JP3153318B2 - ペレットのピックアップ供給装置 - Google Patents
ペレットのピックアップ供給装置Info
- Publication number
- JP3153318B2 JP3153318B2 JP6931392A JP6931392A JP3153318B2 JP 3153318 B2 JP3153318 B2 JP 3153318B2 JP 6931392 A JP6931392 A JP 6931392A JP 6931392 A JP6931392 A JP 6931392A JP 3153318 B2 JP3153318 B2 JP 3153318B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction nozzle
- holder arm
- pellet
- thrust
- linear actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ペレットボンディング
装置の一部を構成する、ペレットのピックアップ供給装
置に関する。
装置の一部を構成する、ペレットのピックアップ供給装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のペレットのピックアップ供給装置
は、ウエハシート上に粘着されたペレットを突上げる突
上げ針を有し、突上げ針により突上げられたペレットを
ピックアップする真空吸着ノズルを上下方向に移動する
ホルダアームに支持し、ホルダアームをＸＹ移動装置に
支持して構成される。尚、吸着ノズルは、上下方向にス
プリングで背面支持される状態でホルダアームに支持さ
れる。そこで、吸着ノズルにてピックアップされたペレ
ットは、ＸＹ移動装置の作動によりＸＹ方向に移送さ
れ、ホルダアームの下動によりリードフレーム上の所定
位置に接着剤を介して加圧されボンディングされる。こ
のボンディング時には、ホルダアームに対して吸着ノズ
ルがスプリングの付勢力に抗して上動し、このスプリン
グによりペレット押圧力が付与される。
は、ウエハシート上に粘着されたペレットを突上げる突
上げ針を有し、突上げ針により突上げられたペレットを
ピックアップする真空吸着ノズルを上下方向に移動する
ホルダアームに支持し、ホルダアームをＸＹ移動装置に
支持して構成される。尚、吸着ノズルは、上下方向にス
プリングで背面支持される状態でホルダアームに支持さ
れる。そこで、吸着ノズルにてピックアップされたペレ
ットは、ＸＹ移動装置の作動によりＸＹ方向に移送さ
れ、ホルダアームの下動によりリードフレーム上の所定
位置に接着剤を介して加圧されボンディングされる。こ
のボンディング時には、ホルダアームに対して吸着ノズ
ルがスプリングの付勢力に抗して上動し、このスプリン
グによりペレット押圧力が付与される。
【０００３】ここで、ペレットを確実にピックアップ
し、該ペレットを確実にボンディングするためには、ピ
ックアップ位置、或いはボンディング位置におけるホル
ダアームの下降位置の設定が重要となる。また、ペレッ
トをウエハシートから確実に分離させるため、突上げ針
の上下動と吸着ノズルの上下動のタイミングずれをなく
すことが重要となる。
し、該ペレットを確実にボンディングするためには、ピ
ックアップ位置、或いはボンディング位置におけるホル
ダアームの下降位置の設定が重要となる。また、ペレッ
トをウエハシートから確実に分離させるため、突上げ針
の上下動と吸着ノズルの上下動のタイミングずれをなく
すことが重要となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来技術
には、下記〜の問題点がある。 ホルダアームの下降位置がずれたり、ペレットの厚み
が製作誤差や品種変更により変動すると、吸着ノズルが
ペレットを確実に吸着できなかったり充分な加圧力が得
られず、或いは吸着ノズルがペレットを過度に押圧して
該ペレットにダメージ（欠け等）を与え、結果として安
定したピックアップやボンディングを不能にする。
には、下記〜の問題点がある。 ホルダアームの下降位置がずれたり、ペレットの厚み
が製作誤差や品種変更により変動すると、吸着ノズルが
ペレットを確実に吸着できなかったり充分な加圧力が得
られず、或いは吸着ノズルがペレットを過度に押圧して
該ペレットにダメージ（欠け等）を与え、結果として安
定したピックアップやボンディングを不能にする。
