JP2009063417A - 形状測定装置及び形状測定装置の制御方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、接触式プローブに加わる接触荷重と変位との実測値に基づいて、接触式プローブに加わる接触荷重を高精度に一定に制御することを可能とした形状測定装置及び形状測定装置の制御方法を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明は、接触式の形状測定装置であって、接触式プローブと、前記接触式プローブの変位を測定する変位測定手段と、前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係を記憶する接触荷重記憶手段と、前記接触式プローブに加わる前記接触荷重を変化させる接触荷重可変手段と、前記接触荷重記憶手段に記憶された前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係に基づいて、前記接触荷重が一定となるように前記接触荷重可変手段を制御する接触荷重制御手段とを備えた。
【選択図】図1
【解決手段】本発明は、接触式の形状測定装置であって、接触式プローブと、前記接触式プローブの変位を測定する変位測定手段と、前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係を記憶する接触荷重記憶手段と、前記接触式プローブに加わる前記接触荷重を変化させる接触荷重可変手段と、前記接触荷重記憶手段に記憶された前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係に基づいて、前記接触荷重が一定となるように前記接触荷重可変手段を制御する接触荷重制御手段とを備えた。
【選択図】図1
Description
本発明は、接触式の形状測定装置及び形状測定装置の制御方法に関する。
被測定物の形状を測定するための接触式の形状測定装置としては、例えば特許文献1に開示された形状測定装置がある。
図4に特許文献1に係る形状測定装置の構成図を示す。
ベース52には支柱54を介して支点56が設けられている。支点56にはビーム58の略中央部が回動自在に支持されている。支点56の左側には、ばね60が配置されていて、ばね60はビーム58とベース52に連結されている。従って、ビーム58は支点56とばね60によって水平に保持される。
ベース52には支柱54を介して支点56が設けられている。支点56にはビーム58の略中央部が回動自在に支持されている。支点56の左側には、ばね60が配置されていて、ばね60はビーム58とベース52に連結されている。従って、ビーム58は支点56とばね60によって水平に保持される。
また、支点56の右側のベース52には作動トランス62のコイル62Aが設けられている。コイル62A内には鉄心64が上下方向に移動自在に配置されていて、鉄心64はビーム58に交差する方向に固定されている。従って、ビーム58が支点56を中心に揺動すると鉄心64はコイル62A内を上下方向に移動する。
ベース52の右端部にはボイスコイルモーター66の本体66Aが設けられている。環状溝66Bには筒体66Cが配置されていて、筒体66Cはビーム58の後端部に固定されている。これにより、筒体66Cは鉄心64と同様に、ビーム58が支点56を中心に揺動すると環状溝66B内を上下方向に移動する。
筒体66Cにはコイル66Dが埋設されていて、コイル66Dは電流変換器68に電気的に接続されている。電流変換器68は増幅器70を介して作動トランス62のコイル62Aに電気的に接続されている。また、ビーム58の先端には接触式プローブ74(以下、単にプローブと記す)が設けられていて、測定時に所定の測定力(以下、接触荷重と記す)で被測定物76に接触される。
プローブ74を被測定物76の表面に沿って移動すると、被測定物76の表面形状に応じてプローブ74が支点56を中心に揺動するので、作動トランス62の上下方向への変位を検知すれば、被測定物76の表面形状を測定することができる。
検知された変位信号は増幅器70を介して電流変換器68に入力される。電流変換器68は、入力された変位信号に対応した電流をコイル66Dに流す。このようにすることにより、ボイスコイルモーター66が作動する。
図5(A)に示すように、接触荷重Fがプローブ74の変位に比例して変化すると仮定する。そして、図5(B)に示すように、ビーム58の揺動で生じたばね60の反力を相殺する力を筒体66Cに付勢する。このようにすることで、図5(C)、(D)に示すように、プローブ74の接触荷重F’が一定に維持される。
特開平5−340706号公報
上記の従来技術では、図5(A)に示すように、プローブの接触荷重Fがプローブの変位に比例して変化する。すなわちプローブの接触荷重と変位とが線形関係であると仮定している。しかしながら、従来技術では、ばね定数が一定でないことによる非線形特性やてこの支点における摩擦力等が存在する。
そのため、単純にプローブの接触荷重と変位とが線形関係であると仮定して補正をかけただけでは実際には、図5(D)に示すようにプローブの接触荷重を厳密に一定に制御することができない。従って、被測定物によっては、数mgfの接触荷重の変化で、数十nmの形状測定誤差になってしまう。このようなことから、従来技術では、高精度な形状測定ができないという問題が発生する。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、接触式プローブに加わる接触荷重をより精密に一定に保つことができる形状測定装置及び形状測定装置の制御方法を提供することである。
前記課題を解決するために、本発明の請求項1に記載された形状測定装置は、接触式プローブと、前記接触式プローブの変位を測定する変位測定手段と、前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係を記憶する接触荷重記憶手段と、前記接触式プローブに加わる前記接触荷重を変化させる接触荷重可変手段と、前記接触荷重記憶手段に記憶された前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係に基づいて、前記接触荷重が一定となるように前記接触荷重可変手段を制御する接触荷重制御手段とを備えていることを特徴とする。
また、本発明の請求項2に記載された形状測定装置は、請求項1に記載された形状測定装置において、前記接触荷重記憶手段が前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係を実測値として記憶することを特徴とする。
また、本発明の請求項3に記載の形状測定装置の制御方法は、被測定物の表面に所定の接触荷重で接触式プローブを接触させ、接触式プローブに加わる接触荷重を制御しながら表面上を走査して、走査した位置での前記接触式プローブの変位を検出することによって被測定物の表面形状を測定する形状測定装置の制御方法であって、測定準備として前記接触式プローブを接触荷重測定手段に接触させて、前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係を実測定して接触荷重記憶手段に記憶する工程と、前記接触荷重記憶手段に記憶された前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係に基づいて、測定時に前記接触式プローブの接触荷重を制御する工程、を有することを特徴とする。
本発明の形状測定装置及び形状測定装置の制御方法では、プローブに加わる接触荷重をより精密に一定に保つことが可能となる。そのため、プローブに加わる接触荷重の変動による測定誤差を低減させることができる。この結果、より高精度な形状測定が可能となる。
以下、本発明の形状測定装置の実施例について、図面を用いて詳細に説明する。
図1は、本発明の第1実施例に係る形状測定装置を説明するための構成図である。
本発明の形状測定装置は、図1に示すように、プローブユニット50、電流源2、及び接触荷重記憶手段と接触荷重制御手段となるコンピュータ3を備えている。プローブユニット50は、プローブヘッド10、天秤部20、測長部30、ボイスコイルモーター40を有する。
図1は、本発明の第1実施例に係る形状測定装置を説明するための構成図である。
本発明の形状測定装置は、図1に示すように、プローブユニット50、電流源2、及び接触荷重記憶手段と接触荷重制御手段となるコンピュータ3を備えている。プローブユニット50は、プローブヘッド10、天秤部20、測長部30、ボイスコイルモーター40を有する。
プローブヘッド10は接触式プローブであって、接触子11、可動部材12、ガイド13を有する。可動部材12の一端には、接触子11が接続されている。接触子11は、被測定物1に接触する部材である。可動部材12はガイド13に支持されており、検出軸方向(Z軸方向)にのみ移動可能になっている。ガイド13は、例えば、静圧空気軸受けで構成されている。したがって、接触子11及び可動部材12は、検出軸方向(Z軸方向)に沿って摺動抵抗なく滑らかに移動できる。
天秤部20は、アーム21、支点部材22、耐久性の強い糸24,25、及びバランス重り26を有している。アーム21は、支点部材22の上に配置されている。また、支点部材22は、支点ベース23によってプローブユニット50の筐体に固定されている。
支点部材22はナイフエッジまたは、小型のベアリングなどが用いられる。支点部材22は、アーム21が回転した際に、アーム21が支障なく回転できるとともに、また、アーム21の駆動に対してヒステリシスがないものが好ましい。具体的には、アーム21がナイフエッジの場合には、アーム21は鋭角な2等辺三角形の形状で、材料は、ハイスやダイヤモンドなどの超硬材料が好ましい。また、アーム21が小型のベアリングの場合には、小型のベアリングとしてエアーベアリングを用いると良い。
アーム21は、支点部材22の頂点部に設置されている。このアーム21は、剛性が高く、非磁性体の材料で作られている。例えば、非磁性体のステンレスや、銅の中空パイプが好ましい。
