JP2006297317A - 塗工方法 - Google Patents
塗工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006297317A JP2006297317A JP2005124516A JP2005124516A JP2006297317A JP 2006297317 A JP2006297317 A JP 2006297317A JP 2005124516 A JP2005124516 A JP 2005124516A JP 2005124516 A JP2005124516 A JP 2005124516A JP 2006297317 A JP2006297317 A JP 2006297317A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- coating head
- head
- micrometer
- reference point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】 塗工ヘッド6を保持した保持フレーム7の両端をそれぞれ、個別に制御可能な昇降装置8A、8Bで昇降させる構成とし、制御装置12で昇降装置8A、8Bを制御して塗工ヘッド6の位置決めを行う際の基準点を、被塗工材を支持する支持面3aを備えた定盤3に取り付けたマイクロメータ15A、15Bに塗工ヘッド6を接触させて得た高さ位置測定情報に基づいて設定し、その基準点からの昇降移動量を把握し、制御して塗工ヘッドの高さ方向の位置決めをする構成とする。
【選択図】 図1
Description
2 支持装置
3 定盤
3a 支持面
4 装置フレーム
6 塗工ヘッド
6a スリット
7 保持フレーム
8A、8B 昇降装置
10A、10B ねじ軸
11A、11B 制御用モータ
12 制御装置
15A、15B マイクロメータ
16 本体
17 測定部材
17a 先端面
18 表示器
19 ボルト
20 ねじ孔
24 ガイドバー
25 スライダ
26A、26B 距離センサ
Claims (11)
- 支持装置の水平な支持面上に支持させた被塗工材に塗工ヘッドを対向させ、前記被塗工材と塗工ヘッドの少なくとも一方を、前記塗工ヘッドが前記被塗工材の表面に平行に相対移動するように、移動させて被塗工材への塗工を行う塗工方法において、塗工に先立って、前記支持面上に支持した被塗工材に対する塗布に干渉しない位置で且つ前記塗工ヘッドによる塗布幅方向に離れた位置で前記支持装置に取り付けられ、下降してくる前記塗工ヘッドに押されて後退可能な測定部材を備えた2個のマイクロメータを用いて、前記塗工ヘッドの塗布幅方向に離れた2箇所における高さ方向位置決め用の基準点を設定する基準点設定工程と、前記塗工ヘッドを被塗工材の塗布開始位置の上方に位置させると共に前記塗工ヘッドの塗布幅方向に離れた2箇所の高さ方向の位置をそれぞれ、前記基準点設定工程で設定した基準点を基にして所定の塗布厚が得られる位置に位置決めする位置決め工程を有することを特徴とする塗工方法。
- 前記2個のマイクロメータの塗布幅方向の取付位置を変更可能としていることを特徴とする請求項1記載の塗工方法。
- 支持装置の水平な支持面上に支持させた被塗工材に塗工ヘッドを対向させ、前記被塗工材と塗工ヘッドの少なくとも一方を、前記塗工ヘッドが前記被塗工材の表面に平行に相対移動するように、移動させて被塗工材への塗工を行う塗工方法において、塗工に先立って、前記支持面上に支持した被塗工材に対する塗布に干渉しない位置で且つ前記塗工ヘッドによる塗布幅方向の一端近傍で前記支持装置に取り付けられ、下降してくる前記塗工ヘッドに押されて後退可能な測定部材を備えたマイクロメータを用いて、前記塗工ヘッドの塗布幅方向の一端側における高さ方向位置決め用の基準点を設定する一端側基準点設定工程と、前記マイクロメータを塗布幅方向の他端近傍に位置させ、そのマイクロメータを用いて、前記塗工ヘッドの塗布幅方向の他端側における高さ方向位置決め用の基準点を設定する他端側基準点設定工程と、前記塗工ヘッドを被塗工材の塗布開始位置の上方に位置させると共に前記塗工ヘッドの塗布幅方向に離れた一端側と他端側の高さ方向の位置をそれぞれ、前記一端側基準点設定工程及び他端側基準点設定工程で設定した基準点を基にして所定の塗布厚が得られる位置に位置決めする位置決め工程を有することを特徴とする塗工方法。
- 前記塗工ヘッドは、両端をそれぞれ独立して昇降させることができるよう2系列の昇降装置で保持された保持フレームに取り付けられており、前記2系列の昇降装置はそれぞれを別個に制御可能な制御装置に連結されており、該制御装置は、各昇降装置による前記基準点からの昇降移動量を把握し、制御することで前記塗工ヘッドの高さ方向の位置決めを行う構成であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の塗工方法。
- 前記保持フレームの、塗布幅方向に離れた位置に、前記支持面若しくはその上に支持された被塗工材までの垂直方向の距離を測定する2個の距離センサが設けられており、前記制御装置は、前記距離センサで求めた位置情報を用いて各昇降装置による昇降移動量を把握する構成であることを特徴とする請求項4記載の塗工方法。
- 前記距離センサが、塗布幅方向の取付位置を変更可能としていることを特徴とする請求項5記載の塗工方法。
- 前記マイクロメータの測定部材は、その先端面が下降してきた前記塗工ヘッドのスリット形成部分の先端に接触する位置に設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項記載の塗工方法。
- 前記塗工ヘッドは、スリット形成部分とは別の部位に前記マイクロメータの測定部材の先端面に接触させるための検出面を備えており、前記マイクロメータは、その測定部材の先端面が下降してきた前記塗工ヘッドの検出面に接触する位置に設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項記載の塗工方法。
- 前記支持装置が、被塗工材を支持する水平な支持面を備えた定盤と、該定盤を保持した装置フレームを備えており、前記マイクロメータは前記定盤の端面に取り付けられていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項記載の塗工方法。
- 前記マイクロメータの原点出しを、前記支持面に当接させた状態の基準器をマイクロメータの測定部材の先端面に接触させて行うことを特徴とする請求項1から9のいずれか1項記載の塗工方法。
