポリタイプの窒化アルミニウム(Al−Si−O−N)から選択された少なくとも1種を、また前記ホウ素化合物としてはB4 C、B2 O3 、AlB2 およびTiB2 から選択された少なくとも1種からなるものを用いることで、焼結体へのSi成分およびB成分の導入が容易となり、焼結性の改善等を容易に行うことが可能となる。
【0035】
また、前記窒化アルミニウム原料粉末の2重量%以下を、Hf、Zr、Ti、Nb、W、Mo、Ta、Fe、Ni、Cr、Co、Li、Mgから選択された少なくとも1種の金属元素の酸化物で置換することで、焼結性を向上させるとともに、焼結体表面に発生する液相の凝集偏析等を抑制することが可能となる。
【0036】
さらに、前記窒化アルミニウム原料粉末の0.1〜1重量%を、Ca酸化物で置換することにより、より一層焼結性を向上させ、強度、靭性等に優れた窒化アルミニウム焼結体を作製することが可能となる。
【0037】
また、上記製造方法では、前記窒化アルミニウム原料粉末の1〜4重量%をY酸化物で置換することにより、強度を確保しつつ、熱伝導率を向上させることが可能となる。このY酸化物の置換量としては、前記Sm酸化物およびNd酸化物の総重量を前記Y酸化物の重量で割った比が、1.5〜7.5の範囲となるようにすることで、強度と熱伝導率の双方に優れた窒化アルミニウム焼結体を作製することができる。
【0038】
上記製造方法においては、前記窒化アルミニウム原料粉末の酸素含有量を1.5重量%以下とすることにより、より一層焼結性を向上させることが可能となる。
【0039】
【発明の実施の形態】
本発明の窒化アルミニウム焼結体は、Sm、Ndから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%含有し、残部が窒化アルミニウムからなるものである。
【0040】
本発明の窒化アルミニウム焼結体は、上記のような構成とすることで、3点曲げ強度を500MPa以上、破壊靭性値を3MPa・m1/2 以上、熱伝導率を130W/m・K以上とすることができる。
【0041】
上記構成において、Sm又はNdの酸化物は、焼結助剤として作用し、窒化アルミニウム焼結体を緻密化するために加えられたものである。Sm又はNdの酸化物を含有させることで、従来のY2 O3 を主とした焼結助剤を使用したものに比べて、強度を100〜200MPa程度向上させることが可能となる。また、焼成温度についても大幅に低下させることが可能となる。Sm又はNdの酸化物の含有量は、強度および靭性を向上させるために、2〜10重量%とすることが好ましい。含有量が2重量%未満である場合は、熱伝導率が低く、また強度、靭性等の改善効果が少なく、含有量が10重量%を超える場合には、焼結助剤としての効果は飽和状態に達して無意味となるばかりでなく、却って焼結して得られる窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率が低下したり、粒界相が焼結体中に多量に残存し、熱処理により除去される粒界相の体積が大きくなるため、焼結体中に空孔が発生したり、収縮率が増大したりするおそれがある。
【0042】
けい素化合物は、焼結性を向上させるとともに焼結温度を低下させる効果を有するが、特に上記焼結助剤と複合添加することにより、焼結体の粒成長を抑制し、微細な窒化アルミニウム結晶組織を形成し、焼結体の構造強度を高めることができる。上記けい素化合物としては、SiO2 、Si3 N4 、Si2 N2 O、SiC、β−サイアロン、α−サイアロン、ムライト及びポリタイプの窒化アルミニウム(Al−Si−O−N)等のけい素化合物を使用することが望ましい。このけい素化合物の含有量はSi成分換算で、0.01〜0.2重量%以下の範囲に調整されることが好ましい。Si成分の含有量が0.01重量%未満の場合は、粒成長の抑制効果が不充分であるため、粗大な結晶組織となり、高強度の窒化アルミニウム焼結体が得られないことがある。一方、含有量が0.2重量%を超える過量となると、焼結体の熱伝導率が低下するとともに、曲げ強度が低下する場合がある。
【0043】
また、ホウ素化合物は窒化アルミニウム焼結体の粒界相と結晶粒との結合度を高めるとともに、焼結体組織内に均一に分散してクラックの伝播を阻止する作用を発揮し窒化アルミニウム焼結体の破壊靭性値をさらに向上させる効果を有する。このホウ素化合物の含有量は、B成分換算で0.15〜1.5重量%の範囲に調整されることが好ましい。B成分の含有量が0.15重量%未満の場合には、上記靭性改善効果が不充分となり、含有量が1.5重量%を超える過量となると、焼結体の熱伝導率が低下してしまうおそれがある。このようなホウ素化合物としては、B4 C、B2 O3 、AlB2 およびTiB2 から選ばれるすくなくとも1種を用いることが好ましい。
【0044】
また、本発明では上記焼結助剤等に加えて、他の成分を加えることによって、より一層強度、靭性等を向上させることができる。以下、本発明において有用であると認められるものについて、その種類と効果について説明する。
【0045】