このアーム21の一端には、耐久性の強い糸24の一端が接続されている。また、糸24の先端には、可動部材12が接続されている。よって、可動部材12は、糸24を介して、アーム21によって保持されている。また、アーム21の他端にも、耐久性の強い別の糸25の一端が接続されている。そして、糸25の先端には、バランス重り26が接続されている。よって、バランス重り26は、糸25を介して、アーム21によって保持されていることになる。
また、変位測定手段となる測長部30は、レーザー測長器31と対向する位置に設けられた基準ミラー32とから構成されおり、基準ミラーは可動部材12の上端に設けられている。このレーザー測長器31は変位測定手段であって、例えば、基準ミラー32に照射したレーザー光の反射光を利用して、基準ミラー32までの距離を測定する。これにより、可動部材12の検出軸方向(Z軸方向)の移動量を測定することができる。測長部30により非接触で測定された可動部材12の移動量が、所定の出力信号に変換されてコンピュータ3に入力される。
さらに、可動部材12の接触子11とは反対側に、ボイスコイルモーター40が設けられている。このボイスコイルモーター40は接触荷重可変手段である。ボイスコイルモーター40は、可動部材12を検出軸方向(Z軸方向)に移動させて接触荷重を変化させる機能を有する。ボイスコイルモーター40はコイルと磁気回路(いずれも不図示)から構成されており、電流源2からコイルに供給される電流の大きさに比例した推力を発生させて、可動部材12を移動させたり、所定の位置に保持させることができる。
また、ボイスコイルモーター40は、その駆動可能範囲が可動部材12の測定可能範囲より大きいものを配置する。なお、接触荷重可変手段としてはボイスコイルモーターの他に、リニアモーター、エアシリンダー等のように所望の推力を発生させるものであれば良い。
コンピュータ3は、実測された可動部材12の変位と接触荷重の変化との関係を記憶する接触荷重記憶手段としての機能を有する。さらに、コンピュータ3は、記憶された可動部材の変位と接触荷重の変化と関係に基づいて、適正な電流をボイスコイルモーター40に供給するように電流源2を制御する接触荷重制御手段としての機能も有している。
次に、本発明の第1実施例に係る形状測定装置の作用について説明する。
まず、接触子11を被測定物1の表面に所定の接触荷重で当接させて、接触子11を被測定物1の表面に沿って移動させる。この場合、被測定物1の表面の凹凸に応じて、可動部材12の位置が変位すると共に、図2(A)に示すように、その変位に応じて接触荷重も変化する。
まず、接触子11を被測定物1の表面に所定の接触荷重で当接させて、接触子11を被測定物1の表面に沿って移動させる。この場合、被測定物1の表面の凹凸に応じて、可動部材12の位置が変位すると共に、図2(A)に示すように、その変位に応じて接触荷重も変化する。
可動部材12の位置が変位すると、支点と重心の位置関係が変化して、アーム21が支点部材22を中心にして上下方向に遥動する。この上下方向の変位を測長部30で検出すれば、被測定物1の表面形状を測定することができる。しかし、この場合表面形状に応じて、接触荷重も変化しているために正確に被測定物1の表面形状を測定したことにはならない。
そこで、予め可動部材12の変位と接触荷重の変化の関係を実測して、コンピュータ3に記憶させておく。この関係に基づいて、コンピュータ3は、可動部材12の変位量に応じて、その接触荷重の変化をキャンセルするような電流値を算出して、電流源2を介してボイスコイルモーター40に電流を供給する。ボイスコイルモーター40は、この電流によって、接触荷重の変化をキャンセルするような反力(接触荷重の変化と逆向きで同じ大きさの力)を発生させて、接触荷重を一定に保つ。このようにボイスコイルモーター40に対して常に電流制御を行なうことにより、図2(B)に示すように可動部材12の変位に無関係に、接触子11を被測定物1の表面にほぼ一定の接触荷重で接触させることができる。
以上のように構成される本発明の実施例1に係る形状測定装置では、プローブヘッド10とボイスコイルモーター40とを含む自重を、バランス重り26によって、キャンセルすることで、より高い分解能で接触荷重の制御を行なうことができる。
また、ボイスコイルモーター40の駆動可能範囲を可動部材12の測定可動範囲より大きくすることにより、可動部材12と被測定物1との相対的な位置関係を常に一定に保つことが可能である。このために、プローブユニット50全体を高精度に被測定物1に対して上下に移動させるサーボ機構を必要とせず、接触荷重を可動部材12の変位に無関係に、測定可動範囲内で常に一定に制御することができる。その結果、プローブユニット50全体の振動の低減や形状測定装置全体の構造の簡易化が可能となる。
次に、上記第1実施例に係る形状測定装置を用いて行なう本発明の形状測定装置の制御方法の実施例を図1〜図3に基づいて説明する。
[ステップS01]