- 前記マイクロメータによる前記塗工ヘッドの基準点設定時における前記塗工ヘッドの下降速度を、前記塗工ヘッドがマイクロメータに接近するまでは高速とし、前記塗工ヘッドがマイクロメータに接近した後及び接触している時には低速とすることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項記載の塗工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005124516A JP4725173B2 (ja) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 塗工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005124516A JP4725173B2 (ja) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 塗工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006297317A true JP2006297317A (ja) | 2006-11-02 |
JP4725173B2 JP4725173B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=37466045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005124516A Expired - Fee Related JP4725173B2 (ja) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 塗工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4725173B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013184085A (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-19 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置及び口金認識方法 |
KR101863854B1 (ko) * | 2016-12-23 | 2018-06-01 | 주식회사 디씨엔 | 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터 |
CN110676192A (zh) * | 2018-07-03 | 2020-01-10 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置和基板处理方法 |
JP2020138147A (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 株式会社豊田自動織機 | 塗工装置及び塗工装置の位置合わせ方法 |
JP6923126B1 (ja) * | 2021-02-05 | 2021-08-18 | 株式会社野上技研 | 塗工装置及びブレード測定器 |
JP7344533B2 (ja) | 2019-05-14 | 2023-09-14 | Aiメカテック株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08182953A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Toray Ind Inc | 枚葉塗工方法およびその装置 |
JPH08182954A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Toray Ind Inc | 枚葉塗工方法およびその装置 |
JPH09206652A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法 |
JPH10202162A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-08-04 | Sony Corp | 厚膜形成装置 |
JPH10314643A (ja) * | 1997-05-20 | 1998-12-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 吐出ヘッド |
JP2000140736A (ja) * | 1993-05-31 | 2000-05-23 | Hirata Corp | 流体塗布装置及び流体塗布方法 |
JP2002248398A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-03 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工装置 |
JP2003080152A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-18 | Ricoh Co Ltd | 塗布方法及び装置 |
JP2004351261A (ja) * | 2003-05-27 | 2004-12-16 | Canon Inc | 塗布装置および塗布方法 |
-
2005
- 2005-04-22 JP JP2005124516A patent/JP4725173B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000140736A (ja) * | 1993-05-31 | 2000-05-23 | Hirata Corp | 流体塗布装置及び流体塗布方法 |
JPH08182953A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Toray Ind Inc | 枚葉塗工方法およびその装置 |
JPH08182954A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Toray Ind Inc | 枚葉塗工方法およびその装置 |
JPH09206652A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法 |
JPH10202162A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-08-04 | Sony Corp | 厚膜形成装置 |
JPH10314643A (ja) * | 1997-05-20 | 1998-12-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 吐出ヘッド |
JP2002248398A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-03 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工装置 |
JP2003080152A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-18 | Ricoh Co Ltd | 塗布方法及び装置 |
JP2004351261A (ja) * | 2003-05-27 | 2004-12-16 | Canon Inc | 塗布装置および塗布方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013184085A (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-19 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置及び口金認識方法 |
KR101863854B1 (ko) * | 2016-12-23 | 2018-06-01 | 주식회사 디씨엔 | 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터 |
CN110676192A (zh) * | 2018-07-03 | 2020-01-10 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置和基板处理方法 |
KR20200004260A (ko) * | 2018-07-03 | 2020-01-13 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
JP2020006282A (ja) * | 2018-07-03 | 2020-01-16 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
TWI760621B (zh) * | 2018-07-03 | 2022-04-11 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
KR102525265B1 (ko) * | 2018-07-03 | 2023-04-24 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
JP2020138147A (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 株式会社豊田自動織機 | 塗工装置及び塗工装置の位置合わせ方法 |
JP7077994B2 (ja) | 2019-02-28 | 2022-05-31 | 株式会社豊田自動織機 | 塗工装置及び塗工装置の位置合わせ方法 |
JP7344533B2 (ja) | 2019-05-14 | 2023-09-14 | Aiメカテック株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
JP6923126B1 (ja) * | 2021-02-05 | 2021-08-18 | 株式会社野上技研 | 塗工装置及びブレード測定器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4725173B2 (ja) | 2011-07-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI508786B (zh) | 塗佈裝置 | |
JP4725173B2 (ja) | 塗工方法 | |
TWI559365B (zh) | Coating device | |
JP4675451B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2007150280A (ja) | 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法 | |
KR100685216B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JPWO2016024364A1 (ja) | 実装装置および測定方法 | |
JP4162086B2 (ja) | 液体材料塗布方法 | |
JP2017112197A (ja) | 基板保持装置、塗布装置、基板保持方法 | |
JP2007152261A (ja) | ペースト塗布装置、ペースト塗布方法及びこれを用いた表示パネルの製造装置 | |
WO2010068825A2 (en) | Method for improving motion times of a stage | |
JP5337547B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP2017109378A (ja) | 転写装置および転写方法 | |
JP2007331087A (ja) | ステージ装置 | |
TWI521730B (zh) | Substrate processing equipment | |
CN110000046A (zh) | 一种用于硬质载体的液体涂布设备及方法 | |
KR101830009B1 (ko) | 전사 장치 및 전사 방법 | |
JP2003243286A (ja) | 基板処理装置 | |
JP4537223B2 (ja) | 電子部品装着装置 | |
JPH11262711A (ja) | 塗布装置 | |
JP4330052B2 (ja) | 基板位置決め装置 | |
JP6057853B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2018015932A (ja) | 転写装置および転写方法 | |
CN217588896U (zh) | 一种顶出机构及排晶机 | |
JP5862007B2 (ja) | 基板移送装置、基板移送方法およびそれを用いた塗布装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100601 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100802 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110328 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |