JP2009274434A - スクライブ装置及び多軸スクライブ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のスクライブ装置は、マグネット5を有する軸部材1と、軸部材1の周囲を囲む複数のコイル8を有する電機子2と、軸部材1の先端に設けられ、薄板状のワークWにスクライブ線を刻むためのスクライブ工具4と、スクライブ工具4をワークWの表面に沿って相対的に移動させる移動機構21と、を備える。電機子2のコイルに電流を流すことによって、スクライブ工具がワークWの表面に向かって進退する。スクライブ工具がワークWの表面に接触したとき、さらに電機子2のコイルに電流を流すことによって、ワークWの表面内におけるスクライブ工具4の進行方向に倣って軸部材1がその軸線の回りを回転できる状態で、スクライブ工具4からワークWに荷重が付与される。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- マグネットを有する軸部材と、
前記軸部材の周囲を囲むコイルを有する電機子と、
前記軸部材の先端に設けられ、薄板状のワークにスクライブ線を刻むためのスクライブ
工具と、
前記スクライブ工具を前記ワークの表面に沿って相対的に移動させる移動機構と、を備
え、
前記電機子の前記コイルに電流を流すことによって、前記スクライブ工具が前記ワーク
の表面に向かって進退し、
前記スクライブ工具が前記ワークの表面に接触したとき、さらに前記電機子の前記コイ
ルに電流を流すことによって、前記ワークの表面内における前記スクライブ工具の進行方
向に倣って前記軸部材がその軸線の回りを回転できる状態で、前記スクライブ工具から前
記ワークに荷重が付与されるスクライブ装置。 - 前記スクライブ装置はさらに、
前記ワークの表面に向かって進退する前記軸部材の位置を制御する位置制御と、前記ワ
ークに接触した前記スクライブ工具から前記ワークに付与される荷重を制御する荷重制御
と、を行う制御装置を備えることを特徴とする請求項1に記載のスクライブ装置。 - 前記スクライブ装置はさらに、
前記コイルに流れる電流を検出する電流センサと、
前記軸部材の軸線方向の位置を検出する位置センサと、を備え、
前記制御装置は、指令及び前記位置センサからの情報に基づいて前記位置制御を行うと
共に、指令及び前記電流センサからの情報に基づいて前記荷重制御を行うことを特徴とす
る請求項2に記載のスクライブ装置。 - 前記スクライブ装置はさらに、
軸受本体の外部から供給された空気の力で前記軸部材を軸受本体中で浮かせながら、前
記軸部材がその軸線方向に直線運動したり、軸線の回りを回転したりするのを案内する静
圧空気軸受を備えることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のスクライブ装
置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載のスクライブ装置の前記軸部材、前記電機子、及び
前記スクライブ工具を含むスクライブヘッドが複数、互いの前記軸部材が平行になるよう
に積層されてなる多軸スクライブ装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009045718A JP2009274434A (ja) | 2008-04-16 | 2009-02-27 | スクライブ装置及び多軸スクライブ装置 |
TW098109474A TWI488819B (zh) | 2008-04-16 | 2009-03-24 | 劃線裝置及多軸劃線裝置 |
CN2009101327109A CN101562127B (zh) | 2008-04-16 | 2009-04-14 | 划线装置以及多轴划线装置 |
KR1020090032546A KR101634803B1 (ko) | 2008-04-16 | 2009-04-15 | 스크라이브 장치 및 다축 스크라이브 장치 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008107148 | 2008-04-16 | ||
JP2009045718A JP2009274434A (ja) | 2008-04-16 | 2009-02-27 | スクライブ装置及び多軸スクライブ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009274434A true JP2009274434A (ja) | 2009-11-26 |
Family
ID=41220863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009045718A Pending JP2009274434A (ja) | 2008-04-16 | 2009-02-27 | スクライブ装置及び多軸スクライブ装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009274434A (ja) |
KR (1) | KR101634803B1 (ja) |
CN (1) | CN101562127B (ja) |
TW (1) | TWI488819B (ja) |
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- 2009-02-27 JP JP2009045718A patent/JP2009274434A/ja active Pending
- 2009-03-24 TW TW098109474A patent/TWI488819B/zh active
- 2009-04-14 CN CN2009101327109A patent/CN101562127B/zh active Active
- 2009-04-15 KR KR1020090032546A patent/KR101634803B1/ko active IP Right Grant
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TW200948728A (en) | 2009-12-01 |
KR101634803B1 (ko) | 2016-06-29 |
CN101562127B (zh) | 2013-03-20 |
TWI488819B (zh) | 2015-06-21 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090805 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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