まず、測定前に接触式プローブの測定準備を行う。
最初に可動部材12が下端の位置でアーム21が水平になるように、糸24,25の長さを調整する。ちなみに、アーム21が斜めになっていても、釣り合いが取れていれば問題はない。
まず、測定前に接触式プローブの測定準備を行う。
最初に可動部材12が下端の位置でアーム21が水平になるように、糸24,25の長さを調整する。ちなみに、アーム21が斜めになっていても、釣り合いが取れていれば問題はない。
[ステップS02]
接触子11の下に、接触荷重測定手段となる力センサー(不図示)をセットし、可動部材12の先端の接触子11を力センサーに接触させる。
接触子11の下に、接触荷重測定手段となる力センサー(不図示)をセットし、可動部材12の先端の接触子11を力センサーに接触させる。
[ステップS03]
次に、力センサーを用いて、接触子11の接触荷重を測定する。
力センサーをZ軸方向上向きに移動させて、可動部材12の変位と接触荷重の変化を接触荷重記憶手段であるコンピュータ3内に図2(A)に示すような測定データとして記憶させる。
また、このデータを生データとして記憶させる代わりに、直線近似や多項式近似を行なって近似式パラメータとして記憶させても良い。
次に、力センサーを用いて、接触子11の接触荷重を測定する。
力センサーをZ軸方向上向きに移動させて、可動部材12の変位と接触荷重の変化を接触荷重記憶手段であるコンピュータ3内に図2(A)に示すような測定データとして記憶させる。
また、このデータを生データとして記憶させる代わりに、直線近似や多項式近似を行なって近似式パラメータとして記憶させても良い。
[ステップS04]
次に、接触子11の接触荷重の制御を確認する。
接触子11の下に、力センサーをセットし、可動部材12の先端の接触子11を力センサーに接触させる。
力センサーをZ軸方向上向きに移動させて、可動部材12の変位と接触荷重の変化をチェックする。この際、制御装置は、ステップS03で測定した測定データに基づいて、可動部材12の変位に対して接触荷重の大きさが常に一定となるようにボイスコイルモーター40に対して電流制御を行う。このため、可動部材12の変位による接触荷重の大きさは、図2(B)に示すようにほぼ一定となる。
例えば、接触荷重の変化が、規定値の50mgf±5mgfの範囲に入っていれば、OKとして、次のステップS05に移る。NGの場合はステップS03に戻る。なお、ステップS04は場合によっては省略してもよい。
次に、接触子11の接触荷重の制御を確認する。
接触子11の下に、力センサーをセットし、可動部材12の先端の接触子11を力センサーに接触させる。
力センサーをZ軸方向上向きに移動させて、可動部材12の変位と接触荷重の変化をチェックする。この際、制御装置は、ステップS03で測定した測定データに基づいて、可動部材12の変位に対して接触荷重の大きさが常に一定となるようにボイスコイルモーター40に対して電流制御を行う。このため、可動部材12の変位による接触荷重の大きさは、図2(B)に示すようにほぼ一定となる。
例えば、接触荷重の変化が、規定値の50mgf±5mgfの範囲に入っていれば、OKとして、次のステップS05に移る。NGの場合はステップS03に戻る。なお、ステップS04は場合によっては省略してもよい。
[ステップS05]
次に、可動部材12をZ軸方向上端に移動させて退避させ、力センサーを外す。上端に向けて可動部材12を動かすには、ボイスコイルモーター40に供給する電流を増やすことで可動部材12の自重を支える推力を大きくすればよい。また、他の方法として、エアーを可動部材12に直接上向きに吹き付けて瞬時に移動させる方法でもよい。
以上のステップS01〜S05の工程で接触式プローブの測定準備が完了し、次に被測定物の形状測定の工程に入る。
次に、可動部材12をZ軸方向上端に移動させて退避させ、力センサーを外す。上端に向けて可動部材12を動かすには、ボイスコイルモーター40に供給する電流を増やすことで可動部材12の自重を支える推力を大きくすればよい。また、他の方法として、エアーを可動部材12に直接上向きに吹き付けて瞬時に移動させる方法でもよい。
以上のステップS01〜S05の工程で接触式プローブの測定準備が完了し、次に被測定物の形状測定の工程に入る。
[ステップS06]
先ず、最初の測定位置にXYテーブル(不図示)を移動する。そして、可動部材12をZ軸方向下方に移動させて、被測定物1に接触させる。
Z軸方向下方に向けて可動部材12を移動させるには、ボイスコイルモーター40に供給する電流を減らすことで可動部材12の自重を支える推力を小さくすればよい。このときの電流値は、測定動作ステップS03で実測定された可動部材12の変位と接触荷重の変化との関係に基づいて、接触荷重がほぼ一定になるように計算される。
こうすることで、接触式プローブは被測定物1に所定の接触荷重で接触する。
先ず、最初の測定位置にXYテーブル(不図示)を移動する。そして、可動部材12をZ軸方向下方に移動させて、被測定物1に接触させる。