【０００５】突上げ針の上下動と吸着ノズルの上下動
にタイミングずれを生ずる場合にも、吸着ノズルがペレ
ットを確実に吸着できなかったり、或いは吸着ノズルが
突上げ針との間でペレットを過度に挟圧して該ペレット
にダメージを与え、結果として安定したピックアップを
不能にする。
にタイミングずれを生ずる場合にも、吸着ノズルがペレ
ットを確実に吸着できなかったり、或いは吸着ノズルが
突上げ針との間でペレットを過度に挟圧して該ペレット
にダメージを与え、結果として安定したピックアップを
不能にする。
【０００６】スプリングで背面支持される状態で吸着
ノズルがホルダアームに支持されている場合、ホルダア
ームの下降位置のずれの程度の差、ペレットの厚みの変
動量の差、或いは突上げ針の上下動と吸着ノズルの上下
動のタイミングずれの程度の差により、スプリングのた
わみ量が変化し、ひいては吸着ノズルがペレットに及ぼ
す押圧力が変化し、ペレットにダメージを与える虞れが
ある。
ノズルがホルダアームに支持されている場合、ホルダア
ームの下降位置のずれの程度の差、ペレットの厚みの変
動量の差、或いは突上げ針の上下動と吸着ノズルの上下
動のタイミングずれの程度の差により、スプリングのた
わみ量が変化し、ひいては吸着ノズルがペレットに及ぼ
す押圧力が変化し、ペレットにダメージを与える虞れが
ある。
【０００７】本発明は、ペレットの安定したピックアッ
プやボンディングを行なえるようにすることを目的とす
る。
プやボンディングを行なえるようにすることを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、半導
体ペレットをピックアップする吸着ノズルと、この吸着
ノズルを支持するホルダアームと、このホルダアームを
前記吸着ノズルによるピックアップ方向に移動させるア
ーム移動装置と、前記ホルダアームを平面移動させる平
面移動装置と、を有してなるペレットのピックアップ供
給装置において、前記吸着ノズルは、前記ホルダアーム
に対してピックアップ方向に移動自在に支持され、かつ
前記ホルダアームに固定部が固定された推力調整可能な
リニアアクチュエータの可動部に対して固定されるとと
もに、前記リニアアクチュエータの発生推力によりペレ
ット押圧方向への移動習性を付与されることにより前記
ホルダアームの被当接部に直接当接する当接部を有し、
リニアアクチュエータは、その発生推力を電流制御部に
より制御されるように構成されてなるようにしたもので
ある。
体ペレットをピックアップする吸着ノズルと、この吸着
ノズルを支持するホルダアームと、このホルダアームを
前記吸着ノズルによるピックアップ方向に移動させるア
ーム移動装置と、前記ホルダアームを平面移動させる平
面移動装置と、を有してなるペレットのピックアップ供
給装置において、前記吸着ノズルは、前記ホルダアーム
に対してピックアップ方向に移動自在に支持され、かつ
前記ホルダアームに固定部が固定された推力調整可能な
リニアアクチュエータの可動部に対して固定されるとと
もに、前記リニアアクチュエータの発生推力によりペレ
ット押圧方向への移動習性を付与されることにより前記
ホルダアームの被当接部に直接当接する当接部を有し、
リニアアクチュエータは、その発生推力を電流制御部に
より制御されるように構成されてなるようにしたもので
ある。
【０００９】請求項２に記載の発明は、ウエハシート上
に粘着された半導体ペレットを突上げる突上げ針と、こ
の突上げ針により突上げられた前記半導体ペレットをピ
ックアップする吸着ノズルと、この吸着ノズルを支持す
るホルダアームと、このホルダアームを前記吸着ノズル
によるピックアップ方向に移動させるアーム移動装置
と、前記ホルダアームを平面移動させる平面移動装置
と、を有してなるペレットのピックアップ装置におい
て、前記吸着ノズルは、前記ホルダアームに対してピッ
クアップ方向に移動自在に支持され、かつ前記ホルダア
ームに固定部が固定された推力調整可能なリニアアクチ
ュエータの可動部に対して固定されるとともに、前記リ
ニアアクチュエータの発生推力によりペレット押圧方向
への移動習性を付与されることにより前記ホルダアーム
の被当接部に直接当接する当接部を有し、リニアアクチ
ュエータは、その発生推力を電流制御部により制御され
るように構成されてなるようにしたものである。
に粘着された半導体ペレットを突上げる突上げ針と、こ
の突上げ針により突上げられた前記半導体ペレットをピ
