JP3749330B2 - ペレットボンディング装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の組立に用いられるペレットボンディング装置に係り、とりわけ移送ヘッドの移動中にペレットを吸着保持するノズルに生じる振動を効果的に抑制することができるペレットボンディング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、半導体装置の組立においてウエハから分離されたペレットをリードフレーム上の所定位置にボンディングするための装置としてペレットボンディング装置が用いられている。このようなペレットボンディング装置は、ウエハシート上に粘着されたペレットを位置修正用のゲージング台まで移送したり、ゲージング台に載置されたペレットをリードフレームまで移送したりするため、先端にペレットを吸着保持するノズルと、ノズルを保持するとともに上下方向に移動可能なアームとを有する移送ヘッドを備えている。
【0003】
このようなペレットボンディング装置の移送ヘッドとしては、ノズルを駆動させるリニアアクチュエータ(リニアモータ)を移送ヘッド内に設け、このリニアモータにより、アームに対してノズルが所望量だけ変位するようにしてアームの下降位置のずれを調整したり、ノズルがペレットに対して及ぼす押圧力を調整するものが知られている。
【0004】
ところで、上述したような、ノズルとアームとが相対的に移動可能な移送ヘッドにおいては、移送ヘッドの昇降移動に伴うアームの上下方向への加減速によってノズルにジャンピングと呼ばれる望ましくない振動が生じる。このため従来の移送ヘッドにおいては、移送ヘッドの昇降移動中に、移送ヘッド内に設けられた加圧制御用リニアモータに一定量の電流を流すことにより、ノズルに対して常時下方への押圧力が加えられるようにしてノズルの振動を抑制している(本発明を示す図3参照)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来のペレットボンディング装置においては、移送ヘッドの昇降移動中に、移送ヘッド内に設けられた加圧制御用リニアモータに継続して一定量の電流を流すことにより、ノズルに対して常時下方への押圧力が加えられるようにしてノズルの振動を抑制している。
【0006】
しかしながら、リニアモータにはその定格以上の電流を流すことができないので、ノズルに加えられる押圧力には限界がある。このため、ペレットのボンディングスピードを向上させるために移送ヘッドの移動速度を大きくしようとすると、移送ヘッドの移動速度の増大に伴ってノズルに加えられる加速度が大きくなり、リニアモータの規定の定格電流ではノズルを十分に押さえきれなくなることがある。
【0007】
このような場合、移送ヘッドの移動速度に対応したより大きな押圧力を得るために、リニアモータの定格自体を大きくすることも考えられるが、定格の大きなリニアモータは一般にサイズおよび重量が大きく、移送ヘッド全体の重量も大きくなってしまうので、移送ヘッドを移動させること自体が困難なものとなる。
【0008】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、リニアモータの定格を変更しなくとも、ノズルに生じる振動を効果的に抑制してペレットのボンディングスピードを向上させることができるペレットボンディング装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、先端にペレットを吸着保持するノズルと、前記ノズルを保持するとともに上下方向に一定のサイクルで移動可能なアームと、前記アームに取り付けられ前記ノズルに推力を与えるリニアモータと、前記リニアモータに電流を供給する電源と、前記電源に接続され前記アームの昇降移動時の加速および減速に応じて前記リニアモータに供給される電流を変化させるように制御する電流制御部と、を備え、前記電流制御部は、前記アームの1サイクル間に前記リニアモータに供給される電流の積算値が、当該1サイクル間に一定の定格電流が供給される場合と同等かそれ以下となるように、かつ、前記アームが下降する際の加速時及び前記アームが上昇する際の減速時に前記リニアモータに定格電流を越える電流が供給されるとともに、前記アームが下降する際の減速時及び前記アームが上昇する際の加速時には前記リニアモータに定格電流以下の電流が供給されるように、前記リニアモータに供給される電流量を制御することを特徴とするペレットボンディング装置を提供する。
【0010】
本発明によれば、アームの昇降移動時の加速および減速に応じてリニアモータに供給される電流量を制御する電流制御部が、アームの1サイクル間にリニアモータに供給される電流の積算値が、当該1サイクル間に一定の定格電流が供給される場合と同等かそれ以下となるように、かつ、アームが下降する際の加速時及びアームが上昇する際の減速時にリニアモータに定格電流を越える電流が供給されるとともに、アームが下降する際の減速時及びアームが上昇する際の加速時にはリニアモータに定格電流以下の電流が供給されるように、リニアモータに供給される電流量を制御するので、アームの昇降移動に対応した1サイクル当たりの平均電流を抑えつつ、リニアモータに対して一時的に定格電流を越える電流を供給することができる。このため、アームの昇降移動に伴って一時的に生じる、定格電流では押圧しきれないノズルの振動を効果的に抑制することができ、リニアモータの定格を変更しなくともペレットのボンディングスピードを向上させることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1乃至図3は本発明によるペレットボンディング装置の一実施の形態を示す図である。
