JP4926673B2 - ホイールの摩耗測定装置及び測定方法 - Google Patents

ホイールの摩耗測定装置及び測定方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4926673B2
JP4926673B2 JP2006324779A JP2006324779A JP4926673B2 JP 4926673 B2 JP4926673 B2 JP 4926673B2 JP 2006324779 A JP2006324779 A JP 2006324779A JP 2006324779 A JP2006324779 A JP 2006324779A JP 4926673 B2 JP4926673 B2 JP 4926673B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wheel
wear
measuring
voice coil
coil motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006324779A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007155725A (ja
Inventor
ゾン サン キム
ヨン ジョン ジュ
Original Assignee
トップ エンジニアリング カンパニー,リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by トップ エンジニアリング カンパニー,リミテッド filed Critical トップ エンジニアリング カンパニー,リミテッド
Publication of JP2007155725A publication Critical patent/JP2007155725A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4926673B2 publication Critical patent/JP4926673B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037Controlling or regulating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033Apparatus for opening score lines in glass sheets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26DCUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D3/00Cutting work characterised by the nature of the cut made; Apparatus therefor
    • B26D3/08Making a superficial cut in the surface of the work without removal of material, e.g. scoring, incising
    • B26D3/085On sheet material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/10Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

本発明は、平板基板の切断装置に用いられるホイールの摩耗測定装置及び測定方法に係り、より詳細には、刻線作業用ホイールの摩耗程度とホイールの入れ替え時期をより正確に感知することによって、維持補修に必要となる時間と経費を減らすことができるガラス基板の刻線作業用ホイールの摩耗測定装置及び測定方法に関する。
一般的に、脆性材料の板をカッティングするためには、製品の面に前もって刻線を形成し、この刻線に沿ってカッティングするようにしている。従来のスクライブ装置は、例えば、実開平1−110234号公報に開示されている。このスクライブ装置は、まわりが尖ったような円盤状のカッタと、このカッタを回転可能に支持するホルダと、このホルダを介してカッタを製品の面に圧着すると同時に、板ガラスの面に沿って移動させる加圧、移動機構とを備えている。
また、特開平9−25134号公報には、脆性材料に対して震動を与えて刻線を形成するスクライブ装置が開示されている。このスクライブ装置は、エアシリンダ(air cylinder)の外筒を支持部に固定し、エアシリンダの内筒を圧電アクチュエータの一端に連結し、圧電アクチュエータの他端にはカッタ保持部が連結され、カッタ保持部はスライダ機構を介して支持部にスライド可能に取り付けられ、スクライブ装置は圧電アクチュエータの伸縮によってカッタ保持部が上下に移動し、その震動によって製品に刻線を形成することができる構成について開示されている。
また、韓国公開特許公報第2001−0041794号にも、スクライブ装置が開示されている。図1にその詳細な構成を図示する。図1に示すように、従来の刻線作業用装置は、移動台1、この移動台1を水平方向に移動させる移動機構2、移動台1にベースプレート3を介して装着されたスライド機構4、スライド機構4によって垂直方向に移動可能に支持されたボディー10、ボディー10に微少量の垂直方向へのスライドを可能にして支持されたホルダ20、ホルダ20の下端に取り付けられたカッタ30、及びホルダ20に垂直方向の震動を付与する2つのピエゾアクチュエータ40で構成されている。
これによって、カッタ30を板ガラス100の上面に載せ、ボディー10などの自体重量によって上面を加圧させた状態で刻線作業を行う。つまり、移動機構2によって移動台1を移動させてカッタ30を板ガラス100に沿って移動させると同時に、ピエゾアクチュエータ40に高周波電圧を印加して軸方向に周期的な伸縮を加えるようにする。そうすると、前記周期的な伸縮によるホルダ20の震動がカッタ30を介して板ガラス100に伝達されることによって、深い垂直クラックを有する刻線が形成される。