Hf成分およびZr成分は、焼結性をさらに向上させるとともに焼結体表面に発生しやすい液相の凝集偏析を抑制し、適性に焼結できる温度範囲を拡大する効果を有する。上記成分の供給源としては、各成分の酸化物、炭化物、窒化物、珪化物、硼化物等の化合物を使用することができる。このHf化合物及びZr化合物は酸化物換算で2重量%以下の範囲で添加されることが好ましい。添加量が2重量%を超える過量となると,他の不純物と同様に窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率を低下させてしまう。
【0046】
Ti、W、Mo、Ta、Fe、Ni、Cr、Co、Li、Mgの酸化物は、焼結温度を下げて焼結性を向上させる一方、焼結体を着色して不透明な焼結体を形成する等、窒化アルミニウム焼結体の特性を改善するために有効であり、酸化物換算で2重量%以下含有することが好ましい。含有量が2重量%を超える過量となると、他の不純物と同様に窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率を低下させるおそれがある。
【0047】
また、上記各種添加物以外の不純物陽イオンは窒化アルミニウム焼結体の熱伝導を阻害する化合物を形成しやすいため、窒化アルミニウム焼結体中の含有量は0.2重量%以下とすることが好ましい。
【0048】
また、本発明では、熱伝導率等の向上のために、Y酸化物を1〜4重量%含有させてもよい。Y酸化物を添加することにより、窒化アルミニウム焼結体の強度を維持したまま、熱伝導率を向上させることが可能となる。しかしながら、多量のY酸化物の含有は、強度を低下させるため、含有量は上記したように1〜4重量%程度が好ましい。また、Y酸化物は、好ましくは前記Sm酸化物およびNd酸化物の総重量を前記Y酸化物の重量で割った比が、以下の式で示されるように、1.5〜7.5の範囲となるように含有させることが好ましい。
【0049】
1.5≦ (Sm酸化物+Nd酸化物)/Y酸化物 ≦7.5
このような範囲とすることで、強度および熱伝導率の双方に優れた窒化アルミニウム焼結体とすることができる。
【0050】
本発明の窒化アルミニウム焼結体は、例えば次のようにして作製される。
【0051】
窒化アルミニウム原料粉末に、Sm、Ndから選択された少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%添加した混合粉末をボールミル等の粉砕混合機に投入し、所定時間混合することによって原料混合体を作製する。次に、得られた原料混合体を所定形状の金型に充填し加圧成形して成形体を形成する。このときあらかじめ原料混合体にパラフィン、ステアリン酸等の有機バインダを5〜10重量%添加しておくことにより、成形操作を円滑に実施できる。成形法としては、汎用の金型プレス法、泥漿鋳込み法、静水圧プレス法、押出し成形法あるいはドクターブレード法のようなシート成形法などが適用できる。
【0052】
上記成形操作に引き続いて、成形体を空気中で温度400〜550℃に加熱したり、または非酸化性雰囲気中、例えば窒素ガス雰囲気中で温度400〜800℃に加熱して、予め添加していた有機バインダを充分に脱脂除去する。
【0053】
次に脱脂処理された複数のシート形状の成形体は、例えばセラミックス焼結粉からなるしき粉を介して焼成炉内において多段に積層し、この配置状態で複数の成形体は一括して所定温度で焼結される。焼結操作は、窒素ガスなどの非酸化性雰囲気で成形体を温度1700℃以下で2〜6時間程度加熱して実施される。
【0054】
本発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法では、焼結助剤として主としてSm酸化物、Nd酸化物を用い、さらにSi成分、B成分を添加することで、焼結温度を従来のものに比べて大幅に低く設定することが可能となっている。また、上記組成とすることで、焼結温度を低くしたにもかかわらず、焼結体の強度、靭性等の特性を向上させることも可能となっている。特に、本発明ではSm酸化物等の量を最適な値にすることで、1600℃程度の焼結で、強度が600MPa以上の窒化アルミニウム焼結体を得ることも可能となっている。
【0055】
本発明の製造方法では、上記成分の他に、HfおよびZrの少なくとも1種を添加することにより、より低い温度で焼結することが可能となるとともに、焼結体表面に発生する液相の凝集偏析を抑制することが可能となる。
【0056】
また、Ti、Nb、W、Mo、Ta、Fe、Ni、Cr、Co、Li、Mgの酸化物を添加することにより、焼結温度を下げて焼結性を向上させ、焼結体を着色して不透明な焼結体を形成する等、窒化アルミニウム焼結体の特性を改善することができる。これらの元素は、酸化物換算で2重量%以下含有させることにより、十分な効果を得ることができる。含有量が2重量%を超える場合には、効果が2重量%のときと変わらず、かえって窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率等の特性を低下させるおそれがある。
【0057】