Z軸方向下方に向けて可動部材12を移動させるには、ボイスコイルモーター40に供給する電流を減らすことで可動部材12の自重を支える推力を小さくすればよい。このときの電流値は、測定動作ステップS03で実測定された可動部材12の変位と接触荷重の変化との関係に基づいて、接触荷重がほぼ一定になるように計算される。
こうすることで、接触式プローブは被測定物1に所定の接触荷重で接触する。
[ステップS07]
次に、被測定物1の測定領域をXYテーブル(不図示)を用いて走査し、同時に可動部材12のXY座標をリニアスケール(不図示)で測定する。
また、測定中は可動部材12の変位に合わせて、ボイスコイルモーター40に供給する電流の制御をコンピュータ3が行う。
次に、被測定物1の測定領域をXYテーブル(不図示)を用いて走査し、同時に可動部材12のXY座標をリニアスケール(不図示)で測定する。
また、測定中は可動部材12の変位に合わせて、ボイスコイルモーター40に供給する電流の制御をコンピュータ3が行う。
[ステップS08]
被測定物1の全測定領域を走査したら、可動部材12は退避され、測定が完了する。
被測定物1の全測定領域を走査したら、可動部材12は退避され、測定が完了する。
1: 被測定物
2: 電流源
3: コンピュータ
10: プローブヘッド
20: 天秤部
30: 測長部
40: ボイスコイルモーター
50: プローブユニット
11: 接触子
12: 可動部材
13: ガイド
21: アーム
22: 支点部材
23: 支点ベース
24,25: 糸
26: バランス重り
31: レーザー測長器
32: 基準ミラー
52: ベース
54: 支柱
56: 支点
58: ビーム
60: ばね
62: 作動トランス
62A: コイル
64: 鉄心
66: ボイスコイルモーター
66B: 環状溝
66C: 筒体
66D: コイル
68: 電流変換器
70: 増幅器
74: 接触式プローブ(プローブ)
76: 被測定物
2: 電流源
3: コンピュータ
10: プローブヘッド
20: 天秤部
30: 測長部
40: ボイスコイルモーター
50: プローブユニット
11: 接触子
12: 可動部材
13: ガイド
21: アーム
22: 支点部材
23: 支点ベース
24,25: 糸
26: バランス重り
31: レーザー測長器
32: 基準ミラー
52: ベース
54: 支柱
56: 支点
58: ビーム
60: ばね
62: 作動トランス
62A: コイル
64: 鉄心
66: ボイスコイルモーター
66B: 環状溝
66C: 筒体
66D: コイル
68: 電流変換器
70: 増幅器
74: 接触式プローブ(プローブ)
76: 被測定物
Claims (3)
- 接触式プローブと、
前記接触式プローブの変位を測定する変位測定手段と、
前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係を記憶する接触荷重記憶手段と、
前記接触式プローブに加わる前記接触荷重を変化させる接触荷重可変手段と、
前記接触荷重記憶手段に記憶された前記接触荷重と変位との関係に基づいて、前記接触荷重が一定となるように前記接触荷重可変手段を制御する接触荷重制御手段と
を備えていることを特徴とする形状測定装置。 - 前記接触荷重記憶手段が前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係を実測値として記憶することを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。
- 被測定物の表面に所定の接触荷重で接触式プローブを接触させ、接触式プローブに加わる接触荷重を制御しながら表面上を走査して、走査した位置での前記接触式プローブの変位を検出することによって被測定物の表面形状を測定する形状測定装置の制御方法であって、
測定準備として前記接触式プローブを接触荷重測定手段に接触させて、前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係を実測定して接触荷重記憶手段に記憶する工程と、
前記接触荷重記憶手段に記憶された前記接触式プローブに加わる接触荷重と変位との関係に基づいて、測定時に前記接触式プローブの接触荷重を制御する工程、
を有することを特徴とする形状測定装置の制御方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014077692A (ja) * | 2012-10-10 | 2014-05-01 | Kosaka Laboratory Ltd | 触針式測定装置及び触針式測定装置による高さ測定方法 |
KR101944080B1 (ko) * | 2018-07-24 | 2019-01-30 | 황재은 | 형상측정기 |
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2007
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