ックアップする吸着ノズルと、この吸着ノズルを支持す
るホルダアームと、このホルダアームを前記吸着ノズル
によるピックアップ方向に移動させるアーム移動装置
と、前記ホルダアームを平面移動させる平面移動装置
と、を有してなるペレットのピックアップ装置におい
て、前記吸着ノズルは、前記ホルダアームに対してピッ
クアップ方向に移動自在に支持され、かつ前記ホルダア
ームに固定部が固定された推力調整可能なリニアアクチ
ュエータの可動部に対して固定されるとともに、前記リ
ニアアクチュエータの発生推力によりペレット押圧方向
への移動習性を付与されることにより前記ホルダアーム
の被当接部に直接当接する当接部を有し、リニアアクチ
ュエータは、その発生推力を電流制御部により制御され
るように構成されてなるようにしたものである。
【００１０】
【作用】吸着ノズルによってウエハシート上のペレッ
トをピックアップし、或いは該吸着ノズルにてピックア
ップしたペレットをリードフレーム上の所定位置にボン
ディングするときには、ホルダアームの下降位置のずれ
や、製造誤差や品種変更によるペレットの厚み変動は、
吸着ノズル側のリニアアクチュエータの変位により吸収
される。然もこのとき、リニアアクチュエータの発生推
力は電流値が一定であればその変位に関係なく一定であ
る。従って、吸着ノズルがリニアアクチュエータの推力
によってペレットに及ぼす押圧力は、電流制御部にてリ
ニアアクチュエータの推力を一定に制御しておけば、リ
ニアアクチュエータの変位に関係なく一定となり、ずれ
や変動がない状態と同等に保たれる。
トをピックアップし、或いは該吸着ノズルにてピックア
ップしたペレットをリードフレーム上の所定位置にボン
ディングするときには、ホルダアームの下降位置のずれ
や、製造誤差や品種変更によるペレットの厚み変動は、
吸着ノズル側のリニアアクチュエータの変位により吸収
される。然もこのとき、リニアアクチュエータの発生推
力は電流値が一定であればその変位に関係なく一定であ
る。従って、吸着ノズルがリニアアクチュエータの推力
によってペレットに及ぼす押圧力は、電流制御部にてリ
ニアアクチュエータの推力を一定に制御しておけば、リ
ニアアクチュエータの変位に関係なく一定となり、ずれ
や変動がない状態と同等に保たれる。
【００１１】よって、吸着ノズルがペレットを確実に吸
着できなかったり加圧できないことがなく、或いは吸着
ノズルがペレットを過度に押圧して該ペレットにダメー
ジを与えることがなく、安定したピックアップやボンデ
ィングを可能とする。
着できなかったり加圧できないことがなく、或いは吸着
ノズルがペレットを過度に押圧して該ペレットにダメー
ジを与えることがなく、安定したピックアップやボンデ
ィングを可能とする。
【００１２】更に、吸着ノズルによってペレットをピ
ックアップするに際し、ウエハシート上のペレットを突
上げ針により突上げるため、突上げ針の上下動と、吸着
ノズルの上下動のタイミングを同期化せしめる。そし
て、突上げ針の上下動と吸着ノズルの上下動タイミング
にずれを生ずる場合には、そのずれを吸着ノズル側のリ
ニアアクチュエータの変位により吸収する。このとき、
リニアアクチュエータの発生推力は電流値が一定であれ
ばその変位に関係なく一定である。従って、吸着ノズル
がリニアアクチュエータの推力によって突上げ針との間
でペレットに及ぼす挟圧力は、電流制御部にてリニアア
クチュエータの推力を一定に制御しておけば、リニアア
クチュエータの変位に関係なく一定となり、ずれや変動
がない状態と同等に保たれる。
ックアップするに際し、ウエハシート上のペレットを突
上げ針により突上げるため、突上げ針の上下動と、吸着
ノズルの上下動のタイミングを同期化せしめる。そし
て、突上げ針の上下動と吸着ノズルの上下動タイミング
にずれを生ずる場合には、そのずれを吸着ノズル側のリ
ニアアクチュエータの変位により吸収する。このとき、
リニアアクチュエータの発生推力は電流値が一定であれ
ばその変位に関係なく一定である。従って、吸着ノズル
がリニアアクチュエータの推力によって突上げ針との間
でペレットに及ぼす挟圧力は、電流制御部にてリニアア
クチュエータの推力を一定に制御しておけば、リニアア
クチュエータの変位に関係なく一定となり、ずれや変動
がない状態と同等に保たれる。
【００１３】よって、吸着ノズルが突上げ針との間でペ
レットを過度に挟圧して該ペレットにダメージを与える
ことがなく、安定したピックアップを可能とする。
レットを過度に挟圧して該ペレットにダメージを与える
ことがなく、安定したピックアップを可能とする。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示す模式図、図２
はリニアアクチュエータを示す模式図である。
はリニアアクチュエータを示す模式図である。
【００１５】ペレットピックアップ供給装置１０は、ウ
エハシート１上に粘着された半導体ペレット２を突上げ
る突上げ針１１を有し、突上げ針１１により突上げられ
たペレット２をピックアップする真空吸着ノズル１２を
後述のアーム昇降装置１６にて上下動させられるホルダ
アーム１３に支持し、ホルダアーム１３をＸＹ移動装置
１４に支持して構成される。そして、吸着ノズル１２に
てピックアップしたペレット２を、ＸＹ移動装置１４の
作動によりＸＹ方向に移送し、アーム昇降装置１６の作
動によりホルダアーム１３を下動させてリードフレーム
上の所定位置に接着剤を介して加圧しボンディングする
のである。
エハシート１上に粘着された半導体ペレット２を突上げ
る突上げ針１１を有し、突上げ針１１により突上げられ
たペレット２をピックアップする真空吸着ノズル１２を
後述のアーム昇降装置１６にて上下動させられるホルダ
アーム１３に支持し、ホルダアーム１３をＸＹ移動装置
１４に支持して構成される。そして、吸着ノズル１２に
てピックアップしたペレット２を、ＸＹ移動装置１４の
作動によりＸＹ方向に移送し、アーム昇降装置１６の作
動によりホルダアーム１３を下動させてリードフレーム
上の所定位置に接着剤を介して加圧しボンディングする
のである。
【００１６】ここで、ペレットピックアップ供給装置１
０は、突上げ針１１を上下動するための針昇降装置１５
と、ホルダアーム１３を上下動するためのアーム昇降装
置１６を有している。そして、ペレット２をウエハシー
ト１から確実に分離させるため、例えば２つの昇降装置
１５、１６を同期させて駆動し、突上げ針１１の上下動
と吸着ノズル１２の上下動のタイミングを合致させてい
る。また、ペレット２を確実にピックアップし、該ペレ
ット２を確実にボンディングするため、アーム昇降装置
１６により、ピックアップ位置、或いはボンディング位
置におけるホルダアーム１３の下降位置の設定を制御し
ている。
０は、突上げ針１１を上下動するための針昇降装置１５
と、ホルダアーム１３を上下動するためのアーム昇降装
置１６を有している。そして、ペレット２をウエハシー
ト１から確実に分離させるため、例えば２つの昇降装置
１５、１６を同期させて駆動し、突上げ針１１の上下動
と吸着ノズル１２の上下動のタイミングを合致させてい
る。また、ペレット２を確実にピックアップし、該ペレ
ット２を確実にボンディングするため、アーム昇降装置
１６により、ピックアップ位置、或いはボンディング位
置におけるホルダアーム１３の下降位置の設定を制御し
ている。
【００１７】然るに、ペレットピックアップ供給装置１
０にあっては、図１に示す如く、吸着ノズル１２をピッ
クアップ方向に移動自在にホルダアーム１３に支持し、
かつホルダアーム１３に設けられた推力調整可能なリニ
アアクチュエータ１７にて該吸着ノズル１２にペレット
押圧方向への移動習性を付与している。
０にあっては、図１に示す如く、吸着ノズル１２をピッ
クアップ方向に移動自在にホルダアーム１３に支持し、
かつホルダアーム１３に設けられた推力調整可能なリニ
アアクチュエータ１７にて該吸着ノズル１２にペレット
押圧方向への移動習性を付与している。
【００１８】そして、リニアアクチュエータ１７の発生
推力は、電流制御部１８により制御可能とされている。
リニアアクチュエータ１７の推力は、電流一定であれば
一定、電流大となれば増加、電流小となれば低減するよ
うに制御される。
推力は、電流制御部１８により制御可能とされている。
リニアアクチュエータ１７の推力は、電流一定であれば
一定、電流大となれば増加、電流小となれば低減するよ
うに制御される。
【００１９】リニアアクチュエータ１７は、図２に示す
如く、ホルダアーム１３側に固定される永久磁石１０１
（固定部）と、吸着ノズル１２側に固定されるコイル１
０２（可動部）とを有する。コイル１０２は、永久磁石
１０１の回りに配置され、永久磁石１０１の回りを上下
動できる。電流制御部１８によりコイル１０２に電流が
流れると、コイル１０２には電流値に応じた磁界が発生
する。そして、吸着ノズル１２とコイル１０２の全体に
は、ホルダアーム１３に対して上又は下方向へ向かう移
動力が付与される。電流制御部１８は、この移動力の大
きさ、方向を、電流値、電流の向きによって制御する。
従って、吸着ノズル１２は、コイル１０２に電流が流さ
れることによりホルダアーム１３に対して下方向へ向か
う移動力が付与されたときには、コイル１０２に供給さ
れる電流値に応じた押圧力でその当接部をホルダアーム
１３の被当接部に当接せしめられる。ここで、被当接部
は、ホルダアーム１３における下側の張出し部分（リニ
アアクチュエータ１７の永久磁石１０１が固定されてい
る張出し部分に対向する部分）を指し、当接部は、吸着
ノズル１２におけるホルダアーム１３の下側の張出し部
分に当接する半円状の部分を指す。
如く、ホルダアーム１３側に固定される永久磁石１０１
（固定部）と、吸着ノズル１２側に固定されるコイル１
０２（可動部）とを有する。コイル１０２は、永久磁石
１０１の回りに配置され、永久磁石１０１の回りを上下
動できる。電流制御部１８によりコイル１０２に電流が
流れると、コイル１０２には電流値に応じた磁界が発生
する。そして、吸着ノズル１２とコイル１０２の全体に
は、ホルダアーム１３に対して上又は下方向へ向かう移
動力が付与される。電流制御部１８は、この移動力の大
きさ、方向を、電流値、電流の向きによって制御する。
従って、吸着ノズル１２は、コイル１０２に電流が流さ
れることによりホルダアーム１３に対して下方向へ向か
う移動力が付与されたときには、コイル１０２に供給さ
れる電流値に応じた押圧力でその当接部をホルダアーム
１３の被当接部に当接せしめられる。ここで、被当接部
は、ホルダアーム１３における下側の張出し部分（リニ
アアクチュエータ１７の永久磁石１０１が固定されてい
る張出し部分に対向する部分）を指し、当接部は、吸着
ノズル１２におけるホルダアーム１３の下側の張出し部
分に当接する半円状の部分を指す。
【００２０】尚、図１（Ａ）は吸着ノズル１２が下降位
置に設定されてペレット２に接した状態、図１（Ｂ）は
突上げ針１１、吸着ノズル１２がペレット２をサンドイ
ッチして上昇した状態である。図１（Ｂ）のδは突上げ
針１１の上昇量とホルダアーム１３の上昇量のずれであ
り、このずれがリニアアクチュエータ１７の変位により
吸収されている。このとき、リニアアクチュエータ１７
の推力は電流値が一定であれば変位δによらず一定であ
り、突上げ針１１と吸着ノズル１２とがペレット２に及
ぼす挟圧力は一定である。
置に設定されてペレット２に接した状態、図１（Ｂ）は
突上げ針１１、吸着ノズル１２がペレット２をサンドイ
ッチして上昇した状態である。図１（Ｂ）のδは突上げ
針１１の上昇量とホルダアーム１３の上昇量のずれであ
り、このずれがリニアアクチュエータ１７の変位により
吸収されている。このとき、リニアアクチュエータ１７
の推力は電流値が一定であれば変位δによらず一定であ
り、突上げ針１１と吸着ノズル１２とがペレット２に及
ぼす挟圧力は一定である。
【００２１】以下、本実施例の作用について説明する。
吸着ノズル１２によってウエハシート１上のペレット
２をピックアップし、或いは該吸着ノズル１２にてピッ
クアップしたペレット２をリードフレーム上の所定位置
にボンディングするときには、吸着ノズル１２がウエハ
シート１上のペレット２に接触すれすれの位置で、電流
制御部により電流制御されるリニアアクチュエータの推
力が反ペレット押圧方向に吸着ノズルの自重相当分作用
する無負荷状態、或いは電流制御部１８により電流制御
されるリニアアクチュエータ１７の推力がペレット押圧
方向に作用または反ペレット押圧方向に吸着ノズルの自
重より小さい値で作用する加圧状態に設定される。特
に、ボンディング時には、吸着ノズル１２がホルダアー
ム１３に対して相対移動するようにホルダアーム１３の
下降位置が設定される。そして、ホルダアーム１３の下
降位置のずれや、製造誤差や品種変更によるペレット２
の厚み変動は、吸着ノズル１２側のリニアアクチュエー
タ１７の変位により吸収される。然もこのとき、吸着ノ
ズル１２がペレット２に及ぼす押圧力は、リニアアクチ
ュエータ１７の変位に関係なく、該リニアアクチュエー
タ１７の推力を電流制御することにてずれや変動がない
状態と同等に保たれる。
吸着ノズル１２によってウエハシート１上のペレット
２をピックアップし、或いは該吸着ノズル１２にてピッ
クアップしたペレット２をリードフレーム上の所定位置
にボンディングするときには、吸着ノズル１２がウエハ
シート１上のペレット２に接触すれすれの位置で、電流
制御部により電流制御されるリニアアクチュエータの推
力が反ペレット押圧方向に吸着ノズルの自重相当分作用
する無負荷状態、或いは電流制御部１８により電流制御
されるリニアアクチュエータ１７の推力がペレット押圧
方向に作用または反ペレット押圧方向に吸着ノズルの自
重より小さい値で作用する加圧状態に設定される。特
に、ボンディング時には、吸着ノズル１２がホルダアー
ム１３に対して相対移動するようにホルダアーム１３の
下降位置が設定される。そして、ホルダアーム１３の下
降位置のずれや、製造誤差や品種変更によるペレット２
の厚み変動は、吸着ノズル１２側のリニアアクチュエー
タ１７の変位により吸収される。然もこのとき、吸着ノ
ズル１２がペレット２に及ぼす押圧力は、リニアアクチ
ュエータ１７の変位に関係なく、該リニアアクチュエー
タ１７の推力を電流制御することにてずれや変動がない
状態と同等に保たれる。
【００２２】よって、吸着ノズル１２がペレット２を確
実に吸着できなかったり加圧できないことがなく、或い
は吸着ノズル１２がペレット２を過度に押圧して該ペレ
ット２にダメージを与えることがなく、安定したピック
アップやボンディングを可能とする。尚、リニアアクチ
ュエータ１７の電流制御により、吸着ノズル１２に上方
の力を発生させれば、吸着ノズル１２の自重から零まで
の範囲においても押圧力の設定が可能である。
実に吸着できなかったり加圧できないことがなく、或い
は吸着ノズル１２がペレット２を過度に押圧して該ペレ
ット２にダメージを与えることがなく、安定したピック
アップやボンディングを可能とする。尚、リニアアクチ
ュエータ１７の電流制御により、吸着ノズル１２に上方
の力を発生させれば、吸着ノズル１２の自重から零まで
の範囲においても押圧力の設定が可能である。
【００２３】更に、吸着ノズル１２によってペレット
２をピックアップするに際し、ウエハシート１上のペレ
ット２を突上げ針１１により突上げるため、突上げ針１
１の上下動と、吸着ノズル１２の上下動のタイミングを
同期化せしめる。そして、突上げ針１１の上下動と吸着
ノズル１２の上下動タイミングにずれを生ずる場合に
は、そのずれを吸着ノズル１２側のリニアアクチュエー
タ１７の変位により吸収する。このとき、吸着ノズル１
２が突上げ針１１との間でペレット２に及ぼす挟圧力
は、リニアアクチュエータ１７の変位に関係なく、該リ
ニアアクチュエータ１７の推力を電流制御することにて
ずれがない状態と同等に保たれる。
２をピックアップするに際し、ウエハシート１上のペレ
ット２を突上げ針１１により突上げるため、突上げ針１
１の上下動と、吸着ノズル１２の上下動のタイミングを
同期化せしめる。そして、突上げ針１１の上下動と吸着
ノズル１２の上下動タイミングにずれを生ずる場合に
は、そのずれを吸着ノズル１２側のリニアアクチュエー
タ１７の変位により吸収する。このとき、吸着ノズル１
２が突上げ針１１との間でペレット２に及ぼす挟圧力
は、リニアアクチュエータ１７の変位に関係なく、該リ
ニアアクチュエータ１７の推力を電流制御することにて
ずれがない状態と同等に保たれる。
【００２４】よって、吸着ノズル１２が突上げ針１１と
の間でペレット２を過度に挟圧して該ペレット２にダメ
ージを与えることがなく、安定したピックアップを可能
とする。
の間でペレット２を過度に挟圧して該ペレット２にダメ
ージを与えることがなく、安定したピックアップを可能
とする。
【００２５】尚、本発明は、半導体ペレットを吸着ノズ
ルによってピックアップするに際し、必ずしも突上げ針
を伴うことを要しない。即ち、吸着ノズルは、ペレット
収納ケースに載置されて収納されているペレットを単に
吸着してピックアップするものであっても良い。
ルによってピックアップするに際し、必ずしも突上げ針
を伴うことを要しない。即ち、吸着ノズルは、ペレット
収納ケースに載置されて収納されているペレットを単に
吸着してピックアップするものであっても良い。
【００２６】また、本発明の実施において、リニアアク
チュエータは、その電流値の切換えにより、吸着ノズル
がペレットをピックアップするときの推力と、吸着ノズ
ルにてピックアップされたペレットをボンディングする
ときの推力（ボンディング力）とを切換え変更するもの
であっても良い。
チュエータは、その電流値の切換えにより、吸着ノズル
がペレットをピックアップするときの推力と、吸着ノズ
ルにてピックアップされたペレットをボンディングする
ときの推力（ボンディング力）とを切換え変更するもの
であっても良い。
【００２７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ペレット
の安定したピックアップやボンディングを行なうことが
できる。
の安定したピックアップやボンディングを行なうことが
できる。
【図１】図１は本発明の一実施例を示す模式図である。
【図２】図２はリニアアクチュエータを示す模式図であ
る。
る。
１ ウエハシート ２ 半導体ペレット １０ ペレットピックアップ供給装置 １１ 突上げ針 １２ 吸着ノズル １３ ホルダアーム １４ ＸＹ移動装置（平面移動装置） １７ リニアアクチュエータ １８ 電流制御部１０１ 永久磁石（固定部） １０２ コイル（可動部）
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体ペレットをピックアップする吸着
ノズルと、この吸着ノズルを支持するホルダアームと、
このホルダアームを前記吸着ノズルによるピックアップ
方向に移動させるアーム移動装置と、前記ホルダアーム
を平面移動させる平面移動装置と、を有してなるペレッ
トのピックアップ供給装置において、 前記吸着ノズルは、前記ホルダアームに対してピックア
ップ方向に移動自在に支持され、かつ前記ホルダアーム
に固定部が固定された推力調整可能なリニアアクチュエ
ータの可動部に対して固定されるとともに、前記リニア
アクチュエータの発生推力によりペレット押圧方向への
移動習性を付与されることにより前記ホルダアームの被
当接部に直接当接する当接部を有し、 リニアアクチュエータは、その発生推力を 電流制御部に
より制御されるように構成されてなることを特徴とする
ペレットのピックアップ供給装置。 - 【請求項２】 ウエハシート上に粘着された半導体ペレ
ットを突上げる突上げ針と、この突上げ針により突上げ
られた前記半導体ペレットをピックアップする吸着ノズ
ルと、この吸着ノズルを支持するホルダアームと、この
ホルダアームを前記吸着ノズルによるピックアップ方向
に移動させるアーム移動装置と、前記ホルダアームを平
面移動させる平面移動装置と、を有してなるペレットの
ピックアップ装置において、 前記吸着ノズルは、前記ホルダアームに対してピックア
ップ方向に移動自在に支持され、かつ前記ホルダアーム
に固定部が固定された推力調整可能なリニアアクチュエ
ータの可動部に対して固定されるとともに、前記リニア
アクチュエータの発生推力によりペレット押圧方向への
移動習性を付与されることにより前記ホルダアームの被
当接部に直接当接する当接部を有し、 リニアアクチュエータは、その発生推力を 電流制御部に
より制御されるように構成されてなることを特徴とする
ペレットのピックアップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6931392A JP3153318B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | ペレットのピックアップ供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6931392A JP3153318B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | ペレットのピックアップ供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05235064A JPH05235064A (ja) | 1993-09-10 |
| JP3153318B2 true JP3153318B2 (ja) | 2001-04-09 |
Family
ID=13398949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6931392A Expired - Fee Related JP3153318B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | ペレットのピックアップ供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3153318B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4515508B2 (ja) * | 2008-02-12 | 2010-08-04 | キヤノンマシナリー株式会社 | ワーク実装装置 |