しかし、前記公報などに開示された従来の技術において、カッタ30の摩耗程度は、肉眼またはホイールカッタ30の使用距離をチェックすることで確認されることが一般的であった。そのため、ホイールカッタの入れ替え時期を正確に判断することが非常に困難であるという問題点があった。このため、従来においては、ホイールカッタの入れ替え時期を逃し、ガラス刻線作業の不良及びガラスの切断不良を出すおそれがあった。また、ホイールカッタの入れ替え時期が正確に把握されないので、維持補修(maintenance)の時間や費用がかさむとの短所もあった。
実開平1−110234号公報 特開平9−25134号公報 韓国公開特許公報第2001−0041794号
本発明は上記の問題点を鑑みてなされたもので、その目的は、刻線作業用ホイールカッタの摩耗量を正確に測定することによって入れ替え時期を明確にできるホイールの摩耗測定装置及び測定方法を提供することにある。また、刻線作業用ホイールの摩耗程度を正確に把握することにより、維持補修のための時間と費用を節減できるホイールの摩耗測定装置及び測定方法を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明によるホイールの摩耗測定装置は、平板基板の切断装置に用いられるホイールの摩耗を測定する装置であって、前記ホイールの摩耗状態を測定する摩耗測定部と、前記ホイールと測定ブロックに関するデータを保存する保存部と、前記摩耗測定部で測定されたデータと前記保存部に保存されたデータを比較して前記ホイールの摩耗状態を判定する制御部とを含むことを特徴とする。
また、本発明によるホイールの摩耗測定装置において、前記制御部での判定結果によって前記ホイールの入れ替えを通知する通知手段をさらに含むことを特徴とする。
また、本発明によるホイールの摩耗測定装置において、前記摩耗測定部は、音声コイルモータと、前記音声コイルモータに上下移動自在に設けられた移動ホルダと、前記ホイールと接触する測定ブロックと、前記移動ホルダに設けられたリニアスケール及びエンコーダとを含むことを特徴とする。
また、本発明によるホイールの摩耗測定装置において、前記ホイールの摩耗状態は、前記ホイールの円周の半径の変化量によって測定されることを特徴とする。
また、本発明によるホイールの摩耗測定装置において、前記摩耗測定部は、前記音声コイルモータの電流変化量を利用して前記ホイールを周期的に測定することを特徴とする。
また、本発明によるホイールの摩耗測定装置において、前記ホイールは、前記平板ガラス基板を切断するための刻線作業用ホイールであることを特徴とする。
また、本発明によるホイールの摩耗測定装置において、前記ホイールは、ダイヤモンド粒子が固着した円錐状であることを特徴とする。
また、上記目的を達成するため、本発明によるホイールの摩耗測定方法は、平板基板切断装置に用いられるホイールの摩耗を測定する方法であって、前記ホイールと測定ブロックに関するデータを保存部に保存する保存段階と、摩耗測定部で前記ホイールの摩耗状態を測定する測定段階と、前記測定段階で測定されたデータと前記保存部に保存されたデータを比較して前記ホイールの摩耗状態を判定する判定段階とを含むことを特徴とする。
本発明によるホイールの摩耗測定装置及び測定方法によれば、音声コイルモータでの電流値の変化によって接触瞬間を確認し、リニアスケール及びエンコーダによってその瞬間の正確な刻線作業用ホイールの位置を得ることができるので、刻線作業用ホイールの摩耗量を正確に測定することができる。また、本発明によるホイールの摩耗測定装置及び測定方法によれば、刻線作業用ホイールの入れ替え時期を正確に付与することができるので、ガラス基板の刻線や切断不良がなく、維持補修の費用も節減し、不良率が少なくなるので、歩留まりが高くなり、単位生産費を節減することができる。
以下、本発明の構成について、図面を参照しながら説明する。また、本発明の説明においては、同一の部分は同一の符号を付し、反復する同じ説明は省略する。
図2は本発明によるガラス基板の刻線作業用ホイールの摩耗測定装置が含まれたカッティング装置を示す斜視図である。図3は本発明によるホイールの入れ替えを判断するホイール入れ替え判断装置のブロック図である。
図2に示すように、ガラス基板の刻線作業用ホイールの摩耗測定装置300は、音声コイルモータ301と、該音声コイルモータ301に上下移動自在に設けられた移動ホルダ302と、移動ホルダ302の下端に設けられた刻線作業用ホイール303と、移動ホルダ302に設けられたリニアスケール及びエンコーダ304とを含んで構成されている。
また、図3において、ホイール入れ替え判断装置500は、リニアスケール及びエンコーダ304などからなり、平板ガラス基板を切断するための刻線作業用ホイール303と測定ブロック400によって刻線作業用ホイール303の摩耗状態を測定する摩耗測定部501と、通常の半導体メモリー素子で構成され、刻線作業用ホイール303と測定ブロック400の接触位置に関する所定のデータを保存する保存部502と、マイクロプロセッサからなり、予め設定された保存部502内のデータと摩耗測定部501で測定された刻線作業用ホイール303の摩耗状態データとを比較してホイールの入れ替え時期を判断する制御部503と、制御部503で刻線作業用ホイール303の入れ替え時期と判断された場合に、その判断結果を管理者が認知するように通知するアラーム部504とを含んで構成される。
つまり、摩耗測定部501は、ホイール303の摩耗状態をホイールの円周の半径の変化量によって測定する。このような測定は、音声コイルモータ301の電流変化量を利用して刻線作業用ホイール303を周期的に行なわれる。また、刻線作業用ホイール303は平板ガラス基板を切断するためのものであって、ダイヤモンド粒子が固着した円錐状のホイールを用いることが好ましい。