【0012】
図1に示すように、ペレットボンディング装置の移送ヘッド10は、先端にペレット9を吸着保持するノズル1と、ノズル1を保持するとともに上下方向に移動可能なアーム8と、アーム8に取り付けられノズル1に推力を与えるボイスコイルモータ(リニアモータ)2とを備えている。
【0013】
またボイスコイルモータ2は、アーム8の先端部分に取り付けられた枠体3と、枠体3の内面に取り付けられた永久磁石5と、永久磁石5とセンタポール6との間の間隙に挿入されるコイル4とからなり、コイル4はノズル1を支持する支持棒7に取り付けられている。なお支持棒7は、アーム8に取り付けられた円筒状のガイド8aにより上下方向に案内される。
【0014】
ここで移送ヘッド10は、アーム8に連結されたアーム昇降装置13(図2参照)により駆動されて上下方向に往復移動するとともに、XY移動装置(図示せず)により駆動されてペレット9に平行な平面内で移動するようになっている。
【0015】
なおボイスコイルモータ2には、図2に示すように、ボイスコイルモータ2に電流を供給する電源12が電流制御部11を介して接続されており、電流制御部11はアーム8の上下方向への加速度に応じてボイスコイルモータ2に供給される電流量を制御するようになっている。なお電流制御部11には、上述したアーム昇降装置13によるアーム8の昇降移動開始時に、アーム昇降装置13からアーム8の駆動開始信号が入力されるようになっている。
【0016】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について図3(a)(b)(c)により説明する。ここで、図3(a)はアームの昇降位置の時間変化を示す図、図3(b)は図3(a)に従ったアームの昇降移動時にアームに加えられる加速度の時間変化を示す図、図3(c)は本発明において図3(a)に従ったアームの昇降移動時にボイスコイルモータに加えられる電流量の時間変化を示す図である。なお、図3(d)は従来の方法において図3(a)に従ったアームの昇降移動時にボイスコイルモータに加えられる電流量の時間変化を示す図である。
【0017】
図1に示す移送ヘッド10は、ウエハシート14上に粘着されたペレット9をリードフレーム(図示せず)上の所定位置まで移送するために用いられる。移送ヘッド10は、ノズル1を上下方向に往復移動させてノズル1の先端にペレット9を吸着保持させた後、吸着保持されたペレット9を所望のボンディング位置まで平行移動させ、最終的にノズル1を上下方向に往復移動させてノズル1の先端に吸着保持されたペレット9をリードフレーム(図示せず)上の所定位置にボンディングする。
【0018】
なお、ペレット9のリードフレームに対する位置および向きをゲージング台(図示せず)により補正する場合には、移送ヘッド10は、ペレット9をゲージング台まで平行移動させ、ノズル1を上下方向に往復移動させてノズル1の先端に吸着保持されたペレット9をゲージング台上の所定位置に載置する。
【0019】
このような移送過程において移送ヘッド10を上下方向に往復移動させる場合には、アーム昇降装置(図2参照)によりアーム8を駆動させ、アーム8の昇降移動期間(t=0〜T)にアーム8の昇降位置zがあらかじめ定められた時間変化をなすように移送ヘッド10を昇降させる(図3(a)参照)。図3(a)に示すように、t=0の時点でアーム8を下降させ始めた後、t=0〜t1およびt1〜t2の各期間にアーム8を下方に対して加速および減速させつつ下降させ、t=t2の時点から定速で下降させる。そして、アーム8に保持されたノズル1の先端がペレット9に接触するt=t3の時点までアーム8を定速で下降させた後、t=t3〜t4の期間中アーム8を停止させてノズル1の先端にペレット9を吸着させる。その後、t=t4〜t5およびt5〜Tの各期間にアーム8を上方に対して加速および減速させつつ上昇させ、t=Tの時点でアーム8が元の位置に戻るようにする。
【0020】
ここで、図3(a)に対応するアーム8の加速度aの時間変化を図3(b)に示す。なお図3(b)においては、アーム8の下方への加速度を正、上方への加速度を負としている。図3(b)に示すように、アーム8に対しては、t=0〜t1およびt5〜Tの各期間に下方へ正の加速度が加えられ、t1〜t2およびt4〜t5の各期間に下方へ負の加速度が加えられる。また、定速下降から停止に至るt=t3の時点でもアーム8に対して下方へ負の加速度が加えられる。このため、アーム8に対して相対的に移動可能なノズル1には、t=0〜t1およびt5〜Tの各期間に上方への推力が加えられ、t1〜t2およびt4〜t5の各期間に下方への推力が加えられる。つまり、ノズル1は慣性により、0〜t1およびt5〜Tの各期間においては、アーム8に対して上方向に移動しようとし、t1〜t2およびt4〜t5の各期間においては、アーム8に対して下方向に移動しようとする。
【0021】