-
1992
- 1992-02-20 JP JP6931392A patent/JP3153318B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05235064A (ja) | 1993-09-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20070038467A (ko) | 옮겨싣기 장치 | |
| KR102037950B1 (ko) | 웨이퍼 공급 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 | |
| JPH0745644A (ja) | チップボンデイング方法及び装置 | |
| JP3153318B2 (ja) | ペレットのピックアップ供給装置 | |
| JP2002043336A (ja) | 電子部品圧着装置 | |
| JP4136692B2 (ja) | ペレット搬送装置、ペレットボンディング方法およびペレットボンディング装置 | |
| JP4136733B2 (ja) | ペレットボンディング方法及びペレットボンディング装置 | |
| KR102292225B1 (ko) | 다이 본딩헤드 구조 | |
| KR102189274B1 (ko) | 다이 픽업 방법 및 다이 픽업 장치 | |
| KR20190009510A (ko) | 다이 픽업 방법 및 장치 | |
| KR102145848B1 (ko) | 다이 이송 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 | |
| JPH09148790A (ja) | 電子部品装着装置 | |
| JP2021125609A (ja) | 基板への接着テープの貼付装置及び貼り付け方法 | |
| JP4051166B2 (ja) | ペレットボンディング方法および装置 | |
| JP3172268B2 (ja) | ペレット突き上げ針の設定方法及びペレットボンディング装置 | |
| JPH10135250A (ja) | ボンディングユニット | |
| JP5216450B2 (ja) | ピックアップ装置 | |
| JP2002018758A (ja) | 部品吸着装置 | |
| JP7251721B1 (ja) | 部品処理装置 | |
| KR102185034B1 (ko) | 본딩 툴 정렬 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 | |
| KR102386338B1 (ko) | 다이 이송 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 | |
| JP3749330B2 (ja) | ペレットボンディング装置 | |
| KR102220346B1 (ko) | 다이 픽업 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 | |
| KR102430481B1 (ko) | 다이 본딩 장치 | |
| JP3341760B2 (ja) | チップのピックアップ方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000509 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010116 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080126 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090126 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090126 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100126 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100126 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |