JP4955648B2 - 電子デバイスパッケージ、モジュール、および電子機器 - Google Patents
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Description
また、本発明の第2の態様に係る電子デバイスパッケージは、内部に配線パターンを有する可撓性のインターポーザ基板と、前記インターポーザ基板上に配置された少なくとも1つの電子デバイスと、同じく前記インターポーザ基板上に配置された挿入基板と、を有する電子デバイスパッケージであって、前記インターポーザ基板の、前記電子デバイスと前記挿入基板との間の隙間に対応する領域に、前記配線パターンの破断強度を増加させる補強手段が設けられており、前記インターポーザ基板は前記配線パターンを少なくとも2層有し、前記補強手段として、前記配線パターン同士を接続する、導体が充填されたビアが設けられていることを特徴とする。
図2、図3は、本発明の第1の実施形態の半導体パッケージを示す断面図である。
図7は、本発明の第2の実施形態の半導体パッケージを示す断面図である。
図10は、本発明の第3の実施形態の半導体パッケージを示す断面図である。
図11は、本発明の第4の実施形態の半導体パッケージを示す断面図である。
図12は本発明の実施の形態5を示す半導体パッケージを示す断面図である。
図13は、本発明の第6の実施形態の半導体パッケージを示す断面図である。
図14は、本発明の第7の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図15は本発明の第8の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図16は本発明の第9の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図17は本発明の第10の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図18は、本発明の第11の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図19は、本発明の第12の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図20は、本発明の第13の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図21は、本発明の第14の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図22〜24は、本発明の第15の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図25は、本発明の第16の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図26〜28は、本発明の第17の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図29は、本発明の第18の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図30は、本発明の第19の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図31は、本発明の第20の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図32は、本発明の第21の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図33は、本発明第22の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
ところだけが異なっている。
図34は、本発明の第23の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図35は、本発明の第24の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図36は、本発明の第25の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図37は、本発明の第26の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図38は、本発明の第27の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図39は、本発明の第28の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図40は、本発明の第29の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図41は、本発明の第30の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図42は、本発明の第31の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図43は、本発明の第32の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図44は、本発明の第33の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図45は、本発明の第34の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図46は、本発明の第35の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図47は、本発明の第36の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図48は、本発明の第37の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図49は、本発明の第38の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図50は、本発明の第39の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図51は、本発明の第40の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図52は、本発明の第41の実施形態を示す半導体パッケージの断面図である。
図53は、本発明の第42の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図54は、本発明の第43の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図55は、本発明の第44の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図56は、本発明の第45の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図57は、本発明の第46の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図58は、本発明の第47の実施形態を示す半導体パッケージの断面図である。
図59は、本発明の第48の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図60は、本発明の第49の実施形態を示す半導体パッケージの断面図である。
図61は、本発明の第50の実施形態を示す半導体パッケージの断面図である。
図62は、本発明の第51の実施形態の半導体パッケージの断面図である。
図3を用いて、本発明の実施例1を説明する。
図12を用いて、本発明の実施例2を説明する。半導体デバイス1は実施例1と同じロジック系LSIを用いた。挿入基板も、実施例1と同じ貫通穴が形成されたCu平板18を用いた。
図23を用いて、本発明の実施例3を説明する。半導体デバイス1は実施例1と同じロジック系LSIを用いた。挿入基板も、実施例1と同じ貫通穴が形成されたCu平板18を用いた。
図27を用いて、本発明の実施例4を説明する。図27の半導体パッケージは、図23に示した半導体パッケージの構造と類似しているが、金属突起12と配線パターン6との間に、金属膜7が形成されているところだけが異なっている。半導体デバイス1は実施例1と同じロジック系LSIを用い、基板も実施例1と同じ貫通穴が形成されたCu平板18を用いた。
図38を用いて、本発明の実施例5を説明する。図38の半導体パッケージは、図3に示した半導体パッケージに対して受動素子14を追加した構造を特徴としている。
図56を用いて、本発明の実施例6を説明する。実施例6は本発明の半導体パッケージ(図56では実施例1の構造のパッケージ)を2つ積層した3次元実装パッケージの例である。
図59を用いて、本発明の実施例7を説明する。
実施例7は、実施例6で述べたDSPを用いた半導体デバイス1の上に、市販されている従来のDRAMパッケージ(インターポーザ基板にワイヤーボンディング、TAB接続などの方法でDRAMを接続し、その後全体をモールド樹脂で封止したもの)を積層したものである。2つの半導体パッケージの積層方法は、実施例6で示した方法と同様である。
2、9、18 挿入基板
3 インターポーザ基板
4 半田バンプ
5 導体バンプ
6 配線パターン
7 金属膜
8 隙間
10 熱可塑性樹脂
11、13 ビア
12 金属突起
Claims (16)
- 内部に配線パターンを有する可撓性のインターポーザ基板と、
前記インターポーザ基板上に配置された少なくとも1つの電子デバイスと、
同じく前記インターポーザ基板上に配置された挿入基板と、を有する電子デバイスパッケージであって、
前記インターポーザ基板の、前記電子デバイスと前記挿入基板との間の隙間に対応する領域に、前記配線パターンの破断強度を増加させる補強手段が設けられており、
前記補強手段として、前記配線パターンの一部を突起させた金属突起が設けられていることを特徴とする電子デバイスパッケージ。 - 内部に配線パターンを有する可撓性のインターポーザ基板と、
前記インターポーザ基板上に配置された少なくとも1つの電子デバイスと、
同じく前記インターポーザ基板上に配置された挿入基板と、を有する電子デバイスパッケージであって、
前記インターポーザ基板の、前記電子デバイスと前記挿入基板との間の隙間に対応する領域に、前記配線パターンの破断強度を増加させる補強手段が設けられており、
前記インターポーザ基板は前記配線パターンを少なくとも2層有し、前記補強手段として、前記配線パターン同士を接続する、導体が充填されたビアが設けられていることを特徴とする電子デバイスパッケージ。 - 前記隙間に対応する領域は、少なくとも前記隙間を覆う領域を含む領域であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の電子デバイスパッケージ。
- 前記補強手段として、前記配線パターン上に金属膜が設けられている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の電子デバイスパッケージ。
- 前記金属膜が、前記配線パターンの両面に形成されている、請求項4に記載の電子デバイスパッケージ。
- 前記金属膜の材質の引張強度が、前記配線パターンの材質の引張強度よりも高い、請求項4または5に記載の電子デバイスパッケージ。
- 前記金属突起と前記配線パターンとの間に、前記配線パターンの材質よりも引張強度が高い金属膜が形成されている、請求項1に記載の電子デバイスパッケージ。
- 前記挿入基板および/または前記電子デバイスの一部を覆うように、前記インターポーザ基板の端部が折り返されている、請求項1から7のいずれか1項に記載の電子デバイスパッケージ。
- 前記インターポーザ基板を構成する樹脂の一部が熱可塑性樹脂である、請求項1から8のいずれか1項に記載の電子デバイスパッケージ。
- 前記挿入基板は前記電子デバイスを収容するための貫通穴を有し、前記貫通穴の内周と前記電子デバイスの外周との間に前記隙間が形成されている、請求項1から9のいずれか1項に記載の電子デバイスパッケージ。
- 前記挿入基板は前記電子デバイスを収容するためのキャビティを有し、前記キャビティの内周と前記電子デバイスの外周との間に前記隙間が形成されている、請求項1から9のいずれか1項に記載の電子デバイスパッケージ。
- 前記挿入基板と前記インターポーザ基板との間に、受動素子が形成されている、請求項1から11のいずれか1項に記載の電子デバイスパッケージ。
- 請求項1から12のいずれか1項に記載の電子デバイスパッケージ同士が複数積層された電子デバイスパッケージ。
- 請求項1から12のいずれか1項に記載の、少なくとも1つの電子デバイスパッケージと、請求項1から12に記載の電子デバイスパッケージとは別の構造の少なくとも1つの電子デバイスパッケージとが組み合わされて積層されている電子デバイスパッケージ。
- 請求項1から14のいずれか1項に記載の電子デバイスパッケージが、回路基板上に実装されたモジュール。
- 請求項1から14のいずれか1項に記載の電子デバイスパッケージが実装された電子機器。
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