音声コイルモータVCM(Voice Coil Motor)301は、スピーカーの震動原理を駆動器に適用したものであって、コイルに印加される電流の極性によって起動子が往復するようになっており、起動子の形式によって起動コイル形と起動磁石形に分けられる。起動コイル形は、磁石の相対的な磁力に対してコイルが往復運動し、起動磁石形は、コイルの相対的な磁力に対して磁石が往復運動するものである。本発明においては、起動コイル形と起動磁石形のうちのいずれを採用しても差し支えない。このような起動磁石形VCMを利用した精密アクチュエータステージ装置については、例えば、大韓民国公開特許公報2003−0020787(2003年03月10日)に開示されている。
実施例では、刻線作業用ホイール303が自在に移動する場合には、音声コイルモータ301に流れる電流は、所定の設定値以下で止まる。刻線作業用ホイール303が測定ブロック400またはガラス基板の上面に接触する場合には、過負荷がかかって急激な電流上昇が発生し設定値を超過する。従って、この時点を刻線作業用ホイール303の下端が測定ブロックに接触する位置と見做すことができる。測定ブロック400は、刻線作業用ホイール303の摩耗量を測定するための基準ブロックである。
一方、リニアスケール及びエンコーダ304は、通常、10μmまたは20μmの間隔でスケールが刻まれた直線型のガラスあるいはスチールを内蔵し、前記スケールが刻まれた部分をセンサーモジュールが直線に過ぎ去りながらmm当たり50〜2500パルスまたはそれ以上のパルスをリードし、これを直線移動距離に換算することによって移動部の直線移動距離を知らせる装置である。このようなリニアスケール及びエンコーダ304を利用して精密制御する技術については、大韓民国公開特許公報 2000−48254号に開示されている。
従って、本実施例では、リニアスケール及びエンコーダ304を固定されたフレームに設け、センサーモジュールを移動ホルダ302に設けることによって、正確な移送距離及び下端接触位置を得ている。なお、移動ホルダ302は、ホルダ支持具321とホルダ支持具321に設置されたホイールホルダ322で構成される。
図2に示すように、刻線作業用ホイール303は、ホイールホルダ322の下端部に回転自在に設けられている。また、本発明においては、音声コイルモータ301から過渡な電流値が感知された瞬間、つまり、刻線作業用ホイール303が測定ブロック400の上面に接触する瞬間に、リニアスケール及びエンコーダ304から読み込まれた刻線作業用ホイール303の現在位置データが保存部502に保存されるように構成しても良い。また、上述したような電流量の変化、位置データ、設定値、比較値、及び入れ替え時期の可否は、アラーム部として別途のディスプレイ装置に表示するようにして随時に確認しても良い。
以下、図4及び図5を参照して、ガラス基板における刻線作業用ホイールの摩耗測定方法の一例について説明する。図4は図2に示すホイールの摩耗を測定するための説明図である。図5はガラス基板の刻線作業用ホイールの摩耗を測定するための工程を示す流れ図である。
図5に示すように、まず、刻線作業用ホイール303を装着した(S10)後、図2に示す音声コイルモータ301を駆動して、刻線作業を既に遂行した刻線作業用ホイール303を下降させる(S20)。その後、刻線作業用ホイール303が下降して測定ブロック400の表面に接触すれば、音声コイルモータ301に過度な電流量の変化が感知され、この変化量を測定する(S30)。この時、刻線作業用ホイール303の位置データをリニアスケール及びエンコーダ304から読み込んで刻線作業用ホイール303の測定データを確認する(S40)。
このような位置値の確認は、図4に示したように、刻線作業用ホイール303と測定ブロック400の接触による電流量の変化によって実行される。つまり、図4の左側に示された電流量の変化グラフと、図4の右側に示された電流量の変化グラフから分かるように、刻線作業用ホイール303の摩耗の進行状態によって測定された電流量は減少するようになる。
図5に示すように、S40に引き続き、電流量の変化時点の位置値を保存部502に保存し(S50)、制御部503はリニアスケール及びエンコーダ304から読み込んだデータと保存部502に予め保存された設定値とを比較することによって刻線作業用ホイール303の摩耗量を決定する(S60)。このようなホイールの摩耗状態は、ホイールの円周の半径の変化量によって測定される。制御部503での比較結果、刻線作業用ホイール303の摩耗量が保存部502に予め保存された設定値に到逹していない場合、刻線作業用ホイール303は後続工程を進行し続ける(S70)。一方、刻線作業用ホイール303の摩耗量が保存部502に予め保存された設定値に到逹した場合、制御部503はアラーム部504を通じて管理者に刻線作業用ホイール303が入れ替え時期であることを通知する。
以上、本発明者を実施例によって具体的に説明したが、これに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更可能であることは勿論である。
本発明は、平板基板の切断装置に用いられるホイールの摩耗測定装置に好適である。
従来の刻線作業用装置を示す側面図である。 本発明によるガラス基板の刻線作業用ホイールの摩耗測定装置が含まれたカッティング装置を示す斜視図である。(実施例1) 本発明によるホイール入れ替えを判断するホイールの入れ替え判断装置のブロック図である。(実施例1) 図2のホイールの摩耗を測定するための説明図である。(実施例1) ガラス基板の刻線作業用ホイールの摩耗を測定するための工程を示す流れ図である。(実施例1)
符号の説明
301 音声コイルモータVCM
302 移動ホルダ
303 刻線作業用ホイール
304 リニアスケール及びエンコーダ
400 測定ブロック

Claims (12)

  1. 平板基板の切断装置に用いられるホイールの摩耗を測定する装置であって、
    前記ホイールの摩耗状態を測定する摩耗測定部と、
    前記ホイールと測定ブロックに関するデータを保存する保存部と、
    前記摩耗測定部で測定されたデータと前記保存部に保存されたデータを比較して前記ホイールの摩耗状態を判定する制御部とを含み、
    前記摩耗測定部は、
    音声コイルモータと、
    前記音声コイルモータに上下移動自在に設けられた移動ホルダと、
    前記ホイールと接触する測定ブロックと、
    前記移動ホルダに設けられたリニアスケール及びエンコーダとを含むことを特徴とするホイールの摩耗測定装置。
  2. 前記制御部での判定結果によって前記ホイールの入れ替えを通知する通知手段をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のホイールの摩耗測定装置。
  3. 前記ホイールの摩耗状態は、前記ホイールの円周の半径の変化量によって測定されることを特徴とする請求項1に記載のホイールの摩耗測定装置。
  4. 前記摩耗測定部は、前記音声コイルモータの電流変化量を利用して前記ホイールを周期的に測定することを特徴とする請求項3に記載のホイールの摩耗測定装置。
  5. 前記ホイールは、前記平板ガラス基板を切断するための刻線作業用ホイールであることを特徴とする請求項1に記載のホイールの摩耗測定装置。
  6. 前記ホイールは、ダイヤモンド粒子が固着した円錐状であることを特徴とする請求項5に記載のホイールの摩耗測定装置。
  7. 平板基板の切断装置に用いられるホイールの摩耗を測定する方法であって、
    前記ホイールと測定ブロックに関するデータを保存部に保存する保存段階と、
    摩耗測定部で前記ホイールの摩耗状態を測定する測定段階と、
    前記測定段階で測定されたデータと前記保存部に保存されたデータを比較して前記ホイールの摩耗状態を判定する判定段階とを含み、
    前記摩耗測定部は、
    音声コイルモータと、
    前記音声コイルモータに上下移動自在に設けられた移動ホルダと、
    前記ホイールと接触する測定ブロックと、
    前記移動ホルダに設けられたリニアスケールとを含むことを特徴とするホイールの摩耗測定方法。
  8. 前記判定段階での判定結果によって前記ホイールの入れ替えを通知する通知段階をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載のホイールの摩耗測定方法。
  9. 前記ホイールの摩耗状態は、前記ホイールの円周の半径によって測定されることを特徴とする請求項7に記載のホイールの摩耗測定方法。
  10. 前記摩耗測定部は、前記音声コイルモータの電流変化量を利用して前記ホイールを周期的に測定することを特徴とする請求項9に記載のホイールの摩耗測定方法。
  11. 前記ホイールは、前記平板ガラス基板を切断するための刻線作業用ホイールであることを特徴とする請求項7に記載のホイールの摩耗測定方法。
  12. 前記ホイールは、ダイヤモンド粒子が固着した円錐状であることを特徴とする請求項11に記載のホイールの摩耗測定方法。
JP2006324779A 2005-12-05 2006-11-30 ホイールの摩耗測定装置及び測定方法 Expired - Fee Related JP4926673B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2005-0117329 2005-12-05
KR1020050117329A KR100660794B1 (ko) 2005-12-05 2005-12-05 Vcm을 이용한 휠의 마모 측정장치 및 측정방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007155725A JP2007155725A (ja) 2007-06-21
JP4926673B2 true JP4926673B2 (ja) 2012-05-09

Family

ID=37815373

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006324779A Expired - Fee Related JP4926673B2 (ja) 2005-12-05 2006-11-30 ホイールの摩耗測定装置及び測定方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4926673B2 (ja)
KR (1) KR100660794B1 (ja)
CN (1) CN1959411B (ja)
TW (1) TWI329097B (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009274434A (ja) * 2008-04-16 2009-11-26 Thk Co Ltd スクライブ装置及び多軸スクライブ装置
KR20130011786A (ko) * 2011-07-22 2013-01-30 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 휠 이상 감지수단이 설치된 스크라이빙 장치 및 스크라이빙시 스크라이빙 휠 파손 감지방법
JP5767595B2 (ja) * 2012-02-23 2015-08-19 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板のスクライブ装置
JP5994380B2 (ja) * 2012-05-17 2016-09-21 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブ処理システム
JP5888107B2 (ja) * 2012-05-17 2016-03-16 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブ処理システム
CN102749748B (zh) * 2012-07-11 2015-02-11 深圳市华星光电技术有限公司 液晶基板切割装置及其刀头监控方法
CN106052982B (zh) * 2016-05-19 2018-10-26 上海航天控制技术研究所 用于太阳帆板减振的粘弹性阻尼器的复刚度测试系统
CN106644936A (zh) * 2016-12-02 2017-05-10 广州日滨科技发展有限公司 一种电梯滑动导靴靴衬的测试机

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1518609A (en) * 1977-05-16 1978-07-19 Combined Optical Ind Ltd Abrasion testing
JPS6418006A (en) * 1987-07-13 1989-01-20 Mitutoyo Corp Measuring apparatus for grinder
JPH01110234A (ja) * 1987-10-23 1989-04-26 Showa Alum Corp 金属材中のガス分析装置
JPH0413250A (ja) * 1990-04-28 1992-01-17 Kyocera Corp 光磁気記録素子
JPH0414622A (ja) * 1990-05-09 1992-01-20 Olympus Optical Co Ltd 光学式情報記録再生装置
JPH0925134A (ja) * 1995-07-11 1997-01-28 Nippon Sheet Glass Co Ltd スクライブ溝の形成方法および装置
JP2954566B2 (ja) * 1997-09-25 1999-09-27 株式会社ベルデックス スクライブ装置および方法
JPH11197938A (ja) * 1998-01-14 1999-07-27 Sumitomo Metal Ind Ltd サイドトリミングにおけるトリム面診断装置
JP3235059B2 (ja) * 1998-12-22 2001-12-04 住友重機械工業株式会社 型締制御装置
JP2000219526A (ja) * 1999-01-28 2000-08-08 Hitachi Ltd スクライブ装置
JP2001294342A (ja) * 2000-04-11 2001-10-23 Nec Fielding Ltd 紙搬送ローラの摩耗検知装置
CN2466012Y (zh) * 2001-02-27 2001-12-19 北方交通大学 车轮踏面擦伤及磨损非接触式动态测量装置
KR20030002787A (ko) * 2001-06-29 2003-01-09 주식회사 하이닉스반도체 반도체 소자의 금속 플러그 형성방법
JP3700135B2 (ja) * 2003-04-11 2005-09-28 日本航空電子工業株式会社 ボンディング装置
JP4328585B2 (ja) * 2003-09-02 2009-09-09 トーヨーエイテック株式会社 切線加工工具の劣化状態検知方法および切線加工装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN1959411A (zh) 2007-05-09
TW200730451A (en) 2007-08-16
CN1959411B (zh) 2010-12-01
TWI329097B (en) 2010-08-21
KR100660794B1 (ko) 2006-12-22
JP2007155725A (ja) 2007-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4926673B2 (ja) ホイールの摩耗測定装置及び測定方法
JP6362583B2 (ja) 薄板ガラスをスコアリングするための方法及び装置、並びにスコアリングされた薄板ガラス
JP4938650B2 (ja) スクライブ装置
CN102706315A (zh) 平台台面的平面度测量装置及测量方法
JP2018021860A (ja) 外径測定装置及び測定方法
JP4799949B2 (ja) 丸刃を使用するシヤーカット型スリッターのラップ量調整方法および装置
JP2010234522A (ja) 丸刃を使用するシヤーカット型スリッターのラップ量調整方法および装置
JP2006297317A (ja) 塗工方法
JP2006329795A (ja) 形状測定器
JP6850687B2 (ja) インジケータ検査機とその検査方法及び検査プログラム
JP2001133375A (ja) 巻取ロールの表面硬度測定装置
JP7133330B2 (ja) 外径測定器及びその温度特性を調整する方法、並びに研削装置
JP2014004776A (ja) 基板の加工装置
JP7080692B2 (ja) 測定ヘッド及びその温度特性を調整する方法
JPH10111105A (ja) カムシャフト測定方法及び測定装置
JP5170665B2 (ja) エアバックティアライン形成方法における基準データ補正方法
JP7307247B2 (ja) 外径測定器
JP5265432B2 (ja) スタイラスの成形方法、スタイラス、及び形状測定機
JP6174958B2 (ja) パンチのハイト調整方法及びハイト測長装置
US20070220990A1 (en) Material testing apparatus with selectively sealed and unsealed dies
KR20140140013A (ko) 두께 측정 장치
JP2009063417A (ja) 形状測定装置及び形状測定装置の制御方法
JP2016200399A (ja) 表面形状測定装置及び表面形状測定方法
JP3803731B2 (ja) 反射体および反射体の製造方法並びにその塑性変形加工用工具
JP2022107673A (ja) 測定ヘッド及びその温度特性を調整する方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20091127

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20100226

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20100304

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110905

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110913

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111212

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120110

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120208

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150217

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees