JP4199588B2 - 配線回路基板の製造方法、及び、この配線回路基板を用いた半導体集積回路装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップを搭載する配線回路基板の製造方法、及び、この配線回路基板を用いた半導体集積回路装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、半導体チップを搭載して、プリント配線に接続される半導体実装用インターポーザー等と称される配線回路基板には、ポリイミドフィルム等の樹脂をベースとするタイプ(例えば、特許文献1参照)が広く知られている。
【0003】
このポリイミドフィルムをベースとするタイプの製法の一例について説明すると、まず初めに、ポリイミドフィルムを用意して、そのベースの両主面に、厚さ例えば0.2μm程度の薄い銅膜を例えばスパッタリングにより形成し、その後、貫通孔をドリルにより、或いは、プレス加工により形成する。この貫通孔は、両主面に形成される配線膜間を接続するために形成するものである。その後、無電解メッキにより、厚さ例えば5μm程度の銅膜を上記銅膜表面に形成し、次いで、ベース両面の銅膜上にパターニング用レジスト膜を形成して、このレジスト膜をマスクとして上記銅膜上に電解メッキにより銅配線膜(厚さ例えば30μm)を形成し、表側に形成された銅配線膜は、通常の回路配線を構成し、裏側に形成された銅配線膜は、グランドライン及び電源ラインを構成するようにする。
【0004】
次に、マスクとして用いた上記レジスト膜を除去し、その後、銅のソフトエッチングにより銅配線膜形成にあたって、下地として上記レジスト膜の形成前に全面的に形成されていた薄い上記銅膜を除去する。これにより銅配線膜同士が薄い銅膜で電気的に短絡された状態でなくなり、各銅配線膜が互いに独立した状態になる。
【0005】
次に、表側の表面に絶縁性樹脂膜を塗布し、露光、現像によりパターニングし、半田ボールを形成すべき部分と半導体チップと接合すべき部分が開口を有するようにし、その後、上記ベースをその裏側から選択的にエッチングして上記銅配線膜のLSIと接続すべき部分を露出させて、その後、例えば金の無電解メッキにより銅配線膜の表面の半田ボール等のボール電極あるいはLSIとの接続性を高める。これにより、インターポーザーと称される配線基板が出来上がる。
【0006】
この配線基板は、裏面側にて半導体チップと緩衝性接着剤を介して接着され、その後、銅配線膜のリード先端が半導体チップ電極にマイクロ接合され、その後、そのマイクロ接合部分を樹脂により封止して、しかる後、上記ベースの反半導体チップ側の銅配線膜のメッキされ絶縁性樹脂膜の開口に露出する部分に半田ボールが搭載され、その後、リフローにより半田ボールの整形がなされる。
【0007】
【特許文献1】
特開2001−332654号公報
(段落〔0063〕‐〔0096〕、第1図乃至第3図)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このポリイミドフィルムをベースにするタイプには、一般的に次のような問題がある。まず、高集積化を図るべく二層回路を得るために、その両面に回路を形成し、その両面の回路間を接続するようにする場合、機械的孔開けが必要であり、高集積化及び小型化に伴って孔の微細化が必要となるので、二層回路間の接続が難しくなる傾向にある。また、孔の加工精度(位置及び形状)及び最終パッケージ外形とボールの位置精度を高めることが難しく、要求される精度を得ることが難しくなりつつある。
【0009】
また、ポリイミドフィルムをベースにしているため、配線回路基板として完成した段階における物理的強度を充分に高めることが難しく、パッケージング工程において変形等が生じやすいという問題がある。即ち、捩れや変形等が生じやすく、半導体チップを平坦な面に実装することが困難になるという問題がある。また、搬送や取り扱いの関係から、十分な機械的強度を確保するには、配線膜の厚さと絶縁フィルムの厚さを100μm程度にする必要があり、薄型化に限界があるという問題がある。さらに、ベースを成すポリイミドフィルムが絶縁性材料であるので、電解メッキは、電位付与が困難なため、事実上不可能である。そのため、パッケージング工程において後付により半田ボールを搭載する必要があるという問題がある。即ち、半田と銅の接合強度の関係から接着力が極めて劣るので、ボール落ち不良を防止するために配線膜の半田ボール搭載部に非常に広い面積を割く必要がある。これは、半田ボール配置ピッチにおける各半田ボール間に通すことのできる配線数を少なくしなければならないことに繋がり、延いては、高集積化を阻む大きな原因になる。
【0010】
また、基板実装後に行われる温度サイクル試験で判定されるボール落ちに関する信頼性を改善するために、半田ボール1個あたりに割くエリア面積を広くする必要があり、そのためボール間を通る配線の本数が制約され、延いてはボール数を増やして高密度化する設計が制約されるという問題もある。また、ベースを成すポリイミドフィルムは、製造上の搬送キャリアの役割もあるため、薄膜化が難しいので、材料使用量の低減、材料価格の低減が難しく、また、両面の回路間の接続性が悪いという問題もあり、更に、厚さ分のポリイミドに吸収される水分が多く、実装時のパッケージクラックをもたらす原因にもなるという問題もある。
【0011】
また、この配線回路基板を積層して、半導体集積回路装置を製造する場合には、半田ボールを介在して配線回路基板間を接続する必要があるが、接続の際には、半田ボールの熱による溶融加圧により半田が変形して、半導体チップへのダメージが生じやすいという問題がある。また、半田ボールの高さにはバラツキが生じやすく、配線回路基板を精度良く積層していくことは困難であるという問題がある。
【0012】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、製造過程における種々の問題を解決して、品質及び生産効率の向上を図ると共に、薄型化及び高集積化を実現する配線回路基板の製造方法、及び、この配線回路基板を用いた半導体集積回路装置の製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、エッチングストップ層を挟んでバンプ形成用金属層と配線膜形成用金属層とを有する多層金属板を用いて、配線回路基板を製造する配線回路基板の製造方法であって、前記バンプ形成用金属層の表面に、エッチングにより、半導体チップを搭載する領域を囲うように配列され、他の配線回路基板との電気的導通部分となる複数のバンプを、少なくとも1組形成するバンプ形成工程を含むことを特徴とする。
【0014】
また、請求項2記載の発明は、請求項1記載の配線回路基板の製造方法であって、前記バンプ形成工程においては、前記複数のバンプを形成すると共に、前記複数のバンプの並びを囲う外枠部を、さらに形成することを特徴とする。
【0015】
また、請求項3記載の発明は、請求項1乃至請求項2に記載の配線回路基板の製造方法であって、前記半導体チップを搭載する領域に半導体チップを搭載した後、前記外枠部内の領域に絶縁材を充填する充填工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0016】
また、請求項4記載の発明は、請求項3に記載の配線回路基板の製造方法であって、前記充填工程においては、前記外枠部内の領域を蓋により封止し、前記複数のバンプの表面と前記蓋とを密着させた状態で、前記絶縁材を充填することを特徴とする。
【0017】
また、請求項5記載の発明は、請求項3又は請求項4に記載の配線回路基板の製造方法であって、前記充填工程の後に、前記半導体チップ、前記複数のバンプ及び前記外枠の表面を面一に研磨する研磨工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0018】
上記課題を解決するために、請求項6記載の発明は、エッチングストップ層を挟んでバンプ形成用金属層と配線膜形成用金属層とを有する多層金属板を用いて、配線回路基板を製造する配線回路基板の製造方法であって、前記バンプ形成用金属層の表面に、エッチングにより、半導体チップを搭載する部分となる凸部と、この凸部を囲うように配列され、他の配線回路基板との電気的導通部分となる複数のバンプを、少なくとも1組形成するバンプ形成工程を含むことを特徴とする。
【0019】
また、請求項7記載の発明は、請求項6記載の配線回路基板の製造方法であって、前記バンプ形成工程においては、前記凸部及び前記複数のバンプを形成すると共に、前記複数のバンプの並びを囲う外枠部を形成することを特徴とする。
【0020】
また、請求項8記載の発明は、請求項6又は請求項7に記載の配線回路基板の製造方法であって、前記外枠部内の領域に絶縁材を充填する第1の充填工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0021】
また、請求項9記載の発明は、請求項8に記載の配線回路基板の製造方法であって、前記第1の充填工程の後に、前記凸部、前記複数のバンプ及び前記外枠部の表面を面一に研磨する研磨工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0022】
また、請求項10記載の発明は、請求項9記載の配線回路基板の製造方法であって、前記研磨工程の後に、前記凸部をエッチングして、半導体チップを搭載する領域を形成する搭載領域形成工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0023】
また、請求項11記載の発明は、請求項1乃至請求項2に記載の配線回路基板の製造方法であって、前記半導体チップを搭載する領域に半導体チップを搭載した後、前記半導体チップを搭載する領域に絶縁材を充填する第2の充填工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0024】
また、請求項12記載の発明は、請求項3又は請求項11に記載の配線回路基板の製造方法であって、前記搭載は、フリップチップ、又は、ワイヤーボンディングにより行われることを特徴とする。
【0025】
また、請求項13記載の発明は、請求項3、請求項8又は請求項11に記載の配線回路基板の製造方法であって、前記絶縁材は、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂又はセラミック樹脂の何れかであることを特徴とする。
【0026】
また、請求項14記載の発明は、請求項1乃至請求項13の何れか一項に記載の配線回路基板の製造方法であって、前記配線膜形成用金属層の表面をエッチングすることにより、前記複数のバンプと対応する位置に第1の配線膜を形成する第1の配線膜形成工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0027】
また、請求項15記載の発明は、請求項14記載の配線回路基板の製造方法であって、前記第1の配線膜の表面に、前記複数のバンプと対応する位置に第1の孔部が形成された第1の絶縁膜を形成する第1の絶縁膜形成工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0028】
また、請求項16記載の発明は、請求項15記載の配線回路基板の製造方法であって、前記第1の絶縁膜の表面に金属メッキを施すことにより、前記第1の孔部に第1のメッキバンプを形成する第1のメッキバンプ形成工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0029】
また、請求項17記載の発明は、請求項16記載の配線回路基板の製造方法であって、前記第1のメッキバンプ形成工程の後に、前記第1の絶縁膜の表面に第2の配線膜形成用金属層を積層して、前記第2の配線膜形成用金属層の表面をエッチングすることにより、前記第1のメッキバンプと対応する位置に第2の配線膜を形成する第2の配線膜形成工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0030】
また、請求項18記載の発明は、請求項17記載の配線回路基板の製造方法であって、前記第2の配線膜の表面に、前記第1のメッキバンプと対応する位置に第2の孔部が形成された第2の絶縁膜を形成する第2の絶縁膜形成工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0031】
また、請求項19記載の発明は、請求項18記載の配線回路基板の製造方法であって、前記第2の絶縁膜の表面に金属メッキを施すことにより、前記第2の孔部に第2のメッキバンプを形成する第2のメッキバンプ形成工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0032】
上記課題を解決するために、請求項20記載の発明は、請求項16又は請求項19に記載の配線回路基板を複数用いて、半導体集積回路装置を製造する半導体集積回路装置の製造方法であって、前記配線回路基板を複数積層した後、個々の配線回路基板の前記外枠部内の領域に充填された絶縁材と、これに隣接する他の配線回路基板の前記第1の絶縁膜又は前記第2の絶縁膜とを溶着することで、これらを固定する積層工程を含むことを特徴とする。
【0033】
また、請求項21記載の発明は、請求項20記載の半導体集積回路装置の製造方法であって、前記積層工程においては、前記個々の配線回路基板のバンプと、これに隣接する他の配線回路基板のメッキバンプとを電気的に接合させることを特徴とする。
【0034】
また、請求項22記載の発明は、請求項21記載の半導体集積回路装置の製造方法であって、前記バンプ形成用金属層及び前記メッキバンプは、共に銅材からなり、前記電気的な接合は、Cu−Cu接合技術により行われることを特徴とする。
【0035】
また、請求項23記載の発明は、請求項20乃至請求項22の何れか一項に記載の半導体集積回路装置の製造方法であって、前記積層され固定された複数の配線回路基板の同一面にある複数を、個別にダイシングするダイシング工程を、さらに含むことを特徴とする。
【0036】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る配線回路基板の製造方法、及び、この配線回路基板を用いた半導体集積回路装置の製造方法の様々な実施形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
【0037】
[第1の実施形態]
<配線回路基板の製造方法>
図1に、本実施形態における配線回路基板及び半導体集積回路装置の各製造工程における構成を表す断面図を示す。尚、当該配線回路基板は、配線膜が単層構造となっている。
【0038】
図1(A)に示すように、まず、半導体チップを搭載するための配線回路基板の母材である多層金属板1を用意する。当該多層金属板1は、厚さ70〜150μmの銅箔からなるバンプ形成用金属層2の一方の主面に、厚さ0.5〜2μmのニッケル層からなるエッチングストップ層3を介して、厚さ9〜35μmの銅箔からなる配線膜形成用金属層4が積層されてなる。
【0039】
(配線膜形成工程)
次に、図1(B)に示すように、配線膜形成用金属層4を部分的にマスキング、具体的には、所定の配線パターンを残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、配線膜4aを形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、バンプ形成用金属層2がエッチングされることを阻む。因みに、この選択的エッチングの具体例としては、サブトラクティブ法(Subtractiveprocess)によるアルカリエッチングがある。また、アディティブ法(Additive process)によりエッチングを行う場合には、多層金属板1に替わり、単層金属板(必要に応じてNi/Au/Ni/Cuの組み合わせ)を用意することになる。
【0040】
(絶縁膜形成工程)
次に、図1(C)に示すように、配線膜4aの形成面に、例えばポリイミド等の熱可塑性樹脂(場合によっては、熱硬化性樹脂)からなる絶縁膜5を接着する。さらに、この絶縁膜5の所定の位置、具体的には、後述するスタック用端子バンプ8と対応する位置に孔部6を形成する。因みに、絶縁膜5に孔部6を形成する手法としては、レーザーにより加工する方法や、絶縁膜5を配線膜4aの形成面に接着する以前に、パンチングにより形成する方法や、絶縁膜5を感光性樹脂により構成して、これを感光することで形成する方法などがある。
【0041】
(メッキバンプ形成工程)
次に、図1(D)に示すように、絶縁膜5の主面に、例えばフォトレジスト膜を選択的に形成して、このフォトレジスト膜をマスクとして、例えば銅等の金属をメッキすることにより、孔部6にメッキバンプである端子中間バンプ7を形成する。また、必要に応じて、端子中間バンプ7の端面に金をメッキする。尚、端子中間バンプ7を形成した後には、この端子中間バンプ7をマスクとしてフォトレジスト膜をエッチングする必要がある。
【0042】
ところで、図1(C)、(D)の工程は、図1(C´)に示す工程に置き換えることも可能である。
【0043】
例えば、図1(C´)に示すように、図1(B)の状態において、配線膜4aの主面に、例えばフォトレジスト膜を選択的に形成して、このフォトレジスト膜をマスクとして、例えば銅等の金属をメッキすることにより、所定の位置、具体的には、後述するスタック用端子バンプ8と対応する位置に端子中間バンプ7を形成して、この端子中間バンプ7に対応した位置に孔部6が形成された絶縁膜5を接着する。尚、このような場合には、絶縁膜5は、熱硬化性樹脂により構成する。
【0044】
(バンプ形成工程)
次に、図1(E)に示すように、バンプ形成用金属層2を部分的にマスキング、具体的には、後述するスタック用端子バンプ8とスティフナー9を残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、孔部2aを形成すると共に、他の配線回路基板との電気的導通部分となるバンプである複数のスタック用端子バンプ8と、これら複数のスタック用端子バンプ8の並びを囲う外枠部であるスティフナー9を形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、配線膜4aがエッチングされることを阻む。
【0045】
(充填工程)
次に、図1(F)に示すように、スタック用端子バンプ8に囲まれる半導体チップ搭載領域の配線膜4a上に半導体チップ10を搭載して、半田ボール11を形成する。即ち、Frip Chip実装を行う。これにより、半導体チップ10は、配線膜4a上に実装される。このときの状態を、図2(A)に示す。同図に示すように、本実施形態においては、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に半導体チップ10を搭載することができる。尚、同図に示すように、配線回路基板は、同一面に複数個を配置することとし、これらを同時に加工する。また、半導体チップ10を配線膜4a上に実装する手法としては、この他にも、例えばワイヤーボンディング(Wire Bonding)による方法や、異方性導電フィルム(Anisotropic Conductive Film)を用いた接合方法がある。