また、本発明では窒化アルミニウム原料粉末の1〜4重量%をY酸化物で置換することにより、熱伝導率を向上させることができる。このY酸化物は、好ましくは前記Sm酸化物およびNd酸化物の総重量を前記Y酸化物の重量で割った比が、1.5〜7.5の範囲となるように含有させることが好ましい。このような範囲とすることで、強度および熱伝導率の双方に優れた窒化アルミニウム焼結体を作製することができる。
【0058】
さらに、本発明では原料窒化アルミニウム粉末中の酸素含有量を1.5重量%以下とすることにより、より一層緻密化を促進させ、強度を向上させることが可能となる。
【0059】
【実施例】
次に、本発明の効果を評価するために、焼結助剤の種類および量等を変化させて、強度、靭性および熱伝導率等の特性を測定した。
【0060】
実施例1〜18
還元窒化法によって製造され、不純物としての酸素を0.8重量%含有し、平均粒径1μmの窒化アルミニウム原料粉末に対して、焼結助剤としてSm酸化物を用い、さらにSi成分、B成分および他の成分をそれぞれ表1に示すように、本発明で規定される添加量の範囲内で添加し、これにエチルアルコールを溶媒として加え、ボールミルで48時間混合して原料混合体を調整した。次に、この原料混合体に有機バインダとしてのパラフィンを7.5重量%添加して造粒粉を調整した。
【0061】
次に得られた造粒粉をプレス成形機の成形用金型内に充填して1000kg/cm2 の圧力にて、一軸方向に圧縮成形して、縦50mm×横50mm×厚さ5mmの角板状成形体を多数調整した。引き続き各成形体を空気中で450℃で1時間加熱して脱脂処理した。
【0062】
次に、脱脂処理した各成形体を窒化アルミニウム製焼成容器内に収容し、焼成炉において表1に示す温度(1700℃以下)で、4時間緻密化焼結を実施し、その後冷却速度200℃/hrで冷却して、窒化アルミニウム焼結体を製造した。
【0063】
実施例19、20
焼結助剤として、Nd酸化物を用いて窒化アルミニウム焼結体を製造した。なお、Nd酸化物を用いた以外は、実施例1と同様の条件で成形、脱脂、焼結等を行った。
【0064】
実施例21〜23
焼結助剤として、Sm酸化物およびNd酸化物を用いて窒化アルミニウム焼結体を製造した。なお、焼結助剤としてSm酸化物およびNd酸化物の両方を用いた以外は、実施例1と同様の条件で成形、脱脂、焼結等を行った。
【0065】
実施例24〜26
焼結助剤として、Sm酸化物およびY2 O3 を用いて窒化アルミニウム焼結体を製造した。なお、焼結助剤としてSm酸化物およびY2 O3 の両方を用いた以外は、実施例1と同様の条件で成形、脱脂、焼結等を行った。
【0066】
実施例27
焼結助剤として、Nd酸化物およびY2 O3 を用いて窒化アルミニウム焼結体を製造した。なお、焼結助剤としてNd酸化物およびY2 O3 の両方を用いた以外は、実施例1と同様の条件で成形、脱脂、焼結等を行った。
【0067】
実施例28
焼結助剤として、Sm酸化物、Nd酸化物およびY2 O3 を用いて窒化アルミニウム焼結体を製造した。なお、焼結助剤としてSm酸化物、Nd酸化物およびY2 O3 を用いた以外は、実施例1と同様の条件で成形、脱脂、焼結等を行った。
【0068】
実施例29〜36
焼結助剤としてSm酸化物または必要に応じCa酸化物を用い、所定のB成分並びにSi成分、さらにはHf、Zr、Tiの酸化物を表2に示した割合で添加した窒化アルミニウム焼結体を製造した。なお、各成分の割合が異なる以外は実施例1と同様の条件で成形、脱脂、焼結等を行った。
【0069】
表1に実施例1〜20の原料混合物の割合を、表2に実施例21〜36の原料混合物の割合を示す。
【0070】
【表1】
【表2】
比較例1
一方、表1に示すように、焼結助剤としてY2 O3 のみを添加し、他の添加剤を一切加えずに窒化アルミニウム焼結体を作製した。なお、焼結は1780℃で行い、脱脂、成形等は実施例1と同様にして行った。
【0071】
比較例2
焼結助剤としてY2 O3 を添加し、さらに実施例1と同様にSi成分、B成分およびその他の成分を加えた窒化アルミニウム焼結体を作製した。なお、焼結は1750℃で行い、脱脂、成形等は実施例1と同様にして行った。
【0072】
比較例3〜15
本発明に用いる成分と同様のものを用いているものの、成分量を本発明において好ましいとされる範囲以外にした窒化アルミニウム焼結体を作製した。なお、焼結温度を表3に示す温度で行った以外は、実施例1と同様の条件とした。
【0073】
表3に比較例1〜15の原料混合物の割合を示す。
【0074】
【表3】
このようにして得られた実施例1〜36および比較例1〜15に係る各窒化アルミニウム焼結体の特性を評価するために、各試料の3点曲げ強度、破壊靭性、熱伝導率および平均結晶粒径(D50)を観察した。実施例1〜20、20〜36および比較例1〜15の結果を、それぞれ表4、5および6に示す。
【0075】
なお、破壊靭性値は、マイクロインデンテーション法における新原方式により測定を行った。
【0076】
【表4】
【表5】
【表6】
上記表4〜6に示す結果から明らかなように、焼結助剤としてSm酸化物または/およびNd酸化物を適量添加した本発明の窒化アルミニウム焼結体では、低い焼成温度にもかかわらず、非常に高い強度、靭性が得られることがわかった。また、本発明の窒化アルミニウム焼結体において、さらにY2 O3 を添加したものは、高い強度を維持したまま、熱伝導率を向上させられることがわかった。
【0077】
特に、
1.5≦ (Sm酸化物+Nd酸化物)/Y2 O3 ≦7.5
としたものは、強度と熱伝導率のバランスに優れていることが認められた。
【0078】
これに対して、従来より用いられている焼結助剤、Y2 O3 のみを用いたものでは、熱伝導率は高いものの、強度は低くなり、なおかつ焼成温度を高くしなければならないことが確認された。また、Y2 O3 の他に、さらにSi成分、B成分を加えたものでは、若干の強度向上が見られるものの、焼成は依然として高温で行わなければならないことがわかった。
【0079】
また、Si成分、B成分等を本発明に規定する量より過剰に添加したものでは、強度の向上が見られないばかりでなく、熱伝導率の低下等を招くことから、本発明において規定した添加量が最適であることが認められた。
【0080】
【発明の効果】
本発明の窒化アルミニウム焼結体は、Sm、Ndから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%含有させ、残部を窒化アルミニウムとすることにより、低温での焼結を可能にするとともに、強度、靭性等をも向上させることが可能となる。
【0082】
本発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法は、窒化アルミニウム原料粉末に、Sm、Ndから選択された少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%添加した混合粉末を使用することで、1700℃以下の比較的低温での焼結が可能になるとともに、強度に優れた焼結体を作製することが可能になる。
Claims (9)
- Sm、Ndから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%含有し、残部が窒化アルミニウムからなることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
- Sm、Ndから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%、Hf、Zr、Ti、Nb、W、Mo、Ta、Fe、Ni、Cr、Co、Li、Mgから選択された少なくとも1種の金属元素を酸化物換算で2重量%以下含有し、残部が窒化アルミニウムからなることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
- Sm、Ndから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%、Hf、Zr、Ti、Nb、W、Mo、Ta、Fe、Ni、Cr、Co、Li、Mgから選択された少なくとも1種の金属元素を酸化物換算で2重量%以下、Ca元素を酸化物換算で0.1〜1重量%含有し、残部が窒化アルミニウムからなることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
- Sm、Ndから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を2〜10重量%、ホウ素化合物をB成分換算で0.15〜1.5重量%、およびけい素化合物をSi成分換算で0.01〜0.2重量%、Y酸化物を、1〜4重量%含有し、残部が窒化アルミニウムからなり、かつ前記Sm酸化物およびNd酸化物の総重量を前記Y酸化物の重量で割った比が、1.5〜7.5の範囲にあることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
- 前記けい素化合物は、SiO2、Si3N4、Si2N2O、SiC、β−サイアロン、α−サイアロン、ムライトおよびポリタイプの窒化アルミニウム(Al−Si−O−N)から選択された少なくとも1種からなり、前記ホウ素化合物はB4C、B2O3、AlB2およびTiB2から選択された少なくとも1種からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の窒化アルミニウム焼結体。
- 3点曲げ強度が500MPa以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の窒化アルミニウム焼結体。
- 破壊靭性値が3MPa・m1/2以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載の窒化アルミニウム焼結体。
- 熱伝導率が130W/m・K以上であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項記載の窒化アルミニウム焼結体。
- 1700℃以下で焼成したものであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項記載の窒化アルミニウム焼結体。
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