そして、このような移送ヘッド10の昇降移動に対応して、移送ヘッド10のボイスコイルモータ2には図3(c)に示すような電流が供給される。すなわち、図2において、アーム昇降装置13から電流制御部11に対してアーム8の駆動開始信号が入力されると、電流制御部11は、アーム8の昇降位置の時間変化(図3(a)参照)に対応する電流量の時間変化(図3(c)参照)に基づいて、電源12からボイスコイルモータ2に供給される電流量を制御する。この場合、ボイスコイルモータ2には、アーム8の下方への加速度が大の期間(t=0〜t1およびt5〜T)には定格電流I0を越える大きな電流が供給され、アーム8の下方への加速度が小の期間(t1〜t5)には定格電流I0以下の小さな電流が供給される。
【0022】
なお、ボイスコイルモータ2に電流が供給された場合には、ノズル1を支持する支持棒7に対して下方への推力が加えられ、これにより支持棒7のコイル取付部7aの下面がガイド8aの上端面に押し付けられる。この結果、アーム8が所定加速度の範囲で加減速する限りにおいて、ノズル1がアーム8に対して相対移動することがなくなり、これによりノズル1の振動を抑制することができる。
【0023】
ここで、アーム8の下方への加速度が小の期間(t=t1〜t5)のうち、アーム8に対して下方へ負の加速度が加えられるt=t1〜t2およびt4〜t5の各期間(ノズル1に下方への推力が加えられる期間)においては電流を供給させないようにする。また、アーム8が定速下降しており加速度が加えられていないt=t2〜t3の期間においては外乱等の影響を防ぐため定格電流I0よりも小さい所定量の電流を供給させるようにする。なおt=t3〜t4の期間においては、ペレット9に対してノズル1の先端を押圧させるため、定格電流I0の電流を供給する。
【0024】
なお、アーム8の昇降位置の時間変化はアーム昇降装置13においてあらかじめ設定されているので、この情報に基づいて電流制御部11で用いられる電流量の時間変化をあらかじめ算出しておくとよい。この場合、ボイスコイルモータ2の損傷を防止するため、アーム8を上下方向に往復移動させる1サイクルにおいて、ボイスコイルモータ2に供給される電流の積算値が、従来の方法において同様のサイクル間に一定の定格電流I0が供給される場合と同等かそれ以下となるようにするとよい。
【0025】
このように本実施の形態によれば、移送ヘッド10の昇降移動に伴うアーム8の上下方向への加速度が常時発生しているものではないことに着目し、移送ヘッド10の昇降移動に伴うアーム8の上下方向への加速度に応じてボイスコイルモータ2に供給される電流を変化させるように制御するので、アーム8を上下方向に往復移動させる1サイクル当たりの平均電流を抑えつつ、ボイスコイルモータ2に対して一時的に定格電流I0を越える電流を供給することができる。このため、移送ヘッド10の昇降移動に伴って一時的に生じる、定格電流I0では押圧しきれない大きな加速度によるノズル1の振動を効果的に抑えることができ、ボイスコイルモータ2の定格を変更しなくともペレット9のボンディングスピードを向上させることができる。
【0026】
なお、上述した実施の形態における移送ヘッド10は、ペレット9をウエハシートからリードフレームまたはゲージング台まで移動させるためのものであるが、ペレット9をゲージング台からリードフレームまでの移送させるための移送ヘッドに対しても同様に適用することができる。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、リニアモータの定格を変更しなくとも、ノズルに生じる振動を効果的に抑制してペレットのボンディングスピードを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるペレットボンディング装置の一実施の形態の要部を示す一部断面図。
【図2】図1に示すボイスコイルモータに供給される電流量を制御する制御系を示すブロック図。
【図3】図1および図2に示すボイスコイルモータの制御シーケンスを説明するための図。
【符号の説明】
1 ノズル
2 ボイスコイルモータ(リニアモータ)
8 アーム
9 ペレット
10 移送ヘッド
11 電流制御部
12 電源
Claims (2)
- 先端にペレットを吸着保持するノズルと、
前記ノズルを保持するとともに上下方向に一定のサイクルで移動可能なアームと、
前記アームに取り付けられ前記ノズルに推力を与えるリニアモータと、
前記リニアモータに電流を供給する電源と、
前記電源に接続され前記アームの昇降移動時の加速および減速に応じて前記リニアモータに供給される電流を変化させるように制御する電流制御部と、
を備え、
前記電流制御部は、前記アームの1サイクル間に前記リニアモータに供給される電流の積算値が、当該1サイクル間に一定の定格電流が供給される場合と同等かそれ以下となるように、かつ、前記アームが下降する際の加速時及び前記アームが上昇する際の減速時に前記リニアモータに定格電流を越える電流が供給されるとともに、前記アームが下降する際の減速時及び前記アームが上昇する際の加速時には前記リニアモータに定格電流以下の電流が供給されるように、前記リニアモータに供給される電流量を制御することを特徴とするペレットボンディング装置。 - 前記電流制御部は、前記アームの一方向への加速度が大の場合に、前記一方向への加速度が小の場合よりも前記リニアモータに供給する電流を増加させることを特徴とする請求項1記載のペレットボンディング装置。
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