【0046】
次に、図1(G)に示すように、孔部2aに、例えばエポキシ樹脂等の熱可塑性樹脂や、熱硬化性樹脂からなる絶縁材12を充填する。これにより、半導体チップ10を含む、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面までが絶縁材12によりモールドされる。このときの状態を、図2(B)に示す。
【0047】
(研磨工程)
次に、図1(H)に示すように、絶縁材12によりモールドされたスタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面を研磨機により面一に研磨する。これにより、これらの表面をモールドしていた絶縁材12が取り除かれて、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面が露出する。これにより、半導体チップ10を搭載した配線回路50が製造される。このときの状態を、図2(B)に示す。尚、この際、半導体チップ10の表面を越えてまで研磨を行い、当該半導体チップ10の厚さを必要なだけ薄くすることもできる。これにより、インターポーザー厚を薄くして、薄型化及び高集積化(これを積層した場合)の向上を図ることができる。また、このような場合、半導体チップ10は、絶縁材12によりモールドされているので、安定性が高く、これを破損することなく研磨を行うことができる。この際、必要に応じて、スタック用端子バンプ8の端面に金をメッキする。
【0048】
ところで、図1(G)、(H)の工程は、図1(G´)に示す工程に置き換えることも可能である。
【0049】
例えば、図1(G´)に示すように、孔部2aを蓋13により或る程度の圧力をかけて密着封止して、蓋13に形成された図示省略の孔部より絶縁材12を注入し、半導体チップ10を含む、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9をモールドした後、蓋13を取り除く。即ち、トランスファーモールドを行う。これにより、容易に、且つ、精度良く成型を行うことができる。また、この際、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面は、蓋13により覆われるため、これらは絶縁材12によりモールドされることがなく、上述したような研磨を行う必要がなくなる。
【0050】
次に、バーンインテスト(burn−in test)を行う。即ち、配線回路基板50に搭載される半導体チップ10に対して、恒温槽中にて、外部から加速ストレスとなる電源電圧、入力信号を一定時間印加する。その後、外部に取り出し、良品/不良品の判定を行う。これにより不良品が取り除かれる。
【0051】
<半導体集積回路装置の製造方法>
(積層工程)
次に、図1(I)に示すように、配線回路基板(但し、同一面に複数個を配置したもの)50の複数を3次元的に積層する。この際、半導体チップ10をモールドした絶縁材12にSiO2やAl系のフィラーが大量に混入された樹脂を用いることにより、これらを同時に加熱圧着(溶着)することが可能になり、且つ、高い寸法安定性を得ることが可能になる。これにより、半導体チップ10が搭載された状態で、面付けされた状態でも3次元実装を行うことが可能になる。また、この際、個々の配線回路基板の端子中間バンプ7と、これに隣接する他の配線回路基板のスタック用端子バンプ8とを電気的に接合する。尚、これらは、Cu‐Cu接合技術を用いて接合する。当該Cu‐Cu接合技術は、本願出願人会社が、特開2002−26479号公報において紹介する技術であり、その内容を簡潔に述べれば、銅配線膜(本実施形態のスタック用端子バンプ8に対応する)の銅バンプ(本実施形態の端子中間バンプ7に対応する)接続部分を、銅バンプ頂面にあたる、或いは、頂面をよぎる上縁を有する形状(例えば、メッシュ状)にして、一方、銅バンプは、その頂面、或いは、この頂面を粗面化して接続性を高めて、これらを熱圧着するというものである。このような技術を用いて接合することにより、端子中間バンプ7とスタック用端子バンプ8は、安定して、且つ、強固に接合される。また、従来の半田による接合においては、フラックスの分解物が残留して、障害を発生させる問題があるが、当該技術においては、このような問題は生じない。このときの状態を、図2(C)に示す。
【0052】
ところで、半導体チップ10は、3次元実装を行う前に、配線膜4a上に実装することにしても良い。尚、この詳細については、[第3の実施形態]の処で説明する。
【0053】
(ダイシング工程)
次に、図1(J)に示すように、この3次元実装された配線回路基板50の集合体を、同一面にある複数の配線回路基板50が個別になるようにダイシングする。この際、必要に応じて、スティフナー9の部分を取り除く。これにより、複数の半導体集積回路装置100が同時に製造される。従って、生産効率が向上される。このときの状態を、図2(D)に示す。
【0054】
以上に説明したように、本実施形態における配線回路基板の製造方法においては、まず、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、半導体チップ10を搭載する際には、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に搭載することができる。また、半導体チップ10を絶縁材12によりモールドするので、安定性が高く、これを破損することなく研磨して、インターポーザー厚を薄くすることができる。これにより、薄型化及び高集積化(これを積層した場合)の向上を図ることができる。また、孔部2aを蓋13により封止して、蓋13に形成された図示省略の孔部より絶縁材12を注入し、半導体チップ10を含む、スタック用端子バンプ8やスティフナー9をモールドする、所謂、トランスファーモールドを行うことで、容易に且つ精度良く成型を行うことができる。また、この場合、スタック用端子バンプ8やスティフナー9の表面は、蓋13により覆われるため、これらは絶縁材12によりモールドされることがなく、これらの表面を研磨する工程を省くことができる。
【0055】
また、以上に説明したように、本実施形態における半導体集積回路装置の製造方法においては、配線回路基板(但し、同一面に複数個を配置したもの)50の複数を3次元的に積層して、これらを同時に加熱圧着(溶着)することで、高い寸法安定性を得ることができると共に、この際、Cu接合技術を用いて、個々の配線回路基板の端子中間バンプ7と、これに隣接する他の配線回路基板のスタック用端子バンプ8とを電気的に接合するので、端子中間バンプ7とスタック用端子バンプ8とを安定して、且つ、強固に接合することができる。また、従来の半田による接合においては、フラックスの分解物が残留して、障害を発生させる問題があるが、当該技術においては、このような問題は生じない。また、3次元実装された配線回路基板50の集合体を、同一面にある複数の配線回路基板50が個別になるようにダイシングすることで、複数の半導体集積回路装置100を同時に製造することができ、これをもって、生産効率を向上することができる。
【0056】
[第2の実施形態]
<配線回路基板の製造方法>
図3に、本実施形態における配線回路基板及び半導体集積回路装置の各製造工程における構成を表す断面図を示す。尚、当該配線回路基板は、上述した[第1の実施形態]と基本的に同一の構造を有するものであり、各製造工程に関する種々の他例については、上述した内容と同様であるので、その説明は省略することにする。また、図においては、共通する構成要素に関しては、同一の符号を付することにする。
【0057】
図3(A)に示すように、まず、半導体チップを搭載するための配線回路基板の母材である多層金属板1を用意する。当該多層金属板1は、厚さ70〜150μmの銅箔からなるバンプ形成用金属層2の一方の主面に、厚さ0.5〜2μmのニッケル層からなるエッチングストップ層3を介して、厚さ9〜35μmの銅箔からなる配線膜形成用金属層4が積層されてなる。
【0058】
(バンプ形成工程)
次に、図3(B)に示すように、バンプ形成用金属層2を部分的にマスキング、具体的には、後述するスタック用端子バンプ8とスティフナー9を残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、孔部2aを形成すると共に、他の配線回路基板との電気的導通部分となるバンプである複数のスタック用端子バンプ8と、これら複数のスタック用端子バンプ8の並びを囲う外枠部であるスティフナー9を形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、配線膜4aがエッチングされることを阻む。
【0059】
(充填工程)
次に、図3(C)に示すように、スタック用端子バンプ8に囲まれる半導体チップ搭載領域の配線膜4a上に半導体チップ10を搭載して、半田ボール11を形成する。即ち、Frip Chip実装を行う。これにより、半導体チップ10は、配線膜4a上に実装される。尚、本実施形態においては、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に半導体チップ10を搭載することができる。
【0060】
次に、図3(D)に示すように、孔部2aに熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂からなる絶縁材12を充填する。これにより、半導体チップ10を含む、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面までが絶縁材12によりモールドされる。
【0061】
(研磨工程)
次に、図3(E)に示すように、絶縁材12によりモールドされたスタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面を研磨機により面一に研磨する。これにより、これらの表面をモールドしていた絶縁材12が取り除かれて、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面が露出する。尚、この際、半導体チップ10の表面を越えてまで研磨を行い、当該半導体チップ10の厚さを必要なだけ薄くすることもできる。これにより、インターポーザー厚を薄くして、薄型化及び高集積化(これを積層した場合)の向上を図ることができる。また、このような場合、半導体チップ10は、絶縁材12によりモールドされているので、安定性が高く、これを破損することなく研磨を行うことができる。この際、必要に応じて、スタック用端子バンプ8の端面に金をメッキする。
【0062】
ところで、図3(D)、(E)の工程は、図3(D´)に示す工程に置き換えることも可能である。
【0063】
例えば、図3(D´)に示すように、孔部2aを蓋13により或る程度の圧力をかけて密着封止して、蓋13に形成された図示省略の孔部より絶縁材12を注入し、半導体チップ10を含む、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9をモールドした後、蓋13を取り除く。即ち、トランスファーモールドを行う。これにより、容易に、且つ、精度良く成型を行うことができると共に、この際、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面は、蓋13により覆われるため、これらは絶縁材12によりモールドされることがなく、上述したような研磨を行う必要がなくなる。
【0064】
(配線膜形成工程)
次に、図3(F)に示すように、配線膜形成用金属層4を部分的にマスキング、具体的には、所定の配線パターンを残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、スタック用端子バンプ8と対応する位置に配線膜4aを形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、バンプ形成用金属層2がエッチングされることを阻む。
【0065】
(絶縁膜形成工程)
次に、図3(G)に示すように、配線膜4aの形成面に、例えば熱可塑性樹脂(場合によっては、熱硬化性樹脂)からなる絶縁膜5を接着する。さらに、この絶縁膜5の所定の位置、具体的には、スタック用端子バンプ8と対応する位置に孔部6を形成する。
【0066】
次に、図3(H)に示すように、孔部6に半田ボール14を形成する。
【0067】
次に、図3(I)に示すように、ダイシングを行うことでスティフナー9の部分を取り除く。これにより、半導体チップ10を搭載した配線回路基板51が製造される。
【0068】
次に、バーンインテスト(burn−in test)を行う。即ち、配線回路基板51に搭載される半導体チップ10に対して、恒温槽中にて、外部から加速ストレスとなる電源電圧、入力信号を一定時間印加する。その後、外部に取り出し、良品/不良品の判定を行う。これにより不良品が取り除かれる。
【0069】
<半導体集積回路の製造方法>
(積載工程)
次に、図3(J)に示すように、当該配線回路基板51の複数を3次元的に積層する。この際、半田ボール14とスタック用端子バンプ8を接合する。これにより、半導体集積回路装置101が作成される。
【0070】
ところで、半導体チップ10は、3次元実装を行う前の途中過程において、配線膜4a上に実装することにしても良い。尚、この詳細については、[第3の実施形態]の処で説明する。
【0071】
以上に説明したように、本実施形態における配線回路基板の製造方法においては、第1の実施形態と同様に、まず、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、半導体チップ10を搭載する際には、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に搭載することができる。また、半導体チップ10を絶縁材12によりモールドするので、安定性が高く、これを破損することなく研磨して、インターポーザー厚を薄くすることができる。これにより、薄型化及び高集積化(これを積層した場合)の向上を図ることができる。また、孔部2aを蓋13により封止して、蓋13に形成された図示省略の孔部より絶縁材12を注入し、半導体チップ10を含む、スタック用端子バンプ8やスティフナー9をモールドする、所謂、トランスファーモールドを行うことで、容易に且つ精度良く成型を行うことができる。また、この場合、スタック用端子バンプ8やスティフナー9の表面は、蓋13により覆われるため、これらは絶縁材12によりモールドされることがなく、これらの表面を研磨する工程を省くことができる。
【0072】
また、以上に説明したように、本実施形態における半導体集積回路装置の製造方法においては、配線回路基板51の複数を3次元的に積層する際に、従来の半田ボール14による接合技術を用いて、個々の配線回路基板のスタック用端子バンプ8と、これに隣接する他の配線回路基板の配線膜4aとを電気的に接合することができる。
【0073】
[第3の実施形態]
<配線回路基板の製造方法>
図4及び図5に、本実施形態における配線回路基板及び半導体集積回路装置の各製造工程における構成を表す断面図を示す。尚、当該配線回路基板は、上述した[第1の実施形態]と基本的に同一の構造を有するものであり、各製造工程に関する種々の他例については、上述した内容と同様であるので、その説明は省略することにする。また、図においては、共通する構成要素に関しては、同一の符号を付することにする。
【0074】
図4(A)に示すように、まず、半導体チップを搭載するための配線回路基板の母材である多層金属板1を用意する。当該多層金属板1は、厚さ70〜150μmの銅箔からなるバンプ形成用金属層2の一方の主面に、厚さ0.5〜2μmのニッケル層からなるエッチングストップ層3を介して、厚さ9〜35μmの銅箔からなる配線膜形成用金属層4が積層されてなる。
【0075】
(バンプ形成工程)
次に、図4(B)に示すように、バンプ形成用金属層2を部分的にマスキング、具体的には、後述するスタック用端子バンプ8、スティフナー9及び半導体チップ搭載部分15を残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、孔部2aを形成すると共に、複数のスタック用端子バンプ8と、これら複数のスタック用端子バンプ8の並びを囲うスティフナー9と、凸部である半導体チップ搭載部分15を形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、配線膜4aがエッチングされることを阻む。
【0076】
(第1の充填工程)
次に、図4(C)に示すように、孔部2aに熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂からなる絶縁材12を充填する。これにより、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9や、半導体チップ搭載部分15の表面までが絶縁材12によりモールドされる。
【0077】
(研磨工程)
次に、図4(D)に示すように、絶縁材12によりモールドされたスタック用端子バンプ8や、スティフナー9や、半導体チップ搭載部分15の表面を研磨機により面一に研磨する。これにより、これらの表面をモールドしていた絶縁材12が取り除かれて、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9や、半導体チップ搭載部分15の表面が露出する。
【0078】
次に、図4(E)に示すように、研磨面、即ち、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9や、半導体チップ搭載部分15の表面にレジストを塗布して、レジスト膜16を形成する。また、配線膜形成用金属層4の主面にレジストを塗布してレジスト膜17を形成する。
【0079】
次に、図4(F)に示すように、レジスト膜16を露光及び現像することにより、パターニングを行う。
【0080】
(搭載領域形成工程)
次に、図4(G)に示すように、バンプ形成用金属層2を選択的エッチングによりパターニングすることにより半導体チップ搭載孔部18を形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、配線膜形成用金属層4がエッチングされることを阻む。さらに、レジスト膜16、17を剥離させる。
【0081】
(第2の充填工程)
次に、図4(H)に示すように、半導体チップ搭載孔部18内の配線膜4a上に半導体チップ10を搭載して、半田ボール11を形成する。即ち、Frip Chip実装を行う。これにより、半導体チップ10は、配線膜4a上に実装される。尚、本実施形態においては、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に半導体チップ10を搭載することができる。また、半導体チップ搭載孔部18をガイドとして半導体チップ10を配線膜4a上に搭載することができるので、適正な位置に、これを位置決めすることができる。尚、半導体チップ搭載孔部18の深さは、配線膜4a上に実装された半導体チップ10の高さと同様、或いは、それ以上の大きさを有していることとする。
【0082】
次に、図4(I)に示すように、半導体チップ搭載孔部18に熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂からなる絶縁材12aを充填する。これにより、半導体チップ10は表面を残した状態で絶縁材12aによりモールドされる。
【0083】
(配線膜形成工程)
次に、図4(J)に示すように、配線膜形成用金属層4を部分的にマスキング、具体的には、所定の配線パターンを残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、スタック用端子バンプ8と対応する位置に配線膜4aを形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、バンプ形成用金属層2がエッチングされることを阻む。
【0084】
(絶縁膜形成工程)
次に、図4(K)に示すように、配線膜4aの形成面に、例えば熱可塑性樹脂(場合によっては、熱硬化性樹脂)からなる絶縁膜5を接着する。さらに、この絶縁膜5の所定の位置、具体的には、スタック用端子バンプ8と対応する位置に孔部6を形成する。
【0085】
ところで、図4(F)〜(K)の工程は、図4(F´)〜(J´)に示す工程に置き換えることも可能である。
【0086】
例えば、図4(F´)に示すように、レジスト膜17を露光及び現像することにより、パターニングを行う。さらに、配線膜形成用金属層4を選択的エッチングによりパターニングすることにより、スタック用端子バンプ8と対応する位置に配線膜4aを形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、バンプ形成用金属層2がエッチングされることを阻む。さらに、レジスト膜16、17を剥離させる。
【0087】
次に、図4(G´)に示すように、配線膜4aの形成面に、例えば熱可塑性樹脂(場合によっては、熱硬化性樹脂)からなる絶縁膜5を接着する。さらに、この絶縁膜5の所定の位置、具体的には、スタック用端子バンプ8と対応する位置に孔部6を形成する。
【0088】
次に、図4(H´)に示すように、バンプ形成用金属層2を部分的にマスキング、具体的には、半導体チップ搭載部分15を除いた形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、半導体チップ搭載部分15を取り除き半導体チップ搭載孔部18を形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、配線膜形成用金属層4がエッチングされることを阻む。
【0089】
次に、図4(I´)に示すように、半導体チップ搭載孔部18内の配線膜4a上に半導体チップ10を搭載して、半田ボール11を形成する。即ち、FripChip実装を行う。これにより、半導体チップ10は、配線膜4a上に実装される。尚、本実施形態においては、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に半導体チップ10を搭載することができる。また、半導体チップ搭載孔部18をガイドとして半導体チップ10を配線膜4a上に搭載することができるので、適正な位置に、これを位置決めすることができる。尚、半導体チップ搭載孔部18の深さは、配線膜4a上に実装された半導体チップ10の高さと同様、或いは、それ以上の大きさを有していることとする。
【0090】
次に、図4(J´)に示すように、半導体チップ搭載孔部18に熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂からなる絶縁材12aを充填する。これにより、半導体チップ10は、例えば表面を残した状態で絶縁材12aによりモールドされる。
【0091】
次に、図4(L)に示すように、孔部6に半田ボール14を形成する。
【0092】
次に、図5(M)に示すように、ダイシングを行うことでスティフナー9の部分を取り除く。これにより、半導体チップ10を搭載した配線回路基板52が製造される。
【0093】
次に、バーンインテスト(burn−in test)を行う。即ち、配線回路基板52に搭載される半導体チップ10に対して、恒温槽中にて、外部から加速ストレスとなる電源電圧、入力信号を一定時間印加する。その後、外部に取り出し、良品/不良品の判定を行う。これにより不良品が取り除かれる。
【0094】
<半導体集積回路装置の製造方法>
(積層工程)
次に、図5(N)に示すように、当該配線回路基板52の複数を3次元的に積層する。この際、半田ボール14とスタック用端子バンプ8を接合する。これにより、半導体集積回路装置102が製造される。
【0095】
以上に説明したように、本実施形態における配線回路基板の製造方法においては、第1の実施形態と同様に、まず、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、半導体チップ10を搭載する際には、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に搭載することができる。また、半導体チップ10を絶縁材12aによりモールドするので、安定性が高く、これを破損することなく研磨して、インターポーザー厚を薄くすることができる。これにより、薄型化及び高集積化(これを積層した場合)の向上を図ることができる。さらに、本実施形態における配線回路基板の製造方法においては、半導体チップ搭載孔部18をガイドとして半導体チップ10を配線膜4a上に搭載することができるので、適正な位置に、これを位置決めすることができる。
【0096】
また、以上に説明したように、本実施形態における半導体集積回路装置の製造方法においては、配線回路基板52の複数を3次元的に積層する際に、従来の半田ボール14による接合技術を用いて、個々の配線回路基板のスタック用端子バンプ8と、これに隣接する他の配線回路基板の配線膜4aとを電気的に接合することができる。
【0097】
[第4の実施形態]
<配線回路基板の製造方法>
図6に、本実施形態における配線回路基板及び半導体集積回路装置の各製造工程における構成を表す断面図を示す。尚、当該配線回路基板は、上述した[第1の実施形態]と基本的に同一の構造を有するものであり、各製造工程に関する種々の他例については、上述した内容と同様であるので、その説明は省略することにする。また、図においては、共通する構成要素に関しては、同一の符号を付することにする。
【0098】
ところで、当該配線回路基板は、上述した[第3の実施形態]と途中(図4(K)、或いは、図4(J´))の製造工程が同一であるので、以下においては、これに続く製造工程に関して説明する。
【0099】
(メッキバンプ形成工程)
図4(K)、或いは、図4(J´)に続いて、次に、図6(L)に示すように、絶縁膜5の主面に、例えばフォトレジスト膜を選択的に形成して、このフォトレジスト膜をマスクとして、例えば銅等の金属をメッキすることにより孔部6に端子中間バンプ7を形成する。また、必要に応じて、端子中間バンプ7の端面に金をメッキする。これにより、半導体チップ10を搭載した配線回路基板53が製造される。尚、端子中間バンプ7を形成した後には、この端子中間バンプ7をマスクとしてフォトレジスト膜をエッチングする必要がある。
【0100】
次に、バーンインテスト(burn−in test)を行う。即ち、配線回路基板53に搭載される半導体チップ10に対して、恒温槽中にて、外部から加速ストレスとなる電源電圧、入力信号を一定時間印加する。その後、外部に取り出し、良品/不良品の判定を行う。これにより不良品が取り除かれる。
【0101】
<半導体集積回路装置の製造方法>
(積層工程)
次に、図6(M)に示すように、当該配線回路基板(但し、同一面に複数個を配置したもの)53の複数を3次元的に積層する。この際、個々の配線回路基板の端子中間バンプ7と、これに隣接する他の配線回路基板のスタック用端子バンプ8とをCu‐Cu接合技術を用いて電気的に接合する。
【0102】
(ダイシング工程)
次に、図6(N)に示すように、この3次元実装された配線回路基板53の集合体を、同一面にある複数の配線回路基板53が個別になるようにダイシングする。この際、必要に応じて、スティフナー9の部分を取り除く。これにより、複数の半導体集積回路装置103が同時に製造される。従って、生産効率が向上される。
【0103】
以上に説明したように、本実施形態における半導体集積回路装置の製造方法においては、配線回路基板(但し、同一面に複数個を配置したもの)53の複数を3次元的に積層して、これらを同時に加熱圧着(溶着)することで、高い寸法安定性を得ることができると共に、この際、Cu接合技術を用いて、個々の配線回路基板の端子中間バンプ7と、これに隣接する他の配線回路基板のスタック用端子バンプ8とを電気的に接合するので、端子中間バンプ7とスタック用端子バンプ8とを安定して、且つ、強固に接合することができる。また、従来の半田による接合においては、フラックスの分解物が残留して、障害を発生させる問題があるが、当該技術においては、このような問題は生じない。また、3次元実装された配線回路基板53の集合体を、同一面にある複数の配線回路基板53が個別になるようにダイシングすることで、複数の半導体集積回路装置103を同時に製造することができ、これをもって、生産効率を向上することができる。
【0104】
[第5の実施形態]
<配線回路基板の製造方法>
図7及び図8に、本実施形態における配線回路基板及び半導体集積回路装置の各製造工程における構成を表す断面図を示す。尚、当該配線回路基板は、上述した[第1の実施形態]と基本的に同一の構造を有するものであり、各製造工程に関する種々の他例については、上述した内容と同様であるので、その説明は省略することにする。また、図においては、共通する構成要素に関しては、同一の符号を付することにする。
【0105】
図7(A)に示すように、まず、半導体チップを搭載するための配線回路基板の母材である多層金属板1を用意する。当該多層金属板1は、厚さ70〜150μmの銅箔からなるバンプ形成用金属層2の一方の主面に、厚さ0.5〜2μmのニッケル層からなるエッチングストップ層3を介して、厚さ9〜35μmの銅箔からなる配線膜形成用金属層4が積層されてなる。
【0106】
(バンプ形成工程)
次に、図7(B)に示すように、バンプ形成用金属層2を部分的にマスキング、具体的には、後述するスタック用端子バンプ8、スティフナー9及び半導体チップ搭載部分15を残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、孔部2aを形成すると共に、複数のスタック用端子バンプ8と、これら複数のスタック用端子バンプ8の並びを囲うスティフナー9と、凸部である半導体チップ搭載部分15を形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、配線膜4aがエッチングされることを阻む。
【0107】
(第1の充填工程)
次に、図7(C)に示すように、孔部2aに、例えばアルミナ等のセラミック粉末及び樹脂の混合物からなる低温焼成セラミック材19を充填する。さらに、これを例えば800℃にて焼結させる。これにより、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9や、半導体チップ搭載部分15の表面までが低温焼成セラミック材19によりモールドされる。尚、銅材の溶融温度は、約1050℃であり、上述の焼結温度よりも高いことから、このように半導体チップ搭載部分15等をモールドする材料として低温焼成セラミック材19を用いることも可能になる。
【0108】
(研磨工程)
次に、図7(D)に示すように、低温焼成セラミック材19によりモールドされたスタック用端子バンプ8や、スティフナー9や、半導体チップ搭載部分15の表面を研磨機により面一に研磨する。これにより、これらの表面をモールドしていた低温焼成セラミック材19が取り除かれて、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9や、半導体チップ搭載部分15の表面が露出する。
【0109】
(配線膜形成工程)
次に、図7(E)に示すように、配線膜形成用金属層4を部分的にマスキング、具体的には、所定の配線パターンを残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることでスタック用端子バンプ8と対応する位置に配線膜4aを形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、バンプ形成用金属層2がエッチングされることを阻む。
【0110】
次に、図7(F)に示すように、セラミック粉末と樹脂の混合物からなる厚膜ペーストにより受動素子20を配線膜4aに形成された孔部に形成する。尚、厚膜ペーストの焼結温度は、800℃程度であるため、受動素子20は、印刷により作り込むことができる。
【0111】
(絶縁膜形成工程)
次に、図7(G)に示すように、配線膜4aの形成面に、例えば熱可塑性樹脂(場合によっては、熱硬化性樹脂)からなる絶縁膜5を接着する。これにより受動素子20は、絶縁膜5によってモールドされる。さらに、この絶縁膜5の所定の位置、具体的には、スタック用端子バンプ8と対応する位置に孔部6を形成する。
【0112】
(メッキバンプ形成工程)
次に、図7(H)に示すように、絶縁膜5の主面に、例えばフォトレジスト膜を選択的に形成して、このフォトレジスト膜をマスクとして、例えば銅等の金属をメッキすることにより孔部6に端子中間バンプ7を形成する。また、必要に応じて、端子中間バンプ7の端面に金をメッキする。尚、端子中間バンプ7を形成した後には、この端子中間バンプ7をマスクとしてフォトレジスト膜をエッチングする必要がある。
【0113】
(搭載領域形成工程)
次に、図7(I)に示すように、バンプ形成用金属層2を部分的にマスキング、具体的には、半導体チップ搭載部分15を除いた形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、半導体チップ搭載孔部18を形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、配線膜形成用金属層4がエッチングされることを阻む。
【0114】
(第2の充填工程)
次に、図8(J)に示すように、半導体チップ搭載孔部18内の配線膜4a上に半導体チップ10を搭載して、半田ボール11を形成する。即ち、Frip Chip実装を行う。これにより、半導体チップ10は、配線膜4a上に実装される。尚、本実施形態においては、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に半導体チップ10を搭載することができる。また、半導体チップ搭載孔部18をガイドとして半導体チップ10を配線膜4a上に搭載することができるので、適正な位置に、これを位置決めすることができる。尚、半導体チップ搭載孔部18の深さは、配線膜4a上に実装された半導体チップ10の高さと同様、或いは、それ以上の大きさを有していることとする。さらに、半導体チップ搭載孔部18に熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂からなる絶縁材12aを充填する。これにより、半導体チップ10は、例えば表面を残した状態で絶縁材12aによりモールドされる。これにより、半導体チップ10を搭載した配線回路基板54が製造される。
【0115】
次に、バーンインテスト(burn−in test)を行う。即ち、配線回路基板54に搭載される半導体チップ10に対して、恒温槽中にて、外部から加速ストレスとなる電源電圧、入力信号を一定時間印加する。その後、外部に取り出し、良品/不良品の判定を行う。これにより不良品が取り除かれる。
【0116】
<半導体集積回路装置の製造方法>
(積層工程)
次に、図8(K)に示すように、当該配線回路基板(但し、同一面に複数個を配置したもの)54の複数を3次元的に積層する。また、この際、個々の配線回路基板の端子中間バンプ7と、これに隣接する他の配線回路基板のスタック用端子バンプ8とをCu‐Cu接合技術を用いて電気的に接合する。
【0117】
(ダイシング工程)
次に、図8(L)に示すように、3次元実装された配線回路基板54の集合体を、同一面にある複数の配線回路基板54が個別になるようにダイシングする。この際、必要に応じて、スティフナー9の部分を取り除く。これにより、複数の半導体集積回路装置104が同時に製造される。従って、生産効率が向上される。
【0118】
以上に説明したように、本実施形態における配線回路基板の製造方法においては、第1の実施形態と同様に、まず、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、半導体チップ10を搭載する際には、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に搭載することができる。また、半導体チップ10を絶縁材12aによりモールドするので、安定性が高く、これを破損することなく研磨して、インターポーザー厚を薄くすることができる。これにより、薄型化及び高集積化(これを積層した場合)の向上を図ることができる。さらに、本実施形態における配線回路基板の製造方法においては、半導体チップ搭載孔部18をガイドとして半導体チップ10を配線膜4a上に搭載することができるので、適正な位置に、これを位置決めすることができる。
【0119】
また、以上に説明したように、本実施形態における半導体集積回路装置の製造方法においては、配線回路基板(但し、同一面に複数個を配置したもの)54の複数を3次元的に積層して、これらを同時に加熱圧着(溶着)することで、高い寸法安定性を得ることができると共に、この際、Cu接合技術を用いて、個々の配線回路基板の端子中間バンプ7と、これに隣接する他の配線回路基板のスタック用端子バンプ8とを電気的に接合するので、端子中間バンプ7とスタック用端子バンプ8とを安定して、且つ、強固に接合することができる。また、従来の半田による接合においては、フラックスの分解物が残留して、障害を発生させる問題があるが、当該技術においては、このような問題は生じない。また、3次元実装された配線回路基板54の集合体を、同一面にある複数の配線回路基板53が個別になるようにダイシングすることで、複数の半導体集積回路装置104を同時に製造することができ、これをもって、生産効率を向上することができる。
【0120】
[第6の実施形態]
<配線回路基板の製造方法>
図9及び図10に、本実施形態における配線回路基板及び半導体集積回路装置の各製造工程における構成を表す断面図を示す。尚、当該配線回路基板は、配線膜が複層構造となっている他は、上述した[第1の実施形態]と基本的に同一の構造を有するものであり、各製造工程に関する種々の他例については、上述した内容と同様であるので、その説明は省略することにする。また、図においては、共通する構成要素に関しては、同一の符号を付することにする。
【0121】
図9(A)に示すように、まず、半導体チップを搭載するための配線回路基板の母材である多層金属板1を用意する。当該多層金属板1は、厚さ70〜150μmの銅箔からなるバンプ形成用金属層2の一方の主面に、厚さ0.5〜2μmのニッケル層からなるエッチングストップ層3を介して、厚さ9〜35μmの銅箔からなる配線膜形成用金属層4が積層されてなる。
【0122】
(第1の配線膜形成工程)
次に、図9(B)に示すように、配線膜形成用金属層4を部分的にマスキング、具体的には、所定の配線パターンを残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで第1の配線膜である配線膜4aを形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、バンプ形成用金属層2がエッチングされることを阻む。
【0123】
(第1の絶縁膜形成工程)(第1のメッキバンプ形成工程)
次に、図9(C)に示すように、配線膜4aの形成面に、例えば熱可塑性樹脂(場合によっては、熱硬化性樹脂)からなる第1の絶縁膜である絶縁膜5を接着する。さらに、この絶縁膜5の所定の位置、具体的には、後述するスタック用端子バンプ8と対応する位置に孔部6を形成する。さらに、絶縁膜5の主面に、例えばフォトレジスト膜を選択的に形成して、このフォトレジスト膜をマスクとして、例えば銅等の金属をメッキすることにより孔部6に第1のメッキバンプである端子中間バンプ7を形成する。また、必要に応じて、端子中間バンプ7の端面に金をメッキする。尚、端子中間バンプ7を形成した後には、この端子中間バンプ7をマスクとしてフォトレジスト膜をエッチングする必要がある。
【0124】
(第2の配線膜形成工程)
さらに、端子中間バンプ7の端面を含む絶縁膜5の主面に、厚さ9〜35μmの銅箔からなる第2の配線膜形成用金属層21を接着する。次に、図9(D)に示すように、第2の配線膜形成用金属層21を部分的にマスキング、具体的には、所定の配線パターンを残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、端子中間バンプ7と対応する位置に第2の配線膜である配線膜21aを形成する。
【0125】
(第2の絶縁膜形成工程)
次に、図9(E)に示すように、配線膜21aの形成面に、例えばエポキシ樹脂やアクリレート等の感光性樹脂(ソルダーレジスト)からなる第2の絶縁膜である絶縁膜22を接着する。さらに、この絶縁膜22の所定の位置、具体的には、端子中間バンプ7と対応する位置に第2の孔部である孔部23を形成する。
【0126】
(バンプ形成工程)
次に、図9(F)に示すように、バンプ形成用金属層2を部分的にマスキング、具体的には、後述するスタック用端子バンプ8とスティフナー9を残す形状にてマスキングした後、これをエッチングすることで、即ち、選択的エッチングによりパターニングすることで、孔部2aを形成すると共に、複数のスタック用端子バンプ8と、これら複数のスタック用端子バンプ8の並びを囲うスティフナー9を形成する。この選択的エッチングにおいて、エッチングストップ層3は、配線膜4aがエッチングされることを阻む。
【0127】
(充填工程)
次に、図9(G)に示すように、スタック用端子バンプ8に囲まれる半導体チップ搭載領域の配線膜4a上に半導体チップ10を搭載して、半田ボール11を形成する。これにより、半導体チップ10は、配線膜4a上に実装される。即ち、Frip Chip実装を行う。尚、本実施形態においては、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に半導体チップ10を搭載することができる。
【0128】
次に、図10(H)に示すように、孔部2aに熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂からなる絶縁材12を充填する。これにより、半導体チップ10を含む、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面までが絶縁材12によりモールドされる。
【0129】
(研磨工程)
次に、図10(I)に示すように、絶縁材12によりモールドされたスタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面を研磨機により面一に研磨する。これにより、これらの表面をモールドしていた絶縁材12が取り除かれて、スタック用端子バンプ8や、スティフナー9の表面が露出する。尚、この際、半導体チップ10の表面を越えてまで研磨を行い、当該半導体チップ10の厚さを必要なだけ薄くすることもできる。これにより、インターポーザー厚を薄くして、薄型化及び高集積化(これを積層した場合)の向上を図ることができる。また、このような場合、半導体チップ10は、絶縁材12によりモールドされているので、安定性が高く、これを破損することなく研磨を行うことができる。この際、必要に応じて、スタック用端子バンプ8の端面に金をメッキする。
【0130】
(第2のメッキバンプ形成工程)
次に、図10(J)に示すように、絶縁膜22の主面に、例えばフォトレジスト膜を選択的に形成して、このフォトレジスト膜をマスクとして、例えば銅等の金属をメッキすることにより孔部23に第2のメッキバンプである端子中間バンプ24を形成する。また、必要に応じて、端子中間バンプ24の端面に金をメッキする。尚、端子中間バンプ24を形成した後には、この端子中間バンプ24をマスクとしてフォトレジスト膜をエッチングする必要がある。これにより、半導体チップ10を搭載した配線回路基板55が製造される。
【0131】
次に、バーンインテスト(burn−in test)を行う。即ち、配線回路基板55に搭載される半導体チップ10に対して、恒温槽中にて、外部から加速ストレスとなる電源電圧、入力信号を一定時間印加する。その後、外部に取り出し、良品/不良品の判定を行う。これにより不良品が取り除かれる。
【0132】
<半導体集積回路装置の製造方法>
(積層工程)
次に、当該配線回路基板(但し、同一面に複数個を配置したもの)55の複数を3次元的に積層する。また、この際、個々の配線回路基板の端子中間バンプ24と、これに隣接する他の配線回路基板のスタック用端子バンプ8とをCu‐Cu接合技術を用いて電気的に接合する。
【0133】
(ダイシング工程)
次に、3次元実装された配線回路基板55の集合体を、同一面にある複数の配線回路基板55が個別になるようにダイシングする。この際、必要に応じて、スティフナー9の部分を取り除く。これにより、複数の半導体集積回路装置が同時に製造される。従って、生産効率が向上される。
【0134】
尚、当該配線回路基板55は、配線膜4a及び配線膜21aの2層構造となっているが、配線膜は3層以上形成されても良い。
【0135】
以上に説明したように、本実施形態における配線回路基板の製造方法においては、第1の実施形態と同様に、まず、配線膜4a上にスティフナー9を形成することにより、その剛性が高まるため、半導体チップ10を搭載する際には、配線膜4aの捩れや歪による変形が防がれて、平坦な面に搭載することができる。また、半導体チップ10を絶縁材12によりモールドするので、安定性が高く、これを破損することなく研磨して、インターポーザー厚を薄くすることができる。これにより、薄型化及び高集積化(これを積層した場合)の向上を図ることができる。
【0136】
また、以上に説明したように、本実施形態における半導体集積回路装置の製造方法においては、配線回路基板(但し、同一面に複数個を配置したもの)55の複数を3次元的に積層して、これらを同時に加熱圧着(溶着)することで、高い寸法安定性を得ることができると共に、この際、Cu接合技術を用いて、個々の配線回路基板の端子中間バンプ24と、これに隣接する他の配線回路基板のスタック用端子バンプ8とを電気的に接合するので、端子中間バンプ24とスタック用端子バンプ8とを安定して、且つ、強固に接合することができる。また、従来の半田による接合においては、フラックスの分解物が残留して、障害を発生させる問題があるが、当該技術においては、このような問題は生じない。また、3次元実装された配線回路基板55の集合体を、同一面にある複数の配線回路基板55が個別になるようにダイシングすることで、複数の半導体集積回路装置を同時に製造することができ、これをもって、生産効率を向上することができる。
【0137】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明に係る配線回路基板の製造方法、及び、この配線回路基板を用いた半導体集積回路装置の製造方法によれば、製造過程における種々の問題を解決して、品質及び生産効率の向上を図ると共に、薄型化及び高集積化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る配線回路基板及び半導体集積回路装置の[第1の実施形態]における各製造工程における構成を表す断面図である。
【図2】図1に示す配線回路基板及び半導体集積回路装置の主要な製造工程における構成を表す斜視図である。
【図3】本発明に係る配線回路基板及び半導体集積回路装置の[第2の実施形態]における各製造工程における構成を表す断面図である。
【図4】本発明に係る配線回路基板及び半導体集積回路装置の[第3の実施形態]における各製造工程における構成を表す断面図である。
【図5】本発明に係る配線回路基板及び半導体集積回路装置の[第3の実施形態]における各製造工程における構成を表す断面図である。
【図6】本発明に係る配線回路基板及び半導体集積回路装置の[第4の実施形態]における各製造工程における構成を表す断面図である。
【図7】本発明に係る配線回路基板及び半導体集積回路装置の[第5の実施形態]における各製造工程における構成を表す断面図である。
【図8】本発明に係る配線回路基板及び半導体集積回路装置の[第5の実施形態]における各製造工程における構成を表す断面図である。
【図9】本発明に係る配線回路基板の[第6の実施形態]における各製造工程における構成を表す断面図である。
【図10】本発明に係る配線回路基板の[第6の実施形態]における各製造工程における構成を表す断面図である。
【符号の説明】
1 多層金属板
2 バンプ形成用金属層
2a 孔部
3 エッチングストップ層
4 配線膜形成用金属層
4a 配線膜
5 絶縁膜
6 孔部
7 端子中間バンプ
8 スタック用端子バンプ
9 スティフナー
10 半導体チップ
11 半田ボール
12 絶縁材
13 蓋
50 配線回路基板
100 半導体集積回路装置
Claims (20)
- エッチングストップ層を挟んでバンプ形成用金属層と配線膜形成用金属層とを有する多層金属板を用いて、配線回路基板を製造する配線回路基板の製造方法であって、
前記バンプ形成用金属層の表面に、エッチングにより、半導体チップを搭載する領域を囲うように配列され、他の配線回路基板との電気的導通部分となる複数のバンプを、少なくとも1組形成するバンプ形成工程と、
前記バンプ形成工程においては、前記複数のバンプを形成すると共に、前記複数のバンプの並びを囲う外枠部を形成することと、
前記半導体チップを搭載する領域に半導体チップを搭載した後、前記外枠部内の領域に絶縁材を充填する充填工程と
を含み、
前記充填工程においては、前記外枠部内の領域を蓋により封止し、前記複数のバンプの表面と前記蓋とを密着させた状態で、前記絶縁材を充填する、配線回路基板の製造方法。 - エッチングストップ層を挟んでバンプ形成用金属層と配線膜形成用金属層とを有する多層金属板を用いて、配線回路基板を製造する配線回路基板の製造方法であって、
前記バンプ形成用金属層の表面に、エッチングにより、半導体チップを搭載する領域を囲うように配列され、他の配線回路基板との電気的導通部分となる複数のバンプを、少なくとも1組形成するバンプ形成工程と、
前記バンプ形成工程においては、前記複数のバンプを形成すると共に、前記複数のバンプの並びを囲う外枠部を形成することと、
前記半導体チップを搭載する領域に半導体チップを搭載した後、前記外枠部内の領域に絶縁材を充填する充填工程と
前記充填工程の後に、前記半導体チップ、前記複数のバンプ及び前記外枠の表面を面一に研磨する研磨工程と
を含む、配線回路基板の製造方法。 - エッチングストップ層を挟んでバンプ形成用金属層と配線膜形成用金属層とを有する多層金属板を用いて、配線回路基板を製造する配線回路基板の製造方法であって、
前記バンプ形成用金属層の表面に、エッチングにより、半導体チップを搭載する部分となる凸部と、この凸部を囲うように配列され、他の配線回路基板との電気的導通部分となる複数のバンプを、少なくとも1組形成するバンプ形成工程を含むことを特徴とする配線回路基板の製造方法。 - 前記バンプ形成工程においては、前記凸部及び前記複数のバンプを形成すると共に、前記複数のバンプの並びを囲う外枠部を形成することを特徴とする請求項3記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記外枠部内の領域に絶縁材を充填する第1の充填工程を、さらに含むことを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記第1の充填工程の後に、前記凸部、前記複数のバンプ及び前記外枠部の表面を面一に研磨する研磨工程を、さらに含むことを特徴とする請求項5に記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記研磨工程の後に、前記凸部をエッチングして、半導体チップを搭載する領域を形成する搭載領域形成工程を、さらに含むことを特徴とする請求項6記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記半導体チップを搭載する領域に半導体チップを搭載した後、前記半導体チップを搭載する領域に絶縁材を充填する第2の充填工程を、さらに含むことを特徴とする請求項7に記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記搭載は、フリップチップ、又は、ワイヤーボンディングにより行われることを特徴とする請求項1、2又は8のいずれか1項に記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記絶縁材は、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂又はセラミック樹脂の何れかであることを特徴とする請求項1、2、5又は8のいずれか1項に記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記配線膜形成用金属層の表面をエッチングすることにより、前記複数のバンプと対応する位置に第1の配線膜を形成する第1の配線膜形成工程を、さらに含むことを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記第1の配線膜の表面に、前記複数のバンプと対応する位置に第1の孔部が形成された第1の絶縁膜を形成する第1の絶縁膜形成工程を、さらに含むことを特徴とする請求項11記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記第1の絶縁膜の表面に金属メッキを施すことにより、前記第1の孔部に第1のメッキバンプを形成する第1のメッキバンプ形成工程を、さらに含むことを特徴とする請求項12記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記第1のメッキバンプ形成工程の後に、前記第1の絶縁膜の表面に第2の配線膜形成用金属層を積層して、前記第2の配線膜形成用金属層の表面をエッチングすることにより、前記第1のメッキバンプと対応する位置に第2の配線膜を形成する第2の配線膜形成工程を、さらに含むことを特徴とする請求項13記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記第2の配線膜の表面に、前記第1のメッキバンプと対応する位置に第2の孔部が形成された第2の絶縁膜を形成する第2の絶縁膜形成工程を、さらに含むことを特徴とする請求項14記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記第2の絶縁膜の表面に金属メッキを施すことにより、前記第2の孔部に第2のメッキバンプを形成する第2のメッキバンプ形成工程を、さらに含むことを特徴とする請求項15記載の配線回路基板の製造方法。
- 請求項13又は請求項16に記載の配線回路基板を複数用いて、半導体集積回路装置を製造する半導体集積回路装置の製造方法であって、
前記配線回路基板を複数積層した後、個々の配線回路基板の前記外枠部内の領域に充填された絶縁材と、これに隣接する他の配線回路基板の前記第1の絶縁膜又は前記第2の絶縁膜とを溶着することで、これらを固定する積層工程を含むことを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。 - 前記積層工程においては、前記個々の配線回路基板のバンプと、これに隣接する他の配線回路基板のメッキバンプとを電気的に接合させることを特徴とする請求項17記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記バンプ形成用金属層及び前記メッキバンプは、共に銅材からなり、前記電気的な接合は、Cu−Cu接合技術により行われることを特徴とする請求項18記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記積層され固定された複数の配線回路基板の同一面にある複数を、個別にダイシングするダイシング工程を、さらに含むことを特徴とする請求項17〜19のいずれか1項に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
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