JP2006032503A - ツール駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 構成の簡素化を図りつつ軽量化を図ることができるツール駆動装置を提供する。
【解決手段】 ボンディングヘッドのアクチュエータ11にシャフト12を設け、制御装置13からの制御信号に応じてシャフト12を上下駆動可能とする。シャフト12にチップを吸着して保持するツール14を設け、ツール14でチップをピックアップ&プレース可能とする。アクチュエータ11を、ダイレクト駆動タイプとして知られているリニアサーボモータで構成し、制御装置13から供給される電流の大きさに応じた推力をシャフト12を介してツール14に加えることで、ツール14を上下方向に駆動できるように構成する。アクチュエータ11にリニアスケール21を設け、ツール14の高さ位置を検出可能とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 ボンディングヘッドのアクチュエータ11にシャフト12を設け、制御装置13からの制御信号に応じてシャフト12を上下駆動可能とする。シャフト12にチップを吸着して保持するツール14を設け、ツール14でチップをピックアップ&プレース可能とする。アクチュエータ11を、ダイレクト駆動タイプとして知られているリニアサーボモータで構成し、制御装置13から供給される電流の大きさに応じた推力をシャフト12を介してツール14に加えることで、ツール14を上下方向に駆動できるように構成する。アクチュエータ11にリニアスケール21を設け、ツール14の高さ位置を検出可能とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ピックアップ位置のワークをピックアップしてプレース位置にプレースするツールを上下駆動するツール駆動装置に関する。
従来、ダイボンダの可動アームには、図3に示すように、ボンディングヘッド101が設けられており、該ボンディングヘッド101には、チップをピックアップ位置でピックアップして、ボンディング位置に載置するパッド等のツール102が設けられている。
このツール102は、ツール駆動装置111によってZ軸方向(垂直方向)に駆動されるように構成されている。このツール駆動装置111の構成としては、図3の(a)に示すように、前記ツール102をガイド112にスライド自在に支持するとともに、このツール102をシリンダ113で上下駆動する構成が考えられるが、この場合、ツール102の停止位置の制御ができない。このため、図3の(b)に示すように、前記ツール102をボールねじ115で支持し、サーボモータ116によって上下位置制御する構成が考えられる。
また、この発展型として、図4の(c)に示すように、スプライン121で支持されたツール102をスプリング122で付勢し、ツール102によるピックアップ時又はプレース時にチップに荷重を加える構造や、図4の(d)に示すように、前記スプリング122に変えてボイスコイルモータ(VCM)125を用いることによって、ピックアップ時とプレース時とで荷重を可変する構成を考案するに至った。
しかしながら、このようなツール駆動装置111にあっては、ピックアップ時とプレース時とで荷重を可変するために比較的重いボイスコイルモータ(VCM)125を設けなければならず、機構が複雑化するとともに、重量が重くなるという問題があった。
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、構成の簡素化を図りつつ、軽量化を図ることができるツール駆動装置を提供することを目的とするものである。
前記課題を解決するために本発明のツール駆動装置にあっては、ワークをピックアップしてプレースするツールを上下駆動する駆動手段を、外部からの制御信号に応じた推力を前記ツールに加えるとともに、前記制御信号で前記ツールの移動位置を制御するリニアモータ等のダイレクト駆動タイプのアクチュエータで構成した。
すなわち、ピックアップ位置にあるワークをピックアップする際には、アクチュエータに制御信号を加えて、ツールをワーク位置まで下降し、該ワークをピックアップする。このとき、例えば、前記アクチュエータに加える電流を制限することによって該アクチュエータより前記ツールに加えられる推力を制限することで、該ツールより前記ワークに加えられる荷重を所定値に設定する。
そして、前記アクチュエータに制御信号を加え、前記ツールを所定位置まで上昇し、プレース位置まで移動する。この位置において、前記アクチュエータに制御信号を加え、前記ツールをプレース位置まで下降し、前記ワークをプレースする。このとき、例えば、前記アクチュエータに加える電流を制限することによって該アクチュエータより前記ツールに加えられる推力を制限することで、前記ツールより前記ワークに加えられる荷重を所定値に設定することができる。
このように、前記アクチュエータを用いることによって、前記ツールを上下駆動できるとともに、ピックアップ時及びプレース時において、前記アクチュエータに加える電流を制限することによって、前記ワークに加えられる荷重を制御することができる。
そして、前記ワークには、前記アクチュエータに加えられる制御信号に応じた荷重が加えられるため、ピックアップ時又はプレース時において、ワークに加えられる荷重を変更することができる。
以上説明したように本発明のツール駆動装置にあっては、リニアモータ等のダイレクト駆動タイプのアクチュエータを用いることによって、ツールの上下駆動と、ツールへの荷重制御とを両立させることができる。
また、前記アクチュエータに加える制御信号を可変することで、ピックアップ時とプレース時とにおいて、比較的大型なボイスコイルモータを用いることなく、ワークに加えられる荷重を異なる大きさに設定することができる。
これにより、ボイスコイルモータを用いて荷重の可変を可能とした従来と比較して、構成の簡素化を図りつつ、軽量化を図ることができる。
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図1は、本実施の形態にかかるツール駆動装置を備えたダイボンダ2のボンディングヘッド部を示す図であり、前記ダイボンダ2は、所定位置に配置されたワークとしてのチップをボンディング位置まで移動してボンディングする装置である。
すなわち、ダイボンダ2の可動アームの先端部には、ボンディングヘッドが設けられており、該ボンディングヘッドには、駆動手段を構成するアクチュエータ11が設けられている。該アクチュエータ11には、上下方向に延在するシャフト12が設けられており、制御装置13からの制御信号に応じて前記シャフト12を上下方向へ駆動できるように構成されている。前記アクチュエータ11より下方へ突出した前記シャフト12の下端部には、供給された負圧によってチップを吸着して保持するツール14が設けられており、該ツール14で前記チップをピックアップするとともにプレースできるように構成されている。
前記アクチュエータ11は、ダイレクト駆動タイプのアクチュエータとして知られているリニアサーボモータで構成されており、このアクチュエータ11には、前記制御装置13から制御信号が供給されるように構成されている。前記アクチュエータ11は、前記制御装置13からの制御信号に応じた推力、具体的には、該制御装置13から供給される電流の大きさに応じた推力を電流の向きに応じた方向へ向けて発生し、この推力を前記シャフト12を介して前記ツール14に加えることで、当該ツール14を上下方向に駆動できるように構成されている。
また、前記アクチュエータ11より上方へ突出した前記シャフト12の部位には、リニアスケール21を構成するスケール部22が設けられており、このスケール部22が対向する部位には、前記スケール部22と共に前記リニアスケール21を構成センサ部23が、前記アクチュエータ11に立設されたブラケット24に固定されている。
前記スケール部22としては、細かな溝が上下に等間隔をおいて形成されたガラス板等が挙げられ、前記センサ部23としては、このスケール部22の溝を検知する光学式のセンサが挙げられる。そして、前記センサ部23からの出力信号は、前記制御装置13に出力されるように構成されている。
これにより、前記アクチュエータ11からの前記シャフト12の突出量の変化に伴って前記スケール部23が前記アクチュエータ11に固定された前記センサ部23に対して相対移動した際に、該センサ部23に対して移動する前記スケール部22の溝数をカウントすることで、前記制御装置13では、両者の相対移動量から前記シャフト12に設けられたツール14の高さ位置や、溝数の増減速度から前記ツール14の移動速度を検出できるように構成されており、当該制御装置13では、これらの検出結果に基づいて前記アクチュエータ11を駆動することで、前記ツール14の移動位置や移動速度を制御できるように構成されている。
以上の構成にかかる本実施の形態において、チップをピックアップ又はプレースする際の動作を、図2に示すタイミングチャートに従って説明する。
前記ツール14をピックアップ位置にあるチップの高さ位置や、ピックアップしたチップをボンディング位置等の目標位置31まで下降する際には、アクチュエータ11に対してツール12が下降する方向へ制御信号を出力する(T1)。このとき、前記アクチュエータ11に加える電流を徐々に増加することで、前記ツール12を駆動する推力を増加してツール14の移動速度を加速した後、加える電流を逆向きにすることによって加速度を低下する。その後、一定電流に切り替えるとともに(T2)、電流をやや増加した状態を目標位置31に達するまで維持した後(T3)、電流を電流制限値32まで増加して前記アクチュエータ11による推力を増大する(T4)。
これにより、ピックアップ時においては、前記アクチュエータ11による推力が荷重として前記ツール14よりチップに加えられる。また、プレース時にあっては、前記アクチュエータ11による推力が荷重として前記ツール14に加えられ、この荷重によって前記チップをボンディング位置に押しつけてボンディングすることができる。
このように、前記アクチュエータ11に加える電流を制限することで、該アクチュエータ11より前記ツール14に加えられる推力を制限し、該ツール14より加えられる荷重を任意の値に設定することができる。このため、ピックアップ時又はプレース時において、電流値を異なる値に設定することで、チップに加えられる荷重を変更することができる。
そして、チップのピックアップ又はプレースが完了した際には、電流値を徐々に減少した後(T5)、比較的小さな電流を一定時間通電するとともに(T6)、ツール12が上昇する方向へ電流を出力してツールを所定位置まで上昇する(T7)。このとき、前記アクチュエータ11に加える電流を下降時と逆向きに徐々に増加することで、前記ツール12を駆動する推力を増加して移動速度を加速した後、加える電流を逆向きにすることによって加速度を低下する。
このように、ダイレクト駆動タイプのリニアサーボモータでアクチュエータ11を構成することによって、ツール14の上下駆動と、ツール14への荷重制御とを両立させることができる。
また、前記アクチュエータ11に加える制御信号を可変することで、ピックアップ時とプレース時とにおいて、比較的大型なボイスコイルモータを用いることなく、チップに加えられる荷重を異なる大きさに設定することができる。
これにより、ボイスコイルモータを用いて荷重の可変を可能とした従来と比較して、構成の簡素化を図りつつ、軽量化を図ることができる。
1 ツール駆動装置
11 アクチュエータ
13 制御装置
14 ツール
11 アクチュエータ
13 制御装置
14 ツール
Claims (1)
- ワークをピックアップしてプレースするツールを上下駆動する駆動手段を、外部からの制御信号に応じた推力を前記ツールに加えるとともに、前記制御信号で前記ツールの移動位置を制御するリニアモータ等のダイレクト駆動タイプのアクチュエータで構成したことを特徴としたツール駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004206626A JP2006032503A (ja) | 2004-07-14 | 2004-07-14 | ツール駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004206626A JP2006032503A (ja) | 2004-07-14 | 2004-07-14 | ツール駆動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006032503A true JP2006032503A (ja) | 2006-02-02 |
Family
ID=35898510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004206626A Pending JP2006032503A (ja) | 2004-07-14 | 2004-07-14 | ツール駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006032503A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114128104A (zh) * | 2019-07-18 | 2022-03-01 | Thk株式会社 | 致动器 |
-
2004
- 2004-07-14 JP JP2004206626A patent/JP2006032503A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114128104A (zh) * | 2019-07-18 | 2022-03-01 | Thk株式会社 | 致动器 |
CN114128104B (zh) * | 2019-07-18 | 2023-11-28 | Thk株式会社 | 致动器 |
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