JP7360263B2 - アクチュエータ - Google Patents
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Description
または所定の期間における検出値になまし処理を行った値を第一の力としてもよい。このように、検出値が安定したときに第一の力を求めることにより、摩擦力の影響をより正確に得ることができるので、その後の駆動部の制御をより適切に行うことができる。
図1は、本実施形態に係るアクチュエータ1の外観図である。アクチュエータ1は外形が略直方体のハウジング2を有しており、ハウジング2には、蓋200が取り付けられている。図2は、本実施形態に係るアクチュエータ1の内部構造を示した概略構成図である。ハウジング2の内部に、シャフト10の一部を収容している。このシャフト10の先端部10A側は、中空となるよう形成されている。シャフト10及びハウジング2の材料には、例えば金属(例えばアルミニウム)を用いることができるが、樹脂等を用いることもできる。なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置について説明する。ハウジング2の最も大きな面の長辺方向であってシャフト10の中心軸100の方向をZ軸方向とし、ハウジング2の最も大きな面の短辺方向をX軸方向とし、ハウジング2の最も大きな面と直交する方向をY軸方向とする。Z軸方向は鉛直方向でもある。なお、以下では、図2におけるZ軸方向の上側をアクチュエータ1の上側とし、図2におけるZ軸方向の下側をアクチュエータ1の下側とする。また、図2におけるX軸方向の右側をアクチュエータ1の右側とし、図2におけるX軸方向の左側をアクチュエータ1の左側とする。また、図2におけるY軸方向の手前側をアクチュエータ1の手前側とし、図2におけるY軸方向の奥側をアクチュエータ1の奥側
とする。ハウジング2は、Z軸方向の寸法がX軸方向の寸法よりも長く、X軸方向の寸法がY軸方向の寸法よりも長い。ハウジング2は、Y軸方向と直交する一つの面(図2における手前側の面)に相当する箇所が開口しており、この開口を蓋200によって閉塞している。蓋200は、例えばネジによってハウジング2に固定される。
4Bと共にZ軸方向に移動可能である。直動テーブル33は、直動モータ30の可動子32と2つの連結アーム35を介して連結されている。2つの連結アーム35は、可動子32のZ軸方向の両端部と、直動テーブル33のZ軸方向の両端部とを連結している。また、直動テーブル33は、両端部よりも中央側において、2つの連結アーム36を介して回転モータ20の固定子22と連結されている。なお、Z軸方向上側の連結アーム36を第一アーム36Aといい、Z軸方向下側の連結アーム36を第二アーム36Bという。また、第一アーム36Aと第二アーム36Bとを区別しない場合には、単に連結アーム36という。直動テーブル33と回転モータ20の固定子22とが、該連結アーム36を介して回転モータ20の固定子22と連結されているために、直動テーブル33の移動に伴って回転モータ20の固定子22も移動する。また、連結アーム36は、断面が四角である。各連結アーム36におけるZ軸方向の上側を向く面には、ひずみゲージ37が固定されている。なお、第一アーム36Aに固定されるひずみゲージ37を第一ひずみゲージ37Aといい、第二アーム36Bに固定されるひずみゲージ37を第二ひずみゲージ37Bという。第一ひずみゲージ37Aと第二ひずみゲージ37Bとを区別しない場合には、単にひずみゲージ37という。なお、本実施形態の2つのひずみゲージ37は、連結アーム36のZ軸方向の上側を向く面に夫々設けられているが、これに代えて、連結アーム36のZ軸方向の下側を向く面に夫々設けられていてもよい。ひずみゲージ37は、検出部の一例である。
通路61Cとが連通されるため、共用通路61C内に負圧が発生する。そうすると、エア流通路202Aを介してシャフトハウジング50内から空気が吸引される。一方、正圧電磁弁63Aを開き且つ負圧電磁弁63Bを閉じることにより、正圧通路61Aと共用通路61Cとが連通されるため、共用通路61C内に正圧が発生する。そうすると、エア流通路202Aを介してシャフトハウジング50内に空気が供給される。共用通路61Cには、共用通路61C内の空気の圧力を検出する圧力センサ64及び共用通路61C内の空気の流量を検出する流量センサ65が設けられている。
からフィルタ部501Cに接続されている。また、第一通路501Aの他端はフィルタ53の中心側と通じている。そのため、第一通路501Aと第二通路501Bとの間を流通する空気は、フィルタ53を通過する。したがって、例えば、先端部10Aに負圧を発生させたときに、内部空間500に空気と一緒に異物を吸い込んだとしても、この異物はフィルタ53によって捕集される。第二通路501Bの一端には、シール剤を保持するように溝501Dが形成されている。
アクチュエータ1を用いたワークWのピックアンドプレイスについて説明する。ピックアンドプレイスは、コントローラ7が所定のプログラムを実行することにより行われる。ワークWのピックアップ時において、シャフト10がワークWに接触するまでは、正圧電磁弁63A及び負圧電磁弁63Bは共に閉じた状態とする。この場合、シャフト10の先
端部10Aの圧力は大気圧となる。そして、直動モータ30によりシャフト10をZ軸方向下側に移動させる。シャフト10がワークWに接触すると、直動モータ30を停止させる。直動モータ30を停止後に負圧電磁弁63Bを開くことにより、シャフト10の先端部10Aに負圧を発生させ、ワークWをシャフト10の先端部10Aに吸い付ける。その後、直動モータ30によりシャフト10をZ軸方向上側に移動させる。このときに、必要に応じて、回転モータ20によりシャフト10を回転させる。このようにして、ワークWをピックアップすることができる。
が、回転モータ20のZ軸方向の膨張量よりも大きくなる。これにより、第一アーム36Aと第二アーム36Bとが平行でなくなり、回転モータ20側よりも直動モータ30側の方が、第一アーム36Aと第二アーム36Bとの距離が大きくなる。このときには、第一ひずみゲージ37Aは縮み、第二ひずみゲージ37Bは伸びる。この場合、第一ひずみゲージ37Aの出力は、見かけ上、荷重の発生を示し、第二ひずみゲージ37Bの出力は、見かけ上、負の荷重の発生を示す。このときには、第一アーム36A及び第二アーム36Bに、直動テーブル33のZ軸方向の膨張量と回転モータ20のZ軸方向の膨張量との差によって生じる力が逆方向に等しくかかっているため、第一ひずみゲージ37Aの出力と、第二ひずみゲージ37Bの出力とは、絶対値が等しく正負が異なっている。そのため、両ひずみゲージの出力を並列に接続することにより、温度の影響による出力を互いに打ち消すことができるため、別途温度に応じた補正を行う必要がない。そのため、簡易且つ高精度に荷重を検出することができる。このように、両ブリッジ回路の出力を並列に接続することにより、温度の影響を取り除いた電圧変化を得ることができ、この電圧変化はシャフト10とワークWとの間に発生する荷重に応じた値になる。
ージ37の検出値には、シャフトハウジング50とシャフト10との間で発生する摩擦力が含まれる。
湿度、経年変化などによって摩擦力は変化し得る。また、図5において、T1は、シャフト10が移動を開始する時期である。T1以前は、シャフト10が停止している。また、図5において、T2は、シャフト10の速度が安定する時期である。また、T3は、シャフト10がワークWに接触を始める時期である。なお、T3は、シャフト10の一部がワークWに接触を始める時期としてもよい。T4は、シャフト10及びワークWに加わる荷重が所定荷重に達する時期である。T4は、シャフト10がワークWに接触したことを検知する時期、または、シャフト10がワークWに接触したためにシャフト10の移動を停止させる時期としてもよい。また、T4においてシャフト10が停止される停止制御が実施されてもよく、T4において、ひずみゲージ37の検出値が所定荷重となるようにフィードバック制御を開始してもよい。
次に、ピックアンドプレイスの具体的な制御について説明する。このピックアンドプレイスは、コントローラ7が所定のプログラムを実行することにより行われる。なお、本実施形態では、ひずみゲージ37の出力を荷重に置き換えて、この荷重に基づいて直動モータ30を制御するが、これに代えて、ひずみゲージ37の出力に基づいて、直動モータ30を直接制御してもよい。まずは、ピックアップ処理について説明する。図6は、ピックアップ処理のフローを示したフローチャートである。本フローチャートは、コントローラ7によって所定の時間毎に実行される。この所定の時間は、タクトタイムに応じて設定される。初期状態では、シャフト10は、ワークWから十分に距離がある。
上になるまで、直動モータ30がシャフト10をZ軸方向の下側に移動させる。
本実施形態では、シャフト10がZ軸の正の方向(図2における上方向)に移動するときの摩擦力について説明する。その他の装置等は第1実施形態と同じため説明を省略する。図8は、ワークWのピックアップ時におけるひずみゲージ37の検出値の推移を示したタイムチャートである。例えば、シャフト10が図2のZ軸の正の方向に移動しているときに、ワークWをピックアップする場合である。図8におけるT1,T2,T3,T4は、図5における、T1,T2,T3,T4と同様の時期である。図5と比較して、図8では、力の向きが逆方向になるため、検出値は負の値になるものの、考え方は図5と同じである。
上記アクチュエータ1においては、連結アーム36にひずみゲージ37を設けているが、これに代えて、連結アーム35にひずみゲージ37を設けることもできる。また、上記実施形態では、ひずみゲージ37を用いてシャフト10及びワークWに加わる荷重を検出しているが、他のセンサ等を用いることもできる。この場合、シャフト10がシャフトハウジング50において摺動することによる摩擦力が検出される位置において、シャフト10及びワークWに加わる荷重を検出する。すなわち、シャフトハウジング50よりも直動モータ30側において荷重を検出する。例えば、シャフト10の先端部10Aに力センサを設けた場合には、シャフト10が移動しているときの摩擦力はこの力センサの検出値に影響を与えないため、本発明を適用する必要はない。すなわち、シャフトハウジング50よりも直動モータ30側(すなわち、固定部よりも駆動部側)において力を検出するセンサ等を設ける場合に、本発明を適用する。このセンサは、ロードセルとしてもよく、圧電式のセンサとしてもよい。このようなセンサは、シャフトハウジング50よりも上側のシャフト10、連結アーム36、連結アーム35、可動子32、直動テーブル33、回転モ
ータ20等に設けることができる。すなわち、シャフトハウジング50よりも上側のシャフト10から直動モータ30までに介在する部材にセンサを設けることができる。
Claims (6)
- 中心軸方向の移動によりワークに力を加えるシャフトと、
前記シャフトを前記中心軸の方向に摺動させることにより移動させる駆動部と、
前記シャフトの周りに設けられ前記駆動部が前記シャフトを移動させるときに前記シャフトが相対的に移動する固定部と、
前記固定部よりも前記駆動部側において前記シャフトに加わる力を検出する検出部と、
前記駆動部を制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、
前記シャフトが前記ワークに力を加える前に前記シャフトが移動している期間のうちの所定期間に前記検出部が検出する力であって前記シャフトが摺動するときに発生する摩擦力と関連する第一の力を求め、前記所定期間の後に、前記検出部により検出される前記力及び前記第一の力に基づいて前記駆動部を制御し、
前記検出部により検出される力の変動量が所定の範囲内の状態が継続する期間として前記所定期間を設定する、
アクチュエータ。 - 中心軸方向の移動によりワークに力を加えるシャフトと、
前記シャフトを前記中心軸の方向に摺動させることにより移動させる駆動部と、
前記シャフトの周りに設けられ前記駆動部が前記シャフトを移動させるときに前記シャフトが相対的に移動する固定部と、
前記固定部よりも前記駆動部側において前記シャフトに加わる力を検出する検出部と、
前記駆動部を制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、
前記シャフトが前記ワークに力を加える前に前記シャフトが移動している期間のうちの所定期間に前記検出部が検出する力であって前記シャフトが摺動するときに発生する摩擦力と関連する第一の力を求め、前記所定期間の後に、前記検出部により検出される前記力及び前記第一の力に基づいて前記駆動部を制御し、
前記シャフトの速度の変動量が所定の範囲内の状態が継続する期間として前記所定期間を設定する、
アクチュエータ。 - 前記制御装置は、前記所定期間において、前記シャフトが前記ワークに近付く方向に移動しているときに、前記第一の力を求める、
請求項1または2に記載のアクチュエータ。 - 前記制御装置は、前記所定期間の後に、前記検出部により検出される前記力が所定値以上になると前記駆動部を停止させる制御である停止制御を行い、
前記制御装置は、前記停止制御において、前記第一の力を前記所定値に加算することで前記所定値を補正する、または、前記検出部により検出される前記力から前記第一の力を減算することで前記検出部により検出される前記力を補正する、
請求項1から3の何れか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記制御装置は、前記所定期間の後に、前記検出部により検出される前記力が所定値となるように前記駆動部のフィードバック制御を行い、
前記制御装置は、前記フィードバック制御において、前記第一の力を前記所定値に加算することで前記所定値を補正する、または、前記検出部により検出される前記力から前記第一の力を減算することで前記検出部により検出される前記力を補正する、
請求項1から3の何れか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記所定期間は、前記ワークをプレイスする前の期間である、
請求項1または2に記載のアクチュエータ。
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